JP6335812B2 - 成形用金型、およびその製造方法 - Google Patents
成形用金型、およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6335812B2 JP6335812B2 JP2015027131A JP2015027131A JP6335812B2 JP 6335812 B2 JP6335812 B2 JP 6335812B2 JP 2015027131 A JP2015027131 A JP 2015027131A JP 2015027131 A JP2015027131 A JP 2015027131A JP 6335812 B2 JP6335812 B2 JP 6335812B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- antifouling
- mold
- hydrophobic
- hydrophilic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Description
成形用金型は、良好な離型性、成形の繰り返し耐久性の向上を目的として、金型表面に離型膜が形成されることが一般的である。
例えば、金型の材料として、タングステンカーバイド(WC)を主成分とする超硬合金、タンタルカーバイド(TaC)、チタンカーバイド(TiC)、クロムカーバイド(CrC)、アルミナ(AL2O3)を主成分とするサーメット、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、タングステン(W)、チタン(Ti)、ステンレス(SUS)、シリコンカーバイド(SiC)等で作製され、また離型膜として白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ルテニウム(Ru)、レニウム(Re)、タングステン(W)およびタンタル(Ta)等の貴金属、遷移金属を用いて成形用金型離型性の向上を図っている。
特に、成形温度が高いガラス成形用金型の場合、成形用金型の加熱温度が500℃以上であるため、離型膜の劣化が早く、離型膜の寿命が数十ショットから数百ショットと繰り返し耐久性が低いという問題点があった。
また、500℃以上の高温成形により、成形用金型に汚れが付着した場合、金型表面に焼き付きが発生し、成形用金型の離型性、面精度が低下する問題点もあった。
前記バリア膜上に湿式めっきで離型膜を形成する離型膜形成工程と、
前記離型膜に乾式成膜で防汚膜を形成する防汚膜形成工程と、を備えている。
また、成形用金型への汚れの付着、発生が低減するため、成形時の成形用金型表面への焼き付きが従来よりも低減する。
図1はこの発明の実施の形態1の成形用金型1を示す断面図、図2は図1のAの部位の要部拡大図、図3は図1の成形用金型1の表面を示す要部拡大図である。
この成形用金型1は、タングステンカーバイド(WC)を主成分とする金型母材2と、この金型母材2の表面に形成されたバリア膜3と、このバリア膜3の表面に形成された離型膜4と、この離型膜4上に海島状に形成された防汚膜5と、を備えている。防汚膜5は、疎水性防汚膜51および親水性防汚膜52で構成されている。
金型母材2は、例えば、タングステンカーバイド(WC)を主成分とし、バインダとして他の軽金属元素を含む超硬合金によって形成される。金型母材2に含まれる他の軽金属元素としては、例えば、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)を含む。金型母材2は、成形に耐えうる強度を有する。
バリア膜3は、金型母材2に含まれる軽金属成分の離型膜4への拡散が抑制できる一般的に使用されている材料でよく、例えば、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)のうちの少なくとも一種の貴金属、遷移金属元素とニッケル(Ni)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、金(Au)およびモリブデン(Mo)のうちの少なくとも一種の遷移金属元素との合金、または単一金属の単層または複層で形成される。
このように、バリア膜3は、複数の金属種から選択できるため、使用できる成形品を構成する成形材料の幅が広がる。
バリア膜3は、金型母材2に接触して、耐熱性に優れた膜を形成する。そして、バリア膜3は、金型母材2に含まれるバインダ成分を構成する軽金属元素や、主成分中の遊離金属成分であるタングステン(W)、タンタル(Ta)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)の拡散を防止する機能を果たしている。バリア膜3は、膜厚が、例えば0.05〜2μmであり、平均表面粗さRaが、例えば40nm以下で形成されている。
