JP4993446B2 - ウエハ保持用粘着シート - Google Patents
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Description
本発明の目的は、転写汚染が少なく、さらに強度、柔軟性と易剥離性を両立した半導体の生産性を向上させる優れたウエハ保持用粘着シートを提供することにある。
さらに、本発明は、粘着シート全体の放射線重合性化合物の含有量が、粘着層のアクリルポリマー100重量部に対して、20〜150重量部である前記のウエハ保持用粘着シートを提供する。
本発明に用いる多層構造重合体粒子は、乳化重合法、懸濁重合法、溶液重合法などの公知の重合法を用いることができ、例えば、特開2004−79916号公報に挙げられた方法で作成することができる。また、本発明の熱可塑性樹脂も、用いる樹脂に応じて既存の方法により作成することが可能である。例えば、アクリル樹脂であれば、溶液重合法、塊状重合法、乳化重合法等の既知の重合方法に従って製造することができる。また、市販のアクリル樹脂を入手することも可能であり、例えば、(株)クラレ製「パラペット」などが入手可能である。
次に、得られた多層構造重合体粒子と熱可塑性樹脂から樹脂シートを作成する。シートは、溶融押出法、溶液流延法、カレンダー法などの既存の製膜方法を用いて作成することができる。例えば、多層構造重合体粒子と熱可塑性樹脂、および、必要に応じて、安定剤、可塑剤や滑剤などを、バンバリーミキサーやミキシングロールまたは1軸や2軸の押出機で混練してポリマーを得、カレンダー法やTダイ法、チューブ法などを用いてシート化する。
本発明の中間層は、中間層として用いる樹脂の種類によって様々な製造方法を用いることが可能であり、既存の重合方法、溶融押出法、溶液流延法、カレンダー法などの既存の製膜方法を用いて作成することができる。また、基材フィルム等の上にコーティングすることによって作成することも可能である。さらに、市販のフィルムを用いることも可能である。また、放射線重合による方法を用いてもよい。放射線重合は、1種または2種以上の(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマーと光重合開始剤、必要に応じて、粘度調整のための(メタ)アクリルオリゴマーと混合した溶液を、離型処理された透過性のシート間に層を成すように設けた後、光反応により硬化させフィルム状とする方法であり、たとえば、特開平9−253964に記載されている方法である。
中間層を基材層に積層する方法としては、直接基材フィルム上にコーティングしてもよいし、別のフィルム上にコーティングして形成した中間層を貼り合わせる、転写法を用いてもよい。さらに、共押出、押出ラミネート、サーマルラミネート、ドライラミネート、溶液キャスト等の一般公知の手法を用いることも可能である。
例えば、中間層として、アクリル樹脂を用いる場合は、アクリル樹脂は、溶液重合法、塊状重合法、乳化重合法等の既知の重合方法に従って製造することができるが、フィルムへの塗工の容易さの観点などからは、例えば、溶液重合を用いることができる。主たるモノマー成分、共重合モノマー成分を、所定量、トルエンなどの溶媒に溶解・共重合させ、さらに必要に応じて、架橋剤、可塑剤を添加して、アクリル樹脂ポリマー溶液が得られる。ポリマーのシート化は、基材フィルムに直接コーティングした後、脱溶媒して中間層を形成しても良いし、離型フィルムなどの上に中間層を形成したのち、基材フィルムに転写させることによって中間層を形成しても良い。
本発明の粘着層は、粘着剤組成物を中間層上に直接コーティングする方法または上述の転写法により設けることができる。例えば、粘着層が放射線重合性のアクリル系粘着剤である場合は、粘着剤組成物は溶液重合法、塊状重合法、乳化重合法等の既知の重合方法に従って製造することができるが、フィルムへの塗工の容易さの観点などからは、例えば、溶液重合を用いることができる。上記同様、主たるモノマー成分、共重合モノマー成分を、所定量、トルエンなどの溶媒に溶解させ、共重合させた後、必要に応じて、放射線重合化合物、架橋剤、光重合開始剤を加えて、粘着剤組成物の溶液が得られる。その後は直接コーティング、転写法により粘着層が形成され、粘着シートが得られる。なお、離型フィルム上に粘着層を形成し、中間層の表面に貼付することによって、離型フィルム付きの粘着シートを直接得ることも可能である。
以下に、本願で用いられる測定方法および効果の評価方法について例示する。
粘着シートを、少なくとも、50℃、35%RHの環境下で2週間処理した後、測定に用いた。
