JP4777748B2 - 水素分離体及びその製造方法 - Google Patents
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Description
多孔質基体として、外径30mm、厚さ3mm、表面の平均細孔径が0.2μmである円盤形状のα−アルミナ多孔質板を用意した。このα−アルミナ多孔質板の表面に、スパッタリング法によって窒化チタン(TiN)からなる厚み100nmの中間層とパラジウム(Pd)からなる厚み100nmの酸化防止層を成膜した。中間層を成膜したα−アルミナ多孔質板を純水で洗浄した後、活性化処理を行った。活性化処理は、α−アルミナ多孔質板を2価のパラジウム(Pd)イオンを含有する溶液中に浸漬した後、還元処理を行うことによって実施した。活性化処理を行ったα−アルミナ多孔質板を、パラジウム(Pd)塩、錯化剤、及び還元剤を含有する溶液中に浸漬することによって、中間層の表面に対してパラジウム(Pd)の無電解メッキを行うことにより、水素分離層を形成して水素分離体(参考例1)を得た。なお、形成されたパラジウム(Pd)からなる水素分離層の厚みは2μmであった。
α−アルミナ多孔質板の表面に、窒化チタン(TiN)に代えて、窒化ジルコニウム(ZrN)からなる厚み100nmの中間層をスパッタリング法によって成膜したこと以外は、前述の参考例1と同様にして水素分離体(参考例2)を得た。得られた水素分離体について、参考例1の場合と同様の熱処理を行い、ヘリウム(He)ガス漏洩量を測定した。ヘリウム(He)ガス漏洩量の変化を表1に示す。
α−アルミナ多孔質板の表面に、窒化チタン(TiN)に代えて、インジウム−スズ酸化物(ITO)からなる厚み100nmの中間層をスパッタリング法によって成膜し、酸化防止層を成膜せず、水素分離層を直接形成したこと以外は、前述の参考例1と同様にして水素分離体(実施例1)を得た。得られた水素分離体について、参考例1の場合と同様の熱処理を行い、ヘリウム(He)ガス漏洩量を測定した。ヘリウム(He)ガス漏洩量の変化を表1に示す。
α−アルミナ多孔質板の表面に、窒化チタン(TiN)からなる中間層とパラジウム(Pd)からなる酸化防止層を成膜せず、水素分離層を直接形成したこと以外は、前述の参考例1と同様にして水素分離体(比較例1)を得た。得られた水素分離体について、参考例1の場合と同様の熱処理を行い、ヘリウム(He)ガス漏洩量を測定した。ヘリウム(He)ガス漏洩量の変化を表1に示す。
Claims (10)
- その一の表面から他の表面まで連通する多数の細孔を有するセラミックスを主成分としてなる多孔質基体と、前記多孔質基体に配設された水素選択透過性金属からなる水素分離層とを備えた水素分離体であって、
前記水素分離層が、前記多孔質基体の前記一の表面に、電子伝導性セラミックスからなる中間層を介在させた状態で配設されてなり、
前記水素選択透過性金属が、パラジウム(Pd)又はパラジウム(Pd)を含有する合金であり、
前記電子伝導性セラミックスが、インジウム−スズ酸化物(In 2 O 3 ・Sn)、酸化亜鉛(ZnO)、及びチタン酸化物(TiO x (0<x<2))からなる群より選択される少なくとも一種である水素分離体。 - 前記セラミックスが、アルミナ、シリカ、シリカ−アルミナ、ムライト、コージェライト、及びジルコニアからなる群より選択される少なくとも一種である請求項1に記載の水素分離体。
- 前記水素分離層の厚みが、1〜5μmである請求項1又は2に記載の水素分離体。
- 前記中間層の表面に、不活性雰囲気下又は真空条件下で酸化防止層が更に配設され、前記酸化防止層を介した状態で前記水素分離層が配設されてなる請求項1〜3のいずれか一項に記載の水素分離体。
- 前記酸化防止層が、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、及び金(Au)からなる群より選択される少なくとも一種の金属からなる層である請求項4に記載の水素分離体。
- その一の表面から他の表面まで連通する多数の細孔を有するセラミックスを主成分としてなる多孔質基体と、前記多孔質基体に配設された水素選択透過性金属からなる水素分離層とを備えた水素分離体の製造方法であって、
前記多孔質基体の前記一の表面に、電子伝導性セラミックスからなる中間層を配設し、配設された前記中間層の表面に、前記水素分離層を配設することを含み、
前記水素選択透過性金属が、パラジウム(Pd)又はパラジウム(Pd)を含有する合金であり、
前記電子伝導性セラミックスが、インジウム−スズ酸化物(In 2 O 3 ・Sn)、酸化亜鉛(ZnO)、及びチタン酸化物(TiO x (0<x<2))からなる群より選択される少なくとも一種である水素分離体の製造方法。 - 前記セラミックスが、アルミナ、シリカ、シリカ−アルミナ、ムライト、コージェライト、及びジルコニアからなる群より選択される少なくとも一種である請求項6に記載の水素分離体の製造方法。
- 前記水素分離層の厚みが、1〜5μmである請求項6又は7に記載の水素分離体の製造方法。
- 前記中間層の表面に、不活性雰囲気下又は真空条件下で酸化防止層を更に配設し、前記酸化防止層を介した状態で前記水素分離層を配設する請求項6〜8のいずれか一項に記載の水素分離体の製造方法。
- 前記酸化防止層が、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、及び金(Au)からなる群より選択される少なくとも一種の金属からなる層である請求項9に記載の水素分離体の製造方法。
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