このように、離型膜4は、複数の金属種から選択できるため、使用できる成形品を構成する成形材料の幅が広がる。
ここで、成形材料がガラス材料の場合には、疎水性材料としては、フッ化イットリウムが最適であり、親水性材料としては、酸化イットリウムが最適である。
まず、所定の形状に加工された金型母材2を準備する。
次に、バリア膜3および離型膜4を形成する。バリア膜3と離型膜4はスパッタ、真空蒸着等の乾式成膜、または電気めっきによる湿式成膜により形成することができる。確実な密着力の確保のため、湿式成膜で形成することが好ましい。
まず、所定の形状に加工された金型母材2の脱脂処理を行い、金型母材2のタングステンカーバイド(WC)表面から有機異物等の表面汚染物を除去し、液ぬれ性を確保する。
次に、エッチング処理を行い、金型母材2のタングステンカーバイド(WC)表面から無機異物等の表面汚染物、酸化膜を除去し、活性な金属表面を露出させることで液ぬれ性を確保し、後のめっき工程で形成されるめっき膜と素地であるタングステンカーバイド(WC)との密着性を確保する。
例えば、液温25℃、電流密度10A/dm2、めっき時間30秒とすることで1μm程度のストライクニッケルめっき膜31を得ることができる。
次に、電気ニッケルめっき処理を行い、ストライクニッケルめっき膜31上に電気ニッケルめっき膜32を形成する。電気ニッケルめっき液は、従来から用いられているワット浴や市販品のめっき液が使用できる。ワット浴の液組成としては、例えば、硫酸ニッケル六水和物250g/L、塩化ニッケル六水和物を45g/L、ホウ酸40g/Lに純水を加え1Lに調整しためっき液が使用できる。めっき条件について、金型の電気ニッケルめっき液への浸漬、通電時間と液温は、所望の膜厚の電気ニッケルめっき膜32を得ることができるように、適宜設定することができる。
例えば、液温50℃、電流密度2A/dm2、めっき時間を2〜3分とすることで1μm程度の電気ニッケルめっき膜32を得ることができる。
例えば、液温60℃、電流密度0.5A/dm2、めっき時間を1分とすることで0.05〜0.1μm程度の電気金めっき膜33を得ることができる。
電気めっき液は、白金(Pt)めっき液としては、白金濃度を15〜25g/L、pHを11〜14に調整した液、パラジウムめっき液としては、パラジウム濃度を1〜5g/L、pHを8〜10に調整した液、イリジウムめっき液としては、イリジウム濃度を10〜20g/L、pHを2〜5に調整した液、ロジウムめっき液としては、ロジウム濃度を1〜10g/L、pHを0〜3に調整した液、ルテニウムめっき液としては、ルテニウム濃度を1〜5g/L、pHを0〜3に調整した液が使用できる。めっき条件について、金型の電気めっき液への浸漬、通電時間と液温は、所望の膜厚の電気めっき膜3を得ることができるように、適宜設定することができる。
防汚膜5は、疎水性と親水性の材料で構成されており、例えば、YF3等のフッ化物の疎水性材料、Y2O3等の親水性材料で形成される。
防汚膜5は、離型膜4の全面を覆っている構造ではなく、海島状に形成されている。防汚膜5はスパッタ、真空蒸着等の乾式成膜で形成する。
真空蒸着装置としては、電子ビーム蒸着装置を使用する。成膜用の材料を減圧状態に置き、電子ビームで加熱をすることにより蒸気圧を上げ、固体のまま気体にして蒸発をさせ、離型膜4上に防汚膜5を形成する。
初めに、前記離型膜4の電気めっき処理の後、純水洗工程により、めっき液残渣を除去し、乾燥させる。この時点でめっき膜厚により、所望の製品形状と異なる場合は、離型膜4の加工を実施し、所望の形状に再加工を実施する。乾燥後、離型膜4まで成膜した金型を真空蒸着装置に投入する。また併せて、疎水性の防汚膜材料(YF3)と親水性材料(Y2O3)も真空蒸着装置に投入し、真空状態とする。所定の真空度に到達後、電子ビームにより成膜材料にエネルギーを投入し、成膜を開始する。
始めに、親水性防汚膜52を形成する。例えば、親水性防汚膜52として酸化イットリウム(Y2O3)を使用する場合は、成膜レートを0.2〜2.0nmで膜厚として5〜10nm形成することで、幅が5〜10nmの島状に親水性防汚膜52を形成することができる。
次に、疎水性防汚膜51を形成する。例えば、疎水性防汚膜51としてフッ化イットリウム(YF3)を使用する場合は、成膜レートを0.2〜2.0nmで膜厚として5〜10nm形成することで、幅が5〜10nmの島状に疎水性防汚膜51を形成することができる。
このように防汚膜5を形成することで離型膜4を完全に被覆せずに、島状の親水性防汚膜52と島状の疎水性防汚膜51とが混在したハイブリッドな防汚膜5とすることが可能となる。
成形用金型1に付着する異物として、埃のような親水性物質、有機物、油煙のような疎水性物質がある。
上記に記載したとおり、形成した防汚膜5は、ナノオーダで島状に疎水性材料と親水性材料が混在した状態で形成されており、親水性の部分と疎水性の部分が付着する汚れよりも小さく分散した構造となっているため、親水性と疎水性のいずれの汚れも付着し難い。
