JPH0985076A - 真空容器排気制御装置 - Google Patents
真空容器排気制御装置Info
- Publication number
- JPH0985076A JPH0985076A JP25063895A JP25063895A JPH0985076A JP H0985076 A JPH0985076 A JP H0985076A JP 25063895 A JP25063895 A JP 25063895A JP 25063895 A JP25063895 A JP 25063895A JP H0985076 A JPH0985076 A JP H0985076A
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- exhaust
- vacuum container
- valve
- pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空容器排気制御装置においてパーティクル
巻き上げを抑え、高スループットを実現することにあ
る。 【解決手段】 真空容器１と排気装置３を結ぶ排気ライ
ンに排気量の異なる複数の排気バルブ２−１，２−２，
２−３を並列に設置し、真空容器１の内部圧力を圧力検
出器５により検出し、この検出圧力信号７に応じてバル
ブ自動制御器８により上記排気バルブを切替える。その
切替制御は、排気開始初期の排気量の小さい排気バルブ
２−１から圧力信号７の低下にしたがって順次排気量の
大きい排気バルブ２−２，２−３と切替制御する。これ
により排気流量を急激に増大させることなく且つ排気流
量を低減させることなく排気制御できる。
巻き上げを抑え、高スループットを実現することにあ
る。 【解決手段】 真空容器１と排気装置３を結ぶ排気ライ
ンに排気量の異なる複数の排気バルブ２−１，２−２，
２−３を並列に設置し、真空容器１の内部圧力を圧力検
出器５により検出し、この検出圧力信号７に応じてバル
ブ自動制御器８により上記排気バルブを切替える。その
切替制御は、排気開始初期の排気量の小さい排気バルブ
２−１から圧力信号７の低下にしたがって順次排気量の
大きい排気バルブ２−２，２−３と切替制御する。これ
により排気流量を急激に増大させることなく且つ排気流
量を低減させることなく排気制御できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の真空排
気制御装置、特にロードロック室における真空容器排気
制御装置に関するものである。
気制御装置、特にロードロック室における真空容器排気
制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空容器の、例えば、ＬＣＤプラズマＣ
ＶＤ装置等の真空容器を真空排気する従来の真空容器排
気制御装置は、図３に示すような構成のものが用いられ
ている。
ＶＤ装置等の真空容器を真空排気する従来の真空容器排
気制御装置は、図３に示すような構成のものが用いられ
ている。
【０００３】真空容器１に排気装置３が接続され、その
間に排気バルブ２が挿入される。排気バルブ２はバルブ
駆動器４によって制御され、排気ラインの開閉を行な
う。真空容器１内の排気状態は圧力検出器５によって検
出される。
間に排気バルブ２が挿入される。排気バルブ２はバルブ
駆動器４によって制御され、排気ラインの開閉を行な
う。真空容器１内の排気状態は圧力検出器５によって検
出される。
【０００４】真空容器１の真空排気は、バルブ駆動器４
がバルブ駆動信号６によって排気バルブ２を開くことに
より排気装置３による排気が行なわれる。また、排気中
の真空容器１内の真空度は圧力検出器５によって検出さ
れ圧力信号７を出力する。
がバルブ駆動信号６によって排気バルブ２を開くことに
より排気装置３による排気が行なわれる。また、排気中
の真空容器１内の真空度は圧力検出器５によって検出さ
れ圧力信号７を出力する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような真空容器排
気制御装置における真空容器、特にロードロック室にお
いては、被処理物搬入、搬出の際に必ず初期状態から真
空排気動作が実行される。「ＲＵＮ」動作において高ス
ループットを実現するためには、大流量を真空容器１か
ら排気すればよいが、大流量で排気した場合、真空容器
１内のパーティクルを巻き上げ、被処理物に影響を与え
てしまう。また排気を小流量に絞って排気するとスルー
プットに影響を与える。
気制御装置における真空容器、特にロードロック室にお
いては、被処理物搬入、搬出の際に必ず初期状態から真
空排気動作が実行される。「ＲＵＮ」動作において高ス
ループットを実現するためには、大流量を真空容器１か
ら排気すればよいが、大流量で排気した場合、真空容器
１内のパーティクルを巻き上げ、被処理物に影響を与え
てしまう。また排気を小流量に絞って排気するとスルー
プットに影響を与える。
【０００６】本発明の目的は、このような点に鑑み、真
