JP4894717B2 - 炭化珪素単結晶基板の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の第1実施形態にかかるSiC単結晶製造装置の断面構成を示したものである。この図に示されるように、SiC単結晶製造装置は、有底円筒状の容器本体10と、円形状の蓋体20と、中空の円錐台形状をなしたスカート部30とを有して構成された黒鉛製の坩堝1を備えている。
上記実施形態では、SiC単結晶70の側面を所定厚さ分除去するとしているが、除去するSiC単結晶70の厚みを必ずしもすべて均等にする必要はない。少なくともSiC単結晶側面の凹凸が除去できる厚みであればどのような厚みであっても良い。また、最終的に円錐台形状のSiC単結晶70が得られれば、図2(a)のときのSiC単結晶70の中心軸とSiC単結晶側面の凹凸を除去した後のSiC単結晶70の中心軸がずれていたとしても構わない。なお、最終的に円柱形状となっても良いが、口径拡大のメリットを活かすために、口径を拡大させたままSiC単結晶側面の凹凸を除去することが好ましい。
Claims (10)
- 有底円筒状の容器本体(10)と当該容器本体(10)を蓋閉めするための蓋体(20)とを有した中空状の円柱形状をなす坩堝(1)を用意したのち、前記蓋体(20)に炭化珪素基板からなる種結晶(40)を配置すると共に前記容器本体(10)に炭化珪素原料(50)を配置し、前記炭化珪素原料(50)の昇華ガスを供給することにより前記種結晶(40)上に円錐台形状もしくは円柱形状の炭化珪素単結晶(70)を成長させ、その後、前記炭化珪素単結晶(70)をスライスすることで炭化珪素単結晶基板(80)を形成する炭化珪素単結晶基板の製造方法において、
前記円錐台形状もしくは円柱形状の前記炭化珪素単結晶(70)を前記種結晶(40)から切り離す工程と、
前記円錐台形状もしくは円柱形状とされた前記炭化珪素単結晶(70)の側面に形成された凹凸を前記切り離す工程の後に除去する工程と、
前記炭化珪素単結晶(70)の側面に形成された凹凸を除去した後の前記炭化珪素単結晶(70)をスライスすることにより、炭化珪素単結晶基板(80)を製造する工程、とを含むことを特徴とする炭化珪素単結晶基板の製造方法。 - 前記炭化珪素原料(50)の昇華ガスを供給することにより前記種結晶(40)上に円錐台形状もしくは円柱形状の炭化珪素単結晶(70)を成長させる工程は、種結晶(40)から成長方向に向かってテーパ状に延設された円錐台形状もしくは円柱形状のスカート部(30)に沿って成長させることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶(70)を前記種結晶(40)から切り離す工程は、前記炭化珪素単結晶(70)が前記種結晶(40)を介して前記蓋体(20)と一体化している状態で、前記炭化珪素単結晶(70)と前記種結晶(40)の境界面よりも前記炭化珪素単結晶(70)側の領域で切り離すことを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶(70)を前記種結晶(40)から切り離す工程は、前記炭化珪素単結晶(70)で、前記スカート部(30)に沿って成長した領域よりも前段階に成長した領域で、スカート部(30)に入る前の最も口径が小さい領域で切り離すことを特徴とする請求項2に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶(70)を前記種結晶(40)から切り離す工程は、前記炭化珪素単結晶(70)で前記スカート部(30)に沿って成長した領域で切り離すことを特徴とする請求項2に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶(70)を前記種結晶(40)から切り離す工程をワイヤソー、ワイヤ放電加工、あるいは超音波加工にて行うことを特徴とする請求項3ないし5のいずれか一つに記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶(70)の側面に形成された凹凸を除去する工程は、前記炭化珪素単結晶(70)のうち最も凹部が深いものの厚み分、前記炭化珪素単結晶(70)の側面全面を除去する工程であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶(70)を円錐台形状にて形成するとき、前記炭化珪素単結晶(70)の側面に形成された凹凸を除去する工程は、前記炭化珪素単結晶(70)の側面に形成された凹凸を除去した後の前記炭化珪素単結晶(70)の形状も円錐台形状にすることを特徴とする請求項7に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶基板(80)を製造する工程は、前記炭化珪素単結晶(70)を中心軸に対して所定の角度で、所定の厚みにスライスする工程であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶基板(80)をスライスする工程は、マルチワイヤソーで複数枚を同時にスライスすることを特徴とする請求項9に記載の炭化珪素単結晶基板の製造方法。
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