JP4868882B2 - 揮発性有機化合物を含む排ガスの処理方法及び処理装置 - Google Patents
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Description
(1)揮発性有機化合物を含む排ガスの酸化触媒による処理方法において、酸化触媒及び蓄熱材を充填した反応槽の外周部に、加熱手段として電熱線を巻いたヒーターを装着した加熱部を有し、反応槽の内部にある反応部内に排ガスの流入側に揮発性有機化合物を吸着しない比表面積が10m 2 /g以下のAl 2 O 3 である非多孔質体からなる蓄熱材を充填した蓄熱材充填層を設け、この蓄熱材充填層の排ガスの流出側に白金族金属を比表面積が130m 2 /g以上のγ−アルミナの多孔質体に担持した酸化触媒を充填した酸化触媒層を設けた反応槽に揮発性有機化合物を含有する排ガスを流入させて処理することを特徴とする揮発性有機化合物を含有する排ガスの処理方法。
(2)酸化触媒は、白金族金属がパラジウムで、γ−アルミナの多孔質体に0.5wt%〜1.0wt%となるように担持した触媒であることを特徴とする前記(1)記載の排ガスの処理方法。
(3)酸化触媒の加熱温度が、250℃〜400℃であることを特徴とする前記(1)記載の排ガスの処理方法。
こうした課題を解決するため、本発明では酸化触媒を充填する反応槽の外周部にヒーターを装着し、排ガスを加熱することなく、触媒層を所定の温度に昇温させて揮発性有機化合物を酸化処理する方法において、反応槽の排ガスの流入側に揮発性有機化合物を吸着しない非多孔質体のような蓄熱材を充填し、その充填層の排ガスの流出側に酸化触媒を充填した酸化触媒層を設ける。これらを1系統のヒーターで加熱制御し、酸化触媒層を250℃〜350℃に昇温させることで、省エネルギーで安定した揮発性有機化合物の処理を行うことができる。
CH3COOC4H9+8O2 → 6CO2+6H2O
処理することができる排ガスの成分としては、半導体工業では、酢酸n−ブチル以外にも、n−オクタン、乳酸エチル、テトラヒドロフランなどがある。いずれも常温で液体であり、沸点が60℃以上である。他の分野においても、常温で液体の有機化合物であれば本発明で処理することができる。
(実施例1)
図1に示す反応槽を使用し、これに蓄熱材として粒径φ=6mmのアルミナボール(比表面積2m2/g、組成Al2O3+TiO2の含有量99%以上)を4リットル、酸化触媒として粒径6mmのPd触媒(比表面積130m2/gのγ−Al2O3にPdを0.5wt%担持)11リットルをそれぞれ充填して、蓄熱材層と触媒層を形成した。蓄熱材やPd触媒はいずれも市販品を用いた。蓄熱材の充填量を4リットルとしたことは、予め同じ排ガス流量で反応槽内の温度分布を測定し、4リットルに相当する部分が酢酸n−ブチルの沸点(136.2℃)以下の温度であることに基づいている。
酢酸n−ブチル1.2ml/minをガス容積換算すると0.204リットル/minである。次の反応によりCO2に完全酸化すると、CO2は1.10%(理論量)が排出される。
CH3COOC4H9+8O2 → 6CO2+6H2O
0.204リットル/min×6÷(80リットル/min+30リットル/min)×100=1.10%
実施例1と同じ反応槽を使用したが、比較例1では蓄熱材を充填せずに、全量酸化触媒を15リットル充填した。
ここで、実施例1と同様に、N280リットル/min、Air30リットル/minを通ガスし、制御温度530℃で、中央温度が通ガス55時間後に242℃で一定になつたところで、酢酸n−ブチル1.2mリットル/minを送気した。この時の処理試験結果を第2表に示す。通ガス3時間後に中央温度が373℃に達したところで、酢酸n−ブチルを2.4ml/minに増量した。
2 空気
3 反応槽
4 反応部
5 加熱部
6 蓄熱材層
7 酸化触媒層
8 ヒーター
9 熱電対
10 熱電対
11 排ガス排出管
Claims (4)
- 揮発性有機化合物を含む排ガスの酸化触媒による処理方法において、酸化触媒及び蓄熱材を充填した反応槽の外周部に、加熱手段として電熱線を巻いたヒーターを装着した加熱部を有し、反応槽の内部にある反応部内に排ガスの流入側に揮発性有機化合物を吸着しない比表面積が10m 2 /g以下のAl 2 O 3 である非多孔質体からなる蓄熱材を充填した蓄熱材充填層を設け、この蓄熱材充填層の排ガスの流出側に白金族金属を比表面積が130m 2 /g以上のγ−アルミナの多孔質体に担持した酸化触媒を充填した酸化触媒層を設けた反応槽に揮発性有機化合物を含有する排ガスを流入させて処理することを特徴とする揮発性有機化合物を含有する排ガスの処理方法。
- 酸化触媒は、白金族金属がパラジウムで、γ−アルミナの多孔質体に0.5wt%〜1.0wt%となるように担持した触媒であることを特徴とする請求項1記載の排ガスの処理方法。
- 酸化触媒の加熱温度が、250℃〜400℃であることを特徴とする請求項1記載の排ガスの処理方法。
- 揮発性有機化合物を含む排ガスの酸化触媒による処理装置において、揮発性有機化合物を酸化分解する反応槽が、酸素ガス成分を添加された排ガスの流入側に揮発性有機化合物を吸着しない比表面積が10m 2 /g以下のAl 2 O 3 である非多孔質体からなる蓄熱材が充填された蓄熱材充填層、この蓄熱材充填層の排ガス流出側に白金族金属を比表面積が130m 2 /g以上のγ−アルミナの多孔質体に担持した酸化触媒が充填された酸化触媒充填層が配設され、かつ酸化触媒層及び蓄熱材充填層の充填部分からなる反応部の外周部に加熱手段として電熱線を巻いたヒーターが装着された加熱部を有することを特徴とする揮発性有機化合物を含有する排ガスの処理装置。
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