JP4179491B2 - 半導体装置及びその製造方法、ならびにその特性評価方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、パワーMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)を含むパワーMISFET(Metal Insulator Semiconductor FET)を有する半導体装置及びその製造方法ならびにその特性評価方法に関し、特に、前記パワーMISFETのオン抵抗が低い半導体装置に適用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、パワーMISFETは、破壊耐圧、熱的安定性及び利得が大きく、電力増幅の構成も簡単であることから、スイッチング電源用パワーデバイス、電動機制御用パワーデバイス、車両用パワーデバイス等に広く使用されている。また、前記パワーデバイスの高性能化のため、前記パワーMISFETの微細化が進んでいる。
【0003】
前記パワーデバイスに用いられるパワーMISFETは、静電破壊強度を確保するために、前記パワーMISFETが形成された半導体チップ内に保護ダイオードを設け、前記保護ダイオードを前記パワーMISFETのゲート、ソース間に電気的に接続する場合が多い。
【0004】
また、前記パワーMISFETが形成された半導体チップ内に、前記保護ダイオードの他に、温度検出回路等のような保護回路を設け、その保護回路も前記パワーMISFETのゲート、ソース間に接続したものもある。
【0005】
前記パワーMISFETのパッケージの構造には、一般的に3端子構造のパッケージが採用されており、前記半導体チップの第1主面上にゲート電極及びソース電極が形成され、前記第1主面と対向する第2主面にドレイン電極が形成される。
【0006】
同一半導体チップ内に前記パワーMISFET及び他の保護回路を設けている半導体装置では、前記パワーMISFETの前段に前記保護回路等が接続されているために、前記パワーMISFETの信頼性評価において、高い電圧を印加することができない。そのため、効率よくかつ効果的な信頼性評価が難しく、これまでに種々の信頼性評価方法に関する技術が提案されている。
【0007】
特開平11−177087号公報には、前記パワーMISFETに接続される保護回路を電気的に分離した状態でスクリーニングを行い、スクリーニング後に前記パワーMISFETと保護回路を電気的に接続する技術が開示されている。
【0008】
前記特開平11−177087号公報では、前記半導体チップ形成時に、前記パワーMISFETのゲート電極と前記保護回路の電源端子を電気的に分離させた状態で近接させ、前記パワーMISFETのソース電極と前記保護回路の電源端子を電気的に分離させた状態で近接させている。
【0009】
このとき、前記パワーMISFETと前記保護回路は電気的に分離されているため、スクリーニングの際に、前記パワーMISFETのみの電気的特性を測定でき、信頼性の評価をすることが出来る。
【0010】
例えば、前記MISFETのゲート、ソース間に保護ダイオードを接続する場合には、前記パワーMISFETのみのオン抵抗を測定するために、図14乃至図16に示すように、ゲート端子を前記MISFET2に接続される第1ゲート端子4aと、前記保護ダイオード28の第2ゲート端子4bを電気的に分離させておく方法が考えられる。
【0011】
また、前記パワーMISFETは微細化及び高性能化が進み、オン抵抗が数mΩ程度の超低オン抵抗のものが開発されている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の技術では、前記パワーMISFETのオン抵抗が数mΩになった場合、ウエハ状態(チップ状態)で前記パワーMISFETのオン抵抗を正確に測定できないという問題があった。
【0013】
前記パワーMISFETのオン抵抗を、ウエハ状態で測定する場合、前記ウエハのドレイン電極側を測定用ステージに向かい合わせて載せ、各素子形成領域のゲート電極及びソース電極に測定用の端子を当てて行う。このとき、測定用ステージとドレイン電極(ウエハ)の間、測定用端子とゲート電極及びソース電極の間に生じる接触抵抗は数mΩである。
【0014】
従来のオン抵抗が数十mΩのパワーMISFETでは、前記接触抵抗がオン抵抗に比べて無視できる程度の大きさなので、ウエハ状態でもある程度正確なオン抵抗の測定ができるが、オン抵抗が数mΩの超低オン抵抗のパワーMISFETでは、前記接触抵抗とオン抵抗の大きさが同程度になり、測定時に区別ができず、正確なオン抵抗を測定できない。
【0015】
また、前記超低オン抵抗のパワーMISFETを使用するパワーデバイスが、多種多様になっており、半導体チップの状態で出荷されたパワーMISFETをそれぞれのパワーデバイスの特性及び使用目的に合わせて選択して使用する場合が出てくる。その場合、半導体チップの状態でのオン抵抗の保証がなされていないため、前記パワーMISFETの信頼性が低いという問題があった。
【0016】
また、ウエハ状態(チップ状態)でオン抵抗の測定ができないため、前記ウエハを個辺化して、パッケージングした後にオン抵抗を測定しおり、オン抵抗に不良がある半導体チップが混ざった状態で出荷、パッケージングされてしまう。そのため、前記パワーMISFETの信頼性が低くなるとともに、完成されたパッケージの歩留まりが低下し、製造コストが高くなるという問題があった。
【0017】
本発明の目的は、超低オン抵抗のパワーMISFETを有する半導体装置において、前記パワーMISFETのオン抵抗をウエハ状態(チップ状態)で正確に測定することが可能な技術を提供することにある。
【0018】
本発明の他の目的は、超低オン抵抗のパワーMISFETのオン抵抗の特性保証を容易に行うことが可能な技術を提供することにある。
【0019】
本発明の他の目的は、超低オン抵抗のパワーMISFETの信頼性を向上させることが可能な技術を提供することにある。
【0020】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面によって明らかになるであろう。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明の概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
