JP4959306B2 - ガラス成形型 - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス成形型に関するものである。
従来、ガラス成形型としては、母材上に、拡散防止膜と離型膜とがこの順に被覆されたものが知られている。
例えば、特許文献1には、WCよりなる母材上に、スパッタ法により形成されたNb、Hf、Taなどよりなる拡散防止膜と、スパッタ法により形成されたIr−Pt合金、Ir−Re合金などよりなる離型膜とがこの順に被覆されたガラス成形型が開示されている。
特開2002−60239号公報(実施例など)
しかしながら、従来知られるガラス成形型は、ガラス成形物の製造時に拡散防止膜が剥離するなど、耐久性が低いといった問題があった。そのため、型寿命が短く、実際の生産に用い難かった。
また、一旦、拡散防止膜が剥離すると、母材成分の拡散を防止できなくなる。そのため、母材成分によりガラス成形物が汚染されやすくなる。また、ガラスと成形型とが融着しやすくなり、成形が困難になる。
このように、従来のガラス成形型は、その耐久性が低いことに起因して、種々の問題が発生しやすかった。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、従来よりも耐久性に優れたガラス成形型を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明に係るガラス成形型は、型基材部表面に、Au層を介して、Rh層が積層されており、前記Au層の厚みが0.01〜0.1μmの範囲内にあり、前記型基材部の材質がWC系の超硬合金であり、前記Rh層の表面に、Ir−Re層がさらに積層されていることを要旨とする。
この際、上記Au層の結晶粒径は1〜1000nmの範囲内にあると良い。また、上記Rh層の結晶粒径は1〜500nmの範囲内にあると良い。
また、上記Au層および/またはRh層は、めっきにより形成されていると良い。
また、上記Ir−Re層は、めっきにより形成されていると良い。
また、本発明に係るガラス成形物の製造方法は、上記ガラス成形型を用いて硼珪酸ガラスを成形する工程を有することを要旨とする。
本発明に係るガラス成形型は、型基材部表面に、Au層を介して、Rh層が積層されており、上記Au層の厚みが0.01〜0.1μmの範囲内にあり、前記型基材部の材質がWC系の超硬合金であり、前記Rh層の表面に、Ir−Re層がさらに積層されている。
ここで、Au層は、主に、型基材部とRh層とを結合するボンド層として機能する。また、Rh層は、主に、型基材部成分およびAu層成分の拡散防止層として機能する。
上記Au層の存在により、Rh層が剥離し難いので、従来のガラス成形型に比較して耐久性に優れる。そのため、本発明に係るガラス成形型によれば、型の長寿命化を図ることができる。
また、Rh層が剥離し難いので、型基材部成分によりガラス成形物が汚染され難い。加えて、Rh層より下層の成分の拡散を長期に亘って防止できるので、ガラスと成形型とが融着し難く、生産性も向上する。
この際、上記Au層および/またはRh層が、めっきにより形成されている場合には、めっき条件を適宜選択することにより型表面を平坦化しやすい。そのため、表面に凹凸の少ないガラス成形物を得やすくなる。
また、上記Rh層の表面に、Ir含有層がさらに積層されている場合、Ir含有層が主に離型層として機能する。そのため、ガラス成形物が離型されやすい。
とりわけ、上記Ir含有層が、Ir−Re層である場合には、耐久性を向上させやすくなる。
また、上記Ir含有層がめっきにより形成されている場合には、上記と同様に表面に凹凸の少ないガラス成形物を得やすくなる。
また、本発明に係るガラス成形物の製造方法は、上記ガラス成形型を用いて硼珪酸ガラスを成形する工程を有している。そのため、ガラス成形を行いやすいうえ、型寿命による型替回数も少なくすることができるなど、ガラス成形物の製造性に優れる。
以下、本実施形態に係るガラス成形型について詳細に説明する(以下、本実施形態に係るガラス成形型を「本成形型」ということがある。)。
初めに、本成形型の構成について説明する。図1に例示するように、本成形型10は、型基材部12と、Au層14と、Rh層16とを基本構成として有している。
