JP4863599B2 - 電気抵抗を低下させた誘電体組成物 - Google Patents
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Description
【0001】
本発明は電気抵抗の小さい誘電体組成物を提供するものであり、電界放出素子において電子エミッタの近傍における誘導体の帯電および静電荷誘導電界放出効果を除去するのに有用である。
【背景技術】
【0002】
電界放出素子、たとえば電界放出ディスプレイのためのカソード電極の設計によっては、カソード表面のレイアウトにおいて、エミッタラインを、電気的に絶縁した誘電体表面に境界を接するか、ごく近傍にを設ける必要がある。電界放出の間、これら隣接している誘電体表面は浅い入射角で、高エネルギー電子によるボンバードを受ける。その結果、誘電体表面から2次電子の放出が起こり、後に静電荷の正の帯電が残る。このようにして正に帯電した表面は、エミッタからの距離がほとんど離れていないので、エミッタに大きな正の電界を作用させることになり、その結果誘電体表面の方向により強い放出が起きる。したがってこの効果は、自己増強性で、どのようなゲートコントロールやアノードコントロールも効かなくなる。静電荷は経時的にますます形成されるので、非常に低い連続アノード電圧でもコントロール不能な帯電誘導放出が起こり得る。この問題のために、アノードの電圧が厳しく制限を受ける。1つの解決法は、カソードのレイアウトを変更して、この帯電効果を最小限に抑えることである。好適な解決法は、低い2次放出特性を持たせるかまたは電界が大きくなるにつれて電荷を効果的に放散させる結果として、帯電しないような単層または多層の誘電体システムを開発することである。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【0003】
本発明は誘電体および導電性酸化物を含む誘電体組成物を提供するものであって、前記誘電体は、空気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成可能であり、前記導電性酸化物は、アンチモンでドーピングした酸化スズ、スズでドーピングした酸化インジウム、混合原子価状態であるかまたは窒素雰囲気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成した後に混合原子価状態をとる遷移金属酸化物、および二酸化ルテニウムのような導電性貴金属酸化物からなる群より選択される。存在する導電性酸化物の量は、誘電体および導電性酸化物の全量を基準にして約0.25重量%〜約25重量%、好ましくは約0.5重量%〜約15重量%である。この誘電体組成物は、電子エミッタカソードアセンブリーを形成させるのに必要な処理に適合させるために、まず空気中で焼成した後で窒素中で焼成が可能でなければならない。
【0004】
本発明はまた、誘電体および導電性酸化物を含む誘電体組成物をスクリーン印刷するためのペーストを提供するものであって、前記誘電体は、空気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成可能であり、前記導電性酸化物は、アンチモンでドーピングした酸化スズ、スズでドーピングした酸化インジウム、混合原子価状態であるかまたは窒素雰囲気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成した後に混合原子価状態をとる遷移金属酸化物、および二酸化ルテニウムのような導電性貴金属酸化物からなる群より選択される。存在する導電性酸化物の量は、誘電体および導電性酸化物の全量を基準にして約0.25重量%〜約25重量%、好ましくは約0.5重量%〜約15重量%である。
【0005】
そのような誘電体組成物は、電気抵抗が低下していて、電界放出素子において有用である。
【0006】
本発明の誘電体組成物中で使用するために好適な誘電体もまた提供される。この誘電体は、約1〜約26重量%のSiO2、約0.5〜約6重量%のAl2O3、約6〜約24重量%のB2O3、約2〜約24重量%のZnO、約0.1〜約5重量%のNa2Oおよび約20〜約75重量%のBi2O3を含む固溶体である。好ましくはこの固溶体には、約1〜約9重量%のSiO2、約0.6〜約6重量%のAl2O3、約6〜約14重量%のB2O3、約2〜約13重量%のZnO、約0.1〜約2重量%のNa2Oおよび約65〜約72重量%のBi2O3を含む。より好ましくは、この固溶体には、約2重量%のSiO2、約3重量%のAl2O3、約13重量%のB2O3、約9重量%のZnO、約1重量%のNa2Oおよび約72重量%のBi2O3を含む。
【0007】
好適な導電性酸化物は、アンチモンでドーピングした酸化スズである。
【発明を実施するための最良の形態】
【0008】
本発明は、少量の半導体物質または金属物質を導入することによって誘電体上の電荷の蓄積を低下または除去させる、電気抵抗を低下させた誘電体組成物を提供する。半導体物質または金属物質をある濃度にすると、隣接するエミッタ線または点の間でのショートを防ぐために必要な絶縁は依然として保ちながらも、高電界で効果的に静電荷を消失させるのに充分な範囲に電気抵抗が低下する。そのような誘電体組成物は、全体として完全な誘電体としても役立つし、あるいは、良好な層間絶縁および効果的な表面電荷の消失をもたらす多層誘電体システムでの表面層としても使用できる。
【0009】