(1)半導体基板内に第1導電型のソース領域及びドレイン領域と第2導電型のチャネル領域が形成され、前記チャネル領域表面に絶縁膜を介してゲート電極が形成されたMISトランジスタセルが多数個並列に接続されたパワーMISFETを有する半導体装置において、同一半導体基板上に、N個の前記MISトランジスタセルにより構成される第1MISFETと、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルと同じ大きさで、かつ前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの数Nに対してN/100以下のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFETとを有し、前記第1MISFETのゲート電極と接続される第1ゲート端子と、前記第2MISFETのゲート電極と接続される第2ゲート端子は、電気的に分離されており、かつ、ボンディングワイヤを用いて前記第1ゲート端子及び第2ゲート端子と、ゲート用のリードとを接続するときに、前記ボンディングワイヤの一方の端部により、前記第1ゲート端子と前記第2ゲート端子とを電気的に一括して接続可能な距離に形成されている半導体装置である。
【0022】
(2)半導体基板内に第1導電型のソース領域及びドレイン領域と第2導電型のチャネル領域が形成され、前記チャネル領域表面に絶縁膜を介してゲート電極が形成されたトレンチゲート構造のMISトランジスタセルが多数個並列に接続されたパワーMISFETと、前記パワーMISFETのゲート電極とソース電極間を接続する保護回路を有する半導体装置であって、同一半導体基板上に、N個の前記MISトランジスタセルにより構成される第1MISFETと、前記第1MISFETを構成するMISトランジスタセルの数Nに対してN/100以下のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFETと、前記第1MISFETのゲート電極とソース電極間を接続する第1保護回路と、前記第2MISFETのゲート電極とソース電極間を接続する第2保護回路を有し、前記第1MISFETのゲート電極及び前記第2MISFETのゲート電極、ならびに前記第2保護回路のゲート電極側に接続される端子は、同一の第1ゲート端子に接続され、前記第1保護回路のゲート電極側に接続される端子は第2ゲート端子に接続され、前記第1ゲート端子と第2ゲート端子は電気的に分離されており、かつ、第1のボンディングワイヤを用いて前記第1ゲート端子及び前記第2ゲート端子と、ゲート用のリードとを接続するときに、前記第1のボンディングワイヤの一方の端部により、前記第1ゲート端子と前記第2ゲート端子とを電気的に一括して接続可能な距離に形成されており、前記第2MISFETのソース電極に接続される第1ソース端子と、前記第2保護回路のソース電極側に接続される第2ソース端子は、電気的に分離されており、かつ、第2のボンディングワイヤを用いて前記第1ソース端子及び前記第2ソース端子と、ソース用のリードとを接続するときに、前記第2のボンディングワイヤの一方の端部により、前記第1ソース端子と前記第2ソース端子とを電気的に一括して接続可能な距離に形成されている半導体装置である。
【0023】
前記(1)の手段によれば、同一の半導体基板上にトランジスタセルの数が異なる2つのパワーMISFETを形成し、それぞれを単独で動作させることができるようにゲート端子を電気的に分離させて形成している。このとき、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの個数をN個としたときに、前記第2MISFETをトランジスタセルの個数がN/100からN/10000となるように形成する。このようにすることで、チップ状態(ウエハ状態)では、トランジスタセルの数が多い超オン抵抗の第1MISFETのオン抵抗が正確に測れない場合でも、トランジスタセルの数が少ない第2MISFETのオン抵抗を正確に測定することにより、前記第1MISFETのオン抵抗を保証することができる。
【0024】
また、前記第1MISFETのゲート電極と接続される第1ゲート端子と、第2MISFETのゲート電極と接続される第2ゲート端子は、半導体チップの状態では電気的に分離されているが、その後の組み立て、パッケージング工程においてボンディングワイヤ等で電気的に接続することで、ゲート端子を共有できるようにする。
【0025】
また、前記各MISFETのソース・ゲート間に保護回路を設けるような場合には、前記(2)の手段のようにすることで、同一の半導体基板上に、前記第1MISFET、第2MISFET、及び各MISFETのソース・ゲート間に接続される保護回路がすべて電気的に分離された状態で形成される。このときも、半導体チップの状態でトランジスタセルの数が少ない第2MISFETのオン抵抗を測定することにより、第1MISFETのオン抵抗が保証できる。
【0026】
また、電気的に分離された前記第1MISFET、第2MISFET、及び各保護回路は、組み立て(パッケージング)工程でボンディングワイヤ等で電気的に接続される。
【0027】
以下、本発明について、図面を参照して実施の形態(実施例)とともに詳細に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは、同一符号をつけ、その繰り返しの説明は省略する。
【0028】
【発明の実施の形態】
(実施例1)
図1は、本発明による実施例1の半導体装置の概略構成を示す模式平面図であり、図2は図1の等価回路図である。
【0029】
図1及び図2において、1は半導体チップ、2は本体MISFET(第1MISFET)、3はセンスMISFET(第2MISFET)、4はゲート端子、4aは第1ゲート端子、4bは第2ゲート端子、5aは本体ゲート配線、5bはセンスゲート配線、6は本体ソース端子、7はセンスソース端子である。
【0030】