型基材部12は、型本体をなす。型基材部12の表面には、通常、成形材料に所望形状を転写する転写面(図示されない)が形成されている。Au層14は、型基材部12とRh層16との間に介在し、両者を結合する機能を主に有している。Rh層16は、Au層14の表面に形成され、下層成分の拡散を防止する機能を主に有している。
本成形型において、Au層は、1層より形成されていても良いし、2層以上の分割層より形成されていても良い。また、Au層が分割形成されている場合、各分割層は、同じ組成からなっていても良いし、異なる組成からなっていても良い。これらについては、Rh層についても同様である。
本成形型において、Rh層は、基本的には、型基材部成分、Au層成分のうち、成形性に悪影響を与えたり、成形物に付着・混入するとその成形物の商品価値を低下させたりする少なくとも1つ以上の成分の拡散を防止可能であれば良い。
このような成分としては、具体的には、例えば、Ti、Cr、Fe、Co、Ni、Ta、Wなどを例示することができる。
本成形型において、上記型基材部の材質は、特に限定されるものではない。好ましくは、型基材部とAu層との間で十分な結合力を得るなどの観点から、例えば、JIS Z 2244に準拠して測定されるビッカース硬さHが、200〜2100の範囲内にあるものを好適に使用することができる。
上記型基材部の材質としては、具体的には、例えば、WC系の超硬合金、グラッシーカーボン、ステンレス鋼、Siおよびその複合体からなるセラミックスなどを例示することができる。このうち、好ましくは、耐久性、耐熱性などに優れる観点から、WC系の超硬合金、セラミックスなどである。
本成形型において、Au層の純度としては、機械的強度に優れるなどの観点から、2N(99%)以上であることが好ましく、より好ましくは3N(99.9%)以上であると良い。
また、Rh層の純度としては、拡散防止効果に優れるなどの観点から、2N(99%)以上であることが好ましく、より好ましくは3N(99.9%)以上であると良い。
本成形型において、Au層の厚みは、特定の範囲内にあると良い。Au層の厚みが過度に厚くなると、機械強度が低下する傾向などが見られ、Au層の厚みが過度に小さくなると、結合力が低下する傾向などが見られるからである。
Au層の厚みとしては、その好ましい上限値として、具体的には、例えば、0.1μm、0.05μm、0.03μmなどを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として、具体的には、例えば、0.01μmなどを例示することができる。
また、Rh層の厚みについても、特定の範囲内にあると良い。Rh層の厚みが過度に厚くなると、型表面の凹凸が大きくなり、良好な表面を有する成形物を得難くなる場合があり、Rh層の厚みが過度に薄くなると、拡散防止効果が低下するなどの傾向が見られるからである。
Rh層の厚みとしては、その好ましい上限値として、具体的には、例えば、1μm、0.5μmなどを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として、具体的には、例えば、0.2μm、0.3μmなどを例示することができる。
本成形型において、上記Au層の結晶粒径は、特定の範囲にあると良い。Au層の結晶粒径が過度に大きくなると、機械強度が低下する傾向などが見られ、Au層の結晶粒径が過度に小さくなると、結晶粒の数が多くなり過ぎ、層中の空隙部分が多くなって脆くなる傾向などが見られるからである。
Au層の結晶粒径としては、その好ましい上限値として、具体的には、例えば、1000nm、500nm、100nmなどを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として、具体的には、例えば、1nm、5nm、10nm、50nmなどを例示することができる。
また、Rh層の結晶粒径についても、特定の範囲内にあると良い。Rh層の結晶粒径が過度に大きくなると、機械強度が低下する傾向などが見られ、Rh層の結晶粒径が過度に小さくなると、結晶粒の数が多くなり過ぎ、層中の空隙部分が多くなって脆くなる傾向などが見られるからである。
Rh層の結晶粒径としては、その好ましい上限値として、具体的には、例えば、500nm、120nm、110nm、100nm、90nmなどを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として、具体的には、例えば、1nm、5nm、7.5nm、10nm、12.5nm、15nmなどを例示することができる。
上記では、本成形型が、最表層としてRh層を有する場合について説明した。これ以外にも、本成形型は、図2に示すように、Rh層16の表面に、さらにIr含有層18を有していても良い。
Ir含有層は、ガラス成形物との離型を促す機能を主として有している。Ir含有層を積層するか否かは、例えば、ガラス材料の種類、成形温度などの成形条件などを考慮し、必要に応じて、適宜決定することができる。
つまり、成形条件などによっては、Rh層までの積層であっても離型に支障がない場合がある。このような場合には、Ir含有層をあえて積層する必要はない。一方、例えば、450℃以上の高温で成形する場合などには、ガラス成形物が離型し難いことがある。このような場合には、Ir含有層をさらに積層すると良い。
上記Ir含有層は、1層より形成されていても良いし、2層以上の分割層より形成されていても良い。また、Ir含有層が分割形成されている場合、各分割層は、同じ組成からなっていても良いし、異なる組成からなっていても良い。
上記Ir含有層は、Irおよび/またはIr合金を含有している。Ir合金を含有している場合、Ir以外の合金元素としては、具体的には、例えば、Pt、Pd、Rh、Ru、Reなどを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。
また、Ir含有層は、離型性を発揮できれば、Irおよび/またはIr合金以外にも、他の金属および/または合金を含有していても良い。他の金属および/または合金としては、具体的には、例えば、Pt、Pt合金、Pd、Pd合金などを例示することができる。これらは1種または2種以上含まれていても良い。
上記Ir含有層としては、とりわけ離型性に優れるなどの観点から、具体的には、例えば、Ir層、Ir−Pt層、Ir−Re層などを例示することができる。好ましくは、耐久性を向上させやすいなどの観点から、Ir−Re層である。
また、Ir含有層の厚みは、特に限定されるものではなく、離型性などを考慮して適宜選択すれば良い。
Ir含有層の厚みとしては、その好ましい上限値として、具体的には、例えば、1μm、0.5μmなどを例示することができる。一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として、具体的には、例えば、0.1μm、0.2μmなどを例示することができる。
なお、本成形型は、上記Ir含有層に代えて、あるいは、上記Ir含有層と併用して、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)層を有していても良い。
本成形型により成形されるガラス材料は、特に限定されるものではなく、何れのガラス材料であっても良い。具体的には、例えば、高温成形が必要な硼珪酸ガラスなどを例示することができる。
本成形型により成形されるガラス成形物としては、具体的には、例えば、ガラスレンズなどの光学部材、光通信分野などで用いられるガラス基板、素子など、各種の用途のものを例示することができる。
また、上記ガラス成形物は、本成形型を用いて、上記ガラス材料を、例えば、プレス成形、射出成形などの各種成形法により成形する工程を経れば、得ることができる。
次に、本成形型の製造方法(以下、「本製造方法」ということがある。)の一例について説明する。
本製造方法は、少なくとも、型基材部表面にAu層を積層する工程と、Au層の表面にRh層を積層する工程とを有している。
なお、型基材部表面にAu層を積層する前に、脱脂処理、不働態被膜の除去、洗浄などの前処理を、必要に応じて行っても良い。
ここで、Au層、Rh層は、型基材部表面に種々の手法を用いて積層することができる。
Au層、Rh層の形成手法としては、具体的には、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、MBE法、レーザーアブレーションなどの物理的気相成長法(PVD)、熱CVD、プラズマCVDなどの化学的気相成長法(CVD)などといった気相法や、電解めっき、無電解めっきなどのめっき法、陽極酸化法、塗布法、ゾル−ゲル法などといった液相法などを例示することができる。なお、Au層、Rh層は、それぞれ同じ手法を用いて形成されていても良いし、それぞれ異なる手法を用いて形成されていても良い。
上記Au層および/またはRh層は、とりわけ、型表面を平坦化しやすい、気相法に比較して低コストであるなどの観点から、めっき法で形成すると良い。
図3は、例えば、気相法とめっき法とによりAu層を形成した場合における、表面の凹凸状態の差異を模式的に例示した図である。(a)は、Au層が未だ形成されていない場合、(b)は、気相法によりAu層を形成した場合、(c)は、めっき法によりAu層を形成した場合を示している。
(a)に示すように、Au層14を形成する前の型基材部12は、通常、相対的に大きな凹凸部22と、相対的に小さな凹凸部24とを表面に有していることが多い。相対的に大きな凹凸部22としては、例えば、成形型加工時に形成される加工マークなどを例示することができる。
これに対し、相対的に小さな凹凸部24としては、例えば、成形型加工時に脱落した粒子や、型基材部表面に存在する空孔(ポア)などを例示することができる。
型基材部12の表面が(a)の状態にある場合に、気相法によりAu層14を形成すると、(b)に示すように、相対的に小さな凹凸部24は平坦化されるが、相対的に大きな凹凸部22は平坦化され難い。
これに対して、めっき法によりAu層14を形成すると、(c)に示すように、相対的に小さな凹凸部24と、相対的に大きな凹凸部22との両方が平坦化されやすい。
そのため、表面に凹凸の少ない成形物を得やすくなる利点がある。この点は、Au層の表面にRh層を形成する場合、Rh層の表面にIr含有層を形成する場合などについても同様のことが言える。
めっき法を用いる場合、めっき液の種類、めっき電流密度、めっき時間、めっき浴温度、めっき浴中に添加する平坦性を付与する添加剤の種類や添加量などのめっき条件は適宜調節して行うことができる。
例えば、めっき電流密度、めっき時間は、めっき液の種類にもよるが、析出しためっき粒子の粗大化により機械強度が低下しないように、比較的高電流密度で短時間となるように選択すると良い。
Au層については、めっき電流密度の好ましい上限値として、具体的には、例えば、6、5A/dmなどを例示することができ、一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として、具体的には、例えば、0.1、0.2A/dmなどを例示することができる。
また、めっき時間は、めっき電流密度に合わせて適宜調整すれば良く、好ましくは、60秒以内、より好ましくは30秒以内、さらに好ましくは10秒以内で調整すると良い。
一方、Rh層については、めっき電流密度の好ましい上限値として、具体的には、例えば、6、5A/dmなどを例示することができ、一方、これら好ましい上限値と組み合わせ可能な好ましい下限値として、具体的には、例えば、0.1、0.2A/dmなどを例示することができる。
また、めっき時間は、めっき電流密度に合わせて適宜調整すれば良く、好ましくは、3分以内、より好ましくは、2分以内、さらに好ましくは、1分以内で調整すると良い。
Au層および/またはRh層の形成にめっき法を用いる場合、形成されためっき層に対して、アニール処理などを施しても良い。アニール処理を施した場合には、ピンホールなどに起因する成分拡散を効果的に防止することができる。
なお、本製造方法は、必要に応じて、さらに、Rh層の表面にIr含有層を積層する工程を有していても良い。この場合、Ir含有層は、上記Au層、Rh層と同様の種々の手法を用いて積層することができる。好ましくは、めっき法によると良い。
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。
1.型基材部の準備およびその表面への前処理
型基材部として、Coを12重量%含有するタングステンカーバイト粉末が焼結されてなる焼結型を準備した。なお、型基材部には、1000ppm以下のFe、Ni、Crが不純物成分として含有されていた。
次に、所定形状に焼結された型基材部の表面を、NaOH水溶液により陽極電解脱脂し、表面に存在する有機不純物を溶解した。次いで、EDTA(70g/L)と過酸化水素水(35重量%)とを含む60ml/Lの溶液中に、型基材部を浸漬し、型基材部表面に存在する不働態被膜を除去した。更に、型基材部の表面を塩酸で洗浄し、その後、水洗した。
2.ボンド層の形成
2.1 形成手法1
金ストライクめっき浴(日本エレクトロプレイティング・エンジニヤース(株)製、「ニュートロネクス ストライク」)を使用し、めっき電流密度3A/dm、めっき浴温度50℃の条件で、上記前処理を施した型基材部の表面に、AuストライクめっきよりなるAu層を形成した。
この際、後述する表1に示すように、実施例1、3、4、5については、めっき時間をそれぞれ25秒とした。
2.2 形成手法2
上記型基材部の表面に、スパッタリング法により、Au層を形成した。
2.3 形成手法3
上記型基材部の表面に、スパッタリング法により、Nb層を形成した。
3.拡散防止層の形成
3.1 形成手法1
Rh(SOを80g/L、硫酸を180g/L含有するめっき液を使用し、めっき電流密度1.3A/dm、めっき時間2.5分間、めっき浴温度45℃の条件で、上記ボンド層表面に、RhめっきよりなるRh層を形成した。
4.離型層の形成
4.1 形成手法1
(NHIrClを8g/L、硫酸を0.8g/L含有するめっき液を使用し、めっき電流密度1.0A/dm、めっき時間5分間、めっき浴温度50℃の条件で、上記拡散防止層表面に、IrめっきよりなるをIr層を形成した。
4.2 形成手法2
上記拡散防止層表面に、スパッタリング法により、Ir−Pt合金(Ir:50wt%、Pt:50wt%)よりなるIr−Pt層を形成した。
4.3 形成手法3
上記拡散防止層表面に、スパッタリング法により、Ir−Re合金(Ir:50wt%、Re:50wt%)よりなるIr−Re層を形成した。
5.ボンド層および拡散防止層の硬度測定
銅板上に形成した約1μmのボンド層および拡散防止層のビッカース硬さを測定((JIS Z 2244に準拠)することにより、各層の硬度を測定した。この際、硬度測定装置には、ナノテック(株)製の「ナノハードネステスターNHT」を用いた。なお、型基材部のビッカース硬さについても測定(JIS Z 2244に準拠)したところ、2040(Hv)であった。
6.ボンド層、拡散防止層および離型層の厚み測定
集束イオンビーム(FIB)装置(FEI社製、「FIB200」)を用いてエッチングを行った後、SIM(走査イオン顕微鏡)観察を行うことにより、各層の厚みを測定した。なお、後述する表1中の厚みは、試料中心部で任意の箇所5点について測定した厚みの平均値である。
7.ボンド層および拡散防止層の平均粒径測定
上記集束イオンビーム(FIB)装置を用いてエッチングを行い、SIM観察を行うことにより、ボンド層および拡散防止層の平均粒径を測定した。なお、後述する表1中の平均粒径は、試料中心部で任意の粒子10個について測定した粒径の平均値である。
8.耐久性評価
後述する表1に示した実施例および比較例に係るガラス成形型につき、耐久性の評価を行った。すなわち、Ar雰囲気中800℃にて各ガラス成形型を1時間保持し、その後100℃まで放冷するサイクルを、20回実施した。
次いで、JIS D0202−1988に規定される碁盤目テープ試験に準拠し、各ガラス成形型の最表面にセロハンテープ(ニチバン(株)製、「CT24」)を密着させた後、当該テープを剥離した。
この際、100マス中に占める剥離したマス目の数が、50マスよりも少ない場合を合格とした。なお、後述する表2中、「X/100」(但し、Xは0〜100の整数)は、100マス中、Xマスにおいて、機能層が剥離したことを示している。
9.拡散防止効果の評価
後述する表1に示した実施例および比較例に係るガラス成形型につき、拡散防止効果の評価を行った。すなわち、Ar雰囲気中800℃にて各成形型を100時間保持し、その後室温まで放冷した。
次いで、オージェ分光法により、下層から拡散する可能性のある成分である、W、Co、Fe、Ni、Cr、Auが、表層(拡散防止層または離型層)の表面に確認されるか否かを調査した。なお、成分検出装置には、アルバック・ファイ(株)製の「走査型オージェ電子分光分析装置PH1700」を用いた。
この際、表層の構成成分以外のものが確認されなかった場合、または、表層の構成成分以外のものが15atom%以下であった場合を、下層成分の拡散を防止できているとして合格とした。一方、表層の構成成分以外のものが15atom%を越えており、下層成分が拡散していると認められたものを不合格とした。
表1に、実施例および比較例に係るガラス成形型につき、型基材部表面上に形成した各層構成、ビッカース硬さ、厚み、平均粒径などをまとめたものを示す。また、表2に、実施例および比較例に係るガラス成形型の評価結果をまとめたものを示す。なお、表2では、上記耐久性および拡散防止効果の両評価がともに合格のものを、総合評価で合格としている。
Figure 0004959306
Figure 0004959306
表1および表2によれば、以下のことが分かる。すなわち、型基材部表面に、Au層を介在させずにRh層を積層した比較例1、Au層の代わりにNb層を用いた比較例2に係るガラス成形型は、Rh層、Ir含有層の剥離が認められ、耐久性が極めて低かった。
また、Rh層の無い比較例3に係るガラス成形型は、下層の成分拡散を十分に抑制できていなかった。
これらに対し、実施例に係るガラス成形型は、型基材表面にAu層を介してRh層が積層されている。そのため、上記Au層の存在により、Rh層が剥離し難いので、耐久性に優れていることが確認できた。
また、実施例に係るガラス成形型は、Rh層により下層成分の拡散を効果的に防止できていることが確認できた。
10.ガラス成形物の製造性評価
次に、実施例4に係るガラス成形型および実施例5に係るガラス成形型を用いてガラス材料を実際にプレス成形することにより、ガラス成形物の製造性を評価した。
すなわち、ガラス素子真空成形装置(東芝機械(株)製、「GMP−207HV」)に、評価対象となるガラス成形型を取り付け、ガラス材料(オハラ(株)製、「光学ガラスS−BSL7」)を700℃でプレス成形し、200℃に冷却した後、ガラスを取り出すという成形サイクルでガラス成形物を製造した。
そして、成形したガラス成形物を、当該型から正常に取り出せなくなるまでのサイクル数を測定した。
その結果、実施例4に係るガラス成形型は、上記サイクル数が100回であった。これに対し、実施例5に係るガラス成形型は、上記サイクル数が200回以上と2倍以上であった。
このことから、離型層であるIr含有層として、Ir−Re層を選択した方が、耐久性、特に、高温にける耐久性をより向上させることが可能であることが確認できた。
以上、本実施形態、実施例に係る成形型について説明したが、本発明は上記実施形態、実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能である。
本実施形態に係るガラス成形型の基本構成の一例を示した断面図である。 図1のガラス成形型において、さらに、Ir含有層を積層した場合の構成を示した断面図である。 気相法とめっき法とによりAu層を形成した場合における、表面の凹凸状態の差異を模式的に例示した図である。
符号の説明
10 ガラス成形型
12 型基材部
14 Au層
16 Rh層
18 Ir含有層

Claims (6)

  1. 型基材部表面に、Au層を介して、Rh層が積層されており、
    前記Au層の厚みが0.01〜0.1μmの範囲内にあり、
    前記型基材部の材質がWC系の超硬合金であり、
    前記Rh層の表面に、Ir−Re層がさらに積層されているガラス成形型。
  2. 前記Au層の結晶粒径が1〜1000nmの範囲内にある請求項1に記載のガラス成形型。
  3. 前記Rh層の結晶粒径が1〜500nmの範囲内にある請求項1または2に記載のガラス成形型。
  4. 前記Au層および/または前記Rh層は、めっきにより形成されている請求項1から3のいずれか1項に記載のガラス成形型。
  5. 前記Ir−Re層は、めっきにより形成されている請求項1から4のいずれか1項に記載のガラス成形型。
  6. 請求項1からの何れかに記載のガラス成形型を用いて硼珪酸ガラスを成形する工程を有するガラス成形物の製造方法。
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