JP4685082B2 - 石英ガラスインゴットの製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
図3は、本発明の石英ガラスインゴットの製造装置の一例を模式的に示した図である。また、図4は、円柱状の石英ガラス素材から角柱状の石英ガラスインゴットを成形する状態を示す図であり、(a)は石英ガラス素材より断面積が大きいインゴットを成形する場合を示し、(b)は石英ガラス素材より断面積が小さいインゴットを成形する場合を示す。
図5は、断面形状が正四角形の石英ガラスインゴットを成形する場合に用いる成形ダイスの形状を例示する図である。
本発明の石英ガラスインゴットの製造装置は、成形後の石英ガラスインゴットを軟化点以下まで強制冷却する冷却手段を備えるものである。その理由は下記のとおりである。
ΔS=(SMAX−SMIN)/L …(1)
但し、(1)式中の各記号の意味は下記の通りである。
ΔS:断面積変動(mm2/m)
SMAX:石英ガラスインゴットの最大断面積(mm2)
SMIN:石英ガラスインゴットの最小断面積(mm2)
L:石英ガラスインゴットの全長(m)
2.黒鉛製成形枠、
3.加熱装置、
4.加圧ピストン、
5.石英ガラスインゴット、
6.チャック(6−1.素材側チャック、6−2.インゴット側チャック)
7.成形ダイス、
8.ダミー材
9.冷却手段
Claims (2)
- 加熱した石英ガラス素材を回転させつつ成形ダイスに圧入することによって、連続的に石英ガラスインゴットを製造する方法であって、石英ガラスインゴットを成形した後、軟化点以下まで強制冷却することを特徴とする石英ガラスインゴットの製造方法。
- 石英ガラス素材を回転可能な状態で保持するチャックと、石英ガラス素材を加熱する加熱装置と、石英ガラス素材を所定の断面形状を有する石英ガラスインゴットに成形する成形ダイスと、成形後の石英ガラスインゴットを回転可能な状態で保持し、かつ引き抜くためのチャックと、成形後の石英ガラスインゴットを軟化点以下まで強制冷却する冷却手段とを備えることを特徴とする石英ガラスインゴットの製造装置。
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