特に、親水性防汚膜52および疎水性防汚膜51は、それぞれ膜厚が5〜10nm、幅が5〜10nmであり、また親水性防汚膜52と疎水性防汚膜51との間には、隙間がありその間隔は、100nm以下である場合には、親水性と疎水性のいずれの汚れも付着し難い効果が顕著である。
また、成形用金型1への汚れの付着、発生が低減するため、成形時の成形用金型1の表面への焼き付きが従来よりも低減し、成形用金型1の寿命を向上させることができる。
図4は、この発明の実施の形態2における成形用金型1、およびその製造方法を示した断面図である。
この実施の形態では、防汚膜5は、例えばYF3等のフッ化物の疎水性の材料で構成された疎水性防汚膜51である。防汚膜5は、離型膜4の全面を覆っている構造ではなく、実施の形態1と同様、海島状に形成されている。疎水性防汚膜51を島、離型膜4を海と表現すると、島状の疎水性防汚膜51は、5〜15nm、幅が5〜15nmで形成されており、島と島の間隔は100nm以下で形成されている。
他の構成は、実施の形態1の成形用金型1と同じである。
バリア膜3の形成から離型膜4までの形成に関しては、実施の形態1の成形用金型1の製造方法と同様である。
上記実施の形態1のものと異なる点は、防汚膜5の形成についてである。
実施の形態1のものと同様、疎水性防汚膜51は、スパッタ、真空蒸着等の乾式成膜で形成する。
実施の形態1のものと同様、真空蒸着装置を使用した成膜方法について説明する。初めに、離型膜4の電気めっき処理の後、純水洗工程により、めっき液残渣を除去し、乾燥させる。この時点でめっき膜厚により、所望の製品形状と異なる場合は、離型膜4の加工を実施し、所望の形状に再加工を実施する。
乾燥後、離型膜4まで成膜した半製品金型を真空蒸着装置に投入する。また併せて、疎水性防汚膜51の材料(YF3)も真空蒸着装置に投入し、真空状態とする。所定の真空度に到達後、電子ビームにより成膜材料にエネルギーを投入し、成膜を開始する。
疎水性防汚膜51としてフッ化イットリウム(YF3)を使用する場合は、成膜レートを0.2〜2.0nmで膜厚として5〜15nm形成することで、幅が5〜15nmの島状に疎水性防汚膜51を形成することができる。このように疎水水防汚膜52を形成することで離型膜4を完全に被覆せずに、島状の疎水性防汚膜51を離型膜4上に形成し、防汚膜5とすることが可能となる。
また、成形用金型1への親水性の汚れの付着、発生が低減するため、成形時の金型表面への焼き付きが従来よりも低減し、成形用金型1の寿命を向上させることができる。
図5は、この発明の実施の形態3における成形用金型1、およびその製造方法を示した断面図である。
この実施の形態3では、防汚膜5は、例えばY2O3等の親水性材料で構成された親水性防汚膜52である。防汚膜5は、離型膜4の全面を覆っている構造ではなく、実施の形態1のものと同様に、海島状に形成されている。親水性防汚膜52を島、離型膜4を海と表現すると、島状の親水性防汚膜52の膜厚は、5〜15nm、幅が5〜15nmで形成されており、島と島の間隔は100nm以下で形成されている。
他の構成は、実施の形態1の成形用金型1と同じである。
バリア膜3の形成から離型膜4までの形成に関しては、実施の形態1の成形用金型1の製造方法と同様である。
上記実施の形態1のものと異なる点は、防汚膜5の形成についてである。実施の形態1のものと同様、防汚膜5は、スパッタ、真空蒸着等の乾式成膜で形成する。
実施の形態1のものと同様に、真空蒸着装置を使用した成膜方法について説明する。初めに、離型膜4の電気めっき処理の後、純水洗工程により、めっき液残渣を除去し、乾燥させる。この時点でめっき膜厚により、所望の製品形状と異なる場合は、離型膜4の加工を実施し、所望の形状に再加工を実施する。乾燥後、離型膜4まで成膜した半製品金型を真空蒸着装置に投入する。また併せて、親水性防汚膜52の材料(Y2O3)も真空蒸着装置に投入し、真空状態とする。所定の真空度に到達後、電子ビームにより成膜材料にエネルギーを投入し、成膜を開始する。
親水性防汚膜52として酸化イットリウム(Y2O3)を使用する場合は、成膜レートを0.2〜2.0nmで膜厚として5〜15nm形成することで、幅が5〜15nmの島状に親水性防汚膜52を形成することができる。
このようにして防汚膜5を形成することで、離型膜4を完全に被覆せずに、島状の親水性防汚膜52を離型膜4上に形成して防汚膜5とすることが可能となる。
また、成形用金型1への疎水性の汚れの付着、発生が低減するため、成形時の成形用金型1の表面への焼き付きが従来よりも低減し、成形用金型1の寿命を向上させることができる。
図6は、この発明の実施の形態4における成形用金型1、およびその製造方法を示した断面図である。
この実施の形態では、防汚膜5は、疎水性の材料と親水性の材料で構成されており、例えば、YF3等のフッ化物の疎水性材料とY2O3等の親水性の材料で形成される。
防汚膜5は、離型膜4の全面を完全に覆っており、親水性防汚膜52上に形成された疎水性防汚膜51が海島状に形成されている。疎水性防汚膜51を島、親水性防汚膜52を海と表現すると、島状の疎水性防汚膜51の膜厚は5〜15nm、幅が5〜15nmで形成されており、島と島との間の隙間の間隔は100nm以下で形成されている。
他の構成は、実施の形態1の成形用金型1と同じである。
バリア膜3の形成から離型膜4までの形成に関しては、実施の形態1の成形用金型1の製造方法と同様である。
上記実施の形態1のものと異なる点は、防汚膜5の形成についてである。実施の形態1のものと同様、防汚膜5はスパッタ、真空蒸着等の乾式成膜で形成する。
実施の形態1のものと同様、真空蒸着装置を使用した成膜方法について説明する。初めに、離型膜4の電気めっき処理の後、純水洗工程により、めっき液残渣を除去し、乾燥させる。この時点でめっき膜厚により、所望の製品形状と異なる場合は、離型膜4の加工を実施し、所望の形状に再加工を実施する。
乾燥後、離型膜4まで成膜した半製品金型を真空蒸着装置に投入する。また併せて、疎水性防汚膜51の材料(YF3)と親水性防汚膜52の防汚材料(Y2O3)も真空蒸着装置に投入し、真空状態とする。所定の真空度に到達後、電子ビームにより成膜材料にエネルギーを投入し、成膜を開始する。
始めに、親水性防汚膜52を形成する。親水性防汚膜52として酸化イットリウム(Y2O3)を使用する場合は、成膜レートを0.2〜2.0nmで膜厚として50〜200nm形成する。
次に、疎水性防汚膜51を形成する。疎水性防汚膜51としてフッ化イットリウム(YF3)を使用する場合は、成膜レートを0.2〜2.0nmで膜厚として5〜15nm形成することで、幅が5〜15nmの島状に疎水性防汚膜51を形成することができる。
このような防汚膜5を形成することで、離型膜4を完全に被覆し、島状の疎水性防汚膜51を有する防汚膜5とすることが可能となる。
また、成形用金型1への親水性、疎水性の両方の汚れの付着、発生が低減するため、成形時の成形用金型1表面への焼き付きが従来よりも低減し、成形用金型1の寿命を向上させることができる。
また、この成形用金型1も、実施の形態4で示した成形用金型1の製造方法と同様の内容で製造され、図6に示した成形用金型1と同様の効果を得ることができる。
実施例1は上記に示した実施の形態1に基づくものである。
具体的には、成膜面がφ30mmであるガラス成形用金型1を、上記実施の形態1にて示した方法で脱脂処理を行った。脱脂処理工程においては、有機物除去のため、脱脂剤ELC−400((株)ワールドメタル製)を用いて、脱脂処理を実施し、その後、純水に上記成形用金型1を浸漬して1分間放置した後、取出した。
次に、上記実施の形態1に説明したエッチング処理に従い、エッチング処理を実施した。酸電解エッチング処理には、HS−55((株)ワールドメタル製)を、酸電解エッチング処理後の通常のエッチング処理にはHC−55((株)ワールドメタル製)を用いてエッチング処理を実施し、その後、純水に上記成形用金型1を浸漬して1分間放置した後取出した。
次に、上記実施の形態1において説明したストライクニッケルめっき、電気ニッケルめっき、電気金めっきを施し、膜厚1μmのストライクニッケルめっき膜と膜厚1μmの電気ニッケルめっきと厚さ0.05μmの電気金めっき膜を形成した。ストライクニッケルめっきにおいては、NI−STK((株)ワールドメタル製)を、電気ニッケルめっきにおいては、ワット浴を、電気金めっきにおいては、テンペレックス8400(EEJA(株))を用いて、実施の形態1に示した標準条件で処理した。
次に、実施の形態1で説明した乾式成膜によって、フッ化イットリウムと酸化イットリウムの海島構造を厚さ15nm以下で成膜した。成膜した結果を表面SEM観察により確認した後、成形試験を実施した。
実施例2は上記に示した実施の形態2に基づくものである。
上記実施例1と同様の成形用金型1を使用し、脱脂処理から電気白金めっきまで同様の処理を実施した。電気白金めっき後、実施の形態2で説明した乾式成膜によって、フッ化イットリウムの海島構造を厚さ15nm以下で成膜した。
実施例3は上記に示した実施の形態3に基づくものである。
上記実施例1、2と同様の成形用金型1を使用し、脱脂処理から電気白金めっきまで同様の処理を実施した。電気白金めっき後、実施の形態3で説明した乾式成膜によって、酸化イットリウムの海島構造を厚さ15nm以下で成膜した。
実施例4は上記に示した実施の形態4に基づくものである。
上記実施例1〜3と同様の成形用金型1を使用し、脱脂処理から電気白金めっきまで同様の処理を実施した。電気白金めっき後、実施の形態4で説明した乾式成膜によって、酸化イットリウムを100nm成膜した後、フッ化イットリウムの海島構造を厚さ15nm以下で成膜した。
比較例1は上記実施例1〜4と同様の成形用金型1を使用し、脱脂処理から電気白金めっきまで同様の処理を実施し、以後の防汚膜の形成工程がないものとした。
