JP4892027B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
図4は、第1の実施形態に係るコンタクト領域の接続態様を示す斜視図である。
図5は、第2の実施形態に係るコンタクト領域の接続態様を示す斜視図である。
図6は、第3の実施形態に係るコンタクト領域の接続態様を示す斜視図である。
図7は、第4の実施形態に係るコンタクト領域の接続態様を示す斜視図である。
なお、本発明は、メモリセルの構造に特に限定されるものではなく、相変化メモリ素子、MRAM素子、PFRAM、RRAM等、種々のクロスポイント型の多層メモリに適用可能である。
Claims (5)
- 半導体基板と、
この半導体基板上に形成され、互いに交差する第1の配線及び第2の配線並びにこれら第1及び第2の配線の交差部で両配線間に接続されたメモリセルを有する1または複数のセルアレイ層と、
前記セルアレイ層よりも下層の第1配線層に形成された第3の配線と、
前記セルアレイ層よりも上層の第2配線層に形成された第4の配線と、
前記第3の配線及び第4の配線を接続する積層方向に延びるコンタクトと
を有する半導体記憶装置において、
前記第3の配線及び前記第4の配線は互いに直交する方向に延びており、
前記第1配線層と前記第2配線層の間に冗長配線層が形成され、
前記冗長配線層には、前記第3の配線が延びる方向と同じ方向に延びる第1の部分及び前記第4の配線が延びる方向と同じ方向に延びる第2の部分を有する冗長配線が形成され、
前記第3の配線と前記冗長配線の第1の部分との間は前記第1の部分に沿って配列された複数のコンタクトにより接続され、前記第4の配線と前記冗長配線の第2の部分との間は、前記第2の部分に沿って配列された複数のコンタクトにより接続されている
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 半導体基板と、
この半導体基板上に形成され、互いに交差する第1の配線及び第2の配線並びにこれら第1及び第2の配線の交差部で両配線間に接続されたメモリセルを有する1または複数のセルアレイ層と、
前記セルアレイ層よりも下層の第1配線層に形成された第3の配線と、
前記セルアレイ層よりも上層の第2配線層に形成された第4の配線と、
前記第3の配線及び第4の配線を接続する積層方向に延びるコンタクトと
を有する半導体記憶装置において、
前記第1配線層と前記第2配線層の間に冗長配線層が形成され、
前記冗長配線層には、前記第3の配線及び前記第4の配線の少なくとも一方と同じ方向に延びる部分を有する冗長配線が形成され、
前記第3の配線と前記冗長配線との間及び前記第4の配線と前記冗長配線との間は、前記第3の配線または前記第4の配線の延びる方向の幅が前記第3または第4の配線の幅よりも広いコンタクトにより接続されている
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記冗長配線層は、前記メモリセル層の前記第1の配線及び前記第2の配線の少なくとも一つの配線と同じ配線層に形成されている
ことを特徴とする請求項1または2記載の半導体記憶装置。 - 前記冗長配線層は、複数設けられ、
異なる冗長配線層に形成された冗長配線間は、複数のコンタクトにより相互に接続されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記第3の配線及び第4の配線は互いに直交する方向に延びており、
前記冗長配線は、幅及び長さが前記第3の配線及び前記第4の配線の幅よりも大きく形成されている
ことを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
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