JP4984068B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
[適用例1]本発明の圧力センサは、ダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの受圧部の領域内に両端を固定した振動型の感圧素子とを備え、前記ダイヤフラムが受圧部が受ける圧力変化に伴い撓むものであり、前記ダイヤフラムの撓みに基づく前記感圧素子への圧力変化により発生する前記感圧素子の周波数変化から圧力を検出する圧力センサであって、前記感圧素子は、振動部と、該振動部と連結した基部とを備え、前記ダイヤフラムは、前記感圧素子の基部と接合する載置部と、前記載置部と同一平面上の外側に外周枠と、前記載置部を上下面間の厚み方向に貫通する第1の貫通電極と、前記外周枠を上下面間の厚み方向に貫通する第2の貫通電極と、前記載置部と前記外周枠の間の上面に前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極を導通する第1の引き出し電極と、前記載置部と前記外周枠の間の下面に前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極を導通するとともに、前記感圧素子と接続する第2の引き出し電極と、を備えたことを特徴とする圧力センサ。
図1は第1実施形態の圧力センサの説明図である。図1(1)は圧力センサの断面図を示し、図1(2)は平面図を示し、図1(3)は図1(1)のA部の部分拡大図をそれぞれ示している。
これにより双音叉振動片20の周波数信号は、ワイヤボンディングを介して外部電極へ供給される。
図3(1)に示すように導電性接着剤を用いた場合、まずプリント回路基板50に設けた外部電極52にワイヤボンディングを電気的に導通接続する。その後、載置部34の貫通孔39および貫通電極38の開口上を中心として電極37に導電性接着剤60を塗布している。これにより貫通孔39の上部側の開口が封止されることになり、キャビティの気密性を維持することができるとともに、外部電極52及び電極37間の接続性の安定化を図ることができる。
図4は第2実施形態の圧力センサの説明図であり、図4(1)は載置部断面の部分拡大図であり、図4(2)は引き出し電極の平面図を示している。図示のように第2実施形態に係る圧力センサ10Aと図1に示す圧力センサ10との相違は、外部電極52と接続する電極の位置である。その他の構成は図1に示す圧力センサ10の構成と同一であり、その詳細な説明を省略する。
また第2実施形態に係る圧力センサ10Aについても第3実施形態にかかる圧力センサ10Bと同様に載置部の貫通孔に封止材を用いて再固着するようにしてもよい。
Claims (3)
- ダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの受圧部の領域内に両端を固定した振動型の感圧素子とを備え、前記ダイヤフラムが受圧部が受ける圧力変化に伴い撓むものであり、前記ダイヤフラムの撓みに基づく前記感圧素子への圧力変化により発生する前記感圧素子の周波数変化から圧力を検出する圧力センサであって、
前記感圧素子は、振動部と、該振動部と連結した基部とを備え、
前記ダイヤフラムは、
前記感圧素子の基部と接合する載置部と、
前記載置部と同一平面上の外側に外周枠と、
前記載置部を上下面間の厚み方向に貫通する第1の貫通電極と、
前記外周枠を上下面間の厚み方向に貫通する第2の貫通電極と、
前記載置部と前記外周枠の間の上面に前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極を導通する第1の引き出し電極と、
前記載置部と前記外周枠の間の下面に前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極を導通するとともに、前記感圧素子と接続する第2の引き出し電極と、
を備えたことを特徴とする圧力センサ。 - 前記載置部の貫通孔内に加熱溶融させた封止材を配置したことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記第2の貫通電極に導通し、前記感圧素子の周波数信号を出力するための接続ワイヤを前記外周枠の上面側に接続したものであり、前記外周枠と前記接続ワイヤとを接着剤にて固定したことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
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