JP4921417B2 - ペリクル - Google Patents
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
[1] リソグラフィ・マスクに装着されるペリクルであって、ペリクル膜、前記ペリクル膜の外周に配置されたペリクル枠、前記ペリクル枠と前記ペリクル膜とを接着させる膜接着剤、および前記ペリクル枠と前記マスクとを接着するためのマスク接着剤を有し、前記ペリクル枠が、炭素を含む無機化合物の膜でコーティングされている、ペリクル。
[2] 前記炭素を含む無機化合物が、TiCN、TiC、またはダイアモンドライクカーボン(DLC)である、[1]に記載のペリクル。
[3] 前記炭素を含む無機化合物の膜の厚さが、0.5μm以上15μm以下である、[1]または[2]に記載のペリクル。
[4] 前記ペリクル枠は、その材質がアルミニウムまたはアルミニウム合金であり、アルマイト処理されていない、[1]〜[3]のいずれかに記載のペリクル。
封孔処理は、染料を吸着させた微細な穴を塞ぐ処理である。封孔助剤、たとえば花見化学社製 封孔剤(酢酸ニッケル)を含む高温度(たとえば60〜100℃)水溶液に、対象物を浸漬すればよい。封孔助剤の濃度は6〜12g/L、浸漬時間は5分〜60分とすればよいが、特に限定されない。
アルミ合金(#7075)からなる枠(N62FPタイプ、外寸:149mm×122mm×5.8mm、厚み:2mm)を準備した。準備した枠の表面をサンドブラスト処理(#300)した。
実施例1と同様に調製したサンドブラスト処理された枠の表面全体に、イオンプレーティング法によりTiC膜を形成した。形成されたTiC膜の厚さは1μmとした。得られた枠を抽出処理した。抽出処理は、抽出液(純水100ml)に枠を浸漬させて、90℃で3時間維持して行った。抽出液に抽出された硫酸の量を、イオンクロマトグラフ分析装置(ICS−1000(DIONEX社製))で検出した。硫酸の量は、検出限界(5ppb)以下であった。
TiC膜の厚さを0.7μmとしたこと以外は実施例2と同様にTiC膜を形成し、抽出処理、分析を行った。硫酸の量は、検出限界(5ppb)以下であった。
TiC膜の厚さを1.5μmとしたこと以外は実施例2と同様にTiC膜を形成し、抽出処理、分析を行った。硫酸の量は、検出限界(5ppb)以下であった。
実施例1と同様に調製したサンドブラスト処理された枠の表面全体に、イオンプレーティング法によりダイアモンドライクカーボン(DLC)膜を形成した。形成されたDLC膜の厚さは1μmとした。得られた枠を抽出処理した。抽出処理は、抽出液(純水100ml)に枠を浸漬させて、90℃で3時間維持して行った。抽出液に抽出された硫酸の量を、イオンクロマトグラフ分析装置(ICS−1000(DIONEX社製))で検出した。硫酸の量は、検出限界(5ppb)以下であった。
実施例1と同様に、アルミ合金(#7075)からなる枠(N62FPタイプ、外寸:149mm×122mm×5.8mm、厚み:2mm)を準備し、枠の表面をサンドブラスト処理(#300)した。
実施例1と同様に、アルミ合金(#7075)からなる枠(N62FPタイプ、外寸:149mm×122mm×5.8mm、厚み:2mm)を準備し、枠の表面をサンドブラスト処理(#300)した。
準備された枠を黒色ペイント剤(商品名:レジラック3810 東京ペイント社製)を塗布して、約60μmのコーティング膜を形成した。得られた枠を抽出処理した。抽出処理は、実施例1と同様の条件で行った。抽出液に抽出された硫酸の量を、実施例1と同一のイオンクロマトグラフ分析装置(検出限界:5ppb)で検出した。検出された硫酸の量は、46μg/枚であった。
実施例1と同様に、アルミ合金(#7075)からなる枠(N62FPタイプ、外寸:149mm×122mm×5.8mm、厚み:2mm)を準備し、枠の表面をサンドブラスト処理(#300)した。
準備された枠を黒色ペイント剤(商品名:ミリオンアルメ14-2300 ミリオンペイント社製)を塗布して、約20μmのコーティング膜を形成した。得られた枠を抽出処理した。抽出処理は、実施例1と同様の条件で行った。抽出液に抽出された硫酸の量を、イオンクロマトグラフ分析装置(検出限界:5ppb)で検出した。検出された硫酸の量は、58μg/枚であった。
Claims (4)
- リソグラフィ・マスクに装着されるペリクルであって、
ペリクル膜、前記ペリクル膜の外周に配置されたペリクル枠、前記ペリクル枠と前記ペリクル膜とを接着させる膜接着剤、および前記ペリクル枠と前記マスクとを接着するためのマスク接着剤を有し、
前記ペリクル枠が、炭素を含む無機化合物の膜でコーティングされている、ペリクル。 - 前記炭素を含む無機化合物が、TiCN、TiC、またはダイアモンドライクカーボン(DLC)である、請求項1に記載のペリクル。
- 前記炭素を含む無機化合物の膜の厚さが、0.5μm以上15μm以下である、請求項1に記載のペリクル。
- 前記ペリクル枠は、その材質がアルミニウムまたはアルミニウム合金であり、アルマイト処理されていない、請求項1に記載のペリクル。
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