JP4916860B2 - 負荷駆動回路および負荷駆動回路の製造方法 - Google Patents
負荷駆動回路および負荷駆動回路の製造方法 Download PDFInfo
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Description
図1は、本発明の実施の形態1による負荷駆動回路において、その構成例を示すものであり、(a)は回路図、(b)は(a)に対してプリドライバ回路PDの詳細例を含めた回路図である。図1に示す負荷駆動回路は、出力トランジスタQ3と、そのゲートに接続された端子MP1と、抵抗R2,R4と、ツェナーダイオードZD1〜ZD3と、プリドライバ回路PDなどによって構成される。Q3は、ここではnチャネル型のMISトランジスタ(nMISトランジスタ)となっており、ソースがソース端子(ソースノード)Sに、ドレインがドレイン端子(ドレインノード)Dに接続される。R2は、Q3のゲートと接地端子(接地ノード)PGとの間に接続され、図6で述べたようにゲート電荷の放電パスを確保する為のものであり、フェイルセーフとしての機能を備える。R4は、一端がQ3のゲートに、他端がPDの出力に接続される。
本実施の形態2では、実施の形態1で示した端子MP1を他の端子で共用した構成例について説明する。図3は、本発明の実施の形態2による負荷駆動回路において、その構成例を示す回路図である。
前述した実施の形態1では、ソース端子Sと接地端子PGを分離することでゲートリーク電流の測定精度を向上させたが、本実施の形態3では、実施の形態1で示したゲート電荷放電用のプルダウン抵抗R2を変形することで測定精度の向上を図る。図4は、本発明の実施の形態3による負荷駆動回路において、その構成例を示す回路図である。
本実施の形態4では、実施の形態1で述べたクランプ回路部分の構成を変形した構成例について説明する。図5は、本発明の実施の形態4による負荷駆動回路において、その構成例を示す回路図である。図5に示す負荷駆動回路は、プリドライバ回路PDと出力トランジスタQ3のゲートの間に抵抗R8が設けられ、R8の両端とソース端子Sの間に、図1と異なり、ツェナーダイオードZD4〜ZD7、nMISトランジスタQ12および抵抗R9が設けられた構成となっている。それ以外の構成は、図1と同様であるため詳細な説明は省略する。
VA 電源端子
SGND,PG 接地端子
Q トランジスタ
R 抵抗
ZD ツェナーダイオード
MP,Vin 端子
D ドレイン端子
S ソース端子
Vst,GP 制御端子
VER,VB 電源電圧
GND 接地電圧
CM 電流源
GS ゲートストレス印加回路
L インダクタ
MR スピンドルモータ
Claims (7)
- 第1ノード、第2ノードおよび制御入力ノードを備え、前記制御入力ノードによってオン/オフが制御される出力トランジスタと、
前記出力トランジスタを駆動するドライバ回路への接続ノードと前記制御入力ノードの間に設けられた第1抵抗と、
前記制御入力ノードと第3ノードの間に設けられた第2抵抗と、
前記接続ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記ドライバ回路の駆動電圧を制限する第1クランプ回路と、
前記制御入力ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記制御入力ノードの電圧を制限する第2クランプ回路と、
前記制御入力ノードに対して外部からの電圧印加を可能にする電圧印加手段とを有し、
前記第2クランプ回路のクランプ電圧は、前記第1クランプ回路のクランプ電圧よりも大きいことを特徴とする負荷駆動回路。 - 請求項1記載の負荷駆動回路において、
前記負荷駆動回路は、1つの半導体チップに形成され、
前記半導体チップは、パッケージに格納され、
前記第1ノードは、前記半導体チップに形成された第1電極パッドに接続され、
前記第3ノードは、前記半導体チップに形成された第2電極パッドに接続され、
前記第1電極パッドと前記第2電極パッドは、前記パッケージ上の同一の外部ピンに接続されることを特徴とする負荷駆動回路。 - 請求項1または2記載の負荷駆動回路において、
前記電圧印加手段は、半導体チップに形成された第3電極パッドであることを特徴とする負荷駆動回路。 - 第1ノード、第2ノードおよび制御入力ノードを備え、前記制御入力ノードによってオン/オフが制御される出力トランジスタと、
前記出力トランジスタを駆動するドライバ回路への接続ノードと前記制御入力ノードの間に設けられた第1抵抗と、
前記制御入力ノードと前記第1ノードの間に設けられた第1トランジスタ、および前記第1トランジスタの制御回路を含むプルダウン回路と、
前記接続ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記ドライバ回路の駆動電圧を制限する第1クランプ回路と、
前記制御入力ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記制御入力ノードの電圧を制限する第2クランプ回路と、
前記制御入力ノードに対して外部からの電圧印加を可能にする電圧印加手段とを有し、
前記第2クランプ回路のクランプ電圧は、前記第1クランプ回路のクランプ電圧よりも大きく、
前記制御回路は、通常動作時には前記第1トランジスタを所定のバイアスで駆動し、テスト動作時には前記第1トランジスタをオフに駆動することを特徴とする負荷駆動回路。 - 半導体ウエハ上に、負荷駆動回路を形成する第1工程と、
前記第1工程で形成された負荷駆動回路に対して、プローブ針を用いた電気的検査を行う第2工程と、
前記第2工程で良品と判定された負荷駆動回路を対象にパッケージングを行う第3工程とを含み、
前記第1工程で形成された負荷駆動回路は、
第1ノード、第2ノードおよび制御入力ノードを備え、前記制御入力ノードによってオン/オフが制御される出力トランジスタと、
前記出力トランジスタを駆動するドライバ回路への接続ノードと前記制御入力ノードの間に設けられた第1抵抗と、
前記制御入力ノードと第3ノードの間に設けられた第2抵抗と、
前記接続ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記ドライバ回路の駆動電圧を制限する第1クランプ回路と、
前記制御入力ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記制御入力ノードの電圧を制限し、前記第1クランプ回路よりも大きいクランプ電圧を備えた第2クランプ回路と、
前記制御入力ノードに接続される第3電極パッドと、
前記第1ノードに接続される第1電極パッドと、
前記第3ノードに接続される第2電極パッドとを含み、
前記第2工程は、
前記第1電極パッドと前記第3電極パッドの間の電流値を測定する第1処理と、
前記第1電極パッドを基準に前記第3電極パッドに対して所定のストレス電圧を所定の時間印加する第2処理と、
前記第1電極パッドと前記第3電極パッドの間の電流値を再度測定し、前記第1処理での電流値と比較する第3処理とを含むことを特徴とする負荷駆動回路の製造方法。 - 第1ノード、第2ノードおよび制御入力ノードを備え、前記制御入力ノードによってオン/オフが制御される出力トランジスタと、
前記出力トランジスタを駆動するドライバ回路への接続ノードと前記制御入力ノードの間に設けられた第1抵抗と、
前記制御入力ノードと第3ノードの間に設けられた第2抵抗と、
前記接続ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記ドライバ回路の駆動電圧を制限する第1クランプ回路と、
前記制御入力ノードと前記第1ノードの間に設けられ、前記制御入力ノードの電圧を制限する第2クランプ回路と、
前記制御入力ノードに対して外部からの電圧印加を可能にする電圧印加手段とを有し、
前記ドライバ回路から流れる電流は電流制限回路により所定の電流値以下に制限され、
前記第2クランプ回路のクランプ電圧は、前記第1クランプ回路のクランプ電圧よりも大きいことを特徴とする負荷駆動回路。 - 請求項6記載の負荷駆動回路において、
前記電流制限回路は、定電流回路であることを特徴とする負荷駆動回路。
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