JP4828196B2 - 濃色隔画壁の形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、表示装置に適したカラーフィルタを構成するのに好適な濃色離隔壁の形成方法、並びにそれにより得られた濃色離隔壁を用いたカラーフィルタ及びその製造方法、表示装置に関する。

表示装置用のカラーフィルタは一般に、ガラス等の基板上に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、ドット状画像の境界部をブラックマトリクス等の濃色離画壁で区分した構造に構成されている。

このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、基材としてガラス等の基板を用い、１）染色法、２）印刷法、３）着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像とを繰り返し行なう方法（着色レジスト法；例えば、特許文献１参照）、４）仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法、５）予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布して感光性着色層を形成し、形成された着色層を順次、基板上に直接転写して露光及び現像を行なう操作を、色相の数だけ繰り返し行なう方法等により多色画像を形成する方法（転写法）が知られている（例えば、特許文献２参照）。また、インクジェット法を用いる方法（例えば、特許文献３参照）も知られている。

これらの方法のうち、着色レジスト法、転写法では、各色画素が位置精度高く配されたカラーフィルタを作製できるものの、感光性樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言い難い。一方、インクジェット法は、感光性樹脂液のロスが少なくコスト的に有利であるものの、各色画素の位置精度に劣る問題がある。

上記に鑑みて、ブラックマトリクスを着色レジスト法、転写法で作製し、ＲＧＢ３色の画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタの製造法も提案されている（例えば、特許文献４参照）が、インクジェット法で吐出されたＲＧＢ各色のインクが混色してしまうこと、混色を防止するためにブラックマトリクスの基板からの高さを高くしようとすると、現像時に精細なパターンに構成されたブラックマトリクスが脱落してしまう。これは特に、黒色濃度の高いブラックマトリクスを得るために、顔料含有率を高めた系に構成した場合や厚膜にした場合に顕著となる。
特開平１−１５２４４９号公報 特開昭６１−９９１０２号公報 特開平８−２２７０１２号公報 特開２００３−２７０４３１号公報

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、高い黒色濃度を有すると共に、混色がなく、現像条件に伴なう形成パターンの変動を抑えて精細な壁パターンを形成することができる濃色離画壁の形成方法、並びに該製造方法により形成された濃色離画壁を用いたカラーフィルタ及びその製造方法、及び表示装置を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ 基板上に設けられる濃色離画壁の形成方法であって、樹脂及びその前駆体の少なくとも１種と、合金部分を含む粒子の少なくとも１種とを含む感光性樹脂層を露光、現像して、厚みが１．０μｍ以上の濃色離画壁を前記基板上に形成し、前記粒子が、銀錫合金部分を含む粒子の少なくとも１種を含むことを特徴とする濃色離画壁の形成方法である。
＜２＞ 前記粒子が、銀錫合金部分及び、金属もしくは前記銀錫合金部分と組成の異なる合金からなる複合粒子の少なくとも１種を含む前記＜１＞に記載の濃色離画壁の形成方法である。
＜３＞ 前記銀錫合金部分における銀の割合が３０〜８０モル％である前記＜１＞又は＜２＞に記載の濃色隔画壁の形成方法である。
＜４＞ 前記濃色離画壁は、光学濃度が２．５以上である前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の濃色離画壁の形成方法である。

＜５＞ 前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の濃色離画壁の形成方法により形成された濃色離画壁と、２色以上の複数の画素からなる画素群とが基板上に設けられてなるカラーフィルタの製造方法であって、前記濃色離画壁の形成後、前記基板の濃色離画壁が形成された側に着色液体組成物を液滴付与し、前記複数の画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
＜６＞ 前記着色液体組成物の液滴付与をインクジェット法により行なって前記複数の画素を形成する前記＜５＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。
＜７＞ 前記＜５＞又は＜６＞に記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたことを特徴とするカラーフィルタである。
＜８＞ 前記＜７＞に記載のカラーフィルタを備えたことを特徴とする表示装置である。

本発明によれば、高い黒色濃度を有すると共に、混色がなく、現像条件に伴なう形成パターンの変動を抑えて精細な壁パターンを形成することができる濃色離画壁の形成方法、並びに、該濃色離画壁の製造方法により形成された濃色離画壁を用いたカラーフィルタ及びその製造方法、及び表示装置を提供することができる。

以下、本発明の濃色離画壁の形成方法について詳細に説明すると共に、該説明を通じて、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法、表示装置についても詳述する。