本実施例1の半導体装置は、スタータジェネレータ向けなどの高定格電流、超低オン抵抗、高信頼度を要求されるパワーMISFET、より具体的には、低オン抵抗に有効な本体MISFETがトレンチゲート構造を有した縦型パワーMISFETであり、図1及び図2に示すように、同一の半導体チップ1上に、2つのパワーMISFET、第1MISFET2及び第2MISFET3が形成されている。前記第1MISFET2のゲート電極及び前記第2MISFET3のゲート電極は、本体ゲート配線5a及びセンスゲート配線5bによりゲート端子4に接続され、前記第1MISFET2上には本体ソース端子6が形成され、前記第2MISFET3上にはセンスソース端子7が形成されている。また、図1には示していないが、前記半導体基板の裏面には、ドレイン電極8が形成されている。
【0031】
また、前記ゲート端子4は、第1ゲート端子4a及び第2ゲート端子4bにより構成されており、前記第1ゲート端子4aは前記本体ゲート配線5aにより前記第1MISFET2のゲート電極と、前記第2ゲート端子4bは前記センスゲート配線5bにより前記第2MISFET3のゲート電極と、それぞれ接続されている。前記第1ゲート端子4aと第2ゲート端子4bとは、前記半導体チップ1上に前記各ゲート配線及び前記各ゲート端子を形成する工程では、電気的に分離されており、前記第1MISFET2及び第2MISFET3を個別に動作させることができるようになっている。そのため、前記半導体チップ1の状態で、前記第2MISFET3のみの電気的特性を測定することができる。
【0032】
図3は、図1の半導体装置の拡大平面図であり、図4は、図3のA−A’線での断面図である。
【0033】
本実施例1の半導体チップ1は、図3及び図4に示すように、シリコン等の半導体基板11上に形成されたn型エピタキシャル層12上に形成されるフィールド絶縁膜13により、前記第1MISFET2及び前記第2MISFET3を形成する領域が分離されている。前記第1MISFET2を形成する領域の前記フィールド絶縁膜13に接する外周部には、pウェル層14が形成されており、前記pウェル層14の内側の領域には、前記第1MISFET2を構成するトランジスタセルが形成されている。前記トランジスタセルは、ハニカム状に形成された溝(トレンチ)表面に、ゲート絶縁膜15を介してゲート電極9が形成され、前記ハニカム状のゲート電極9に囲まれた領域に、pチャネル領域16とnソース領域17が形成されている。前記nソース領域17上には、層間絶縁膜18が形成されており、前記層間絶縁膜18には、前記ソース領域17を貫通し、前記チャネル領域16に達する溝が形成されており、層間絶縁膜18上に形成されたソース電極10が接続される。また、前記ゲート電極9の一端9aは、前記層間絶縁膜18上に形成される本体ゲート配線5aと接続され、前記第1ゲート端子4aから電圧が印加される。
【0034】
前記第2MISFET3を形成する領域にも、前記第1MISFET2と同一の構成のトランジスタセルが形成されているが、前記第2MISFET3を構成するトランジスタセルの数Mは、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの数Nに比べて充分に少なく、例えば、1000分の1(M=N/1000)であるとする。
【0035】
次に、本実施例1の半導体装置の製造方法について説明するが、ウエハ状の前記半導体基板11の各回路形成領域に前記各MISFETを形成には、従来の方法を用いるため、以下、MISFETを形成する方法を簡単に説明する。
【0036】
まず、シリコン等のウエハ状態の半導体基板11上にnエピタキシャル層12を形成し、前記半導体基板11のスクライブ領域で分割された回路形成領域に、選択酸化(LOCOS)によるフィールド絶縁膜13を形成し、前記第1MISFET2を形成する領域及び第2MISFET3を形成する領域を分離する。次に、前記フィールド絶縁膜13により分離された前記各MISFETを形成する領域の外周部にpウェル層14を形成する。
【0037】
次に、前記pウェル層14で囲まれた領域に、ゲート電極形成用の溝(トレンチ)をハニカム状に形成し、前記溝(トレンチ)の表面にゲート酸化膜15を形成した後、前記溝(トレンチ)内部にゲート電極9を形成する。このとき、前記ゲート電極9の外周部の一端9aは、前記フィールド絶縁膜13側へ引き出される。
【0038】
次に、前記ハニカム状のゲート電極9に囲まれた領域に、pチャネル領域16及びnソース領域17を形成し、表面を層間絶縁膜18で覆う。ここまでの工程で、ウエハ状の前記半導体基板11上の各回路形成領域には、トランジスタセルの数がN個の第1MISFET2と、トランジスタセルの数がM個(M=N/1000)の第2MISFET3が同時に形成される。
【0039】
次に、前記フィールド絶縁膜13側へ引き出されたゲート電極9a及び前記ハニカム状のゲート電極9に囲まれた領域の前記層間絶縁膜18上にコンタクトホールを形成し、前記ゲート電極9を引き出す本体ゲート配線5a及びセンスゲート配線5b、ならびに各MISFETを構成するトランジスタセルのpソース領域17から引き出されたソース電極10を形成する。このとき、前記第1MISFET2から引き出される本体ゲート配線5a及び前記第2MISFET3から引き出されるセンスゲート配線5bの先端部は、電気的に接続されない距離に近接させて形成される。
【0040】
次に、表面保護膜19を形成し、前記本体ゲート配線5aとセンスゲート配線5bが近接する領域及び前記ソース電極10上に所定の形状の開口部を設け、前記ゲート端子4及び本体ソース端子6、ならびにセンスソース端子7を形成する。前記ゲート端子4に露出した、前記本体ゲート配線5aの先端部が前記第1ゲート端子4aとなり、前記センスゲート配線5bの先端部が前記第2ゲート端子4bとなる。
【0041】
その後、前記ウエハ状の半導体基板11の裏面を研磨して、金属膜を形成しドレイン電極8とすると、前記各回路形成領域に、図3及び図4に示したような第1MISFET2及び第2MISFET3、ならびに第1ゲート端子4a及び第2ゲート端子4bからなるゲート端子4を有する半導体装置が形成される。
【0042】
前記ウエハ状の半導体基板11の各回路形成領域に前記各MISFETを形成した後、ウエハ状態で前記各MISFETの電気的特性の検査を行う。この電気的特性の検査は、前記各MISFETが形成された、ウエハ状態の半導体基板を検査用のステージ上に載せて、前記検査用ステージからドレイン電流を供給し、前記各MISFETのゲート端子4及び本体ソース端子6ならびにセンスソース端子7に検査端子を当てて行う。このとき、前記各回路形成領域に形成されたMISFETのオン抵抗を測定は、前記第2ゲート端子4b及びセンスソース端子7に検査端子を当てて前記第2MISFET3のオン抵抗を測定する。
