JP5006231B2 - インピーダンス調整回路 - Google Patents

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Description

本発明は、インピーダンス調整回路に関し、外部抵抗を基準として被調整抵抗を所望値に調整する回路および、その制御信号生成方法に関する。
信号伝送では、インピーダンス整合を取るための規格として例えば送信側および受信側の終端抵抗範囲(例えば50ohm±10%など)が定められている。
しかしながら、LSI製造における抵抗素子の絶対精度(例えば±15%)によっては、規格範囲での設計が困難となる場合がある。
また、温度や経時的な劣化により抵抗値が変化してしまうので、常温で規格範囲内であった抵抗が、低温または高温になると、規格範囲を逸脱してしまう可能性もある。そこで終端抵抗値を一定に保つべく、インピーダンス調整回路が必要となる。
インピーダンス調整回路は、外付抵抗と、LSI内蔵の被調整抵抗とを比較し、所望の抵抗値になるように、被調整抵抗への設定コードを制御する回路である。
被調整抵抗への設定コードを完全に固定してしまうと、温度や電源電圧、経時的変化により抵抗値がずれてしまう可能性があることから、常に、抵抗値の監視が必要とされる。そして、抵抗値が所望の値からずれた場合には、自動的に設定コードを更新しなければならない。ただし、設定コードの切り替えが頻繁に行なわれると、伝送信号波形にジッタが生じてしまうので、頻繁に変化しないように設定コードの平準化を行なう必要がある。
図27は、特許文献1に開示されるインピーダンス調整回路の構成を示したものである。図27を参照すると、このインピーダンス調整回路において、コンパレータ1013は、外付抵抗1012と、抵抗値が可変のレプリカ抵抗1011とによる分圧電圧1011aをリファレンス電圧(REFV)と比較する。レプリカ抵抗1011の抵抗値の方が大きい場合には、分圧電圧1011aが低くなり、コンパレータ1013から、”H”(High)のUp/Dn信号が出力され、逆に、レプリカ抵抗1011の抵抗値の方が小さい場合には、”L”(Low)のUp/Dn信号が出力される。
アップダウンカウンタ1014では、Up/Dn信号入力が”H”の場合、CLKタイミングでカウンタ状態をインクリメント、Up/Dn信号が”L”の場合はデクリメントし、その状態(図27の例では3ビット)をコード変換回路1015および平均化回路1016へ出力する。
コード変換回路1015では、入力されたカウンタ状態に対応した抵抗設定コード(図27の例では7ビット)をレプリカ抵抗1011へ送出する。
定常状態においては、例えばアップダウンカウンタ1014のカウント値(カウンタの状態)が”3”のとき、Up/Dn信号が”H”となり、次の状態”4”では、Up/Dn信号が”L”となり、さらにその次は状態”3”へ戻るというシーケンスを繰り返す。すなわち、図29に示すような状態変化を繰り返すことになる。
アップダウンカウンタ1014のカウント値が”3”、”4”を繰り返している状態を、本来制御すべき終端抵抗の設定信号へ変換して使用してしまうと、伝送信号波形にジッタを生じ、好ましくない。
平均化回路1016では、過去n回の状態を記憶しておき、それらを平均した状態を出力することにより、状態変動の抑制を行う。
例えば過去4回の平均値をとる平均化回路1016は、図28に示すように、3ビットの同期化回路1016〜1016とそれらの状態の平均を計算する演算回路101621〜101623と、タイミング調整用の同期化回路101651を備えた構成とされる。
平均化回路1016は、過去n回のカウンタ状態の平均値が、
X≦平均値<X+1 (X:整数)
となる場合、Xを出力(小数部分を切り捨て)するように構成する。
アップダウンカウンタ1014の内部状態が”3”→”4”→”3”…を繰り返す場合には、平均は”3.5”となり、平均化回路1016からは”3”が出力され一定となる(図30参照)。
同様に、図31に示すように、アップダウンカウンタ1014の内部状態が”3”→”4”→”5”→”4”→”3”…を繰り返す場合には、平均が”4”となり、平均化回路1016からは”4”が出力され一定となる(図32参照)。
この安定した状態信号を、もう一方のコード変換回路1017へ送出する。コード変換回路1017は、実際に制御すべき終端抵抗への設定信号を生成しており、入力される状態信号は平均化回路1016によって安定しているため、出力される設定信号は変動が抑制される。
特開2004−32721号公報
以下に本発明による関連技術の分析を与える。
図27に示した構成において、例えばレプリカ抵抗1011が状態4(カウント値が4の状態)で完全に所望の値となった場合、分圧電圧1011aとREFV電位は完全に一致する。このとき、Up/Dn出力は不定となり、次の状態が”3”、”5”のどちらになるか分からない。
よって、図33に示すように、アップダウンカウンタ1014は、状態(カウント値)”3”〜”5”の範囲内で不規則に変化することになる。これを平均化回路1016で過去4回の平均とった場合、その出力は、図34に示すように、”3”、”4”を変動することになる。すなわち、抵抗設定コードが安定しない。
また、平均化回路1016において、過去4回の状態履歴を保持・演算しなければならないことから、図28に示すように、多くの同期化回路(10161〜10164、101651)が必要となり、回路規模が増大する。
図28に示す平均化回路において、mビットで表される状態の過去N回の平均をとる場合、m×(N+2)個の同期化回路(フリップフロップ)が必要となる。
本願で開示される発明は、前記課題を解決するため概略以下の構成とされる。
本発明によれば、第1の抵抗と被調整抵抗とを比較し、前記被調整抵抗が所望の抵抗値になるように前記被調整抵抗を制御するインピーダンス調整回路であって、前記第1の抵抗とレプリカ抵抗の抵抗値の大小を比較するコンパレータと、前記コンパレータでの比較結果に基づき、カウント値をアップ又はダウンし、前記レプリカ抵抗の抵抗値を可変制御する制御信号を出力するレプリカ抵抗制御カウンタと、被調整抵抗の抵抗値を可変制御する制御信号を保持する被調整抵抗制御信号保持回路と、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を入力し、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が予め定められた所定範囲内にあるときは、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を前記被調整抵抗制御信号保持回路に与える監視回路とを備えている調整回路が提供される。
本発明において、前記監視回路は、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が予め定められた所定範囲内にないときは、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力の差に応じて、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態を1つ減算又は加算した値を前記被調整抵抗制御信号保持回路に出力する。本発明において、前記監視回路は、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力の差が、予め定められた第1の値以上である場合、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態を1つ減算する減算器と、
前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態が前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力の差が予め定められた第2の値より小である場合、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態を1つ加算する加算器と、
前記減算器と前記加算器の出力を受け、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が、前記第1の値以上の場合、前記減算器の出力を選択し、前記第1の値よりも小の場合、前記加算器の出力を選択出力する第1のセレクタと
前記第1のセレクタと前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力とを受け、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が、前記所定範囲内にあるときは、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を選択出力し、前記所定範囲から外れる場合、前記第1のセレクタの出力を選択し、前記被調整抵抗制御信号保持回路に出力する、第2のセレクタと、を備えている。
前記レプリカ抵抗制御カウンタは、オーバーフロー及びアンダーフローを判定する判定器と、加算器と、セレクタと、保持回路と、を備え、前記加算器は、前記コンパレータでの比較結果が、第1の値のとき−1を加算し、第2の値のとき+1を加算し、前記セレクタは、前記加算器と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力とを受け、前記判定器での判定結果を受け、前記加算器の結果がオーバーフロー又はアンダーフローのときは、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を選択し、それ以外は、前記加算器の出力を選択し、
前記被調整抵抗制御信号保持回路は前記セレクタの出力を入力して保持する。
本発明によれば、関連技術と比較して同期化回路の個数を削減し、回路規模を縮減することができる。
本発明によれば、レプリカ抵抗制御カウンタの状態変化が一定範囲内であれば、被調整抵抗への設定コードが変化しないようにすることが可能である。
本発明によれば、温度などにより抵抗値が変化しても、新たな最適値へ自動的に収束することが可能である。また、ノイズなどの影響により、被調整抵抗制御信号保持回路の状態が異常値となっても、正常な状態へ自己復帰が可能である。
本発明によれば、被調整抵抗(終端抵抗)とレプリカ抵抗に決まった誤差(例えば配線抵抗による誤差)がある場合は、コード変換回路にオフセットをつけることが可能である。
上記した本発明についてさらに詳細に説述すべく添付図面を参照して説明する。本発明のインピーダンス調整回路においては、外付抵抗と、半導体装置内蔵の被調整抵抗(終端抵抗)(5)の抵抗値を比較し、被調整抵抗が所望の抵抗値になるように、被調整抵抗(5)へ設定するコード信号を制御するものであり、図1を参照すると、レプリカ抵抗制御カウンタ(11)と、被調整抵抗(終端抵抗)制御信号保持回路(12)と、を備え、レプリカ抵抗制御カウンタ(11)の内部状態を比較する監視回路(13)を備えている。
レプリカ抵抗制御カウンタ(11)は、外付抵抗(3)と、被調整抵抗(5)のレプリカ抵抗(4)の抵抗値の端子電圧を電圧比較するコンパレータ(2)における比較結果に基づき、カウント値をアップ又はダウンし、レプリカ抵抗(4)の抵抗値を可変制御する信号(X’)を出力する。レプリカ抵抗制御カウンタ(11)からの信号(X’)はコード変換回路(14)でコード変換され、レプリカ抵抗(4)に供給される。
被調整抵抗制御信号保持回路(12)は、被調整抵抗(5)の抵抗値を可変制御するための信号(Y)を保持する。信号(Y)はコード変換回路でコード変換され、被調整抵抗(5)に供給される。
監視回路(13)は、レプリカ抵抗制御カウンタ(11)の状態(カウント値X)と、被調整抵抗制御信号保持回路(12)の出力(Y)とを入力し、レプリカ抵抗制御カウンタ(11)の状態(X)と被調整抵抗制御信号保持回路(12)の出力(Y)との値の差が予め定められた所定範囲内にあるとき(|X−Y|≦n、nは所定の正整数)は、被調整抵抗制御信号保持回路(12)の出力(Y)を被調整抵抗制御信号保持回路(12)への入力(Z)として与える。
監視回路(13)は、レプリカ抵抗制御カウンタ(11)の状態(X)と被調整抵抗制御信号保持回路(12)の出力(Y)との値の差が前記所定範囲外のときは(|X−Y|>n)、レプリカ抵抗制御カウンタ(11)の状態(X)と被調整抵抗制御信号保持回路(12)の出力(Y)の差に応じて(例えばX−Y≧n+1であるか否か)、レプリカ抵抗制御カウンタ(11)の状態(X)を所定値減算又は加算した値を被調整抵抗制御信号保持回路(12)に出力する。
監視回路(13)は、レプリカ抵抗制御用カウンタ(11)と被調整抵抗制御信号保持回路(12)の出力(Y)の2つの状態の差が決められた範囲内のとき(例えば±1以内)であれば、被調整抵抗(5)への制御コードを更新しないように制御する。かかる構成により、図2に示すように、レプリカ抵抗制御用カウンタ(11)が3状態の範囲内で変動しても、被調整抵抗制御信号保持回路(12)の状態は変化しないので、被調整用抵抗(5)への制御コードが変動しない。以下実施例に即して説明する。
<実施例1>
図1は、本発明のインピーダンス調整回路の一実施例の構成を示す図である。インピーダンス調整回路は、抵抗比較部1と、抵抗制御回路10と、被調整抵抗(終端抵抗)5とを備えている。
抵抗比較部1は、外付抵抗3と、抵抗値が可変のレプリカ抵抗(被調整抵抗(終端抵抗のレプリカ)4と、外付抵抗3、レプリカ抵抗4へ電流を供給する定電流源6と、外付抵抗3とレプリカ抵抗4に電流を供給することにより発生した外付抵抗3の端子電圧とレプリカ抵抗4の端子電圧(n1、n2電位)を比較するコンパレータ2、とを備えている。特に制限されないが、外付抵抗3は、インピーダンス調整作業時に、半導体装置(LSI)に外付される。
レプリカ抵抗4および被調整抵抗(終端抵抗)5は、レプリカ抵抗制御信号、被調整抵抗制御信号により値が可変とされる。レプリカ抵抗4および被調整抵抗(終端抵抗)5は、例えば図21乃至図26のうちのいずれかの構成とされる。
図21、図22は、スイッチをnMOSとした例であり、VSS側に接続する場合に使用する。
図21に示す例は、ソースがVSSに接続され、ゲートに抵抗設定コード<0>〜抵抗設定コード<6>をインバータINVで反転した信号をそれぞれ入力し、ドレインが抵抗Rの一端に接続された7個のNMOSトランジスタと、一端がVSSに接続された抵抗Rを備え、8個の抵抗Rの他端は共通接続されている。
図22に示す例は、ソースがVSSに接続されゲートに、抵抗設定コード<0>〜抵抗設定コード<6>をインバータINVで反転した信号をそれぞれ入力し、ドレインが抵抗Rの一端に接続された7個のNMOSトランジスタと、ソースがVSSに接続され、ゲートにHレベルを入力するNMOSトランジスタを備え、8個のNMOSトランジスタのドレインは共通接続され抵抗Rの一端に接続されている。
図23、図24は、スイッチをpMOSとした例でVDD側に接続する場合に使用する。図23に示す例は、ソースがVDD共通接続され、ゲートに抵抗設定コード<0>〜抵抗設定コード<6>をそれぞれ入力し、ドレインが抵抗Rの一端に接続された7個のpMOSトランジスタと、一端がVDDに接続された抵抗Rを備え、8個の抵抗Rの他端は共通接続されている。
図24に示す例は、ソースがVDDに接続されゲートに、抵抗設定コード<0>〜抵抗設定コード<6>をそれぞれ入力し、ドレインが抵抗Rの一端に接続された7個のPMOSトランジスタと、ソースがVDDに接続され、ゲートに、Lレベルを入力するPMOSトランジスタを備え、8個のPMOSトランジスタのドレインは共通接続され抵抗Rの一端に接続されている。
図25、図26は、スイッチをトランスファゲートとした例で、VDD/2付近のレベルで線間終端する場合などに使用する。
図25に示す例は、一端が共通接続され、ゲートに、抵抗設定コード<0>〜抵抗設定コード<6>とインバータINVによる反転信号とをそれぞれ入力し、他端が抵抗Rの一端に接続された、PMOSとNMOSトランジスタよりなる7個のCMOSトランスファゲートTGと、TGに並列に接続された抵抗Rを備え、8個の抵抗Rの他端は共通接続されている。
図26に示す例は、一端が共通接続され、他端が共通接続され抵抗Rの一端に接続されたPMOSとNMOSトランジスタよりなる8個のCMOSトランスファゲートTGを備え、7個のCMOSトランスファゲートTGのゲートには、抵抗設定コード<0>〜抵抗設定コード<6>とインバータINVによる反転信号とがそれぞれ入力され、8個目のトランスファゲートのNMOSトランジスタのゲートにはH、PMOSトランジスタのゲートにはLが入力される。
図21乃至図26の例では、7ビットの制御信号(抵抗設定コード<0>〜抵抗設定コード<6>)が全て”L”のとき、全トランジスタ(又はトランスファゲート)がオンとなり、抵抗値は最小となる。抵抗値は、制御信号の変化に伴い、単調増加または減少するように構成する。図21乃至図26の例では、”H”とするビットを1個ずつ増やしていくことにより、トランジスタを1つずつオフさせ、抵抗値の単調増加を実現する。
再び、図1を参照すると、コンパレータ2は、外付抵抗3の端子電圧(n1電位)と、レプリカ抵抗4の端子電圧(n2電位)を比較した結果(外付抵抗3とレプリカ抵抗4の大小)を、UPDOWN信号として、抵抗制御回路10へ送出する。
例えば定電流源6から外付抵抗3およびレプリカ抵抗4へ供給する電流値を同じとした場合、
外付抵抗3>レプリカ抵抗4
の場合、
n1電位>n2電位
となるので、コンパレータ2からのUPDOWN出力の値は”H”となる。
逆に、外付抵抗3<レプリカ抵抗4
であれば、
n1電位<n2電位
となるので、コンパレータ2からのUPDOWN出力の値は”L”となる。
レプリカ抵抗4の抵抗値を、外付抵抗3のn倍に調整する場合には、定電流源6からレプリカ抵抗4へ供給する電流値を、外付抵抗3へ供給する電流値の1/n倍とすればよい。
図3は、図1の抵抗制御回路10の詳細構成の一例を示す図である。抵抗制御回路10は、UPDOWN信号から、レプリカ抵抗4および被調整抵抗5の設定コードを生成する。
抵抗制御回路10は、レプリカ抵抗制御カウンタ11と、被調整抵抗制御信号保持回路12と、監視回路13と、レプリカ抵抗制御カウンタ11、被調整抵抗制御信号保持回路12から出力された状態信号X’、Yをそれぞれ抵抗設定コードへ変換するコード変換回路14、15を備えている。
レプリカ抵抗制御カウンタ11および被調整抵抗制御信号保持回路12は、バイナリカウンタでもよいしグレイコード型カウンタで構成してもよい。グレイコード型カウンタは1度に動作するフリップフロップ数が1個であることから、発生するノイズが少ないという利点がある。
レプリカ抵抗制御カウンタ11は、アップダウンカウンタよりなり、クロック入力タイミングにおいて、
UPDOWN信号が”H”のときには、内部状態をアップ、
UPDOWN信号が”L”のときには、内部状態をダウン、
する方向へ更新する。
レプリカ抵抗制御カウンタ11は、内部状態のオーバーフローおよびアンダーフロー判定部111と、加算器112と、セレクタ113と、3ビットのフリップフロップ(レジスタ)114を備えている。UPDOWN信号が”H”のとき(UPのとき)には、加算器112はフリップフロップ114のカウント出力(3ビット)を+1した結果を出力する。UPDOWN信号が”L”のとき(DOWNのとき)には、加算器112はフリップフロップ114のカウント出力(3ビット)を−1した結果を出力する。セレクタ113はオーバーフローおよびアンダーフロー無しの場合、加算器112の出力を選択し、フリップフロップ114はクロックの立ち上がりエッジでセレクタ113の出力をサンプルする。
オーバーフローおよびアンダーフロー判定部111でオーバーフローまたはアンダーフローの発生を検出した場合には、オーバーフローおよびアンダーフロー判定器111での検出結果を選択制御信号として入力するセレクタ113は、レジスタ114の出力(現在値)を選択して出力する。この結果、レジスタ114には、カウンタ状態(カウント値)として最大値または最小値に保持する。例えば、カウンタ111の内部状態が0(レジスタ114の出力が0)のときに、UPDOWN=”L”が入力されても、内部状態は0のままとなる。逆に、カウンタ111の内部状態が最大値(レジスタ114の出力が”111”)で、さらにUPDOWN=”H”が入力されても、内部状態は最大値のままとなる。3ビットフリップフロップよりなるレジスタ114の出力X’(3ビット)は、オーバーフローおよびアンダーフロー判定部111と加算器112とコード変換回路14とに入力される。
被調整抵抗制御信号保持回路12では、監視回路13から送出された状態信号(Z)を次クロックが入力されるまで保持する。被調整抵抗制御信号保持回路12は3ビットのフリップフロップ121を備えている。
監視回路13では、レプリカ抵抗制御カウンタ11の状態X(セレクタ113の出力)と被調整抵抗制御信号保持回路12で保持される状態信号Yとを比較し、比較結果に応じて、被調整抵抗制御信号保持回路12へ信号Zを出力する。被調整抵抗制御信号保持回路12で保持される状態信号Yはコード変換回路15に入力される。
例えばX、Yの状態差が一定範囲内(例えば±1以内)の場合、被調整抵抗制御信号保持回路12が出力する状態信号Yを変更しないようにするために、
|X−Y|≦1のときは、Z=Y、
X−Y≧2のときは、Z=X−1、
X−Y≦−2のときは、Z=X+1
となるように、監視回路13を構成する(図3の監視回路13に真理値表で示す)。
監視回路13は、比較回路131、加算器132、133、セレクタ134、135を備えている。比較回路131はXとYを入力し、X−Y≧2であるか、|X−Y|≦1であるかを判定する。
セレクタ134は、比較回路131の比較結果に基づき、X−Y≧2のときは、加算器133の出力(X−1)、それ以外は、加算器132の出力(X+1)を選択する。
セレクタ135は、比較回路131の比較結果に基づき、|X−Y|≦1のときは、Yを選択し、それ以外はセレクタ134の出力を選択する。セレクタ135の出力Zは被調整抵抗制御信号保持回路12に供給されフリップフロップ121でクロックの立ち上がりエッジに応答してサンプルされ状態信号Yとして出力される。
コード変換回路14、15は、図4に示す真理値表のように、バイナリコードをサーモメータコードへ変換する。
コード変換回路14、15は、レプリカ抵抗制御カウンタ11と被調整抵抗制御信号保持回路12のそれぞれに接続されており、コード変換回路14、15の出力信号は、それぞれ、レプリカ抵抗4、被調整抵抗5への抵抗設定コードとなる。
mビットで表される状態について、図1に示したインピーダンス調整回路を構成した場合、必要となる同期化回路(フリップフロップ)は、m×2個となる。すなわち、レプリカ抵抗制御カウンタ11のmビットフリップフロップ114と、被調整抵抗制御信号保持回路12のmビットフリップフロップ121の計2×m個となる。
図27、図28に示した関連技術においては、過去N回の平均を取るインピーダンス調整回路であり、必要な同期化回路の数はm×(N+2)個となる。
したがって、本実施例のほうが、図27、図28に示した関連技術よりも、同期化回路の数はm×N個少なくてすみ、回路規模を小さくすることができる。
次に、本実施例のインピーダンス調整回路の動作を説明する。監視回路13はXとYの差分を比較しており、
X−Y≧2では、Z=X−1、
X−Y≦−2では、Z=X+1、
|X−Y|≦1では、Z=Y(保持)
となるように、Zの状態が決定する。
監視回路13は、一般に、±N、または+2、−1のように、任意の値で監視範囲を設定できる。以下では、監視回路13で許容するX、Yの差を±1とした場合の例を説明する。
また、特に制限されないが、レプリカ抵抗制御カウンタ11および被調整抵抗制御信号保持回路12のX、Y初期値を0とする。
また、n1電位=n2電位となったときのUPDOWNは不定であるが、動作説明上、n1電位=n2電位とならないものとする。
<通常動作>
図5(A)、(B)は、通常動作において、抵抗調整後の収束状態において被調整抵抗設定コードが変化しないことを表したタイミングチャートと、状態遷移をそれぞれ示す図である。具体的な動作は以下のようになる。
初期状態T0では、
n1>n2より、
UPDOWN=”H”となり、
X=”1”
となっている。
一方、Y=”0”であるため、
|X−Y|=1≦1
となり、監視回路13の出力Z=Y=0となる。
タイミングT1において、
X’に前状態のX(=1)、
Yに前状態のZ(=0)が代入される。
X’が1段階上がるので、レプリカ抵抗4の抵抗値も1段階上がり、n2電位も上昇する。このとき、
n1>n2なので、
UPDOWN=”H”となり、
X=2
となる。
一方、|X−Y|=2≧2であるため、監視回路13の出力Z=X−1=1となる。
タイミングT2において、X’に前状態のX(=2)、Yに前状態のZ(=1)が代入される。
X’が1段階上がるので、レプリカ抵抗4の抵抗値も1段階上がり、n2電位も上昇する。このとき、
n1>n2なので、
UPDOWN=”H”
となり、
X=3
となる。
一方、|X−Y|=2≧2
であるため、監視回路13の出力Zは
Z=X−1=2となる。
これを繰り返し、X、X’、Yがインクリメントされ、レプリカ抵抗4の抵抗値、被調整抵抗5の抵抗値、n2電位が上昇する。
タイミングT5において、X’に前状態のX(=5)、Yに前状態のZ(=4)が代入される。X’が1段階、抵抗値も1段階上がり、n2電位が上昇する。ここでレプリカ抵抗4が基準抵抗値を上回ることにより、
n1<n2
となり、
UPDOWN=”L”、
X=4
となる。
一方、|X−Y|=0≦1であることから、監視回路13の出力Z=Y=4となる。
タイミングT6において、X’に前状態のX(=4)、Yに前状態のZ(=4)が代入される。X’が1段階下がり、レプリカ抵抗4の抵抗値も1段階下がるので、n2電位が下降する。
X’=4では、
n1>n2
なので、
UPDOWN=”H”
となり、
X=5
となる。
一方、|X−Y|=1≦1であるため、監視回路13の出力Z=Y=4となり、前状態から変化しない。
タイミングT7では、T5の状態が再現されるので、結局、T5、T6の状態が繰り返されることになる。
このとき、Xは”4”、”5”を繰り返しているが、Yは常に”4”で一定となるので、被調整抵抗5への抵抗設定コードは変化せず、抵抗値の安定が達成できる。
<時間とともに温度が上昇し、抵抗値が上昇した場合>
図6(A)、(B)は、時間とともに温度が上昇し、抵抗値が上昇した場合、抵抗コードがそれに合わせて変化する様子を示したタイミングチャートと状態遷移をそれぞれ示す図である。このときの具体的な動作は以下のようになる。
初期状態T0では、X=4、X’=4、Y=4である。タイミングT0〜T3までは上記通常動作で収束している場合と同様であり、X、X’は”4”、”5”を繰り返し、Yは一定値”4”となっている。
しかし、タイミングT4においては、
X’が”5”→”4”へ1段階下がっても、温度による抵抗値上昇(レプリカ抵抗4の抵抗値上昇)により、n1電位<n2電位のままとなり、
UPDOWN=”L”が出力され、
Xは”4”→”3”へ1段階下がる。
一方、|X−Y|=1≦1であるため、監視回路13の出力Z=Y=4となる。
タイミングT5では、X’に前状態のX(=3)、Yに前状態のZ(=4)が代入される。
X’=3では、
n1>n2なので、
UPDOWN=”H”となり、
X=4となる。
一方、|X−Y|=0≦1なので、監視回路13の出力Z=Y=4となる。
タイミングT6ではX’に前状態のX(=3)、Yに前状態のZ(=4)が代入される。
X’=3では、
n1>n2なので、
UPDOWN=”H”となり、
X=4となる。
一方、|X−Y|=0≦1なので、監視回路13の出力Z=Y=4となる。
タイミングT7〜T8はT5〜T6と同じ状態が繰り返される。
タイミングT9では、X’に前状態のX(=3)、Yに前状態のZ(=4)が代入される。
しかし、X’が”4”→”3”へ1段階下がっても、温度による抵抗値上昇により、n1<n2のままとなり、UPDOWN=”L”が出力され、Xは”3”→”2”へ1段階下がる。
一方、X−Y=−2≦−2
なので、監視回路13の出力Z=X+1=3となる。
タイミングT10では、X’に前状態のX(=2)、Yに前状態のZ(=3)が代入される。
X’=2では、
n1>n2
なので、
UPDOWN=”H”となり、
X=3となる。
一方、|X−Y|=0≦1なので、監視回路13の出力Z=Y=3となる。
温度が上昇して抵抗値が上がるような場合、この一連動作の繰り返しが行なわれる。つまり、温度上昇によってLSIの抵抗値が高くなった場合でも、それに合わせて、自動的に抵抗コードを下げ(低い設定として)、自動的に新たな最適値へ収束することができる。
同様に温度が下がり、LSIの抵抗値が低くなったとしても、それに合わせて自動的に抵抗コードを上げ(高い設定として)、自動的に新たな最適値へ収束することができる。
<異常に遷移した場合の自己復帰>
図7(A)、(B)は、被調整抵抗制御信号保持回路12の内部状態が外来ノイズなどの影響で、異常値に変化してしまった場合の自己復帰動作のタイミングチャートと状態遷移をそれぞれ示す図である。
初期状態T0では、X=4、X’=4、Y=4である。
タイミングT0〜T3までは、上記通常動作で収束している場合と同様であり、X、X’は”4”、”5”を繰り返し、Yは一定値”4”となっている。
しかし、タイミングT4において、外来ノイズによる誤動作でYが”4”→”9”(異常値)に遷移したとする。X、X’は正常に動作しているので、X’に前状態のX(=5)が代入される。
X’=5では、
n1<n2なので、
UPDOWN=”L”となり、
X=4となる。
さらに、
X−Y=−5≦−2
なので、監視回路13の出力Z=X+1=5となる。
次のタイミングT5では、
X’に前状態のX(=4)、
Yに前状態のZ(=5)
が代入される。
X’=4では、
n1>n2なので、
UPDOWN=”H”となり、
X=5となる。
このとき、
|X−Y|=0≦1
なので、監視回路13の出力Z=Y=5となる。
タイミングT6では、
X’に前状態のX(=5)、
Yに前状態のZ(=5)
が代入される。
X’=5では、
n1<n2なので、
UPDOWN=”L”となり、X=4となる。
一方、|X−Y|=1≦1なので、監視回路13の出力Z=Y=5となる。
タイミングT7は、T5と同じ状態となるので、T7以降は、T5〜T6が繰り返される。
結局、Yが異常な値に遷移しても、時間とともに、X±1の範囲内の一定値で安定する。
監視回路13が被調整抵抗制御信号保持回路12の状態を常に観測する構成としたことにより、このような自己復帰動作が可能となっている。
上記した例は、YがXよりも大きい異常値へ遷移した場合であるが、逆に、Xよりも小さい異常値へ遷移した場合も同様であり、このとき、最終的には、Y=4で安定することになる。
<実施例2>
次に、本発明の第2の実施例を説明する。前記した実施例1では、図3の監視回路13において、例えばX=7(最大値)、X’=7(最大値)、Y=6とする。このとき、UPDOWN=”H”が来ても、セレクタ113は、X’(=7)を選択しXとして出力するため、Xは7のまま変化しない。
|X−Y|=1≦1なので、Z=Y=6より、次タイミングにおいても、Y=6のままで、Y=7になることはない。同様に、Y=0になることもない(ただし、リセットまたはセットした場合を除く)。
つまり、設定可能な抵抗コード範囲(端から端まで)を有効に利用していないので、本実施例においては、抵抗制御回路を、図8に示すような構成として、解決している。
図8において、監視回路13の制御が、図3と相違している。
例えば、X=7、Y=6として、UPDOWN=”H”が来ても、X=7のままである。監視回路13の動作を示す真理値表において、Y<Xなので、Z=X=7となる。従って、次クロックタイミングでY=7になる。
同様に、X=0、Y=1の場合は、X<Yなので、次クロックタイミングで、Y=0となる。つまり設定可能な抵抗コード範囲(端から端まで)を有効に利用することができる。
<実施例3>
上記実施例1、2においては、常に、Y=X±1以内に収まるように制御をしているが、何らかのノイズ、コンパレータの性能などにより、レプリカ抵抗制御カウンタ11の出力が揺れる状況では、±2以内に収まるように、監視回路13での監視範囲を変更することも可能である。図9は、本発明の第3の実施例の構成を示す図である。本実施例では、監視回路13の動作(真理値表)を、図9のように変更している。
|X−Y|≦2のとき、Z=Yに設定される。
X−Y≧3のとき、Z=X−2、
X−Y≦−3のとき、Z=X+2
に設定される。
図10は、本実施例の動作例を説明するタイミングチャートである。図10には、レプリカ抵抗制御カウンタ11(状態X)と被調整抵抗制御信号Yの時間推移の一例が示されている。これを応用して、一般に監視回路の範囲を、|X−Y|≦Nとすることも可能である。マイナス側:2(X−Y≧2)、プラス側:1(X−Y≦−1)というように、正負で異なる範囲とすることも可能である。
<実施例4>
図11は、本発明の第4の実施例の構成を示す図である。本実施例は、被調整抵抗制御信号側にオフセットをつけた場合の構成を示したものである。例えば被調整抵抗から端子パッドまでのレイアウト配線抵抗が大きい場合、これを調整する抵抗コードがレプリカ抵抗への設定コードと同程度であると、端子パッドから観測した被調整抵抗値は所望の抵抗値よりも大きくなってしまう。
そこで、図11に示すように、加算器16にて、被調整抵抗制御信号保持回路12の出力Yに任意のオフセットを加算し、コード変換回路15に入力する。
例えばオフセットが−1の場合は、Y’=Y−1を、コード変換回路15へ送出する。このようにすると、収束状態での被調整抵抗値が、1段階低めに設定されるため、配線抵抗などの差分をキャンセルすることができる。
<実施例5>
図12は、本発明の第5の実施例の構成を示す図である。本実施例は、被調整抵抗制御信号側にオフセットをつける場合の構成を示したものである。シフト回路17は、コード変換回路15の出力コードYをシフトしてY’を出力する。
本実施例は、図11に示した前記実施例4とは、オフセットを付加する箇所が相違している。得られる効果は、前記実施例4と同じである。
図12において、コード変換回路15の出力コードであるサーモメータコードを1ビット右へシフト(例えば”0000111”→”0000011”)すれば、抵抗値が下がるし、同様に、左方向へシフトすれば抵抗値を上げることができる。
<実施例6>
電源ノイズが大きい場合や、コンパレータ入力比較電位が完全に同電位となった場合、UPDOWN信号が安定せず、図13(1)に示すようにチャタリングを発生する可能性がある。クロックの立ち上がりタイミングにおいて、図13(1)に示すように、UPDOWNが安定していないと、レプリカ抵抗制御カウンタ11内のフリップフロップ114において、セットアップ/ホールド・エラー(セットアップタイム、ホールドタイムの条件を満たさず、データのサンプルが確実に行われない)を起こす可能性があり、次のカウンタ状態はどのようになるのか分からない。このような場合は、コンパレータ2(図1参照)の遅延が大きい場合にも起こり得る。
本発明の第6の実施例では、かかる問題への対策を講じたものである。図14は、本発明の第6の実施例の構成を示す図である。本実施例は、上記不具合を回避する。UPDOWN信号を2つのフリップフロップ115、116でクロック信号に同期化させる。フリップフロップ115、116はUPDOWN信号のリタイミング回路として機能する。この場合、UPDOWN信号には約2クロック分のレイテンシが加わることになるので、3クロック以上に1度の割合でカウンタ11を更新する必要がある。
3クロック以上に1度の割合でのカウンタ更新を行なうには、図14のように2ビットカウンタ18を接続し、カウンタ11の更新を、4クロックに一度とすればよい。2ビットカウンタ18は、クロックで駆動され、その出力は、フリップフロップ114の出力とセレクタ113の出力を選択するセレクタ117の選択制御信号として入力される。セレクタ117は、2ビットカウンタ18の出力が1のときは、セレクタ113の出力を選択してフリップフロップ114に出力し、2ビットカウンタ18の出力が0のときは、フリップフロップ114の出力を選択してフリップフロップ114に出力する。また、2ビットカウンタ18の出力は、フリップフロップ121の出力YとZを選択するセレクタ122の選択制御信号として入力される。セレクタ122は、2ビットカウンタ18の出力が1のときは、Zを選択してフリップフロップ121に出力し、2ビットカウンタ18の出力が0のときは、フリップフロップ121の出力Yを選択してフリップフロップ121に出力する。
図15は、本実施例の動作の一例を示すタイミングチャートである。図15には、クロック、2ビットカウンタ、レプリカ抵抗制御信号、UPDOWN、UPDWON(フリップフロップ115、116による同期化後)の信号波形が示されている。
同期化後のUPDOWN信号(フリップフロップ116の出力)は、約2クロック分遅れるので、4クロックごとにカウンタ11を更新することができる。
<実施例7>
図16は、本発明の第7の実施例の構成を示す図である。図16に示すように、本実施例においては、図15の前記実施例6の2ビットカウンタ18の代わりに、クロック信号を入力とする4分周回路19を備え、4分周回路19からの多相クロックを用いて、UPDOWN信号を同期化する。4分周回路19は、フリップフロップ191、192と、フリップフロップ192の出力を反転した信号をフリップフロップ191に入力するインバータ193を備えている。インバータ193の出力はフリップフロップ115に入力され、フリップフロップ191の出力はフリップフロップ116に入力される。
図17は、本実施例の動作を示すタイミングチャートである。同期化後のUPDOWN信号は、約3クロック分遅れるので、4クロックごとにカウンタを更新することができる。分周クロック(カウンタ動作クロック)は、図16のフリップフロップ192の出力である。インバータ193の出力(フリップフロップ192の出力、すなわちカウンタ動作クロックの反転信号)は初段のフリップフロップ116に入力される。フリップフロップ191の出力は、2段目のフリップフロップ116に入力され、その立ち上がりエッジは、初段のフリップフロップ116に入力される分周クロックから1クロック遅れる。
<実施例8>
図18は、本発明の第8の実施例の構成を示す図である。本実施例では、コンパレータ2にヒステリシス特性を持たせている。これにより、ノイズや比較電圧(n1、 n2)が同電位となった場合のUPDOWN不安定を抑えることができる。他の構成は図3と同一であるため説明は省略する。
<実施例9>
図19は、本発明の第9の実施例の構成を示す図である。本実施例では、レプリカ抵抗4をVSS側、被調整抵抗5をVDD側に接続する構成も可能である。図19では、レプリカ抵抗4と被調整抵抗(終端抵抗)5が接続する電源を、図1の構成と入れ替えた例である。
<実施例10>
図20は、本発明の第10の実施例の構成を示す図である。図20に示すように、抵抗比較部1を、関連技術(図27)と同様に構成して、レプリカ抵抗4と外付抵抗3で分圧した電位(n1)を定電圧(REFV)と比較する構成とすることも可能である。
上記実施例の作用効果を説明する。
図27、図28を参照して説明した関連技術の平均化回路を用いた場合よりも、小規模の回路で構成することができる。
レプリカ抵抗制御カウンタの状態変化が一定範囲内であれば、被調整抵抗への設定コードが変化しないようにすることが可能である。
一定範囲は、監視回路にて設定し、±Nや、+2、−1といった任意範囲に拡張可能である。
温度などにより抵抗値が変化しても、新たな最適値へ自動的に収束することが可能である。
ノイズなどの影響により、被調整抵抗制御信号保持回路の状態が異常値となっても、正常な状態へ自己復帰が可能である。
終端抵抗とレプリカ抵抗に決まった誤差(例えば配線抵抗による誤差)がある場合は、コード変換回路にオフセットをつけることが可能である。
なお、上記の特許文献1の開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
本発明の第1の実施例の構成を示す図である。 本発明の第1の実施例の動作を説明する図である。 本発明の第1の実施例における抵抗制御回路の構成を示す図である。 本発明の第1の実施例におけるコード変換回路の動作を説明する図である。 本発明の第1の実施例における通常動作のタイミングチャートを示す図である。 本発明の第1の実施例において温度が上昇した場合のタイミングチャートを示す図である。 本発明の第1の実施例における自己復帰動作のタイミングチャートを示す図である。 本発明の第2の実施例における抵抗制御回路の構成を示す図である。 本発明の第3の実施例において監視回路で許容する範囲を±2とした場合の抵抗制御回路構成を示す図である。 本発明の第3の実施例において監視回路で許容する範囲を±2とした場合のタイミングチャート例を示す図である。 本発明の第4の実施例において抵抗設定コードにオフセットをつける場合の回路の構成例1を示す図である。 本発明の第5の実施例において抵抗設定コードにオフセットをつける場合の回路の構成例2を示す図である。 本発明の第5の実施例においてUPDOWN信号が不安定な場合のタイミングチャートを示す図である。 本発明の第6の実施例においてUPDOWN信号をクロックへ同期化した抵抗制御回路の構成を示す図である。 本発明の第6の実施例のタイミングチャートを示す図である。 本発明の第7の実施例においてUPDOWN信号をクロックへ同期化した抵抗制御回路構成2を示す図である。 本発明の第7の実施例のタイミングチャートを示す図である。 本発明の第8の実施例においてヒステリシスコンパレータを使用したインピーダンス調整回路を示す図である。 本発明の第9の実施例の構成を示す図である。 本発明の第10の実施例における抵抗比較部の構成例を示す図である。 本発明の実施例で用いられる可変抵抗の構成例を示す図である。 本発明の実施例で用いられる可変抵抗の構成例を示す図である。 本発明の実施例で用いられる可変抵抗の構成例を示す図である。 本発明の実施例で用いられる可変抵抗の構成例を示す図である。 本発明の実施例で用いられる可変抵抗の構成例を示す図である。 本発明の実施例で用いられる可変抵抗の構成例を示す図である。 関連技術のインピーダンス調整回路の構成を示す図である。 図27の平均化回路の構成を示す図である。 図27のアップダウンカウンタ動作例(2状態の繰り返しで収束しているとき)を示す図である。 図29に示したアップダウンカウンタ動作における平均化回路の出力を示す図である。 図27のアップダウンカウンタ動作例(3状態の繰り返しで収束しているとき)を示す図である。 図31に示したアップダウンカウンタ動作における平均化回路の出力を示す図である。 図27のアップダウンカウンタ動作例(3状態を不規則に変化しているとき)を示す図である。 図33に示したアップダウンカウンタ動作における平均化回路の出力を示す図である。
符号の説明
1 抵抗比較部
2 コンパレータ
3 外付抵抗
4 レプリカ抵抗
5 被調整抵抗
6 定電流源
10 抵抗制御回路
11 レプリカ抵抗制御カウンタ
12 被調整抵抗制御信号保持部
13 監視回路
14、15 コード変換回路
16 加算器
17 シフト回路
18 2ビットカウンタ
19 4分周回路
111 オーバーフロー及びアンダーフロー判定器
112 加算器
113 セレクタ
114 フリップフロップ
115、116 フリップフロップ
117 セレクタ
121、122、191、192 フリップフロップ
193 インバータ
131、136 比較回路
132 インクリメンタ
133 デクリメンタ
134、135 セレクタ
121 フリップフロップ
1011 レプリカ抵抗
1011a 分圧電圧
1012 外付抵抗
1013 コンパレータ
1014 アップダウンカウンタ
1015 コード変換回路
1016 平均化回路
1016、1016、1016、1016、101651 同期化回路
101621、101622、101623 マルチプレクサ
1017 コード変換回路
1018 基準電圧端子
1019 クロック端子

Claims (15)

  1. 第1の抵抗と被調整抵抗とを比較し前記被調整抵抗が所望の抵抗値になるように調整するインピーダンス調整回路であって、
    前記第1の抵抗と、前記被調整抵抗のレプリカをなすレプリカ抵抗の抵抗値の大小を比較するコンパレータと、
    前記コンパレータでの比較結果に基づき、カウント値をアップ又はダウンさせ、前記レプリカ抵抗の抵抗値を可変制御する制御信号を出力するレプリカ抵抗制御カウンタと、
    被調整抵抗の抵抗値を可変制御する制御信号を保持する被調整抵抗制御信号保持回路と、
    前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を入力し、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が予め定められた所定範囲内にあるときは、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を前記被調整抵抗制御信号保持回路に与える監視回路と、
    を備えている、ことを特徴とするインピーダンス調整回路。
  2. 前記監視回路は、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が予め定められた所定範囲外のときは、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力の差に応じて、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態に所定値減算又は加算した値を、前記被調整抵抗制御信号保持回路に出力する、ことを特徴とする請求項1記載のインピーダンス調整回路。
  3. 前記監視回路は、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力の差が、予め定められた第1の値以上である場合、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態を1つ減算する減算器と、
    前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態が前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力の差が予め定められた第2の値より小である場合、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態を1つ加算する加算器と、
    前記減算器と前記加算器の出力を受け、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が、前記第1の値以上の場合、前記減算器の出力を選択し、前記第1の値よりも小の場合、前記加算器の出力を選択出力する第1のセレクタと
    前記第1のセレクタと前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力とを受け、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力との値の差が、前記所定範囲内にあるときは、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を選択出力し、前記所定範囲から外れる場合、前記第1のセレクタの出力を選択し、前記被調整抵抗制御信号保持回路に出力する、第2のセレクタと、
    を備えている、ことを特徴とする請求項1又は2記載のインピーダンス調整回路。
  4. 前記レプリカ抵抗制御カウンタは、
    オーバーフロー及びアンダーフローを判定する判定器と、
    加算器と、
    セレクタと、
    保持回路と、
    を備え、
    前記加算器は、前記コンパレータでの比較結果が、第1の値のとき−1を加算し、第2の値のとき+1を加算し、
    前記セレクタは、前記加算器と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力とを受け、前記判定器での判定結果を受け、前記加算器の結果がオーバーフロー又はアンダーフローのときは、前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力を選択し、それ以外は、前記加算器の出力を選択し、
    前記被調整抵抗制御信号保持回路は前記セレクタの出力を入力して保持する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  5. 前記第1の抵抗と前記レプリカ抵抗とにそれぞれ電流を流す電流源を備え、
    前記コンパレータは、前記第1の抵抗の端子電圧と、前記レプリカ抵抗の端子電圧とを比較する、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  6. 前記第1の抵抗は、前記半導体装置に外付される外付抵抗である、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  7. 前記監視回路は、前記コンパレータでの比較結果と、前記レプリカ抵抗制御カウンタの状態と前記被調整抵抗制御信号保持回路の出力の大小関係と、前記監視回路から前記被調整抵抗制御信号保持回路に入力として与える状態と、に関して予め定められた対応式に基づき、前記被調整抵抗制御信号保持回路への入力を供給する、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  8. 前記被調整抵抗制御信号保持回路から出力される、前記被調整抵抗の抵抗値を可変する制御信号に対して所定のオフセットを付加する回路と、
    前記オフセットが付加された信号をコード変換するコード変換回路と、
    を備え、前記コード変換回路の出力が前記被調整抵抗に供給される、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  9. 前記被調整抵抗制御信号保持回路から出力される、前記被調整抵抗の抵抗値を可変する制御信号を受けコードの変換を行うコード変換回路と、
    前記コード変換回路の出力を所定ビットシフトするシフト回路と、
    を備え、前記シフト回路の出力が前記被調整抵抗に供給される、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  10. 前記レプリカ抵抗制御カウンタが、前記コンパレータから出力される比較結果を受け、タイミング調整して出力する同期化回路を備え、
    前記同期化回路でのタイミング調整に対応させて、前記レプリカ抵抗制御カウンタのカウント動作を所定クロックサイクル毎に行うように制御する回路を備えている、ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  11. 前記同期化回路が、クロック信号を共通に入力し縦続接続された複数段のフリップフロップを備え、
    前記レプリカ抵抗制御カウンタのカウント動作を所定クロックサイクル毎に行うように制御する回路として、前記クロック信号をカウントし、前記複数段のフリップフロップの遅延に対応させて、前記レプリカ抵抗制御カウンタのカウント動作させる信号を出力する所定ビットのカウンタを備えている、ことを特徴とする請求項10記載のインピーダンス調整回路。
  12. 前記レプリカ抵抗制御カウンタが、前記コンパレータから出力される比較結果を受け、タイミング調整して出力する同期化回路を備え、
    クロック信号を分周し位相が異なる分周クロック信号を生成する分周回路をさらに備え、
    前記分周回路からの位相が異なる分周クロック信号が、前記同期化回路を構成する、縦続接続された複数段のフリップフロップにそれぞれ供給される、ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  13. 前記コンパレータが所定のヒステリシス特性を有する、ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  14. 前記コンパレータは、前記第1の抵抗の端子電圧と前記レプリカ抵抗の端子電圧を比較するかわりに、前記レプリカ抵抗と前記第1の抵抗で分圧した電圧と所定の定電圧とを比較する、ことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路。
  15. 請求項1乃至14のいずれか1項に記載のインピーダンス調整回路を備えた半導体装置。
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