JP5006580B2 - 保護回路を備える半導体装置 - Google Patents
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Description
電位調整回路が電界効果トランジスタのバックゲートの電位を制御することで、電界効果トランジスタの閾値電圧を制御する。これによって、静電気放電電流に対する保護回路のオン抵抗を低くすることができる。
まず、本発明の第一の実施の形態にかかる保護回路を備える半導体装置の構成について説明する。図1に、この半導体装置の回路図を示す。図1に示すように、本実施形態の半導体装置は、第一電源系(VDD1−GND1)の回路100、第二電源系(VDD2−GND2)の回路200、保護回路11、制御回路6を有している。第一電源系の回路100は、第一電源保護回路1及び第一内部回路3を有している。第二電源系の回路200は、第二電源保護回路2及び第二内部回路4を有している。第一電源保護回路1及び第一内部回路3は、第一電源系の電源電位VDD1(電源端子)と第一電源系の接地電位GND1(電源端子)に電気的に接続されている。また、第二電源保護回路2及び第二内部回路4は、第二電源系の電源電位VDD2(電源端子)と第二電源系の接地電位GND2(電源端子)に電気的に接続されている。なお、第一電源系と第二電源系とは、異なる電源系である。また、上記したVDD1、GND1、VDD2、GND2は、外部端子を介して、外部の電源から供給されていてもよい。
VDD3、GND3は、半導体装置の内部回路により生成される電位であってもよく、外部端子を介して、外部の電源から供給される電位であってもよい。さらに、VDD3として、第一電源系又は第二電源系のVDD1、VDD2を利用してもよい。また、GND3として、第一電源系又は第二電源系のGND1、GND2を利用してもよい。
このように制御回路6が、いわゆるチャージポンプ動作を繰り返しことで、Pウェル25は所望の負電位に設定される。なお、トランジスタMS1、MS1B、MS2B、MS2のいずれもP型のMOSトランジスタであるから、ゲート電極にHIGH電圧を与えることで、これらはオフ状態となる。
なお、通常動作時のトランジスタN1の閾値電圧は、当然に、後述する保護動作時(静電気印加時)のトランジスタN1の閾値電圧よりも高い(トランジスタN1の閾値電圧の絶対値よりも大きい)。すなわち、電位調整回路40は、通常動作時に、トランジスタN1の閾値電圧の絶対値が所定の閾値電圧の絶対値よりも大きくなるように、トランジスタN1のバックゲートの電位を制御することのほか、電位調整回路40は、トランジスタN1の閾値電圧の絶対値が、保護動作時に比べて通常動作時に大きくなるように、トランジスタN1のバックゲートの電位を制御する。
なお、保護動作時のトランジスタN1の閾値電圧は、当然に、上述した通常動作時(内部回路の動作時)のトランジスタN1の閾値電圧よりも低い(トランジスタN1の閾値電圧の絶対値よりも小さい)。すなわち、電位調整回路41は、通常動作時に、トランジスタN1の閾値電圧の絶対値が所定の閾値電圧の絶対値よりも小さくなるように、トランジスタN1のバックゲートの電位を制御することのほか、電位調整回路41は、トランジスタN1の閾値電圧の絶対値が、通常動作時に比べて保護動作時に小さくなるように、トランジスタN1のバックゲートの電位を制御する。
第一の実施の形態における半導体基板14に代えて、半導体基板170を用いた場合の実施形態について説明する。異なる点は、半導体基板170を用いた点のみであるから、この相違点のみについて説明し、重複する説明は省略する。
第三の実施の形態では、第一電源系のGND1と第二電源系のGND2との間のみでなく、第一電源系の電源電位VDD1と第二電源系の電源電位VDD2との間にも保護回路を設けている。これを図10に示す。VDD1とVDD2との間に、一対のP型の電界効果トランジスタP10、P20から構成される保護回路300が設けられている。トランジスタP10(トランジスタP20)のウェル領域に第二制御回路60が接続されている。
2 第二電源保護回路
3 第一内部回路
4 第二内部回路
5 パルス発生回路
6 制御回路
11 保護回路
25 ウェル領域
N1 電界効果トランジスタ
C1 寄生容量
PW 配線
Claims (9)
- ソース又はドレインの一方、及びゲートが第一電源系の電源端子に電気的に接続されるとともに、ソース又はドレインの他方が第二電源系の電源端子に電気的に接続される第一導電型の電界効果トランジスタを含む保護回路と、
前記電界効果トランジスタのバックゲートの電位を制御する電位調整回路と、を備え、
前記電位調整回路は、
前記第一電源系の他の電源端子と前記第二電源系の前記電源端子との間にあって、少なくとも容量を含み、
保護動作時に、前記容量の動作によって、前記電界効果トランジスタの閾値電圧の絶対値が小さくなるように、前記電界効果トランジスタのバックゲートの電位を制御する、半導体装置。 - 前記電位調整回路は、通常動作時に、前記電界効果トランジスタの閾値電圧の絶対値が大きくなるように、前記電界効果トランジスタのバックゲートの電位を制御することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記電位調整回路は、チャージポンプ回路を含み、当該チャージポンプ回路の動作に基づいて、前記電界効果トランジスタのバックゲートの電位が制御されることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記バックゲートは、前記電界効果トランジスタが形成される第二導電型のウェル領域であることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
- 前記チャージポンプ回路は、容量の前記バックゲート側の一端に接続されることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
- 前記容量は、前記ウェル領域と当該ウェル領域を基板電位から隔離する第一導電型の隔離領域との間に形成される寄生容量であることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- ソース又はドレインの一方、及びゲートが第一電源系の電源端子に電気的に接続されるとともに、ソース又はドレインの他方が第二電源系の電源端子に電気的に接続される第一導電型の電界効果トランジスタを含む保護回路と、
前記電界効果トランジスタのバックゲートの電位を制御する電位調整回路と、を備え、
前記保護回路は、ソース又はドレインの一方、及びゲートが前記第二電源系の前記電源端子に電気的に接続されるとともに、ソース又はドレインの他方が前記第一電源系の前記電源端子に電気的に接続される第一導電型の他の電界効果トランジスタをさらに含み、
前記電位調整回路は、当該他の電界効果トランジスタのバックゲートの電位も制御し、
前記電界効果トランジスタ及び前記他の電界効果トランジスタのそれぞれは、前記バックゲートを基板電位から隔離する第一導電型の隔離領域を有し、それぞれの隔離領域は、互いに異なる電源系の他の電源端子に電気的に接続される、半導体装置。 - 前記第一電源系と前記第二電源系との間に、ソース又はドレインの一方、及びゲートが前記第一電源系の他の電源端子に電気的に接続されるとともに、ソース又はドレインの他方が前記第二電源系の他の電源端子に電気的に接続される第二導電型の電界効果トランジスタを含む他の保護回路を備え、当該他の保護回路に含まれる電界効果トランジスタのバックゲートの電位は、他の電位調整回路によって制御されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記他の保護回路は、ソース又はドレインの一方、及びゲートが前記第二電源系の前記他の電源端子に電気的に接続されるとともに、ソース又はドレインの他方が前記第一電源系の前記他の電源端子に電気的に接続される第二導電型の他の電界効果トランジスタをさらに含み、前記他の電位調整回路は、当該他の電界効果トランジスタのバックゲートの電位も制御することを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
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