JP6052151B2 - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
(a)石英ルツボにシリコン多結晶を充填する工程、
(b)シリコン多結晶を充填した石英ルツボを、単結晶製造装置内においてヒーターにより石英ルツボの仮想温度以上シリコンの融点未満の温度で3時間以上加熱して石英ルツボの表面を改質する工程、
(c)石英ルツボを単結晶製造装置の外へ取り出すことなく、充填したシリコン多結晶を溶融して、又は、充填したシリコン多結晶とともに追加充填したシリコン多結晶を溶融して、シリコン融液を得る工程、
(d)シリコン融液からシリコン単結晶を引き上げる工程。
直径32インチ(81cm)の石英ルツボを用いて直径300mmのシリコン単結晶の引き上げを行った。石英ルツボへのシリコン多結晶充填量、加熱の際のヒータースリットの上端位置、加熱温度、加熱時間は表1の通りである。ヒータースリットの上端位置は、単結晶の製造を開始する融液面の位置(初期MLと表記)を基準とし、それより上方は+、下方は−とした。また、各実施例、比較例で用いた石英ルツボの製造の際に切り落とした上部の端材部を用いて測定した仮想温度の平均値、及び結晶を20本引き上げた時の無転位化率も表1に記した。
石英ルツボの湾曲部(R部)まで(実施例1)や初期ML−15cmまで(実施例2)に留めると無転位化率が高い。これは劣化が特に著しいルツボ円筒部にシリコン多結晶が存在せず、ルツボ改質効果が高いことを示している。ルツボ上部まで充填した場合(実施例3)は、実施例1、2に比べるとルツボ改質効果が小さかったが、従来の方法(比較例5)と比較して無転位化率が高く、ルツボ改質効果が明らかに得られている。一方、初めにシリコン多結晶を充填しない場合(比較例1)は、その後石英ルツボを冷却せずにシリコン多結晶の追加充填をする際に石英ルツボにクラックが入り、操業できない場合があった。
初期MLに対するヒータースリットの上端位置が+10cm(実施例1)、0cm(実施例4)ではルツボが変形することなく改質でき、無転位化率は100%であった。一方、+11cm(実施例5)では無転位化率100%であったものの、ルツボ加熱中にルツボ上部がやや内側へ変形する場合があった。逆に−2cm(実施例6)では、実施例1に比べると効果が小さかったが、従来の方法(比較例5)に対してルツボ改質効果が明らかに得られていた。
石英ルツボの加熱温度が1350℃(実施例7)では、1400℃(実施例3)に比べるとルツボ改質効果が小さかったが、従来の方法(比較例5)に対してルツボ改質効果が明らかに得られた。石英ルツボの仮想温度よりも低い1300℃(比較例2)では、従来の方法(比較例5)と無転位化率は同等であった。これは加熱温度が低く、ルツボが改質されなかったためである。一方、シリコンの融点以上である1430℃(比較例3)でも従来の方法(比較例5)と無転位化率は同等であった。これはルツボ上部まで充填したシリコン多結晶が石英ルツボの加熱中に溶解を始め、ルツボの改質が終わる前にシリコン融液と石英ルツボの反応によりルツボが劣化したためと考えられる。
石英ルツボの加熱時間が3時間(実施例8)、15時間(実施例1)、16時間(実施例9)で十分なルツボ改質が認められた。一方、2時間(比較例4)では従来の方法(比較例5)と無転位化率は同等であり、ルツボ改質効果は認められなかった。よって、3時間以上の加熱時間が必要である。また、15時間の加熱時間で十分である。
Claims (4)
- 石英ルツボにシリコン多結晶を充填する工程と、
前記シリコン多結晶を充填した石英ルツボを、単結晶製造装置内においてヒーターにより前記石英ルツボの仮想温度以上シリコンの融点未満の温度で3時間以上加熱して前記石英ルツボの表面を改質する工程と、
前記石英ルツボを前記単結晶製造装置の外へ取り出すことなく、前記充填したシリコン多結晶を溶融して、又は、前記充填したシリコン多結晶とともに追加充填したシリコン多結晶を溶融して、シリコン融液を得る工程と、
前記シリコン融液からシリコン単結晶を引き上げる工程と
を有し、
前記石英ルツボの表面を改質する工程における加熱を、前記シリコン単結晶の引き上げを開始する時点における前記シリコン融液の融液面の位置から15cm下方の高さ位置には前記シリコン多結晶が充填されていない状態で行うことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記石英ルツボの表面を改質する工程における温度を1350℃以上1415℃以下とすることを特徴とする請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記石英ルツボの表面を改質する工程における加熱を、前記石英ルツボの湾曲部以下が覆われるだけ前記シリコン多結晶を充填した状態で行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記石英ルツボの表面を改質する工程における前記ヒーターのヒータースリットの上端の位置を、前記シリコン単結晶の引き上げを開始する時点における前記シリコン融液の融液面の位置を下限とし、該融液面の位置よりも10cm上方の位置を上限とする領域内とすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のシリコン単結晶の製造方法。
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