GPC分析(トーソー社製、装置名「HLC−8120 GPC」)を用いて、「基材層中の放射線反応性オリゴマー量」および「粘着シート全体の放射線反応性オリゴマー量」の定量を行った。なお、分析する化合物の特定には、NMR(Varian社製、装置名「UNITY−INOVA−400」、観測周波数:100MHz、測定温度:室温)を用いた。
粘着シートより、基材層を凍結トリミングにてサンプル採取(約10mg)した後、0.45μmのメンブレンフィルターで濾過、溶媒(THF)を用いて低分子量体を抽出(約12時間放置)し、抽出物中の上記で特定した化合物の量を定量した。サンプル中の上記化合物量より、基材層中には放射線反応性オリゴマーが均一に存在するとして、単位面積あたりの基材層中の放射線反応性オリゴマー量を算出した。
次に、粘着シートからサンプル採取(約10mg)した。上記と同様にして、サンプル中の特定の化合物の量を定量し、同単位面積あたりの粘着シート全体の放射線反応性オリゴマー量を算出した。
上記の「基材層中の放射線反応性オリゴマー量」および「粘着シート全体の放射線反応性オリゴマー量」を用い、下記式により移行量(%)を算出した。
移行量(%)=「基材層中の放射線反応性オリゴマー量」/「粘着シート全体の放射線反応性オリゴマー量」×100(%)
シリコーン表面処理を施したPETフィルムに、中間層樹脂をキャストし、その後剥離して、サンプル(5mmΦ、厚さ2mm)を作成した。レオメトリック社製ARESを用いて、下記の条件に従って、粘弾性測定を行い、貯蔵弾性率の10%減少点の温度をもってガラス転移温度とした。
装置 : レオメトリック社製 ARES
周波数 : 1Hz
プレート径 : 7.9mmφ(パラレルプレート)
歪み : 0.1%(23℃)
サンプル厚み : 3mm
中間層樹脂の固形分について、下記の条件にて測定を行い、「TSK標準ポリスチレン」換算値として算出した。
GPC装置:TOSOH社製HLC−8120GPC
カラム:TSKgel SuperHM−H/H4000/H3000/H2000
カラムサイズ:6.0mmI.D. × 150mm
溶離液:THF
流量:0.6ml/min
検出器:RI
カラム温度:40℃
粘着シートを、30トン加熱プレス(テスター産業(株)製、「SA−301」)を用いて、75℃、2時間、10MPaの条件で加熱プレスした。
上記処理後、以下の条件で紫外線照射を行った後、引張試験機を用いて、JIS K 6854に準拠して、下記の条件で剥離試験を行い、粘着力を測定した。
(剥離試験条件)
温度:23℃
湿度:60%RH
剥離角度:90°
剥離速度:300mm/分
測定被着体:シリコンミラーウエハ(信越化学工業(株)製)
サンプルサイズ:測定長さ150mm(接着部分長さについて)×幅20mm
試験回数:5回
(UV照射条件)
光源 :高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:ウシオ社製、紫外線照度計「UT−101」)
照射時間:20秒
製膜後より、30℃、30%RHの雰囲気で、10日間保管した粘着シートを、シリコンウエハ(信越化学工業(株)製、8インチ シリコンミラーウエハ)に貼合せ、以下の条件でダイシングを行い、その後以下の条件にて紫外線を照射し、チップを粘着シートよりピックアップした。
100個のサンプルについて、ピックアップ成功率(%)を求め、100%の場合はピックアップ性良好、100%未満であればピックアップ性不良と判断した。
(ダイシング条件)
ダイシング装置:ディスコ社製 DFD−651
ダイシング速度:80mm/sec
ダイシングブレード:ディスコ社製 27HECC
ダイシングブレード回転数:40000rpm
ダイシング切り込み深さ(テープ表面より):30μm
基板カットサイズ:2mm×2mm
カットモード:ダウンカット
(UV照射条件)
光源 :高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:ウシオ社製、紫外線照度計「UT−101」)
照射時間:20秒
(ピックアップ条件)
ダイボンダー:(株)新川製「SPA−300」
エキスパンド量:3mm
ピックアップ高さ:75μm
ピン数:1本
ピン保持時間:10msec
コレットサイズ:1×1mm
上記(5)でピックアップされたチップ(サンプル数:50個)を、光学顕微鏡(倍率×50)を用いて、チップ側面側から観察し、チップエッジの欠けの大きさと数量を測定し、以下の基準で判断した。なお、チップ断面の「欠けの最大高さ」をもって「欠け大きさ」とし、光学顕微鏡の測長機能を使用して測定した。
欠けの大きさが50μm以下の場合(全てのチッピングが50μm以下)はチッピング性良好(○)、欠けの大きさが50μmを超える場合(50μmを超えるチッピングが1個以上)はチッピング性不良(×)と判断した。