【0043】
前記第1MISFET2のようにオン抵抗が数mΩと超低オン抵抗である場合には、前記半導体基板11と前記検査用ステージとの間の接触抵抗が、数mΩであるため、前記第1MISFET2のオン抵抗を正確に測定できない。しかし、前記第2MISFET3は、トランジスタセルの数が前記第1MISFET2の1000分の1であるため、そのオン抵抗が数百mΩから数千mΩと大きくなり、前記接触抵抗の影響を受けず、正確なオン抵抗を測定できる。
【0044】
前記第1MISFET2と前記第2MISFET3は、トランジスタセルの構造が同一であるため、その数の比から前記第1MISFET2のオン抵抗が見積もれるため、ウエハ状態(チップ状態)で、前記超低オン抵抗の第1MISFET2のオン抵抗を保証することができる。
【0045】
前記ウエハ状態での前記各MISFETのオン抵抗の測定、及びその他の電気的特性の検査が終了したら、スクライブ領域で切断し、個々の半導体チップ1に分離する。このとき、前記電気的特性の検査で不良と判定された半導体チップは除去されるので、半導体チップの状態でのオン抵抗が保証されるとともに、前記半導体チップの信頼性が高くなる。
【0046】
次に、分割された個々の半導体チップ1を組み立てる工程について説明する。図5乃至図7は、本実施例1の半導体装置の製造工程を説明するための図である。図5及び図6において、20はリードフレーム、21はダイパッド、22はゲート用リード、23は本体ソース用リード、24はセンスソース用リード、25はドレイン用リード、26はボンディングワイヤ、26aはボンディングワイヤの先端部である。
【0047】
まず、図5に示すように、前記手順に沿って、トランジスタセルの個数がN個の第1MISFET2と、トランジスタセルの個数がM個(M=N/1000)の第2MISFET3が形成された半導体チップ1のドレイン電極側(裏面)をリードフレーム20のダイパッド21に接着する。前記半導体チップ1と前記ダイパッド21の接着には銀ペースト等の導電性接着剤を利用する。また、前記リードフレームには、前記ダイパッド21の他にゲート用リード21、第1ソース用リード22、第2ソース用リード24、及び前記ダイパッド21と接続されているドレイン用リード25が設けられている。
【0048】
次に、図6に示すように、前記半導体チップ1上に設けられた前記ゲート端子4、前記本体ソース端子6、前記センスソース端子のそれぞれと、前記ゲート用リード22、本体ソース用リード23、センスソース用リード24をボンディングワイヤ26で接続する。このとき、前記ゲート端子4は第1ゲート端子4aと第2ゲート端子4bに分離されているが、図7(a)及び図7(b)に示すように、近接して形成しておくことにより、前記ボンディングワイヤ26の先端部26aにより電気的に接続される。そのため、前記ゲート端子4とゲート用リード22の接続を一括して行える。
【0049】
その後、前記半導体チップ1及び各リード、ならびにボンディングワイヤ26を樹脂で封止し、前記リードフレーム20の外枠部分を切断し、前記各リードを分離して、半導体パッケージにする。
【0050】
以上説明したように、本実施例1の半導体装置によれば、同一の半導体チップ1上に、N個のトランジスタセルにより構成される第1MISFETと、その100分の1から10000分の1程度のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFETとを形成し、さらに、前記第1MISFETのゲート電極に接続される第1ゲート端子と前記第2MISFETのゲート電極に接続される第2ゲート端子を、電気的に分離させておくことにより、それぞれのMISFETで電気的特性を検査することができる。そのため、前記第1MISFETのオン抵抗が低く、ウエハ状態で正確に測定、保証できない場合でも、前記第2MISFETのオン抵抗を正確に測定することで、半導体チップ状態での前記第1MISFETのオン抵抗を保証することができる。
【0051】
また、超オン抵抗の前記第1MISFETのオン抵抗を半導体チップの状態で保証できるため、前記半導体チップの選別時において、不良チップが除去されるため前記半導体チップの信頼性が向上する。そのため、前記半導体チップの状態で取引をすることが可能となり、前記半導体チップをパッケージングした後にオン抵抗を測定して保証する場合に比べ、前記半導体チップを利用する側の自由度が増す。
【0052】
また、前記半導体チップの信頼性が向上するため、パッケージングした後にオン抵抗を測定するだけの場合に比べ不良発生率が下がり、歩留りが向上し、製造コストが低下する。
【0053】
なお、本実施例1では、前記第2MISFET3のオン抵抗の測定して、第1MISFET2のオン抵抗を評価、保証する場合について説明したが、これに限らず、ウエハ状態(チップ状態)では測定できない前記第1MISFET2の特性を前記第2MISFET3で測定することにより、前記第1MISFET2の特性を評価することができる。
【0054】
(実施例2)
図8は、本発明による実施例2の半導体装置の概略構成を示す模式平面図であり、図9は、図8の等価回路図である。
【0055】
図8及び図9において、1は半導体チップ、2は第1MISFET(本体MISFET)、3は第2MISFET(センスMISFET)、4はゲート端子、4aは第1ゲート端子、4bは第2ゲート端子、5aは本体ゲート配線、5bはセンスゲート配線、5c,5dは保護回路用配線、5eは第1センス配線、5fは第2センス配線、5gはグランド配線、6は本体ソース端子、7はセンスソース端子、7aは第1センス端子(第1ソース端子)、7bは第2センス端子(第2ソース端子)、27は第1保護回路、28は第2保護回路(保護ダイオード)、29はグランド(GND)端子、30は保護ダイオード、31は抵抗である。
【0056】
本実施例2の半導体装置は、前記パワーMISFETの静電破壊強度を確保するために、前記実施例1で説明したようなトランジスタセルの数が異なる2つのMISFET、第1MISFET2と第2MISFET3のそれぞれのゲート、ソース間に保護回路(保護ダイオード)を接続した場合の実施例である。
【0057】
本実施例2の半導体装置は、スタータジェネレータ向けなどの高定格電流、超低オン抵抗、高信頼度を要求されるパワーMOSFETのようなものであり、図8及び図9に示すように、同一の半導体チップ1上に、第1MISFET2及び第2MISFET3、ならびに前記第1MISFET2のゲート、ソース間に接続される第1保護回路27及び第2MISFET3のゲート、ソース間に接続される第2保護回路28が形成されている。前記第1MISFET2に接続される第1保護回路27は、例えば、図9に示すように、保護ダイオード(ツェナーダイオード)30と抵抗31が並列に接続されたものを用い、前記第2MISFET3に接続される第2保護回路28には保護ダイオードを用いる。
【0058】
前記第1MISFET2及び前記第2MISFET3のゲート電極9、ならびに前記第2MISFET3の保護ダイオード28は、本体ゲート配線5a及びセンスゲート配線5bにより第1ゲート端子4aに接続され、前記第1MISFET2に接続される第1保護回路27は、保護回路用配線5cにより第2ゲート端子4bに接続される。前記ゲート端子4を構成する前記第1ゲート端子4aは前記第1ゲート配線5aにより前記第1MISFET2のゲート電極9と接続されるとともに、前記第2ゲート配線5bにより前記第2MISFET3のゲート電極及び保護回路30と接続されている。また、前記第2ゲート端子4bは保護回路用配線5cにより前記第1MISFET2の保護回路と接続される。
【0059】
また、前記第1MISFET2上には本体ソース端子6が形成され、前記第2MISFET3には、センスソース端子7が接続されている。前記センスソース端子7は、第1センス端子7aと第2センス端子7bが電気的に分離されて形成されており、前記第1センス端子7aは第1センス配線5eにより前記第2MISFET3のソース電極と接続され、前記第2センス端子7bは第2センス配線5fにより前記第2保護回路28に接続されている。また、図8には示していないが、前記半導体基板の裏面には、ドレイン電極8が形成されている。
【0060】
前記第1ゲート端子4aと第2ゲート端子4bとは、前記半導体チップ1上に前記各ゲート配線及び前記各ゲート端子を形成する工程では、電気的に分離されており、同様に、前記第1センス端子7aと第2センス端子7bも電気的に分離されているので、前記第1MISFET2及び第2MISFET3は、前記第1保護回路27及び第2保護回路28と電気的に分離されているので、前記各MISFETのみを個別に動作させることができるようになっている。そのため、前記半導体チップ1の状態で、前記第2MISFET3のみの電気的特性を測定することができる。
【0061】
図10は、図8の半導体装置の拡大平面図であり、図11は、図10のC−C’線での断面図である。
【0062】
本実施例2の半導体チップ1は、図10及び図11に示すように、シリコン等の半導体基板11上に形成されたn型エピタキシャル層12上に形成されるフィールド絶縁膜13により、前記第1MISFET2及び前記第2MISFET3を形成する領域が分離されている。前記第1MISFET2を形成する領域の前記フィールド絶縁膜13に接する外周部には、pウェル層14が形成されており、前記pウェル層14の内側の領域には、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルが形成されている。前記トランジスタセルは、ハニカム状に形成された溝(トレンチ)表面に、ゲート絶縁膜15を介してゲート電極9が形成され、前記ハニカム状のゲート電極9に囲まれた領域に、pチャネル領域16とnソース領域17が形成されている。前記nソース領域17上には、層間絶縁膜18が形成されており、前記層間絶縁膜18には、前記ソース領域17を貫通し、前記チャネル領域16に達する溝が形成されており、層間絶縁膜18上に形成されたソース電極が接続される。また、前記ゲート電極9の一端は、前記層間絶縁膜18上に形成される第1ゲート配線5aと接続され、前記第1ゲート端子4aから電圧が印加される。
【0063】
前記第2MISFET3を形成する領域にも、前記第1MISFET2と同一の構成のトランジスタセルが形成されているが、前記第2MISFET3を構成するトランジスタセルの数Mは、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの数Nに比べて充分に少なく、例えば、1000分の1(M=N/1000)であるとする。
【0064】
また、前記フィールド絶縁膜13上には、nシリコン30a、30c、30e、30g及びpシリコン30b、30d、30fが横方向に積層された前記第1保護回路27の保護ダイオード30、及び、同様の構成の前記第2MISFET3に接続される保護ダイオード28が形成されている。
【0065】
次に、本実施例2の半導体装置の製造方法について説明するが、ウエハ状の前記半導体基板11の各回路形成領域に前記各MISFETを形成には、従来の方法を用いるため、以下、MISFETを形成する方法を簡単に説明する。
【0066】
まず、前記実施例1で説明したように、シリコン等のウエハ状態の半導体基板11上にnエピタキシャル層12を形成し、前記半導体基板11のスクライブ領域で分割された回路形成領域に、所定の形状のフィールド絶縁膜13、pウェル層14、ゲート電極形成用の溝(トレンチ)、ゲート酸化膜15、及びゲート電極9を形成する。
【0067】
次に、前記フィールド絶縁膜13上にpシリコンを堆積させ、前記保護ダイオード30及び抵抗(図示しない)等を形成する。
【0068】
次に、前記ハニカム状のゲート電極9に囲まれた領域に、pチャネル領域16及びnソース領域17を形成するとともに、前記保護ダイオードの領域を形成し、表面を層間絶縁膜18で覆う。ここまでの工程で、ウエハ状の前記半導体基板11上の各回路形成領域には、トランジスタセルの数がN個の第1MISFET2と、トランジスタセルの数がM個(M=N/1000)の第2MISFET3、及び保護ダイオード28,30が同時に形成される。
【0069】