本発明によって提供される誘電体組成物に含まれるのは、温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成可能誘電体、およびアンチモンでドーピングした酸化スズ、スズでドーピングした酸化インジウム、混合原子価状態であるかまたは窒素雰囲気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成した後に混合原子価状態をとる遷移金属酸化物、および二酸化ルテニウムのような通常は導電性の貴金属酸化物からなる群より選択される導電性酸化物である。存在する導電性酸化物の量は、誘電体および導電性酸化物の全量を基準にして約0.25重量%〜約25重量%、好ましくは約0.5重量%〜約15重量%である。所望の電気抵抗性を達成するために必要な導電性酸化物の最適量は、使用したその特定の導電体の種類とその分散状態によって決まってくる。その誘電体組成物の所望の電気抵抗性は、エミッタの特定の構成、すなわち、エミッタ線または点のサイズおよびエミッタ線または点の分離によって決まる。導電性酸化物の量は、使用したその特定の構成に合わせて調節することができる。
【0010】
本発明の誘電体組成物をスクリーン印刷するためのペーストには典型的には、誘電体粉体、導電性酸化物、有機媒体、溶媒、および界面活性剤が含まれる。媒体および溶媒の役割は、スクリーン印刷のような典型的なパターン作製プロセスのために適したレオロジーを有していて、粒子構成要素、すなわち固形物をペースト中に懸濁、分散させることである。当業者には公知のそのような媒体は、数多く存在する。使用可能な樹脂の例を挙げれば、エチルセルロースのようなセルロース系樹脂および各種の分子量のアルキド樹脂などがある。ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、ジブチルカルビトール、ジブチルフタレートおよびテルピネオールなどが有用な溶媒の例である。これらおよび他の溶媒類を配合して、所望の粘度および必要とされる揮発性を得る。界面活性剤を用いて、粒子の分散性を改良することもできる。有機酸たとえばオレイン酸およびステアリン酸および、有機ホスフェートたとえばレシチンまたはガファック(Gafac、登録商標)ホスフェートなどが典型的な界面活性剤である。スクリーン印刷したペーストを光を用いてパターン化するのなら、そのペーストには、光重合開始剤、現像可能なバインダー、および少なくとも1種の付加重合可能なエチレン性不飽和化合物のような光硬化性のモノマーが含まれる。ペーストには典型的には、誘電体フリットおよび導電性酸化物、有機媒体、溶媒および界面活性剤が含まれる。
【0011】
誘電体にスクリーン印刷するためのペーストに使用されるフリットは、典型的には適当な酸化物の混合物である。当業者には周知のことであるが、いくつかの物性たとえばフリットの流動特性、焼成した組成物の強度、熱膨張係数などを変更させるために、フリットに不活性フィラーを添加することもできる。そのようなペーストおよび焼成した結果得られる誘電体組成物すべてにおいて、0〜35重量%の無機フィラーを含むことができる。そのようなフィラーの典型例を挙げれば、アルミナ、シリカ、ジルコン酸カルシウムおよびジルコンなどがある。本明細書の目的においては、誘電体とは、どのようなフィラーを含んでいたとしてもすべての誘電体を意味する。
【0012】
本発明の誘電体組成物をスクリーン印刷するためのペースト中に使用するのに好適な誘電体フリットには、約1〜約26重量%のSiO2、約0.5〜約6重量%のAl2O3、約6〜約24重量%のB2O3、約2〜約24重量%のZnO、約0.1〜約5重量%のNa2Oおよび約20〜約75重量%のBi2O3が含まれる。より好ましくは、この誘電体フリットには、約1〜約9重量%のSiO2、約0.6〜約6重量%のAl2O3、約6〜約14重量%のB2O3、約2〜約13重量%のZnO、約0.1〜約2重量%のNa2Oおよび約65〜約72重量%のBi2O3が含まれる。最も好ましくは、この誘電体フリットには、約2重量%のSiO2、約3重量%のAl2O3、約13重量%のB2O3、約9重量%のZnO、約1重量%のNa2Oおよび約72重量%のBi2O3を含む。
【0013】
焼成した後にはこのペーストは、SiO2、Al2O3、B2O3、ZnO、Na2OおよびBi2O3を上記の重量%で含む固溶体の誘電体となる。
【実施例】
【0014】
参考例1および実施例2〜4
これらの実施例は、誘電体組成物のための各種の導電性酸化物を比較するためのものである。
【0015】
ビスマス系の誘電体フリットならびにCr2O3、V2O5、V2O3、およびSnO2:Sbを使用して4種類のペーストを調製した。はじめの3種類の酸化物は標準的な粉体の試薬であった。アンチモンでドーピングした酸化スズ、SnO2:Sbは、ゼレック(Zelec、登録商標)ECP3010−XCで、これはデラウェア州ウィルミントン(Wilmington、DE)のE.I.デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー(E.I.du Pont de Nemours and Company)から入手可能である。
【0016】
これらの実施例で使用したビスマス系のフリット(Bi−フリット)は、表Iに示した組成を有している:
【0017】
【表1】
【0018】
4種類のペーストは表IIに示す組成で調製した:
【0019】
【表1】
表II
【0020】
