JP2009092433A - プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 - Google Patents
プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009092433A JP2009092433A JP2007261260A JP2007261260A JP2009092433A JP 2009092433 A JP2009092433 A JP 2009092433A JP 2007261260 A JP2007261260 A JP 2007261260A JP 2007261260 A JP2007261260 A JP 2007261260A JP 2009092433 A JP2009092433 A JP 2009092433A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tft array
- drive signal
- drive
- panel
- waveform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】TFTアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、パネルの電圧状態によってTFTアレイ基板を検査するTFTアレイ検査装置において、TFTアレイを駆動する駆動信号を生成するTFT駆動回路と、TFTアレイ基板の電極と接触して前記駆動信号をTFTアレイ基板に給電するプローバと、駆動信号の駆動波形の時間変化を目視で観察可能とする駆動波形観察装置あるいは駆動信号の駆動波形の時間変化を測定する駆動波形測定装置とを備える。駆動信号の駆動波形の変化を求め、駆動波形変化に基づいてプローブピンと電極との電気的接触状態を検査する。
【選択図】図3
Description
Claims (6)
- プローバを介してTFTアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、当該パネルの電圧状態によってTFTアレイ基板を検査するTFTアレイ検査装置において、前記プローバのプローブピンと電極との電気的接触状態を検査するプローブピンの接触検査方法であって、
前記プローブピンを介してTFTアレイ基板に給電する駆動信号の駆動波形の変化を求め、当該駆動波形変化に基づいてプローブピンと電極との電気的接触状態を検査することを特徴とするプローブピンの接触検査方法。 - TFTアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、当該パネルの電圧状態によってTFTアレイ基板を検査するTFTアレイ検査装置において、
前記TFTアレイを駆動する駆動信号を生成するTFT駆動回路と、
TFTアレイ基板の電極と接触して前記駆動信号をTFTアレイ基板に給電するプローバと、
前記駆動信号の駆動波形の時間変化を目視で観察可能とする駆動波形観察装置とを備えることを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - TFTアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、当該パネルの電圧状態によってTFTアレイ基板を検査するTFTアレイ検査装置において、
前記TFTアレイを駆動する駆動信号を生成するTFT駆動回路と、
TFTアレイ基板の電極と接触して前記駆動信号をTFTアレイ基板に給電するプローバと、
前記駆動信号の駆動波形の時間変化を測定する駆動波形測定装置とを備えることを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記TFTアレイ基板に給電する駆動信号の電流を制限する電流制限回路を備え、前記駆動波形の時間変化幅を延ばすことを特徴とする、請求項2又は3に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記駆動波形測定装置は、駆動信号を印加してから所定電圧に上昇するまでの時間幅、又は、駆動信号を印加してから所定電圧に上昇するまでの時間幅の基準時間幅に対する比率を測定することを特徴とする、請求項3又は4に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記駆動波形測定装置は、駆動信号の印加を停止してから所定電圧に下降するまでの時間幅、又は、駆動信号の印加を停止してから所定電圧に下降するまでの時間幅の基準時間幅に対する比率を測定することを特徴とする、請求項3又は4に記載のTFTアレイ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007261260A JP5029826B2 (ja) | 2007-10-04 | 2007-10-04 | プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007261260A JP5029826B2 (ja) | 2007-10-04 | 2007-10-04 | プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009092433A true JP2009092433A (ja) | 2009-04-30 |
JP5029826B2 JP5029826B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=40664569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007261260A Expired - Fee Related JP5029826B2 (ja) | 2007-10-04 | 2007-10-04 | プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5029826B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011161867A1 (ja) * | 2010-06-22 | 2011-12-29 | シャープ株式会社 | 表示パネルの検査方法及び表示パネルの検査装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001296330A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-26 | Fujitsu Ltd | 断線位置検出機能を備えた電子機器及び断線位置検出方法 |
JP2006215493A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Shimadzu Corp | 液晶アレイ検査装置 |
-
2007
- 2007-10-04 JP JP2007261260A patent/JP5029826B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001296330A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-26 | Fujitsu Ltd | 断線位置検出機能を備えた電子機器及び断線位置検出方法 |
JP2006215493A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Shimadzu Corp | 液晶アレイ検査装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011161867A1 (ja) * | 2010-06-22 | 2011-12-29 | シャープ株式会社 | 表示パネルの検査方法及び表示パネルの検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5029826B2 (ja) | 2012-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004309488A (ja) | Tftfpd基板検査装置および検査方法 | |
JP5224194B2 (ja) | Tftアレイ検査方法およびtftアレイ検査装置 | |
JP5590043B2 (ja) | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 | |
JP5034382B2 (ja) | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 | |
JP4831525B2 (ja) | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 | |
KR20190078021A (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP5077538B2 (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP4748392B2 (ja) | Tftアレイ基板検査装置 | |
JP4155197B2 (ja) | 電子線液晶検査装置及び電子線液晶検査方法 | |
JP5029826B2 (ja) | プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 | |
JP5007925B2 (ja) | Tftアレイ検査における電子線走査方法 | |
JP5311058B2 (ja) | Tftアレイ検査装置および同期方法 | |
KR20050097986A (ko) | 액티브 매트릭스 디스플레이 회로 기판, 그것을 포함하는디스플레이 패널, 그 검사 방법, 및 그를 위한 검사 장치 | |
JP5077544B2 (ja) | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 | |
JP4853705B2 (ja) | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 | |
JP5316977B2 (ja) | Tftアレイ検査の電子線走査方法およびtftアレイ検査装置 | |
JP2012078127A (ja) | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 | |
JP2012057994A (ja) | アレイ検査装置 | |
JP2007114124A (ja) | アレイ基板の検査方法及び装置 | |
JP4936082B2 (ja) | Tftアレイ駆動装置 | |
JP5466393B2 (ja) | Tftアレイの検査方法及びtftアレイの検査装置 | |
JP5077643B2 (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP5423664B2 (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP5142092B2 (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP2008249570A (ja) | アクティブマトリクス基板の検査方法、製造方法、検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100105 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120530 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120612 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5029826 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |