JP4859484B2 - 複合グリーンシートの加工方法 - Google Patents
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Description
また更に、前記液体に対する前記第2の有機バインダの25℃における溶解度を、前記液体に対する前記第1の有機バインダの25℃における溶解度よりも低くすることにより、導体層2に比べグリーンシート1の方が前記液体に溶解しやすくなっている。これにより、導体層2を貫通孔5の内壁により確実に突出させることが出来るため、貫通孔導体4と導体層2との接続をより確実に行うことが出来る。例えば、液体として水を使用する場合は、第1の有機バインダの水に対する溶解度を第2の有機バインダの水に対する溶解度より高くする必要がある。主要なバインダを水に対する溶解度の高い順に示せば、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、エチルセルロースとなり、これらの中から溶解度を考慮して選定することが可能となる。なお、バインダの側鎖や主鎖の一部の官能基を変えることにより、液体に対する溶解度を変えることが可能となる。例えば、カルボキシル基や水酸基等の極性基が加わることにより、水に対する溶解度が高くなり、アルキル基等の非極性基が加わることにより、水に対する溶解度が低くなる。これを利用すれ、例えば同じポリアクリレートでも主鎖の一部の官能基を変えて水の溶解度に差をつけることが出来る。また、主鎖の一部の官能基を変える量を増やす等すれば、前述の各種バインダの水に対する溶解度の順を入れ替えることも可能である。例えば、ポリアクリレートにアクリル基を付加し、ポリアクリレートにカルボキシル基を付加することによりポリアクリレートとそれより水に対する溶解度の高いポリメタクリレートを得ることが出来る。以上のような、バインダの選定やバインダの一部を改変することによる溶解度の調整は水以外の液体の場合にも行うことができる。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更、改良等が可能である。
2・・・導体層
3・・・複合グリーンシート
4・・・貫通孔導体
5・・・貫通孔
6・・・外部電極
10・・・積層電子部品
11・・・積層体(導体層とグリーンシートが複数積層された複合グリーンシート)
12・・・液体を含んだ台材
13・・・レーザー光
14・・・隔離フィルム
15・・・貫通孔加工の残渣
16・・・液体の蒸発経路
Claims (23)
- 導体層とグリーンシートから成る複合シートを準備する工程Aと、
前記複合グリーンシートの一方の面を、液体を含む台材に配置する工程Bと、
前記複合グリーンシートの他方の面にレーザー光を照射し、前記複合グリーンシートを貫通する貫通孔を形成するとともに前記液体を蒸発させる工程Cと、
を含む複合グリーンシートの加工方法であって、
前記グリーンシートには、前記液体に溶解する第1の有機バインダが含まれており、
前記導体層は、前記液体に溶解する第2の有機バインダを含み、前記液体に対する前記第2の有機バインダの25℃における溶解度が、前記液体に対する前記第1の有機バインダの25℃における溶解度よりも低いことを特徴とする複合グリーンシートの加工方法。 - 前記貫通孔が形成された複合グリーンシートを前記台材から脱離する工程Dを含むことを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記複合グリーンシートは、グリーンシートと導体層とが複数積層して成ることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体は水であることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体は、分子量400程度以下の低分子量の有機材料で構成されていることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体は、フタル酸ジブチル等のフタル酸エステル、アジピン酸エステル、ハイドロクロロフロロカーボン(HCFC)から選ばれる少なくとも1種類であることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体に対する前記第2の有機バインダの25℃における溶解度が1%以下(0は含まない)であることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシート加工方法。
- 前記台材が多孔質または繊維状の物質から成り、前記台材中に前記液体が含浸されていることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記台材がフィルム状であることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記台材と前記グリーシシートとの間に隔離フィルムが介在されていることを特徴とする請求項1記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記隔離フィルムは前記液体に対し、難溶解性の材質から成ることを特徴とする請求項10記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 導体層とグリーンシートから成る複合グリーンシートを準備する工程Eと、
前記複合グリーンシートの所定の位置に貫通孔を形成する工程Fと、
前記複合グリーンシートを、液体を含む台材上に配置させる工程Gと、
前記貫通孔に対応する部分の台材にレーザー光を照射し、前記液体を蒸発させる工程Hと、
を含む複合グリーンシートの加工方法であって、
前記グリーンシートには、前記液体に溶解する第1の有機バインダが含まれており、
前記導体層は、導電粒子および前記液体に溶解する第2の有機バインダを含み、前記液体に対する前記第2の有機バインダの25℃における溶解度が、前記液体に対する前記第1の有機バインダの25℃における溶解度よりも低いことを特徴とする複合グリーンシートの加工方法。 - 前記貫通孔が洗浄された複合グリーンシートを前記台材から脱離する工程Iを含むことを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記複合グリーンシートは、グリーンシートと導体層とを複数積層して成る複合グリーンシートであることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体は水であることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体は、分子量400程度以下の低分子量の有機材料で構成されていることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体は、フタル酸ジブチル等のフタル酸エステル、アジピン酸エステル、ハイドロクロロフロロカーボンから選ばれる少なくとも1種類であることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記液体に対する前記第1の有機バインダの25℃における溶解度が0.1〜10%であることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシート加工方法。
- 前記液体に対する前記第2の有機バインダの25℃における溶解度が1%以下(0は含まない)であることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシート加工方法。
- 前記台材が多孔質または繊維状の物質から成り、前記台材中に前記液体が含浸されていることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記台材がフィルム状であることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記台材と前記グリーシシートとの間に隔離フィルムが介在されていることを特徴とする請求項12記載の複合グリーンシートの加工方法。
- 前記隔離フィルムは前記液体に対し、難溶解性の材質から成ることを特徴とする請求項22記載の複合グリーンシートの加工方法。
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