Claims (13)
- 金型母材と、この金型母材上に形成されたバリア膜と、このバリア膜上に形成された離型膜と、この離型膜上に形成された防汚膜と、を備え、前記防汚膜は、前記離型膜上に点在した、親水性防汚膜および疎水性防汚膜の少なくとも一方で構成されている成形用金型。
- 前記防汚膜は、前記親水性防汚膜および前記疎水性防汚膜であり、
前記親水性防汚膜および前記疎水性防汚膜は、それぞれ膜厚が5〜10nm、幅が5〜10nmであり、また前記親水性防汚膜と前記疎水性防汚膜との間の隙間の間隔は、100nm以下である請求項1に記載の成形用金型。 - 前記防汚膜は、前記疎水性防汚膜であり、
前記疎水性防汚膜は、膜厚が5〜15nm、幅が5〜15nmであり、隣接した前記疎水性防汚膜間の隙間の間隔は、100nm以下である請求項1に記載の成形用金型。 - 前記防汚膜は、前記親水性防汚膜であり、
前記親水性防汚膜は、膜厚が5〜15nm、幅が5〜15nmであり、隣接した前記親水性汚膜間の隙間の間隔は、100nm以下である請求項1に記載の成形用金型。 - 金型母材と、この金型母材上に形成されたバリア膜と、このバリア膜上に形成された離型膜と、この離型膜上に形成された防汚膜と、を備え、
前記防汚膜は、前記離型膜上の全面に形成された親水性防汚膜と、この親水性防汚膜上に点在した疎水性防汚膜とから構成されている成形用金型。 - 前記疎水性防汚膜は、膜厚が5〜10nm、幅が5〜10nmであり、隣接した前記疎水性防汚膜間の隙間の間隔は、100nm以下である請求項5に記載の成形用金型。
- 金型母材と、この金型母材上に形成されたバリア膜と、このバリア膜上に形成された離型膜と、この離型膜上に形成された防汚膜と、を備え、
前記防汚膜は、前記離型膜上の全面に形成された疎水性防汚膜と、この疎水性防汚膜上に点在した親水性防汚膜とから構成されている成形用金型。 - 前記親水性防汚膜は、膜厚が5〜10nm、幅が5〜10nmであり、隣接した前記親水性防汚膜間の隙間の間隔は、100nm以下である請求項7に記載の成形用金型。
- 前記疎水性防汚膜は、フッ化イットリウムで構成されている請求項1〜3、5〜8の何れか1項に記載の成形用金型。
- 前記親水性防汚膜は、酸化イットリウムで構成されている請求項1,2,4〜8の何れか1項に記載の成形用金型。
- 前記バリア膜は、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)のうちの少なくとも一種の貴金属、遷移金属元素とニッケル(Ni)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、金(Au)およびモリブデン(Mo)のうちの少なくとも一種の遷移金属元素との合金、または単一金属の単層または複層で構成されている請求項1〜10の何れか1項に記載の成形用金型。
- 前記離型膜は、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)の一つもしくは複数を組み合わせた合金からなる請求項1〜11の何れか1項に記載の成形用金型。
- 請求項1,5,7の何れか1項に記載の成形用金型の製造方法であって、
前記金型母材の表面に密着力と前記金型母材の成分の拡散抑制する前記バリア膜を湿式めっき法で形成するバリア膜形成工程と、
前記バリア膜上に湿式めっきで離型膜を形成する離型膜形成工程と、
前記離型膜に乾式成膜で前記防汚膜を形成する防汚膜形成工程と、を備えた成形用金型の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015027131A JP6335812B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 成形用金型、およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015027131A JP6335812B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 成形用金型、およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016150853A JP2016150853A (ja) | 2016-08-22 |
JP6335812B2 true JP6335812B2 (ja) | 2018-05-30 |
Family
