JP2009274250A - 金属被覆ポリイミドフィルム基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポリイミドフィルムの表面に、スパッタリング法又は蒸着法により形成したNi−Cr合金からなる第1金属層と、スパッタリング法又は蒸着法により形成した銅からなる第2金属層と、電気めっき法及び/又は無電解めっき法により形成した銅めっき被膜とを、この順に積層した構造を有する金属被覆ポリイミドフィルム基板であって、銅からなる第2金属層の結晶子径が420〜550Åに制御してある。
【選択図】なし
Description
ポリイミドフィルムとしてKapton−150EN(東レ・デュポン製)を用いた。まず、このポリイミドフィルムをスパッタリング装置に装入し、スパッタリングターゲットとして、クロムを20質量%含有するNi−Cr合金ターゲットとCuターゲットを装着した。
Cuからなる第2金属層のスパッタリングによる成膜の際に、チャンバー内圧力が1.0×10−3Pa以下になるまで排気した後、スパッタリングガスとしてArガスをチャンバー内圧力が0.45Paとなるように供給した以外は上記実施例1と同様にして、金属被覆ポリイミドフィルム基板を作製した。このとき、第2金属層の結晶子径は520Åであった。
Cuからなる第2金属銅層のスパッタリングによる成膜の際に、チャンバー内圧力が1.0×10−3Pa以下になるまで排気した後、スパッタリングガスとしてArガスをチャンバー内圧力が0.15Paとなるように供給した以外は上記実施例1と同様にして、金属被覆ポリイミドフィルム基板を作製した。このとき、第2金属層の結晶子径は380Åであった。
Claims (2)
- ポリイミドフィルムの表面に、スパッタリング法又は蒸着法により形成したNi−Cr合金からなる第1金属層と、スパッタリング法又は蒸着法により形成した銅からなる第2金属層と、電気めっき法、無電解めっき法もしくは両者を組み合わせた方法により形成した銅めっき被膜とを、この順に積層した構造を有する金属被覆ポリイミドフィルム基板であって、上記第2金属層の結晶子径が420〜550Åであることを特徴とする金属被覆ポリイミドフィルム基板。
- 前記第1金属層であるNi−Cr合金のCr含有率がNiに対して10〜30質量%であることを特徴とする、請求項1に記載の金属被覆ポリイミドフィルム基板。
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