JP4951906B2 - ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Description
図3に示すように、このガラス母材の製造装置100では、シード棒101に支持された多孔質ガラス微粒子体102を熱処理するための炉心管103、炉心管103の外周にあって母材を加熱するためのヒータ104およびヒータ104の外周に設けられた断熱材105等を内包する炉体106が設けられている。炉心管103内および/または炉心管103外の炉体(真空容器)106内に不活性ガスを導入および排出する不活性ガス供給口107a、107bおよび不活性ガス排出口108a、108bが設けられており、不活性ガス排出口108a、108bには、自動弁111a、111bを介して真空ポンプ110a、110bが取り付けられている。また、炉体106の側壁は2重構造になっていて、冷却水を通して炉体106を冷却するための水冷ジャケット109が設けられている。なお、炉体106内の温度を測定するための温度センサ112が設けられている。
しかしながら、炉体106内に高温ガスが大量に残留している場合には、排気管に設けた水冷だけでは排気ガスを十分に冷却することができない可能性がある。このため、排気管や排気管に設けられているパッキン、あるいは自動弁111a、111bの弁座パッキン等が破損したり劣化したりして排気ラインにダメージを与える場合がある。
なお、炉体14内においては、ヒータ13の外側に断熱材15が設けられている。また、炉心管12内部にはガス供給管16aが接続されており、炉体14内部にはガス供給管16bが接続されている。
まず、多孔質ガラス微粒子体11を炉心管12に収容し、蓋14aを閉じて炉体14内部を密封する。真空ポンプ25により炉体14内部の空気を排気して真空状態(例えば20Pa程度)とするとともに、ヒータ13により800℃程度に加熱する(時間t1)。その後、ヒータ13により1200℃まで加熱するとともに、ガス供給管16a、16bから不活性ガス(例えば、窒素、ヘリウム)の供給を開始して(時間t2)、炉体14内部の圧力を10万Pa(略大気圧)まで上昇させる。このとき、不活性ガスの注入により温度が一旦下降するが、加熱しながら10万Paの状態を所定時間(例えば260分)維持して脱水を行い、炉体14内部の真空引きを開始する(時間t3)。
なお、太管20bによる排気を開始した後は温度を下げる必要がないので、例えば1200℃で維持し、排気が完了して真空状態となったら(時間t5)、再びヒータ13により1500℃まで加熱して、多孔質ガラス微粒子体11の透明化処理を行う。
例えば、炉心管12としては、カーボン製、石英製のいずれも用いることができる。炉心管12がカーボン製の場合は、カーボン筒を積み上げているので、炉体に対し内部のガスが透過できる。従って、炉体14の細管30a、太管30bの排気管のみを用いても、炉心管12内のガスが炉体14に透過することができ、炉体14内、炉心管12内のガスを排気できる。また、石英製の炉心管12を用いた場合は、炉体14に対し内部のガスが気密となるため、炉心管12内のガスを排気するために、細管20a、太管20bを用い、炉体14のガスを排気するために細管30a、太管30bを用いる。
また、前述した実施形態において、真空引きする排気ラインである細管20aおよび太管20bを、同じ1個の真空ポンプ25を用いて排気する場合について説明したが、各々別個の真空ポンプ25を用いて真空引きを行うようにすることもできる。
また、前述した製造動作における高温の排気ガスの吸引動作については、炉心管12に接続されている細管20aおよび太管20bを用いた場合について説明したが、炉体14内に接続されている細管30aおよび太管30bが設けられている場合には、細管20aおよび太管20bと同様に制御することができる。
11 多孔質ガラス微粒子体
12 炉心管
13 ヒータ(加熱手段)
14 炉体
20a 細管
20b 太管
21 熱電対
23 拡径排気管(大径の排気管)
25 真空ポンプ
Claims (4)
- 炉体に対し内部のガスを透過する炉心管および加熱手段を内部に含んでガスを密閉可能な炉体を有し、前記炉心管に多孔質ガラス微粒子体を収容し、前記多孔質ガラス微粒子体を前記加熱手段で加熱してガラス母材を製造するガラス母材の製造方法であって、
前記炉体内部のガスを排気するために2系統の排気管を設け、前記2系統の排気管の一方を金属製の口径が小さい内径10〜20mmの細管とし、他方を口径が大きい内径100〜150mmの太管とし、前記細管のみを用いて初期段階での排気を行うことを特徴とするガラス母材の製造方法。 - 炉体に対し内部のガスが気密な炉心管および加熱手段を内部に含んでガスを密閉可能な炉体を有し、前記炉心管に多孔質ガラス微粒子体を収容し、前記多孔質ガラス微粒子体を前記加熱手段で加熱してガラス母材を製造するガラス母材の製造方法であって、
前記炉体内部及び炉心管内部のガスを排気するためにそれぞれ2系統の排気管を設け、前記2系統の排気管の一方を金属製の口径が小さい内径10〜20mmの細管とし、他方を口径が大きい内径100〜150mmの太管とし、前記細管のみを用いて初期段階での排気を行うことを特徴とするガラス母材の製造方法。 - 前記細管によりガスの排気を開始した後、ガスの温度を前記細管の外表面に設けた熱電対の温度をもとに推定し、前記熱電対の温度が所定の温度まで降下してから、前記太管によりガスの排気を開始することを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス母材の製造方法。
- 前記細管を、この細管よりも大径の排気管を介して真空ポンプに接続して排気することを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス母材の製造方法。
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