JP4892202B2 - 石英ガラス管の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
上記の石英ガラスシリンダを図1に示す製造装置を用いて、外径200mm、肉厚10mm、長さ約4350mmの石英ガラス管に加工した。このとき、ヒータ温度は2300℃、回転速度は20rpm、石英ガラスシリンダの内圧は104,000〜105,500Pa(作製開始時:101,325Pa)、石英ガラスシリンダの送り込み速度は22.05mm/min、石英ガラス管の引き抜き速度は50.77mm/minに設定した。なお、石英ガラスシリンダの接触開始位置は、石英ガラスシリンダの内圧を上記の範囲で変更して調整した。なお、外周成形具としては、図2に示す形状のものを用いた。この外周成形具において、外枠4-1としては、かさ密度が1.8Mg/m3であり、硬さが60HSであるものを用い、棒状突起部4-2としては、かさ密度が1.1Mg/m3であり、硬さが5HSであるものを用いた。
上記の石英ガラスシリンダを、外周成形具の形状・材質を除き、図1に記載の製造装置と同様の製造装置を用いて、外径200mm、肉厚10mm、長さ約4300mmの石英ガラス管に加工した。このとき、ヒータ温度は2300℃、回転速度は20rpm、石英ガラスシリンダの内圧は104,000〜105,500Pa(作製開始時:101,325Pa)、石英ガラスシリンダの送り込み速度は22.05mm/min、石英ガラス管の引き抜き速度は50.77mm/minに設定した。なお、石英ガラスシリンダの接触開始位置は、石英ガラスシリンダの内圧を上記の範囲で変更して調整した。なお、外周成形具としては、かさ密度が1.8Mg/m3であり、硬さが60HSの炭素材からなる通常のダイスを用いた。
2-1.入側チャック
2-2.出側チャック
3.ヒータ
4.外周成形具
4-1.外枠
4-2.棒状突起部
5-1.入側ダミー材
5-2.出側ダミー材
6.ホルダ
7.空間
Claims (6)
- 石英ガラスシリンダを加熱しつつ、その内部を加圧し、この石英ガラスシリンダを回転させながら、拡管して、外周成形具に挿入して、石英ガラス管を製造する方法であって、外周成形具の石英ガラスシリンダと接触する部分がかさ密度1.5Mg/m3以下の炭素材で構成されており、外周成形具を介して石英ガラスシリンダ外周面に不活性ガスを供給することを特徴とする石英ガラス管の製造方法。
- 不活性ガスの供給量が100〜400L/minであることを特徴とする請求項1に記載の石英ガラス管の製造方法。
- 外周成形具は、その内面に棒状突起部を有し、石英ガラスシリンダの外周面が棒状突起部に接触して外径寸法が規制されることを特徴とする請求項1または2に記載の石英ガラス管の製造方法。
- 棒状突起部のみがかさ密度1.5Mg/m3以下の炭素材で構成されることを特徴とする請求項3に記載の石英ガラス管の製造方法。
- 石英ガラスシリンダを回転可能な状態で保持するチャックと、石英ガラスシリンダを加熱する加熱装置と、石英ガラスシリンダ内部を加圧する加圧装置と、石英ガラスシリンダの外径より大きい内径を有し、石英ガラスシリンダの外径寸法を規制する外周成形具とを有する石英ガラス管の製造装置であって、外周成形具の石英ガラスシリンダと接触する部分がかさ密度1.5Mg/m3以下の炭素材で構成されており、外周成形具を介して石英ガラスシリンダ外周面に不活性ガスを供給することを特徴とする石英ガラス管の製造装置。
- 外周成形具が、その内面に棒状突起部を有することを特徴とする請求項5に記載の石英ガラス管の製造装置。
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