JP4923903B2 - 高耐熱密着力を有する銅被覆ポリイミド基板 - Google Patents
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Description
(イ)スパッタリング処理に先立ってプラズマ処理によってポリイミド表面を改質する方法において、ポリイミドフィルム表面に予めアルカリ処理を行った後、低温プラズマ処理を施す方法(例えば、特許文献1参照。)。
(ロ)ポリイミドフィルム表面を過酸化水素水等の酸化剤の存在下で紫外線を照射した後、過マンガン酸塩等の酸化剤でエッチングしてポリイミド表面を粗面化する方法(例えば、特許文献2参照。)。
前記ポリイミドフィルムは、表面粗さ(Ra)が0〜0.95nmであり、かつ表面をXPS(X−ray Photoelectron Spectroscopy)により半定量分析したときの窒素の含有割合が5.5〜6.4at%であり、および
大気下に150℃の温度で168時間放置した後の耐熱密着力は、銅導体層厚みが8μmのとき、400N/m以上であることを特徴とする銅被覆ポリイミド基板が提供される。
したがって、ポリイミドフィルムの表面は平滑であるほど望ましく、表面粗さ(Ra)が0.95nmを超えると、化学的な結合力が低下する。また、上記窒素の含有割合が
5.5at%未満では、改質層に含まれる酸素によるシード層の酸化により密度が低下するため好ましくない。使用するポリイミドフィルムの改質処理前の窒素の含有割合は,6.4at%以下であり、これが上限である。
本発明の銅被覆ポリイミド基板の構造を図を用いて説明する。図1は、本発明の銅被覆ポリイミド基板の概略断面図の一例を表す。図1において、銅被覆ポリイミド基板の断面は、ポリイミドフィルム1の表面上に、スパッタリング法により形成された金属シード層2と銅層3、及びめっき法による銅層4が順次積層された構造になっている。ここで、スパッタリング法により形成された銅層3とめっき法による銅層4により、銅導体層が形成される。
(1)表面粗さ(Ra)の測定:Raは、5mm長さを走査して得られた粗さデータの平均値から測定曲線までの任意位置における偏差の絶対値を合計し、平均した値であり、表面粗さ検出器(ミツトヨ製)を用いて行なわれる。
(2)表面の窒素含有割合の分析:ポリイミドフィルムの表面をXPS(X−ray Photoelectron Spectroscopy)により半定量分析した。
(3)密着力の測定:銅導体層厚みが8μmの場合において、製造後の基板と、この基板を大気下に150℃の温度で168時間放置する条件で処理された後の基板を用いて、金属被膜の剥離強度をIPC TM−650に従って測定し、各々初期密着力と耐熱密着力を得た。
ピロメリット酸二無水和物(PMDA)と4,4‘−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)とから得られる縮合型ポリイミド樹脂からなるポリイミドフィルムを用いて、真空乾燥後、酸素プラズマによる改質処理を行ない得られた、表面粗さ(Ra)が0.61nmで表面をXPSで半定量分析した際の窒素の含有割合が6.4at%であるポリイミドフィルムに、ニッケルクロム合金シード層10nmと銅層300nmをスパッタリングにより積層した後、電気めっきで銅を銅導体層が8μmになるまで厚付けした。その後、得られた基板を用いて、スクリーン印刷で1mmパターンを形成し、初期密着力と耐熱密着力を測定した。結果を表1に示す。なお、耐熱密着力の測定時の剥離位置はポリイミドフィルム内部であった。
ピロメリット酸二無水和物(PMDA)と4,4‘−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)とから得られる縮合型ポリイミド樹脂及びビフェニルテトラカルボン酸二無水和物(BPDA)と4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)とから得られる縮合型ポリイミド樹脂を含む混合ポリイミド樹脂からなるポリイミドフィルムを用いて、真空乾燥後、酸素プラズマによる改質処理を行ない得られた、表面粗さ(Ra)が0.93nmで表面をXPSで半定量分析した際の窒素の含有割合が5.5at%であるポリイミドフィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様に行ない、得られた基板を用いて、スクリーン印刷で1mmパターンを形成し、初期密着力と耐熱密着力を測定した。結果を表1に示す。なお、耐熱密着力の測定時の剥離位置はポリイミドフィルム内部であった。
表面粗さ(Ra)が0.93nmで表面をXPSで半定量分析した際の窒素の含有割合が4.3at%であるポリイミドフィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様に行ない、得られた基板を用いて、スクリーン印刷で1mmパターンを形成し、初期密着力と耐熱密着力を測定した。結果を表1に示す。なお、耐熱密着力の測定時の剥離位置はポリイミドフィルムとシード層の界面であった。
表面粗さ(Ra)が1.64nmで表面をXPSで半定量分析した際の窒素の含有割合が2.2at%であるポリイミドフィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様に行ない、得られた基板を用いて、スクリーン印刷で1mmパターンを形成し、初期密着力と耐熱密着力を測定した。結果を表1に示す。なお、耐熱密着力の測定時の剥離位置はポリイミドフィルムとシード層の界面であった。
2 金属シード層
3 スパッタリングによる銅層
4 めっき法による銅層
Claims (3)
- ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、接着剤を介さずに直接、金属シード層を形成し、さらにその上にめっき法によって銅導体層を積層してなる銅被覆ポリイミド基板において、
前記ポリイミドフィルムは、表面粗さ(Ra)が0〜0.95nmであり、かつ表面をXPS(X−ray Photoelectron Spectroscopy)により半定量分析したときの窒素の含有割合が5.5〜6.4at%であり、および
大気下に150℃の温度で168時間放置した後の耐熱密着力は、銅導体層厚みが8μmのとき、400N/m以上であることを特徴とする銅被覆ポリイミド基板。 - 前記ポリイミドフィルムは、ピロメリット酸二無水和物(PMDA)と4,4‘−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)とから得られる縮合型ポリイミド樹脂、又はピロメリット酸二無水和物(PMDA)と4,4‘−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)とから得られる縮合型ポリイミド樹脂及びビフェニルテトラカルボン酸二無水和物(BPDA)と4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(ODA)とから得られる縮合型ポリイミド樹脂を含む混合ポリイミド樹脂から形成されることを特徴とする請求項1に記載の銅被覆ポリイミド基板。
- 前記金属シード層は、スパッタリングにより形成されたニッケル層、クロム層、又はニッケルクロム合金層からなり、かつ前記銅導体層は、スパッタリングにより形成された銅層とその上に電気銅めっき法、若しくは無電解銅めっき法、又は両者を併用した方法で厚付けされた銅層からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の銅被覆ポリイミド基板。
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