空容器、特にロードロック室において、真空容器排気時
にパーティクル巻き上げを抑えながら、高スループット
を実現できる真空容器排気制御装置を提供することにあ
る。
空容器、特にロードロック室において、真空容器排気時
にパーティクル巻き上げを抑えながら、高スループット
を実現できる真空容器排気制御装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、真空容器
の排気ラインに排気量を段階的に切替える排気バルブを
設け、上記真空容器の内部圧力を信号として上記排気バ
ルブを切替制御するバルブ自動制御器を設けたことによ
って達成される。
の排気ラインに排気量を段階的に切替える排気バルブを
設け、上記真空容器の内部圧力を信号として上記排気バ
ルブを切替制御するバルブ自動制御器を設けたことによ
って達成される。
【０００８】上記排気バルブ及びバルブ自動制御器によ
る排気量の制御は、排気開始時に排気量を小さく、真空
容器の内部圧力の低下にしたがって排気量を増加させる
よう制御する。
る排気量の制御は、排気開始時に排気量を小さく、真空
容器の内部圧力の低下にしたがって排気量を増加させる
よう制御する。
【０００９】また、上記バルブ自動制御器は、真空容器
の内部圧力値に対する排気量のテーブルデータを装備す
る。
の内部圧力値に対する排気量のテーブルデータを装備す
る。
【００１０】上記手段によると、排気量の制御を真空容
器の内部圧力に応じて排気開始時の内部圧力が大きいと
きは排気量の小さい初期設定にし、内部圧力の低下にし
たがって排気量を大きくするよう排気バルブの切替制御
を行なうことによって、排気量を急激に増大させること
なく、且つ排気量を低減させることなく排気制御でき、
パーティクルの巻き上げを抑え、高スループットを実現
できる。
器の内部圧力に応じて排気開始時の内部圧力が大きいと
きは排気量の小さい初期設定にし、内部圧力の低下にし
たがって排気量を大きくするよう排気バルブの切替制御
を行なうことによって、排気量を急激に増大させること
なく、且つ排気量を低減させることなく排気制御でき、
パーティクルの巻き上げを抑え、高スループットを実現
できる。
【００１１】また排気バルブの制御を段階的に切替制御
することにより、真空容器の内部圧力値にしたがった排
気量の制御が容易にできる。
することにより、真空容器の内部圧力値にしたがった排
気量の制御が容易にできる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下本発明を一実施形態によって
説明する。図１において、真空容器１，排気装置３，圧
力検出器５等は従来例の図３と同一である。真空容器１
と排気装置３を接続する排気ラインには、制御する排気
量の異なる複数の排気バルブ２−１，２−２，２−３を
並列に設置する。したがって、この複数の排気バルブ２
−１，２−２，２−３に対応して各々バルブ駆動器４−
１，４−２，４−３が設けられる。バルブ駆動器４−
１，４−２，４−３に駆動信号を出力するバルブ自動制
御器８は、真空排気開始信号９により動作し、圧力検出
器５の圧力信号７に応じて駆動信号を切替出力する。
説明する。図１において、真空容器１，排気装置３，圧
力検出器５等は従来例の図３と同一である。真空容器１
と排気装置３を接続する排気ラインには、制御する排気
量の異なる複数の排気バルブ２−１，２−２，２−３を
並列に設置する。したがって、この複数の排気バルブ２
−１，２−２，２−３に対応して各々バルブ駆動器４−
１，４−２，４−３が設けられる。バルブ駆動器４−
１，４−２，４−３に駆動信号を出力するバルブ自動制
御器８は、真空排気開始信号９により動作し、圧力検出
器５の圧力信号７に応じて駆動信号を切替出力する。
【００１３】ここで、排気バルブ２−１，２−２，２−
３は各々配管径の大きさが異なり、排気量が２−１＜２
−２＜２−３で、それに応じて排気速度が速くなる構造
である。
３は各々配管径の大きさが異なり、排気量が２−１＜２
−２＜２−３で、それに応じて排気速度が速くなる構造
である。
【００１４】真空容器１の真空排気は、バルブ自動制御
器８が真空排気開始信号９によってバルブ駆動信号６−
１，６−２，６−３をセットし、バルブ駆動器４−１，
４−２，４−３を制御し、排気バルブ２−１，２−２，
２−３を開くことによって行なわれる。
器８が真空排気開始信号９によってバルブ駆動信号６−
１，６−２，６−３をセットし、バルブ駆動器４−１，
４−２，４−３を制御し、排気バルブ２−１，２−２，
２−３を開くことによって行なわれる。
【００１５】図２はバルブ自動制御器８の内部ブロック
構成を示し、真空排気開始信号９を入力する制御部１
０、圧力信号７の比較部１１、及びバルブ切替スイッチ
１２を有する。
構成を示し、真空排気開始信号９を入力する制御部１
０、圧力信号７の比較部１１、及びバルブ切替スイッチ
１２を有する。
【００１６】真空排気開始信号９が入力すると、制御部
１０の動作により切替スイッチ１２を初期排気側１２−
１に切替え、バルブ駆動信号６−１をセットする。これ
によりバルブ駆動器４−１が動作し、排気量の最も小さ
い排気バルブ２−１が開いて真空排気を開始する。
１０の動作により切替スイッチ１２を初期排気側１２−
１に切替え、バルブ駆動信号６−１をセットする。これ
によりバルブ駆動器４−１が動作し、排気量の最も小さ
い排気バルブ２−１が開いて真空排気を開始する。
【００１７】圧力検出器５は真空容器１の内部圧力を検
出し、圧力信号７を比較部１１に入力する。比較部１１
は、予め登録されている圧力値−排気量のテーブルデー
タにしたがい圧力信号７を比較し、圧力信号７がセット
してあるテーブルデータの圧力値を満足した時点で切替
スイッチ１２を次の接点１２−２に切替え、バルブ駆動
信号６−２をセットし、バルブ駆動器４−２を動作して
排気量の１段大きい排気バルブ２−２を開き、同時に排
気バルブ２−１を閉じる。
出し、圧力信号７を比較部１１に入力する。比較部１１
は、予め登録されている圧力値−排気量のテーブルデー
タにしたがい圧力信号７を比較し、圧力信号７がセット
してあるテーブルデータの圧力値を満足した時点で切替
スイッチ１２を次の接点１２−２に切替え、バルブ駆動
信号６−２をセットし、バルブ駆動器４−２を動作して
排気量の１段大きい排気バルブ２−２を開き、同時に排
気バルブ２−１を閉じる。
【００１８】更に、圧力検出器５の圧力信号７が低下し
セットしたテーブルデータの圧力値を満足した時点で比
較部１１は切替スイッチ１２を更にその次の接点１２−
３に切替え、バルブ駆動信号６−３をセットし、バルブ
駆動器４−３を動作して排気量が更に大きい排気バルブ
２−３を開き、同時に排気バルブ２−２を閉じる。
セットしたテーブルデータの圧力値を満足した時点で比
較部１１は切替スイッチ１２を更にその次の接点１２−
３に切替え、バルブ駆動信号６−３をセットし、バルブ
駆動器４−３を動作して排気量が更に大きい排気バルブ
２−３を開き、同時に排気バルブ２−２を閉じる。
【００１９】このように比較部１１は圧力値−排気量テ
ーブルデータにしたがい、排気制御によって次第に低下
する圧力信号を比較判別してセットした圧力値が満足さ
れる毎に順次排気量の大きい排気バルブに段階的な切替
を行ない排気装置２による排気制御を行なう。
ーブルデータにしたがい、排気制御によって次第に低下
する圧力信号を比較判別してセットした圧力値が満足さ
れる毎に順次排気量の大きい排気バルブに段階的な切替
を行ない排気装置２による排気制御を行なう。
【００２０】この排気制御によれば、初期排気時には真
空容器１の内部圧力は高いが、排気量の小さい排気バル
ブ２−１に切替られるので排気流量を抑制でき、また真
空容器１の排気が進んで内部圧力が低下した時点では排
気量の大きい排気バルブ２−２，２−３へ順次切替るこ
とにより排気流量の減少を防ぎ、真空容器内のパーティ
クル巻き上げを防ぎながら高スループットを実現でき
る。
空容器１の内部圧力は高いが、排気量の小さい排気バル
ブ２−１に切替られるので排気流量を抑制でき、また真
空容器１の排気が進んで内部圧力が低下した時点では排
気量の大きい排気バルブ２−２，２−３へ順次切替るこ
とにより排気流量の減少を防ぎ、真空容器内のパーティ
クル巻き上げを防ぎながら高スループットを実現でき
る。
【００２１】なお、上記比較部１１で比較する圧力値−
排気量のテーブルデータは、図示されていない上位コン
ピュータに登録されることによって、テーブルデータを
容易に操作利用することができる。
排気量のテーブルデータは、図示されていない上位コン
ピュータに登録されることによって、テーブルデータを
容易に操作利用することができる。
【００２２】また、上記実施例で各排気バルブ２−１，
２−２，２−３の制御を順次オン、オフの切替えを行な
うようにしたが、排気量の増加に順次バルブを重畳する
ように制御することができ、また単一排気バルブの開度
を順次に段階的に切替え増加させるバルブを利用するこ
とができる。
２−２，２−３の制御を順次オン、オフの切替えを行な
うようにしたが、排気量の増加に順次バルブを重畳する
ように制御することができ、また単一排気バルブの開度
を順次に段階的に切替え増加させるバルブを利用するこ
とができる。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、初期排
気時は排気量を小さくし、真空容器の内部圧力の低下に
したがって排気量を段階的に切替制御するようにしたか
ら、常に最適な真空容器排気特性が得られ、パーティク
ルの巻き上げを抑え、且つ高スループットを達成でき
る。
気時は排気量を小さくし、真空容器の内部圧力の低下に
したがって排気量を段階的に切替制御するようにしたか
ら、常に最適な真空容器排気特性が得られ、パーティク
ルの巻き上げを抑え、且つ高スループットを達成でき
る。
【図１】本発明の一実施例構成図。
【図２】図１のバルブ自動制御器の詳細構成図。
【図３】従来の装置構成図。
１…真空容器、２−１，２−２，２−３…排気バルブ、
３…排気装置、４−１，４−２，４−３…バルブ駆動
器、５…圧力検出器、６−１，６−２，６−３…バルブ
駆動信号、７…圧力信号、８…バルブ自動制御器、９…
真空排気開始信号、１０…制御部、１１…比較部、１２
…切替スイッチ。
３…排気装置、４−１，４−２，４−３…バルブ駆動
器、５…圧力検出器、６−１，６−２，６−３…バルブ
駆動信号、７…圧力信号、８…バルブ自動制御器、９…
真空排気開始信号、１０…制御部、１１…比較部、１２
…切替スイッチ。
Claims (3)
- 【請求項１】 真空容器の排気ラインに排気量を段階的
に切替える排気バルブを設け、上記真空容器の内部圧力
を信号として上記排気バルブを切替制御するバルブ自動
制御器を設けたことを特徴とする真空容器排気制御装
置。 - 【請求項２】 上記排気バルブ及びバルブ自動制御器に
よる排気量の制御は、排気開始時に排気量を小さく初期
設定し、真空容器の内部圧力の低下にしたがって排気量
を増加させるよう制御するものであることを特徴とする
請求項１記載の真空容器排気制御装置。 - 【請求項３】 上記バルブ自動制御器は、真空容器の内
部圧力値に対する排気量のテーブルデータを装備して成
ることを特徴とする請求項１または２記載の真空容器排
気制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25063895A JPH0985076A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 真空容器排気制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25063895A JPH0985076A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 真空容器排気制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0985076A true JPH0985076A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17210842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25063895A Pending JPH0985076A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 真空容器排気制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0985076A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007076927A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法 |
| US7236229B2 (en) | 2003-03-06 | 2007-06-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Load lock chamber, processing system |
| US10211110B1 (en) | 2017-09-22 | 2019-02-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Method of manufacturing semiconductor device |
-
1995
- 1995-09-28 JP JP25063895A patent/JPH0985076A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7236229B2 (en) | 2003-03-06 | 2007-06-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Load lock chamber, processing system |
| JP2007076927A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法 |
| US10211110B1 (en) | 2017-09-22 | 2019-02-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Method of manufacturing semiconductor device |
| KR20190034054A (ko) | 2017-09-22 | 2019-04-01 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 반도체 장치의 제조 방법, 기록 매체 및 기판 처리 장치 |
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