次に、前記フィールド絶縁膜13側へ引き出されたゲート電極9及び前記ハニカム状のゲート電極9に囲まれた領域の前記層間絶縁膜18上、ならびに前記保護ダイオード28,30の両端上にコンタクトホールを形成し、前記第1MISFET2及び第2MISFET3のゲート電極9、ならびに前記保護ダイオード28の一端28gを接続する本体ゲート配線5aと、前記保護回路用配線5c、5dと、前記第1センス配線5eと、前記第2センス配線5fと、各MISFETを構成するトランジスタセルのpソース領域17から引き出されたソース電極10を形成する。このとき、前記第1MISFET2から引き出される本体ゲート配線5aと前記保護ダイオード30の一端30gから引き出される保護回路用配線5cの先端部は、電気的に接続されない距離に近接させて形成される。また、前記第2MISFET3のソース電極10から引き出された第1センス配線5eと、保護ダイオード28の一端28aから引き出された第2センス配線5fの先端部も電気的に接続されない距離に近接させて形成される。
【0070】
次に、表面保護膜19を形成し、前記本体ゲート配線5aと保護回路用配線5cが近接する領域及び前記ソース電極10上、ならびに前記第1センス配線5eと第2センス配線5fが近接する領域に所定の形状の開口部を設け、前記ゲート端子4及び本体ソース端子6、ならびにセンスソース端子7を形成する。前記ゲート端子4に露出した、前記本体ゲート配線5aの先端部が前記第1ゲート端子4aとなり、前記保護回路用配線5cの先端部が前記第2ゲート端子4bとなる。また、前記センスソース端子7に露出した第1センス配線5eの先端部が第1センス端子7aとなり、前記第2センス配線5fの先端が第2センス端子7bとなる。
【0071】
その後、前記ウエハ状の半導体基板11の裏面を研磨して、金属膜を形成しドレイン電極8とすると、前記各回路形成領域に、図10及び図11に示したような第1MISFET2及び第2MISFET3、ならびに第1ゲート端子4a及び第2ゲート端子4bからなるゲート端子4と前記第1センス端子7a及び第2センス端子7bからなるセンスソース端子7を有する半導体装置が形成される。
【0072】
前記ウエハ状の半導体基板11の各回路形成領域に前記各MISFETを形成した後、ウエハ状態で前記各MISFETの電気的特性の検査を行う。この電気的特性の検査は、前記各MISFETが形成された、ウエハ状態の半導体基板を検査用のステージ上に載せて、前記検査用ステージからドレイン電流を供給し、前記各MISFETのゲート端子4及び本体ソース端子6ならびにセンスソース端子7に検査端子を当てて行う。このとき、前記各回路形成領域に形成されたMISFETのオン抵抗を測定は、前記第1ゲート端子4a及び第1センスソース端子7aに検査端子を当てて前記第2MISFET3のオン抵抗を測定する。
【0073】
前記第1MISFET2のようにオン抵抗が数mΩと超低オン抵抗である場合には、前記半導体基板11と前記検査用ステージとの間の接触抵抗が、数mΩであるため、前記第1MISFET2のオン抵抗を正確に測定できない。しかし、前記第2MISFET3は、トランジスタセルの数が前記第1MISFET2の1000分の1であるため、そのオン抵抗が数百mΩから数千mΩと大きくなり、前記接触抵抗の影響を受けず、正確なオン抵抗を測定できる。
【0074】
前記第1MISFET2と前記第2MISFET3は、トランジスタセルの構造が同一であるため、その数の比から前記第1MISFET2のオン抵抗が見積もれるため、ウエハ状態(チップ状態)で、前記超低オン抵抗の第1MISFET2のオン抵抗を保証することができる。
【0075】
前記ウエハ状態での前記各MISFETのオン抵抗の測定、及びその他の電気的特性の検査が終了したら、スクライブ領域で切断し、個々の半導体チップ1に分離する。このとき、前記電気的特性の検査で不良と判定された半導体チップは除去されるので、半導体チップの状態でのオン抵抗が保証されるとともに、前記半導体チップの信頼性が高くなる。
【0076】
次に、分割された個々の半導体チップを組み立てる工程について説明する。
図12及び図13は、本実施例2の半導体装置の製造工程を説明するための図である。図12及び図13において、20はリードフレーム、21はダイパッド、22はゲート用リード、23は本体ソース用リード、24はセンスソース用リード、25はドレイン用リード、26はボンディングワイヤ、26aはボンディングワイヤの先端部、32はグランド(GND)端子である。
【0077】
まず、図12に示すように、前記手順に沿って、トランジスタセルの個数がN個の第1MISFET2と、トランジスタセルの個数がM個(M=N/1000)の第2MISFET3が形成された半導体チップ1のドレイン電極側(裏面)をリードフレーム20のダイパッド21に接着する。前記半導体チップ1と前記ダイパッド21の接着には銀ペースト等の導電性接着剤を利用する。また、前記リードフレーム20には、前記ダイパッド21の他にゲート用リード21、本体ソース用リード22、センスソース用リード24、グランド用リード32、及び前記ダイパッド21と接続されているドレイン用パッド25が設けられている。
【0078】
次に、図13に示すように、前記半導体チップ1上に設けられた前記ゲート端子4、前記本体ソース端子6、前記センスソース端子7、前記グランド端子29のそれぞれと、前記ゲート用リード22、本体ソース用リード23、センスソース用リード24、グランド用リード32をボンディングワイヤ26で接続する。このとき、前記ゲート端子4は第1ゲート端子4aと第2ゲート端子4bに分離され、前記センスソース端子7は第1センスソース端子7aと第2センスソース端子7bに分離されているが、図7(a)及び図7(b)に示すように、近接して形成しておくことにより、前記ボンディングワイヤ26の先端部26aにより電気的に接続される。そのため、前記ゲート端子4とゲート用リード22の接続を一括して行える。また、前記センスソース端子7の前記第1センス端子7a及び第2センス端子7bも前記ゲート端子4と同様にボンディングワイヤ26の先端部26aで電気的に接続される。
【0079】
その後、前記半導体チップ1及び各リード、ならびにボンディングワイヤ26を樹脂で封止し、前記リードフレーム20の外枠部分を切断し、前記各リードを分離して、半導体パッケージにする。
【0080】
以上説明したように、本実施例2の半導体装置によれば、同一の半導体チップ1上に、N個のトランジスタセルにより構成される第1MISFET2と、その100分の1から10000分の1程度のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFET3とを形成し、さらに、前記第1MISFET2のソース電極10に接続される本体ソース端子6と前記第2MISFET3のソース電極10に接続されるセンスソース端子7を、電気的に分離させておくことにより、それぞれのMISFETで電気的特性を検査することができる。そのため、前記第1MISFET2のオン抵抗が低く、ウエハ状態で正確に測定、保証できない場合でも、前記第2MISFET3のオン抵抗を正確に測定することで、半導体チップ状態での前記第1MISFET2のオン抵抗を保証することができる。
【0081】
また、前記第1MISFET2及び第2MISFET3とともに、半導体チップ上に形成される保護回路も、半導体チップの状態では電気的に分離されているが、オン抵抗を測定した後にボンディングワイヤ等で電気的に接続できるため、前記各MISFETのゲート・ソース間に前記保護回路を接続し、静電破壊強度を確保することができる。
【0082】
また、超オン抵抗の前記第1MISFET2のオン抵抗を半導体チップの状態で保証できるため、前記半導体チップの選別時において、不良チップが除去されるため前記半導体チップの信頼性が向上する。そのため、前記半導体チップの状態で取引をすることが可能となり、前記半導体チップをパッケージングした後にオン抵抗を測定して保証する場合に比べ、前記半導体チップを利用する側の自由度が増す。
【0083】
また、前記半導体チップの信頼性が向上するため、パッケージングした後にオン抵抗を測定するだけの場合に比べ不良発生率が下がり、歩留りが向上し、製造コストが低下する。
【0084】
なお、本実施例2では、前記第2MISFET3のオン抵抗の測定して、第1MISFET2のオン抵抗を評価する場合について説明したが、これに限らず、ウエハ状態(チップ状態)では測定できない前記第1MISFET2の特性を前記第2MISFET3で測定することにより、前記第1MISFET2の特性を評価することができる。
【0085】
以上、本発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることはもちろんである。
【0086】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【0087】
(1)超低オン抵抗のパワーMISFETを有する半導体装置において、前記パワーMISFETのオン抵抗をウエハ状態(チップ状態)で正確に測定することができる。
【0088】
(2)超低オン抵抗のパワーMISFETのオン抵抗の特性保証を容易に行うことできる。
【0089】
(3)超低オン抵抗のパワーMISFETの信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による実施例1の半導体装置の概略構成を示す模式平面図である。
【図2】図1の等価回路図である。
【図3】図1の部分拡大図である。
【図4】図3のA−A’線での断面図である。
【図5】本実施例1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図6】本実施例1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図7】本実施例1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図8】本発明による実施例2の半導体装置の概略構成を示す模式平面図である。
【図9】図8の等価回路図である。
【図10】図8の部分拡大図である。
【図11】図10のC−C’線での断面図である。
【図12】本実施例2の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図13】本実施例2の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図14】従来の半導体装置の概略構成を説明するための模式平面図である。
【図15】図14の等価回路図である。
【図16】図14の部分拡大図である。
【符号の説明】
1…半導体チップ、2…本体MISFET(第1MISFET)、3…センスMISFET(第2MISFET)、4…ゲート端子、4a…第1ゲート端子、4b…第2ゲート端子、5a…本体ゲート配線、5b…センスゲート配線、5c,5d…保護回路用配線、5e…第1センス配線、5f…第2センス配線、5g…グランド配線、6…本体ソース端子、7…センスソース端子、7a…第1センス端子(第1ソース端子)、7b…第2センス端子(第2ソース端子)、8…ドレイン電極、9…ゲート電極、10…ソース電極、11…半導体基板、12…エピタキシャル層、13…フィールド絶縁膜、14…ウェル層、15…ゲート絶縁膜、16…チャネル領域、17…ソース領域、18…層間絶縁膜、19…表面保護膜、20…リードフレーム、21…ダイパッド、22…ゲート用リード、23…本体ソース用リード、24…センスソース用リード、25…ドレイン用リード、26…ボンディングワイヤ、27…第1保護回路、28…第2保護回路(保護ダイオード)、29…グランド端子、30…保護ダイオード、31…抵抗、32…グランド用リード。
Claims (5)
- 半導体基板内に第1導電型のソース領域及びドレイン領域と第2導電型のチャネル領域が形成され、前記チャネル領域表面に絶縁膜を介してゲート電極が形成されたMISトランジスタセルが多数個並列に接続されたパワーMISFETを有する半導体装置において、
同一半導体基板上に、N個の前記MISトランジスタセルにより構成される第1MISFETと、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルと同じ大きさで、かつ前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの数Nに対してN/100以下のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFETとを有し、
前記第1MISFETのゲート電極と接続される第1ゲート端子と、前記第2MISFETのゲート電極と接続される第2ゲート端子は、電気的に分離されており、かつ、
ボンディングワイヤを用いて前記第1ゲート端子及び前記第2ゲート端子と、ゲート用のリードとを接続するときに、前記ボンディングワイヤの一方の端部により、前記第1ゲート端子と前記第2ゲート端子とを電気的に一括して接続可能な距離に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板内に第1導電型のソース領域及びドレイン領域と第2導電型のチャネル領域が形成され、前記チャネル領域表面に絶縁膜を介してゲート電極が形成されたトレンチゲート構造のMISトランジスタセルが多数個並列に接続されたパワーMISFETと、前記パワーMISFETのゲート電極とソース電極間を接続する保護回路を有する半導体装置であって、
同一半導体基板上に、N個の前記MISトランジスタセルにより構成される第1MISFETと、前記第1MISFETを構成するMISトランジスタセルの数Nに対してN/100以下のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFETと、前記第1MISFETのゲート電極とソース電極間を接続する第1保護回路と、前記第2MISFETのゲート電極とソース電極間を接続する第2保護回路を有し、
前記第1MISFETのゲート電極及び前記第2MISFETのゲート電極、ならびに前記第2保護回路のゲート電極側に接続される端子は、同一の第1ゲート端子に接続され、前記第1保護回路のゲート電極側に接続される端子は第2ゲート端子に接続され、前記第1ゲート端子と第2ゲート端子は電気的に分離されており、かつ、
第1のボンディングワイヤを用いて前記第1ゲート端子及び前記第2ゲート端子と、ゲート用のリードとを接続するときに、前記第1のボンディングワイヤの一方の端部により、前記第1ゲート端子と前記第2ゲート端子とを電気的に一括して接続可能な距離に形成されており、
前記第2MISFETのソース電極に接続される第1ソース端子と、前記第2保護回路のソース電極側に接続される第2ソース端子は、電気的に分離されており、かつ、
第2のボンディングワイヤを用いて前記第1ソース端子及び前記第2ソース端子と、ソース用のリードとを接続するときに、前記第2のボンディングワイヤの一方の端部により、前記第1ソース端子と前記第2ソース端子とを電気的に一括して接続可能な距離に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板内に第1導電型のソース領域及びドレイン領域と第2導電型のチャネル領域が形成され、前記チャネル領域表面に絶縁膜を介してゲート電極が形成されたMISトランジスタセルが多数個並列に接続されたパワーMISFETを有する半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板上に、前記MISトランジスタセルの数がN個の第1MISFETと、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの数Nに対してN/100以下のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFETを形成する工程と、
前記第1MISFETのゲート電極と接続される第1ゲート端子と、前記第2MISFETのゲート電極と接続され、前記第1ゲート端子とは電気的に分離された第2ゲート端子を形成する工程と、
前記第2MISFETのオン抵抗を測定する工程と、
前記3つの工程の後に、前記第1ゲート端子と前記第2ゲート端子を電気的に接続する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板内に第1導電型のソース領域及びドレイン領域と第2導電型のチャネル領域が形成され、前記チャネル領域表面に絶縁膜を介してゲート電極が形成されたMISトランジスタセルが多数個並列に接続されたパワーMISFETを有する半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板上に、前記MISトランジスタセルの数がN個の第1MISFETと、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの数Nに対してN/100以下のM個のトランジスタセルにより構成される第2MISFETと、前記第1MISFETのゲート電極とソース電極の間に接続される第1保護回路と、前記第2MISFETのゲート電極とソース電極の間に接続される第2保護回路を形成する工程と、
前記第1MISFET、前記第2MISFET、及び前記第2保護回路のゲート電極側に接続される端子が接続される第1ゲート端子と、前記第1保護回路のゲート電極側に接続される端子に接続され、かつ前記第1ゲート端子と電気的に分離した第2ゲート端子と、前記第2MISFETのソース電極に接続される第1ソース端子と、前記第2保護回路のソース電極側に接続される端子と接続され、かつ前記第1ソース端子と電気的に分離した第2ソース端子とを形成する工程と、
前記第2MISFETのオン抵抗を測定する工程と、
前記3つの工程の後に、前記第1ゲート端子と第2ゲート端子、及び第1ソース端子と第2ソース端子を電気的に接続する工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板内に第1導電型のソース領域及びドレイン領域と第2導電型のチャネル領域が形成され、前記チャネル領域表面に絶縁膜を介してゲート電極が形成されたMISトランジスタセルが多数個並列に接続されたパワーMISFETを有する半導体装置の特性評価方法において、
半導体ウエハ上の複数の回路形成領域のそれぞれに、前記MISトランジスタセルの数がN個の第1MISFETと、前記第1MISFETを構成するトランジスタセルの数Nに対してN/100以下のM個のトランジスタセルにより構成され、かつ、前記第1MISFETとは独立して動作する第2MISFETとを備える前記半導体装置を形成しておき、
前記半導体ウエハの状態で、前記回路形成領域に形成された前記第2MISFETのオン抵抗を測定し、前記第2MISFETと同一の回路形成領域に形成された前記第1MISFETのオン抵抗を評価することを特徴とする半導体装置の特性評価方法。
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