ID=56695138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015027131A Expired - Fee Related JP6335812B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 成形用金型、およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6335812B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017165612A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | Towa株式会社 | 透光性材料、低密着性材料及び成形用部材 |
CN117377645A (zh) * | 2021-05-28 | 2024-01-09 | 京瓷株式会社 | 带膜构件 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4230492B2 (ja) * | 2006-04-11 | 2009-02-25 | Towa株式会社 | 低密着性材料、樹脂成形型及び防汚性材料 |
JP2009161402A (ja) * | 2008-01-08 | 2009-07-23 | Hitachi Maxell Ltd | 光学素子成形用金型および光学素子の製造方法 |
JP5709238B2 (ja) * | 2010-01-28 | 2015-04-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 離型膜を有する金型 |
-
2015
- 2015-02-16 JP JP2015027131A patent/JP6335812B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016150853A (ja) | 2016-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI429763B (zh) | Copper alloy for electronic materials and method for manufacturing the same | |
JP2010236091A (ja) | 耐食性導電部材とその製造方法及び燃料電池 | |
JP6335812B2 (ja) | 成形用金型、およびその製造方法 | |
JP4421557B2 (ja) | 樹脂成形用金型及び該樹脂成形用金型の製造方法 | |
JP4494155B2 (ja) | 金めっき構造体およびこの金めっき構造体からなる燃料電池用セパレーター | |
JP6794723B2 (ja) | 金属被膜の成膜方法 | |
TWI449810B (zh) | Electrical and electronic components for the use of composite materials and electrical and electronic components | |
JP2006176344A (ja) | 光学ガラス成形用金型及び光学ガラス素子 | |
JP2009096682A (ja) | 光学素子成形用金型の製造方法、加工方法、及び光学素子成形用金型 | |
TWI356853B (ja) | ||
JP2005272187A (ja) | 光学素子用の成形型及びその再生方法 | |
JP4959306B2 (ja) | ガラス成形型 | |
JP6681722B2 (ja) | 成形用金型、成形用金型の製造方法、および成形用金型の再生方法 | |
TW202302921A (zh) | 結構體及結構體的製造方法 | |
JP2011032557A (ja) | ステンレス基板への金めっきパターンの形成方法 | |
JP4922855B2 (ja) | ガラス成形型 | |
JP6639253B2 (ja) | 電鋳用マスク原版の機能部品、電鋳用マスク原版の機能部品の製造方法 | |
JP5376984B2 (ja) | ガラス成形用金型 | |
JP6767147B2 (ja) | 薄膜めっき用金属材料 | |
JP2006347800A (ja) | 光学素子成形用型 | |
JP4720731B2 (ja) | 成形型 | |
JP2008110902A (ja) | 光学素子成形用金型及びその製造方法 | |
TW201343969A (zh) | 蝕刻設備之反應槽裝置的上電極 | |
JP4347594B2 (ja) | 光学素子成形方法 | |
JP2007223846A (ja) | 成形型 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170330 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171219 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6335812 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |