JP4919710B2 - 薄膜太陽電池 - Google Patents
薄膜太陽電池 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4919710B2 JP4919710B2 JP2006168570A JP2006168570A JP4919710B2 JP 4919710 B2 JP4919710 B2 JP 4919710B2 JP 2006168570 A JP2006168570 A JP 2006168570A JP 2006168570 A JP2006168570 A JP 2006168570A JP 4919710 B2 JP4919710 B2 JP 4919710B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- layer
- film
- semiconductor
- solar cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
GaおよびInからなる群より選ばれる少なくとも1つの元素と、S、SeおよびTeからなる群より選ばれる少なくとも1つの元素と、Cuと、Alとを含みカルコパイライト構造である半導体薄膜を光吸収層として備え、
半導体薄膜は、第1の半導体層と、第1の半導体層よりも光入射側に配置された第2の半導体層とを含み、
第1の半導体層と第2の半導体層とが直接積層され、
第1の半導体層に接する側とは反対側における第2の半導体層の表面でpn接合が形成されており、
第1の半導体層は、GaとInとを含み、
第2の半導体層は、AlとInとを含み、
第1の半導体層は、第2の半導体層に近づくにつれてバンドギャップが小さくなっており、
第2の半導体層は、半導体薄膜内においてAl濃度の最も大きい領域を含むとともに、第1の半導体層における最小のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有し、
第1の半導体層は、第2の半導体層との界面において、組成比Ga/(In+Ga)が最小となり、第2の半導体層との界面をなす表面から裏面に向けて組成比Ga/(In+Ga)が連続的に増加している、薄膜太陽電池を提供する。
(1)GaとInを必須成分とし、かつ、第2の半導体層13bとの界面において、GaとInの組成比であるGa/(In+Ga)が最小となる。
(2)SとSeを必須成分とし、かつ、第2の半導体層13bとの界面において、SとSeの組成比であるS/(Se+S)が最小となる。
1.07x+0.62x2=0.42y+0.24y2 ・・・(式1)
1.07x+0.62x2=0.42z+0.24z2 ・・・(式2)
図3に示す構造の薄膜太陽電池を以下に示す方法で製造した。
基板11として、ソーダライムガラスを用いた。ガラス基板11上に、スパッタ法により、裏面電極層12としてのMo膜を約0.4μmの厚さで堆積させた。スパッタは、Moをターゲットとして、Arガス雰囲気中でDC1kWを印加することにより行った。
薄膜太陽電池の製造方法のその他の一例について述べる。
基板11、裏面電極層12、窓層14、透明導電膜15、取り出し電極16の材料と製造方法は実施例1と同じである。重複を避けるために、光吸収層となる第1の半導体層13aと第2の半導体層13bの作製方法についてのみ記載する。
図3に示す薄膜太陽電池の製造方法のその他の一例について述べる。
基板11、裏面電極層12、窓層となる半導体層14、透明導電膜15、取り出し電極16の材料と製造方法は実施例1と同じである。光吸収層となる第1の半導体層13aと第2の半導体層13bの作製方法についてのみ記載する。
11 基板
12 裏面電極層(Mo膜)
13a 第1の半導体層(Cu(In,Ga)Se2層)
13b 第2の半導体層(Cu(In,Al)Se2層)
14 窓層(CdS/ZnO積層膜)
15 透明導電膜(ITO膜)
16 電極(NiCr/Au積層膜)
Claims (6)
- GaおよびInからなる群より選ばれる少なくとも1つの元素と、S、SeおよびTeからなる群より選ばれる少なくとも1つの元素と、Cuと、Alとを含みカルコパイライト構造である半導体薄膜を光吸収層として備え、
前記半導体薄膜は、第1の半導体層と、前記第1の半導体層よりも光入射側に配置された第2の半導体層とを含み、
前記第1の半導体層と前記第2の半導体層とが直接積層され、
前記第1の半導体層に接する側とは反対側における前記第2の半導体層の表面でpn接合が形成されており、
前記第1の半導体層は、GaとInとを含み、
前記第2の半導体層は、AlとInとを含み、
前記第1の半導体層は、前記第2の半導体層に近づくにつれてバンドギャップが小さくなっており、
前記第2の半導体層は、前記半導体薄膜内においてAl濃度の最も大きい領域を含むとともに、前記第1の半導体層における最小のバンドギャップよりも大きいバンドギャップを有し、
前記第1の半導体層は、前記第2の半導体層との界面において、組成比Ga/(In+Ga)が最小となり、前記第2の半導体層との界面をなす表面から裏面に向けて組成比Ga/(In+Ga)が連続的に増加している、薄膜太陽電池。 - 前記第1の半導体層は、実質的にAlを含有しない層である、請求項1記載の薄膜太陽電池。
- 前記第2の半導体層の厚さが0.2μm以下である、請求項2記載の薄膜太陽電池。
- 前記第2の半導体層の光入射側の表面における組成比Al/(In+Al)をxとし、前記第1の半導体層の裏面における組成比Ga/(In+Ga)をyと定義したとき、xとyが下記(式1)の関係を満足する、請求項1記載の薄膜太陽電池。
1.07x+0.62x2≦0.42y+0.24y2 (ただし、0.08≦x≦0.18、0.3≦y≦0.7)・・・(式1) - 前記第2の半導体層の光入射側の表面における組成比Al/(In+Al)をxとし、前記第1の半導体層中において変化している組成比Ga/(In+Ga)の最小値をzと定義したとき、xとzが下記(式2)の関係を満足する、請求項1記載の薄膜太陽電池。
1.07x+0.62x2≧0.42z+0.24z2 (ただし、0≦x≦0.15、0≦z≦0.35)・・・(式2) - 基板と、
裏面電極層と、
前記第1および前記第2の半導体層とは反対の導電型の半導体からなる窓層と、
透明導電膜とをさらに備えた、請求項1記載の薄膜太陽電池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006168570A JP4919710B2 (ja) | 2006-06-19 | 2006-06-19 | 薄膜太陽電池 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006168570A JP4919710B2 (ja) | 2006-06-19 | 2006-06-19 | 薄膜太陽電池 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007335792A JP2007335792A (ja) | 2007-12-27 |
JP4919710B2 true JP4919710B2 (ja) | 2012-04-18 |
Family
ID=38934943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006168570A Expired - Fee Related JP4919710B2 (ja) | 2006-06-19 | 2006-06-19 | 薄膜太陽電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4919710B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017023848A1 (en) | 2015-08-05 | 2017-02-09 | Dow Global Technologies Llc | Photovoltaic devices including a chalcogenide-containing photovoltaic light-absorber, and related methods of making |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110005444A (ko) | 2009-07-10 | 2011-01-18 | 삼성전자주식회사 | 적층형 태양 전지 |
JP2011023520A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Panasonic Electric Works Co Ltd | p型半導体膜及び太陽電池 |
KR101631970B1 (ko) * | 2009-07-31 | 2016-06-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 태양 전지의 제조방법 |
WO2011052574A1 (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-05 | キヤノンアネルバ株式会社 | カルコパイライト型化合物薄膜の製造方法およびそれを用いた薄膜太陽電池の製造方法 |
JP5421752B2 (ja) * | 2009-12-03 | 2014-02-19 | 株式会社カネカ | 化合物半導体太陽電池 |
WO2012046326A1 (ja) | 2010-10-07 | 2012-04-12 | グエラテクノロジー株式会社 | 太陽電池 |
WO2012091170A1 (en) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | Tdk Corporation | Solar cell and solar cell production method |
JP5930518B2 (ja) * | 2011-08-26 | 2016-06-08 | 株式会社アルバック | 化合物半導体薄膜の製造方法 |
JP6103525B2 (ja) * | 2013-02-12 | 2017-03-29 | 日東電工株式会社 | Cigs膜およびそれを用いたcigs太陽電池 |
JP2014154763A (ja) * | 2013-02-12 | 2014-08-25 | Nitto Denko Corp | Cigs膜およびそれを用いるcigs太陽電池 |
JP6133691B2 (ja) * | 2013-05-28 | 2017-05-24 | シャープ株式会社 | 太陽電池 |
CN103887366B (zh) * | 2014-01-03 | 2017-01-04 | 华东师范大学 | 一种能带可调的铜铟铝硒薄膜的制备方法 |
CN113571594B (zh) * | 2021-07-16 | 2023-06-16 | 北京交通大学 | 铜铟镓硒电池及其制造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3468328B2 (ja) * | 1996-01-29 | 2003-11-17 | 松下電器産業株式会社 | 半導体薄膜の製造方法 |
JP3249408B2 (ja) * | 1996-10-25 | 2002-01-21 | 昭和シェル石油株式会社 | 薄膜太陽電池の薄膜光吸収層の製造方法及び製造装置 |
JPH11274526A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-08 | Yazaki Corp | Cis系カルコパイライト構造半導体薄膜及びその製造方法並びにcis系カルコパイライト構造半導体薄膜を有する太陽電池及びその製造方法 |
JPWO2004090955A1 (ja) * | 2003-04-04 | 2006-07-06 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、投影露光装置及び露光方法 |
-
2006
- 2006-06-19 JP JP2006168570A patent/JP4919710B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017023848A1 (en) | 2015-08-05 | 2017-02-09 | Dow Global Technologies Llc | Photovoltaic devices including a chalcogenide-containing photovoltaic light-absorber, and related methods of making |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007335792A (ja) | 2007-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4919710B2 (ja) | 薄膜太陽電池 | |
US8617917B2 (en) | Consumable adhesive layer for thin film photovoltaic material | |
JP5003698B2 (ja) | 太陽電池、及び太陽電池の製造方法 | |
US9087954B2 (en) | Method for producing the pentanary compound semiconductor CZTSSe, and thin-film solar cell | |
EP1492169A2 (en) | Solar cell | |
JP4937379B2 (ja) | 薄膜太陽電池 | |
JP2011100976A (ja) | 光電変換素子とその製造方法、及び太陽電池 | |
US10211351B2 (en) | Photovoltaic cell with high efficiency CIGS absorber layer with low minority carrier lifetime and method of making thereof | |
JP2010232608A (ja) | カルコパイライト型太陽電池の製造方法 | |
KR20150051181A (ko) | CZTSSe계 박막 태양전지의 제조방법 및 이에 의해 제조된 CZTSSe계 박막 태양전지 | |
JP2005228975A (ja) | 太陽電池 | |
US20110162696A1 (en) | Photovoltaic materials with controllable zinc and sodium content and method of making thereof | |
JP2011129631A (ja) | Cis系薄膜太陽電池の製造方法 | |
WO2012118771A2 (en) | Improved thin-film photovoltaic devices and methods of manufacture | |
US20100210065A1 (en) | Method of manufacturing solar cell | |
JP6297038B2 (ja) | 薄膜太陽電池及び薄膜太陽電池の製造方法 | |
JP3468328B2 (ja) | 半導体薄膜の製造方法 | |
JPH10150212A (ja) | 半導体薄膜形成用前駆体及び半導体薄膜の製造方法 | |
JP2011023520A (ja) | p型半導体膜及び太陽電池 | |
JP2014506391A (ja) | 太陽電池、及び太陽電池の製造方法 | |
KR102057234B1 (ko) | Cigs 박막 태양전지의 제조방법 및 이의 방법으로 제조된 cigs 박막 태양전지 | |
US20150249171A1 (en) | Method of making photovoltaic device comprising i-iii-vi2 compound absorber having tailored atomic distribution | |
WO2014080639A1 (ja) | 太陽電池 | |
JP2005117012A (ja) | 半導体膜とその製造方法、およびそれを用いた太陽電池とその製造方法 | |
JP2014216479A (ja) | 光電変換素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090518 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120110 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120131 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4919710 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |