JP4921884B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
図1は、NAND型のフラッシュメモリ装置のメモリセル領域に構成されるメモリセルアレイの等価回路を示している。
層間絶縁膜8の上面と複数の第2の金属配線L1の上面とは、実質的に同一面に形成されている。尚、図3(a)および図3(c)においては、層間絶縁膜8の上面の高さと複数の第2の金属配線L1の上面の高さは面一状に一致しているが、実際の製品においてはその上面は凹凸形状となる。したがって、実質的に同一面とは凹凸形状面を含むものとする。
この図24(a)において、ビット線構造BLおよびソースシャント線構造SH1は同層に構成されている。しかし、ビット線構造BLとソースシャント線構造SH1との間の間隔は、隣接するビット線構造BL間の間隔やビット線構造BLの幅に比較して広く設定されている。図24(a)に示す例では、ビット線構造BLの幅や、隣接するビット線構造BL間の間隔をFとしたとき、ビット線構造BLとソースシャント線構造SH1との間の間隔を5Fと設定している。
図5に示すように、層間絶縁膜(第1の絶縁膜)5および第1の金属配線SL1の上に層間絶縁膜としてTEOS系やSiH4系のシリコン酸化膜106を例えばHDP−CVD法により形成する。
本発明は、上記実施例にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
シリコン基板2として、p型の導電型の基板を適用したが、pウェルが表層に形成された基板やその他の半導体基板を適用しても良い。
NAND型のフラッシュメモリ装置1に適用したが、フラッシュメモリに限らず、その他のソースシャント線構造、ソース線構造を備えた半導体装置に適用可能である。
エッチングストップ膜7をシリコン窒化膜107で形成した実施形態を示したが、これは必要に応じて設ければよく、また、他材料の絶縁膜で形成しても良い。エッチングストップ膜7は、層間絶縁膜6(シリコン酸化膜106)とは材料が異なり、層間絶縁膜6(シリコン酸化膜106)との間でエッチング処理時の高選択性を得ることができればどのような絶縁膜材料で形成しても良い。
層間絶縁膜14をシリコン酸化膜114により形成した実施形態を示したが、他の絶縁膜材料で形成しても良い。
上穴部Via102aを形成するときには、その下端部の幅をプラグ材Via101の上面の幅よりも広くする実施形態を示したが、必ずしも広くする必要はない。
1つの長孔部109が1つのプラグ材Via101の上面に貫通するように形成したが、2つ以上の長孔部109がプラグ材Via101の上に貫通するように形成しても良い。
Claims (3)
- 半導体基板と、
複数のNANDメモリセルユニットと、
複数の前記NANDメモリセルユニットのそれぞれの一端に電気的に接続され、前記半導体基板上方に位置して第1の方向に沿って形成され、複数のブロック毎に同一幅で且つ同一間隔で同層に並設された複数のビット線と、
複数の前記NANDメモリセルユニットの他端にソース線コンタクトを介して接続され、前記半導体基板上に第1の層間絶縁膜を介して形成されると共に前記ビット線の下方側に形成され、且つ、前記第1の方向と交差する第2の方向に延びる第1のソース線と、
前記ビット線の上方側に第2の層間絶縁膜を介して形成された第2のソース線と、
複数の前記ブロック間に配置され、前記第1のソース線と前記第2のソース線との間を電気的に接続し、隣接する複数ブロックのビット線間に対して前記ビット線と同一方向に沿って形成されると共に当該ビット線と同層および同一幅で並設されたソースシャント線と、
前記ソースシャント線の両側に設けられたダミー配線と、を備えたことを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1記載の半導体記憶装置において、
前記第2のソース線と前記ソースシャント線とを構造的に接続する第1のビアプラグを備え、
前記第1のビアプラグの下端部の幅は前記ソースシャント線の線幅より太い幅であることを特徴とする半導体記憶装置。 - 請求項1または2に記載の半導体記憶装置において、
前記ソースシャント線の直下に位置して前記第1のソース線と構造的に接続するように形成された第2のビアプラグと、
前記第2のビアプラグの上に形成されると共に前記ビット線と前記ソースシャント線との間に形成されたエッチングストップ膜とを備えたことを特徴とする半導体記憶装置。
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