JP5007634B2 - 圧力センサ、およびダイヤフラムに対する圧電振動片の実装方法 - Google Patents
圧力センサ、およびダイヤフラムに対する圧電振動片の実装方法 Download PDFInfo
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従って、接着剤の塗布量が僅かである場合は、目標とする接着剤の量に対して過不足の割合が大きくなってしまう。
その為、接着剤の塗布量が少ない場合には強度不足、多い場合には接着剤のはみ出しに起因する振動特性の劣等、更にはダイヤフラム部の可動性能の低下が起こり、圧力変化に対する感度性能が劣等な圧力センサを発生させてしまうことが問題となる。
第1の形態に係る圧力センサは、双音叉型圧電振動片を感圧素子とするダイヤフラム型の圧力センサであって、ダイヤフラム部に配置された載置部に接合されている前記双音叉型圧電振動片の結合部のうち、振動領域を構成するビームと前記結合部との境界部近傍に貫通孔を設け、前記載置部における載置面と前記結合部における接合面との間には接着剤を設け、前記載置部と前記結合部との接合箇所は、前記貫通孔を含む前記結合部の外側端部側とし、前記接合箇所に収まりきらなかった余剰分の前記接着剤の一部が前記貫通孔に充填されていることを特徴とする圧力センサ。
第2の形態に係る圧力センサは、第1の形態に係る圧力センサであって、前記貫通孔は、前記載置面と接合する接合面側の主面に設けられた開口部が他方の主面に設けた開口部よりも大きな面積を有することを特徴とする圧力センサ。
第3の形態に係る圧力センサは、第1の形態に係る圧力センサであって、前記貫通孔は、少なくとも前記接合面側の開口部よりも、貫通孔内部における貫通部の開口面積が小さいことを特徴とする圧力センサ。
第4の形態に係るダイヤフラムに対する圧電振動片の実装方法は、ダイヤフラム構成面に形成された載置部の載置面に接合される双音叉型圧電振動片の結合部のうち、振動領域を構成するビームと前記結合部との境界部近傍に貫通孔を備えた双音叉型圧電振動片の前記結合部を実装する方法であって、前記載置面には、接合時に前記双音叉型圧電振動片が所定の力で押圧された場合に前記結合部における接合面からはみ出す余剰分を含む量の接着剤を塗布し、接着剤の塗布後、前記双音叉型圧電振動片の接合箇所が、前記貫通孔を含む前記結合部の外側端部側となるように前記載置面に重ねて載置し、載置した前記双音叉型圧電振動片を所定の力で押圧し、前記余剰分の接着剤を前記貫通孔に充填することを特徴とするダイヤフラムに対する圧電振動片の実装方法。
本実施形態に係る圧力センサ10は、パッケージ50と当該パッケージ50に収容される双音叉型圧電振動片(以下、実施形態においては圧電振動片と称す)20とを基本として構成される。
まず、ベース30における枠部32、及び載置部34の載置面38にそれぞれ接着剤12を塗布する(図3(A)参照)。枠部32に対する接着剤12の塗布は、圧電振動片20における支持部29を接合した際に余剰接着剤が生じないように塗布量の調整が行われる。載置面38に対する接着剤12の塗布は、結合部24の接合面と載置面38とを接合するのに必要十分な量として算出される塗布量よりも若干多い量の接着剤12が塗布される。載置面38に対する接着剤12の塗布量をこのように定めることで、接合面積が縮小され、接着剤塗布量の微調整が限界に達した既存の装置をそのまま使用することが可能となる。また、載置面38に対する接着剤12の塗布位置は、接合対象とする結合部24における貫通孔28の形成位置よりも外周側、すなわち結合部24の外側端部側とすると貫通孔28から接着剤12が溢れ過ぎることが無く、載置面28と結合部24との間に接着剤12を確実に充填できるので良い。接着剤12としては、低融点ガラスやエポキシ系の樹脂等を挙げることができ、枠部32と載置面38とに塗布する接着剤をそれぞれ異ならせるようにしても良い。
尚、全ての載置面28と接合部24との接合に対して低融点ガラスを使用した場合は、ダイヤフラム部34側の電極と圧電振動片20側の電極とを導通接続する為に金属ワイヤー等でボンディングすれば良い。
Claims (4)
- 双音叉型圧電振動片を感圧素子とするダイヤフラム型の圧力センサであって、
ダイヤフラム部に配置された載置部に接合されている前記双音叉型圧電振動片の結合部のうち、振動領域を構成するビームと前記結合部との境界部近傍に貫通孔を設け、
前記載置部における載置面と前記結合部における接合面との間には接着剤を設け、
前記載置部と前記結合部との接合箇所は、前記貫通孔を含む前記結合部の外側端部側とし、
前記接合箇所に収まりきらなかった余剰分の前記接着剤の一部が前記貫通孔に充填されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1に記載の圧力センサであって、
前記貫通孔は、前記載置面と接合する接合面側の主面に設けられた開口部が他方の主面に設けた開口部よりも大きな面積を有することを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1に記載の圧力センサであって、
前記貫通孔は、少なくとも前記接合面側の開口部よりも、貫通孔内部における貫通部の開口面積が小さいことを特徴とする圧力センサ。 - ダイヤフラム構成面に形成された載置部の載置面に接合される双音叉型圧電振動片の結合部のうち、振動領域を構成するビームと前記結合部との境界部近傍に貫通孔を備えた双音叉型圧電振動片の前記結合部を実装する方法であって、
前記載置面には、接合時に前記双音叉型圧電振動片が所定の力で押圧された場合に前記結合部における接合面からはみ出す余剰分を含む量の接着剤を塗布し、
接着剤の塗布後、前記双音叉型圧電振動片の接合箇所が、前記貫通孔を含む前記結合部の外側端部側となるように前記載置面に重ねて載置し、
載置した前記双音叉型圧電振動片を所定の力で押圧し、
前記余剰分の接着剤を前記貫通孔に充填することを特徴とするダイヤフラムに対する圧電振動片の実装方法。
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