JIS B 7509に準拠して測定した。
(基材層)
多層構造重合体粒子は、内層のゴム成分としてアクリル酸エステルと共重合可能な単量体成分の共重合体、外層としてメタクリル酸エステルと共重合可能な単量体成分の共重合体である2層構造の粒子を用いた。なお、平均粒径は80nm、内層と外層の質量比は内層/外層=30/70であった。
また、熱可塑性樹脂として、メチルメタクリレートとメチルアクリレートの共重合体(クラレ(株)製、商品名「パラペット」)を用いた。
上記熱可塑性樹脂100重量部と多層構造重合体粒子40重量部(熱可塑性樹脂に対して)を、40℃、48時間真空乾燥した後、200℃に加熱した押出機を用いて、シート状に押出し、厚み150μmの基材層を作成した。基材層(フィルム)の弾性率は60MPa、破断伸度は650%、破断時の引張強度は縦横(長手、幅)方向それぞれ30N/10mmであった。
(中間層)
メチルメタクリレート98重量部、アクリル酸2重量部を、常法にて共重合させることにより、重量平均分子量80万のアクリル系ポリマーを得た。さらに、エポキシ系架橋剤(三菱瓦斯化学(株)製「テトラッドC」)をアクリル系ポリマー100重量部に対して0.5重量部配合して、得られたポリマー溶液を基材層に塗布・乾燥して、基材層上に、厚さ5μmの中間層を形成した。なお、中間層樹脂のガラス転移温度は45℃であった。
(粘着層)
メチルアクリレート50重量部、2−エチルヘキシルアクリレート20重量部、アクリル酸5重量部を、常法にて共重合させることにより、重量平均分子量100万のアクリル系ポリマーを得た。このポリマー100重量部に対して、放射線重合化合物として、UV硬化型ウレタンアクリレートオリゴマー(日本合成化学工業(株)製、「紫光 UV−1700B」:重量平均分子量2000)を60重量部、光重合開始剤として、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン(チバ・スペシャリティー・ケミカルズ(株)製、商品名「イルガキュア651」、光波長365nmにおけるモル吸光係数150モル-1・cm-1、長波長側の最大吸収波長400nm)3重量部、架橋剤として、メラミン系架橋剤(大日本インキ(株)製、商品名「スーパーベッカミン SJ−920」)を2重量部を加えて、放射線反応性粘着剤溶液を調製した。これを、中間層上に塗布・乾燥して、厚さが10μmの粘着層を形成し、ウエハ保持用粘着シートを得た。
得られた粘着シートは、表1に示すように、本発明の移行量の範囲を満たし、経時での易剥離性の低下が少なく、ピックアップ性、チッピング性が共に優れた粘着シートであった。
中間層を設けず、基材層上に直接粘着層を設けた以外は、実施例1と全く同様にして、粘着シートを得た。
得られた粘着シートは、表1に示すように、本発明の移行量の範囲を満たしておらず、熱履歴を受けた後に放射線照射後の易剥離性発現の効果が小さくなり、ピックアップ性の劣る粘着シートであった。
中間層として、厚さ10μmのポリオレフィンフィルム(住友化学(株)製、商品名「エクセレン」)を用い、基材層上に加熱ラミネート処理により設けた以外は、実施例1と全く同様にして、粘着シートを得た。
得られた粘着シートは、表1に示すように、チッピング性の劣る粘着シートであった。
2 基材層
3 中間層
4 粘着層
5 離型フィルム
Claims (4)
- 熱可塑性樹脂と多層構造重合体粒子とからなる基材層、アクリル樹脂からなる厚みが0.5〜15μmの中間層、放射線硬化型の粘着層の少なくとも3層を有する粘着シートであって、
前記熱可塑性樹脂がアクリル樹脂であり、前記多層構造重合体粒子が、アクリル酸エステルを単量体成分として含む共重合体からなる内層部と、メタクリル酸エステルを単量体成分として含む共重合体からなる最外層を有しており、
中間層が、エポキシ系架橋剤を、中間層のアクリルポリマー100重量部に対して、0.1〜20重量部含み、
50℃で2週間放置した後の、分子量1000〜30000である2〜15官能の化合物の基材層への移行量が50%以下であることを特徴とするウエハ保持用粘着シート。 - 中間層が、20℃以上のガラス転移温度(Tg)を有するアクリル樹脂を主成分として含有する請求項1に記載のウエハ保持用粘着シート。
- 粘着層が、アクリル系粘着剤を用いた粘着層である請求項1または2に記載のウエハ保持用粘着シート。
- 粘着シート全体の放射線重合性化合物の含有量が、粘着層のアクリルポリマー100重量部に対して、20〜150重量部である請求項1〜3の何れかの項に記載のウエハ保持用粘着シート。
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