JP4867520B2 - エッチング用組成物及びエッチング方法 - Google Patents
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Description
これらのカルボン酸は単独で使用しても良いし、2種類以上を混合して使用しても良い。
表1に示したエッチング組成物20gに、シリコンウエハ上に100nmの厚みでシリコン酸化膜、その上にさらにルテニウムをCVD法により40nmの厚みに成膜したシリコンウエハ(20mm角)を10分間浸漬した。水洗、乾燥の後、シート抵抗を測定し、ルテニウムの膜厚を測定した。結果を表1に示す。なお、エッチング組成物の残部は水である。
表1に示した、比較用エッチング組成物とし、実施例と同様の方法でルテニウムのエッチング速度を測定した。結果を表1に示す。
Claims (7)
- (a)シュウ酸、クエン酸及び塩化アンモニウムからなる群より選ばれる1種以上,(b)過酸化水素,(c)水を含んでなり、その水溶液が酸性であることを特徴とするルテニウムのエッチング用組成物。
- 無機酸、無機酸塩、有機酸、有機酸塩から成る群より選ばれる少なくとも1種を添加することを特徴とする請求項1に記載のエッチング用組成物。
- 無機酸、無機酸塩が、フッ酸、フッ酸塩、塩酸、塩酸塩、次亜塩素酸、次亜塩素酸塩、塩素酸、塩素酸塩、過塩素酸、過塩素酸塩、ヨウ化水素酸、ヨウ化水素酸塩、次亜ヨウ素酸、次亜ヨウ素酸塩、ヨウ素酸、ヨウ素酸塩、過ヨウ素酸、過ヨウ素酸塩、臭化水素酸、臭化水素酸塩、次亜臭素酸、次亜臭素酸塩、臭素酸、臭素酸塩、過臭素酸、過臭素酸塩、硫酸、硫酸塩、亜硫酸、亜硫酸塩、過硫酸、過硫酸塩、硝酸、硝酸塩、亜硝酸、亜硝酸塩、リン酸、リン酸塩、亜リン酸、亜リン酸塩、次亜リン酸、次亜燐酸塩、炭酸、炭酸塩から成る群より選ばれる少なくとも1種である請求項2に記載のエッチング用組成物。
- 有機酸、有機酸塩が、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、トリクロロ酢酸などのカルボン酸、シュウ酸、クエン酸、マロン酸、リンゴ酸、グリコール酸、マレイン酸、フタル酸、フマル酸、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、グルタミン酸などのポリカルボン酸、フェノール、サリチル酸などのフェノール類、メタンスルホン酸、トルエンスルホン酸などのスルホン酸類、これらの酸の塩から成る群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項2に記載のエッチング用組成物。
- 過酸化水素の含有量が、0.01〜35重量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のエッチング用組成物。
- 水の含有量が、50〜99.98重量%であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のエッチング用組成物。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のエッチング用組成物を使用し、20℃以上100℃以下
でエッチングすることを特徴とするルテニウムのエッチング方法。
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