JP4960767B2 - 変位センサ - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態となる変位センサは、図1に示すように、変位検出用コイル1と、導電体2と、発振回路3と、発振周期計測回路4と、二乗回路5と、温度補償回路6と、信号処理回路7とを主な構成要素として備える。本実施形態では、発振周期計測回路4,二乗回路5,温度補償回路6,及び信号処理回路7は回路要素によってハードウェア的に構成されているが、各回路の機能をコンピュータプログラムにより記述し、このコンピュータプログラムをマイクロコンピュータ等の演算処理装置に実行させることによりソフトウェア的に構成してもよい。
このような構成を有する変位センサは、以下に示すように動作することにより導電体2の変位量を検出する。すなわち始めに発振回路3が、変位検出用コイル1のインダクタンス(L)に対応した周波数(1/Tres)を有する発振信号を出力する。変位検出用コイル1のインダクタンスは変位検出用コイル1の軸方向に対する導電体2の変位(挿入)量に応じて変化する。次に発振周期計測回路4が、発振回路3から出力された発振信号の周期(Tres)を計測し、計測された周期(Tres)に対応する信号を出力する。次に二乗回路5が、発振周期計測回路4から出力された信号の二乗値(Tres 2)を演算出力する。発振信号の周期(Tres)は2π(LC)1/2により表されるので、発振周期計測回路4から出力された信号の二乗値(Tres 2)は以下の数式1により記述される。発振信号の周期(Tres)の二乗値を演算出力することにより、インダクタンス(L)成分と容量(C)成分の平方根成分がなくなり、出力信号は変位体の変位に対し直線的な関係で変化する信号となる。
2:導電体
3:発振回路
4:発振周期計測回路
5:2乗回路
6:温度補償回路
7:信号処理回路
Claims (7)
- 筒状の変位検出用コイルと、
前記変位検出用コイルの径方向内側又は外側近傍に配置され、当該変位検出用コイルの軸方向に変位可能なように構成された導電体と、
前記変位検出用コイルのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を出力する発振回路と、
前記発振回路から出力された発振信号の周期に対応する信号を出力する発振周期計測部と、
前記発振周期計測部から出力された信号の二乗値を演算出力する二乗出力部と、
前記二乗出力部から出力された二乗値に所定の温度係数を有するオフセット量を加算することにより二乗値の温度変動を補償する温度補償部と、を備え、
前記発振回路は、発振信号の振幅を所定値に制限する振幅制限回路を備えることを特徴とする変位センサ。 - 請求項1に記載の変位センサにおいて、前記温度係数及び前記オフセット量の少なくとも一方はプログラマブルなパラメータであることを特徴とする変位センサ。
- 請求項1又は請求項2に記載の変位センサにおいて、前記温度補償部は、前記所定の温度係数を打ち消すように前記オフセット量が加算された二乗値に対し補正用の温度係数を与えることを特徴とする変位センサ。
- 請求項3に記載の変位センサにおいて、前記補正用の温度係数はプログラマブルなパラメータであることを特徴とする変位センサ。
- 請求項1乃至請求項4のうち、いずれか1項に記載の変位センサにおいて、前記変位検出用コイルの内側に非磁性体が配置されていることを特徴とする変位センサ。
- 請求項1乃至請求項5のうち、いずれか1項に記載の変位センサにおいて、前記変位検出用コイルの巻線が軸方向に分布状態を有することを特徴とする変位センサ。
- 請求項1乃至請求項6のうち、いずれか1項に記載の変位センサにおいて、前記変位検出用コイルと前記導電体は電磁波を遮蔽する磁気シールドにより覆われていることを特徴とする変位センサ。
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