このビヒクルは、ベータテルピネオール溶媒中に10%のエチルセルロースを混合したものからなる標準的な厚膜ペースト成分である。この界面活性剤は、有機ホスフェートのガファック(Gafac)RE−610である。この顔料は、標準的な顔料グレードのアルミン酸コバルトである。
【0021】
この4種類のペースのそれぞれを、ガラススライドの上に0.25インチ(0.6cm)×1インチ(2.5cm)の大きさのパッドの形状に印刷した。それぞれのパッドの厚みは約10μmであった。それぞれのパッドの上に、デラウェア州ウィルミントン(Wilmington、DE)のE.I.デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー(E.I.du Pont de Nemours and Company)から入手可能な、銀ペースト組成物7095を使用して銀電極をスクリーン印刷し、電気抵抗を測定した。抵抗を測定した銀電極相互の間隔は約1mmであった。空気中525℃で焼成し、さらに窒素中で510℃で後焼成してから、それぞれの試料の抵抗を測定した。この4種類の焼成したペーストの電気的性質を以下の表IIIに示す:
【0022】
【表2】
表III
【0023】
導電性酸化物はいずれも、誘電体の電気抵抗を低下させた。SnO2:Sbは、空気中での焼成で最大の低下を示し、窒素中での第2の焼成を行った後ではその変化が最も小さかった。
【0024】
実施例5〜11、比較実験A〜C
これらの実施例および比較実験では、導電性酸化物のSnO2:Sbの量を変化させたときの、誘電体の帯電と、その結果としての好ましくない電子放出の除去についての、効果を示す。
【0025】
参考例1のペーストを表IVに示した組成を有するペーストとブレンドした:
【0026】
【表4】
【0027】
ここで、Bi−フリット、ビヒクル、界面活性剤および顔料は、参考例1のペーストのために使用したものと同じである。SnO2:Sb含量を、ペーストの全重量を基準にして0から10重量%までにわたって、10種類のペーストを作った。それぞれの実施例および比較実験におけるSnO2:Sb含量を以下の表Vに示す:
【0028】
【表5】
【0029】
実施例および比較実験のそれぞれの誘電体組成物を、図1に見られるように、ガラススライド2の上に0.75インチ(1.9cm)四方のパッド1として印刷した。ついでこの誘電体組成物を空気中525℃で焼成した。その誘電体組成物の上に15本のバー3からなるテストパターンを、幅20ミル(0.51mm)、バー相互の間隔20ミル(0.51mm)となるようにスクリーン印刷した。このバーはスクリーン印刷した銀ペーストからなり、次いで空気中525℃で焼成し、さらにエミッタペーストを銀のラインの上にスクリーン印刷して、窒素中510℃で焼成した。この銀ペーストは組成物7095で、デラウェア州ウィルミントン(Wilmington、DE)のE.I.デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー(E.I.du Pont de Nemours and Company)から入手したものである。これらの実施例のためのエミッタペーストは、3つの成分を混合して調製した:1つが単一壁カーボンナノチューブを含む懸濁液、1つが10%のエチルセルロースおよび90%のベータ−テルピネオールを含む典型的な有機媒体、そして1つが銀を含む典型的なペーストである。レーザーアブレーションで生長させた単一壁カーボンナノチューブは、テキサス州ヒューストン(Houston、TX)のライス大学(Rice University)のチューブス・アト・ライス(Tubes@Rice)から入手したもので、レーザーアブレーションで製造した未精製のものである。ナノチューブ懸濁液は、超音波法、すなわち超音波で混合して調製したもので、この混合物にはナノチューブ粉体が1重量%、トリメチルベンゼンが99重量%の割合で含まれている。使用した超音波ミキサーは、1/4インチのホーンを用いたデュカン(Dukane)92196型で、40kHz、20ワットで使用した。このエミッタペーストは、ナノチューブ懸濁液/有機媒体/銀ペーストを重量比で27/40/33で組み合わせて調製した。そのように組み合わせたものを、3本ロールで10パスさせて、エミッタペーストを作った。
【0030】
バーを交互に4に示したように電気的に接続する。このようなラインパターンにした誘電体組成物の電気抵抗値は、電位計5を用いて測定することができる。データからは、この配置では、ペースト中の濃度を約3%にすると導電性酸化物の効果が出始めて、電気抵抗が約200GΩにまで低下することがわかった。すべての実施例および比較実験についての電気抵抗値は表Vに示した。
【0031】
すべての実施例および比較実験について、2つの電極を有する平板放出測定ユニットを使用して電界放出試験を実施したが、その電極の一方はアノードまたはコレクタとして、他方はカソードとして機能させた。このカソードは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)ホルダーに搭載した銅ブロックでできている。この銅ブロックは、PTFEの1インチ×1インチ(2.5cm×2.5cm)の領域中にはめ込まれていて、試料の基板をこの銅ブロックの乗せ、銅ブロックと試料基板の間を電気的に接続するには銅テープの手段を用いる。銅ブロックには高電圧リード線を取り付ける。アノードをある距離を置いて試料に平行に保持するが、その距離を変更することは可能であるが、ただし、一度決めたら試料についての一連の測定が済むまでは変えなかった。間隔は、1.25mmとした。このアノードは、化学蒸着法によって蒸着させたインジウム酸化スズによってコーティングしたガラスプレートでできている。次いでそれに、標準のZnS系の燐光体であるホスフォル(Phosphor)P−31タイプ139(エレクトロニック・スペース・プロダクツ・インターナショナル(Electronic Space Products International)から入手)をコーティングする。電極はインジウム酸化スズコーティングに取り付けた。この試験装置を真空システムの中に入れて、その系を真空にして1×10-5トル(1.3×10-3Pa)未満のベース圧力にまで下げた。典型的な周波数60Hz、パルス幅3μ秒の負電圧パルスをこのカソードにかけることもできるし、あるいは、一定電圧をかけることもできる。放出電流の結果として燐光体によって発光される像をカメラで記録する。
【0032】
電界放出の間での帯電の問題および本発明の誘電体組成物による顕著な改良を、これらの試料を用いて実証することができる。対照として、SnO2:Sbフィラーを含まない比較実験Aのエミッタセルについて、アノードにパルス電圧および一定電圧を印可した両方の場合について検討した。図2aは、アノードとカソードの間に、60Hzで持続時間3マイクロ秒の高電圧パルスを印可した時のダイオード発光像を示したものである。図2で明るいパッチとして見ることができる帯電誘導放出の開始が、2kVで観察された。この明るいパッチは、時間とともに急速に拡がり、その開始後数秒の間にこの帯電誘導放出をコントロールすることが不能となった。連続アノード電圧を印可した場合には、図2bに見られるように、帯電誘導放出はアノード電圧1kVのところで発生した。図3aおよび3bは、本発明の誘電体組成物を使用すれば、電界放出の帯電を除去するのに有効であることを示している。3.5%のSnO2:Sbを含む実施例5のエミッタセルについて同様のダイオード発光試験を実施すると、パルスアノード電圧3kV、連続アノード電圧1.5kVのいずれにおいても、それぞれ図3aおよび3bに見られるように、帯電誘導放出はまったく観察されなかった。
本発明の好適な実施の態様は次のとおりである。
1.誘電体および導電性酸化物を含む誘電体組成物であって、前記誘電体が、空気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成可能であり、前記導電性酸化物が、アンチモンでドーピングした酸化スズ、スズでドーピングした酸化インジウム、混合原子価状態であるかまたは窒素雰囲気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成した後に混合原子価状態をとる遷移金属酸化物、および二酸化ルテニウムのような導電性貴金属酸化物からなる群より選択され、そして、存在する前記導電性酸化物の量が、前記誘電体および前記導電性酸化物の全量の約0.25重量%〜約25重量%である、誘電体組成物。
2.空気中で温度範囲約450℃〜約550℃で焼成し、次いで窒素中で温度範囲約450℃〜約550℃で焼成する、上記1に記載の誘電体組成物。
3.存在する前記導電性酸化物の量が、前記誘電体および前記導電性酸化物の全量の約0.5重量%〜約15重量%である、上記1に記載の誘電体組成物。
4.前記導電性酸化物がアンチモンでドーピングした酸化スズである、上記1に記載の誘電体組成物。
5.前記誘電体が、約1〜約26重量%のSiO2、約0.5〜約6重量%のAl2O3、約6〜約24重量%のB2O3、約2〜約24重量%のZnO、約0.1〜約5重量%のNa2Oおよび約20〜約75重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記1に記載の誘電体組成物。
6.前記誘電体が、約1〜約9重量%のSiO2、約0.6〜約6重量%のAl2O3、約6〜約14重量%のB2O3、約2〜約13重量%のZnO、約0.1〜約2重量%のNa2Oおよび約65〜約72重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記5に記載の誘電体組成物。
7.前記誘電体が、約2重量%のSiO2、約3重量%のAl2O3、約13重量%のB2O3、約9重量%のZnO、約1重量%のNa2Oおよび約72重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記1〜4のいずれか1項に記載の誘電体組成物。
8.誘電体組成物をスクリーン印刷するためのペーストであって、誘電体および導電性酸化物を含み、前記誘電体が、空気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成可能であり、前記導電性酸化物が、アンチモンでドーピングした酸化スズ、スズでドーピングした酸化インジウム、混合原子価状態であるかまたは窒素雰囲気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成した後に混合原子価状態をとる遷移金属酸化物、および二酸化ルテニウムのような導電性貴金属酸化物からなる群より選択され、そして、存在する前記導電性酸化物の量が、前記誘電体および前記導電性酸化物の全量の約0.25重量%〜約25重量%である、ペースト。
9.存在する前記導電性酸化物の量が、前記誘電体および前記導電性酸化物の全量の約0.5重量%〜約15重量%である、上記8に記載のペースト。
10.前記導電性酸化物がアンチモンでドーピングした酸化スズである、上記8に記載のペースト。
11.前記誘電体が、約1〜約26重量%のSiO2、約0.5〜約6重量%のAl2O3、約6〜約24重量%のB2O3、約2〜約24重量%のZnO、約0.1〜約5重量%のNa2Oおよび約20〜約75重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記8に記載のペースト。
12.前記誘電体が、約1〜約9重量%のSiO2、約0.6〜約6重量%のAl2O3、約6〜約14重量%のB2O3、約2〜約13重量%のZnO、約0.1〜約2重量%のNa2Oおよび約65〜約72重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記11に記載のペースト。
13.前記誘電体が、約2重量%のSiO2、約3重量%のAl2O3、約13重量%のB2O3、約9重量%のZnO、約1重量%のNa2Oおよび約72重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記8〜10のいずれか1項に記載のペースト。
14.前記ペーストが光によるパターン化が可能である、上記8〜12のいずれか1項に記載のペースト。
15.前記ペーストが光によるパターン化が可能である、上記13に記載のペースト。
16.誘電体および導電性酸化物を含む誘電体組成物を使用した電界放出素子であって、前記誘電体が、空気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成可能であり、前記導電性酸化物が、アンチモンでドーピングした酸化スズ、スズでドーピングした酸化インジウム、混合原子価状態であるかまたは窒素雰囲気中温度約450℃〜約550℃の範囲で焼成した後に混合原子価状態をとる遷移金属酸化物、および二酸化ルテニウムのような導電性貴金属酸化物からなる群より選択され、そして、存在する前記導電性酸化物の量が、前記誘電体および前記導電性酸化物の全量の約0.25重量%〜約25重量%である、電界放出素子。
17.存在する前記導電性酸化物の量が、前記誘電体および前記導電性酸化物の全量の約0.5重量%〜約15重量%である、上記16に記載の電界放出素子。
18.前記導電性酸化物がアンチモンでドーピングした酸化スズである、上記16に記載の電界放出素子。
19.前記誘電体が、約1〜約26重量%のSiO2、約0.5〜約6重量%のAl2O3、約6〜約24重量%のB2O3、約2〜約24重量%のZnO、約0.1〜約5重量%のNa2Oおよび約20〜約75重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記16に記載の電界放出素子。
20.前記誘電体が、約1〜約9重量%のSiO2、約0.6〜約6重量%のAl2O3、約6〜約14重量%のB2O3、約2〜約13重量%のZnO、約0.1〜約2重量%のNa2Oおよび約65〜約72重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記19に記載の電界放出素子。
21.前記誘電体が、約2重量%のSiO2、約3重量%のAl2O3、約13重量%のB2O3、約9重量%のZnO、約1重量%のNa2Oおよび約72重量%のBi2O3を含む固溶体である、上記16〜18のいずれか1項に記載の電界放出素子。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】実施例5〜11および比較実験A〜Cで使用した電子エミッタ構成の模式図である。
【図2】比較実験Aの試料で得られた放出結果を示す。
【図3】実施例5の試料で得られた放出結果を示す。
Claims (3)
- 誘電体(a)および導電性酸化物(b)を含む誘電体組成物であって、
前記誘電体(a)が、1〜26重量%のSiO 2 、0.5〜6重量%のAl 2 O 3 、6〜24重量%のB 2 O 3 、2〜24重量%のZnO、0.1〜5重量%のNa 2 Oおよび20〜75重量%のBiO 3 を含むビスマス系誘電体フリットであり、
前記導電性酸化物(b)が、(i)アンチモンでドーピングした酸化スズ、(ii)スズでドーピングした酸化インジウム、(iii)Cr2O3、V2O 5 、およびV2O3、ならびに(iv)導電性貴金属酸化物からなる群より選択され、
そして、存在する前記導電性酸化物(b)の量が、前記導電性酸化物(b)が(i)である場合には前記誘電体(a)および前記導電性酸化物(b)の全量の3.5重量%〜15重量%であり、前記導電性酸化物(b)が(ii)、(iii)または(iv)である場合には前記誘電体(a)および前記導電性酸化物(b)の全量の3.5重量%〜25重量%である、誘電体組成物。 - 誘電体組成物をスクリーン印刷するためのペーストであって、誘電体(a)および導電性酸化物(b)を含み、
前記誘電体(a)が、1〜26重量%のSiO 2 、0.5〜6重量%のAl 2 O 3 、6〜24重量%のB 2 O 3 、2〜24重量%のZnO、0.1〜5重量%のNa 2 Oおよび20〜75重量%のBiO 3 を含むビスマス系誘電体フリットであり、
前記導電性酸化物(b)が、(i)アンチモンでドーピングした酸化スズ、(ii)スズでドーピングした酸化インジウム、(iii)Cr2O3、V2O 5 、およびV2O3、ならびに(iv)導電性貴金属酸化物からなる群より選択され、
そして、存在する前記導電性酸化物(b)の量が、前記導電性酸化物(b)が(i)である場合には前記誘電体(a)および前記導電性酸化物(b)の全量の3.5重量%〜15重量%であり、前記導電性酸化物(b)が(ii)、(iii)または(iv)である場合には前記誘電体(a)および前記導電性酸化物(b)の全量の3.5重量%〜25重量%である、ペースト。 - 誘電体(a)および導電性酸化物(b)を含む誘電体組成物を使用した電界放出素子であって、
前記誘電体(a)が、1〜26重量%のSiO 2 、0.5〜6重量%のAl 2 O 3 、6〜24重量%のB 2 O 3 、2〜24重量%のZnO、0.1〜5重量%のNa 2 Oおよび20〜75重量%のBiO 3 を含むビスマス系誘電体フリットであり、
前記導電性酸化物(b)が、(i)アンチモンでドーピングした酸化スズ、(ii)スズでドーピングした酸化インジウム、(iii)Cr2O3、V2O 5 、およびV2O3、ならびに(iv)導電性貴金属酸化物からなる群より選択され、
そして、存在する前記導電性酸化物(b)の量が、前記導電性酸化物(b)が(i)である場合には前記誘電体(a)および前記導電性酸化物(b)の全量の3.5重量%〜15重量%であり、前記導電性酸化物(b)が(ii)、(iii)または(iv)である場合には前記誘電体(a)および前記導電性酸化物(b)の全量の3.5重量%〜25重量%である、電界放出素子。
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Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1740113A (zh) * | 2004-08-25 | 2006-03-01 | 日本碍子株式会社 | 电子发射元件 |
KR20070002934A (ko) * | 2005-06-30 | 2007-01-05 | 삼성전자주식회사 | 페이스트 조성물 |
JP2007115675A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-05-10 | Toray Ind Inc | 電子放出源用ペースト |
KR100752013B1 (ko) * | 2006-06-28 | 2007-08-28 | 제일모직주식회사 | 전자 방출원 형성용 조성물, 전자 방출원의 제조방법,이로부터 제조되는 전자 방출원 및 이를 포함하는 평면표시 소자 |
KR20100086468A (ko) * | 2007-10-05 | 2010-07-30 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 전하 소산층을 갖는 언더게이트 전계 방출 트라이오드 |
WO2009108226A2 (en) * | 2007-11-15 | 2009-09-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Protection of carbon nanotubes |
JP5314969B2 (ja) * | 2008-09-03 | 2013-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 光学ガラス |
EP3728172A2 (en) * | 2017-12-18 | 2020-10-28 | King Abdullah University Of Science And Technology | Indium-based catalysts and pre-catalysts |
JP2019125481A (ja) * | 2018-01-16 | 2019-07-25 | トヨタ自動車株式会社 | 全固体リチウムイオン二次電池用の負極合材及びその製造方法 |
CN111627698B (zh) * | 2020-06-08 | 2022-05-17 | 江苏国瓷泓源光电科技有限公司 | 一种mlcc用镍内电极浆料 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10251018A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-22 | Nissan Chem Ind Ltd | 導電性酸化スズ微粉末及び導電性酸化スズゾルの製造方法 |
JPH1140054A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Canon Inc | ペーストの塗布方法および画像表示装置 |
WO1999031700A1 (en) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Ion-bombarded graphite electron emitters |
JP2000251629A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Canon Inc | 電子放出素子、電子源及び画像形成装置 |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2288106A (en) * | 1938-08-06 | 1942-06-30 | North American Rayon Corp | Viscose spinning solution |
US3723175A (en) * | 1967-10-09 | 1973-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Nonlinear resistors of bulk type |
US3673117A (en) * | 1969-12-19 | 1972-06-27 | Methode Dev Co | Electrical resistant material |
JPS5366561A (en) * | 1976-11-26 | 1978-06-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thick film varistor composition |
US4415624A (en) * | 1981-07-06 | 1983-11-15 | Rca Corporation | Air-fireable thick film inks |
NL8800559A (nl) | 1988-03-07 | 1989-10-02 | Philips Nv | Keramische meerlaagscondensator. |
US5096619A (en) * | 1989-03-23 | 1992-03-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Thick film low-end resistor composition |
JPH02288106A (ja) | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Asahi Glass Co Ltd | 抵抗体ペースト及びセラミックス基板 |
US5202292A (en) | 1989-06-09 | 1993-04-13 | Asahi Glass Company Ltd. | Resistor paste and ceramic substrate |
US5580496A (en) * | 1993-04-05 | 1996-12-03 | Sumitomo Metal Mining Company Limited | Raw material for producing powder of indium-tin oxide aciculae and method of producing the raw material, powder of indium-tin oxide aciculae and method of producing the powder, electroconductive paste and light-transmitting |
JP3294705B2 (ja) | 1994-02-24 | 2002-06-24 | 住友金属鉱山株式会社 | 高温焼成用導電ペーストおよび透光性導電膜 |
US5378408A (en) * | 1993-07-29 | 1995-01-03 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Lead-free thick film paste composition |
US5631311A (en) * | 1994-08-18 | 1997-05-20 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent static dissipative formulations for coatings |
US5491118A (en) * | 1994-12-20 | 1996-02-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Cadmium-free and lead-free thick film paste composition |
JPH09115334A (ja) * | 1995-10-23 | 1997-05-02 | Mitsubishi Materiais Corp | 透明導電膜および膜形成用組成物 |
JP2986094B2 (ja) | 1996-06-11 | 1999-12-06 | 富士通株式会社 | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 |
US5851732A (en) * | 1997-03-06 | 1998-12-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Plasma display panel device fabrication utilizing black electrode between substrate and conductor electrode |
DK0975464T3 (da) * | 1997-03-21 | 2004-04-19 | Electro Science Lab Inc | Siliciumnitridcoatingsammensætninger |
JP3941201B2 (ja) * | 1998-01-20 | 2007-07-04 | 株式会社デンソー | 導体ペースト組成物及び回路基板 |
US6146230A (en) * | 1998-09-24 | 2000-11-14 | Samsung Display Devices Co., Ltd. | Composition for electron emitter of field emission display and method for producing electron emitter using the same |
JP2001181039A (ja) | 1999-12-28 | 2001-07-03 | Ngk Insulators Ltd | 複合焼結体およびその製造方法 |
JP2004525485A (ja) * | 2001-01-29 | 2004-08-19 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | フラットパネルディスプレイ中の構造の製造に使用するためのファイバーまたはリボン |
US6951666B2 (en) * | 2001-10-05 | 2005-10-04 | Cabot Corporation | Precursor compositions for the deposition of electrically conductive features |
US20040163034A1 (en) * | 2002-10-17 | 2004-08-19 | Sean Colbath | Systems and methods for labeling clusters of documents |
JP2004172250A (ja) | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 厚膜抵抗体組成物、これを用いた厚膜抵抗体及びその形成方法 |
US7147804B2 (en) * | 2003-01-24 | 2006-12-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Terminal electrode compositions for multilayer ceramic capacitors |
KR100480644B1 (ko) * | 2003-02-28 | 2005-03-31 | 삼성전자주식회사 | 셀 구동 전류가 증가된 상 변화 메모리 |
JP4092699B2 (ja) | 2003-09-26 | 2008-05-28 | 日立金属株式会社 | 回路パターン形成用トナー及びその製造方法、回路パターン形成方法 |
US7794629B2 (en) | 2003-11-25 | 2010-09-14 | Qinetiq Limited | Composite materials |
US7462217B2 (en) | 2003-12-08 | 2008-12-09 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Method of preparation for the high performance thermoelectric material indium-cobalt-antimony |
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EP1735846A2 (en) | 2004-04-14 | 2006-12-27 | E.I.Du pont de nemours and company | High performance thermoelectric materials and their method of preparation |
JP2005302607A (ja) | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 高温焼成用導電ペーストと導電性接着膜およびフィールドエミッションディスプレイ |
TW200612443A (en) | 2004-09-01 | 2006-04-16 | Tdk Corp | Thick-film resistor paste and thick-film resistor |
US7214466B1 (en) * | 2005-12-14 | 2007-05-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Cationically polymerizable photoimageable thick film compositions, electrodes, and methods of forming thereof |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10251018A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-22 | Nissan Chem Ind Ltd | 導電性酸化スズ微粉末及び導電性酸化スズゾルの製造方法 |
JPH1140054A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-12 | Canon Inc | ペーストの塗布方法および画像表示装置 |
WO1999031700A1 (en) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Ion-bombarded graphite electron emitters |
JP2000251629A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Canon Inc | 電子放出素子、電子源及び画像形成装置 |
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