＜濃色離画壁の形成方法＞
本発明の濃色離画壁の形成方法は、基板上に濃色離画壁を形成する形成方法であって、樹脂及びその前駆体の少なくとも１種と、合金部分を含む粒子の少なくとも１種とを含む感光性樹脂層を（好ましくは貧酸素雰囲気下で）露光、現像して、濃色離画壁を１．０μｍ以上の厚みとなるように基板上に形成し、前記粒子が、銀錫合金部分を含む粒子の少なくとも１種を含むように構成したものである。

前記感光性樹脂層は、基板上に、感光性樹脂組成物を塗布する方法（塗布法）、又は感光性転写材料の感光性樹脂層を転写する方法（転写法）により形成することができる。以下、感光性樹脂組成物、感光性転写材料について説明する。

−感光性樹脂組成物−
本発明に係る感光性樹脂層は、感光性樹脂組成物を用いて構成され、この感光性樹脂組成物は、樹脂及びその前駆体と合金部分を含む粒子とを少なくとも含有する感光性樹脂組成物が好適であり、感光性樹脂組成物は必要に応じて、前記合金部分を含む粒子以外の他の着色剤、溶剤、並びに界面活性剤等の他の成分を用いて構成することができる。

〈樹脂及びその前駆体〉
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、樹脂及びその前駆体の少なくとも一種を含有する。樹脂は、バインダーとしてのポリマー成分であり、樹脂の前駆体は、重合したときに樹脂を構成する成分であり、いわゆるモノマー、オリゴマー成分などが含まれる。

本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、樹脂及びその前駆体より選択される一種又は二種以上を含有することにより、感光性の重合性組成物に構成されるのが好ましい。例えば、感光性の重合性組成物を用いることによって、本発明に係る感光性樹脂層に感光性を付与することができる。

前記感光性樹脂組成物は、バインダー（ポリマー）、光重合開始剤などの開始系、及びエチレン性不飽和二重結合を含み光で付加重合するモノマー（以下、「光重合性モノマー」ということがある。）等を含有してなる構成とすることができる。

前記感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液で現像可能なものと、有機溶剤で現像可能なものとがある。安全性と現像液のコストとの点からは、アルカリ水溶液で現像可能なものが好ましい。
また、前記感光性樹脂組成物は、光や電子線などの放射線を受容する部分が硬化するネガ型でも放射線未受容部が硬化するポジ型でもよい。

−−バインダー−−
バインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載の、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができる。このほか、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好適である。

特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、一種単独で用いてもよく、あるいは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。

前記バインダーは、３０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲の酸価と１０００〜３０００００の範囲の重量平均分子量を有するものを選択するのが好ましい。
以上の他に、種々の性能、例えば、硬化膜の強度を改良するために、現像性等に悪影響を与えない範囲で、アルカリ不溶性のポリマーを添加してもよい。アルカリ不溶なポリマーとしては、アルコール可溶性ナイロンあるいはエポキシ樹脂を挙げることができる。

バインダーの感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）中における含有量としては、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）の全固形分に対して通常、１０〜９５質量％、さらに２０〜９０質量％が好ましい。１０〜９５質量％の範囲では、感光性樹脂層の粘着性が高すぎることもなく、形成される層の強度及び光感度が劣ることもない。

−−開始系−−
感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）を硬化させる方法としては、熱重合開始剤を用いる熱開始系、光重合開始剤を用いる光開始系が一般に挙げられ、本発明においては、特に光開始系を用いることが好ましい。

前記光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の照射（露光ともいう。）により、後述の光重合性モノマー（好ましくは多官能性モノマー）の重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤もしくは光重合開始系の中から適宜選択することができる。例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。

具体的には、特開２００１−１１７２３０号公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はｓ−トリアジン誘導体、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載のトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物；

９−フェニルアクリジン、９−ピリジルアクリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ビス（ ９−アクリジニル） エタン、１，３−ビス（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ビス（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ビス（９−アクリジニル）ペンタン、１，６−ビス（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ビス（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ビス（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ビス（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ビス（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ビス（９−アクリジニル）ドデカン等のビス（９−アクリジニル）アルカン、などのアクリジン系化合物；

６−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどのトリアジン系化合物；その他、９，１０−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン／ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビスイミダゾール／メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン／アミン、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビスイミダゾールなどが挙げられる。

上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、及びトリアジン系化合物から選択される少なくとも１種が好ましく、特にトリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも１種が好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。

特に好ましいのは、前記トリハロメチル基含有化合物としては２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾールであり、前記アクリジン系化合物としては９−フェニルアクリジンであり、更に６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ブトキシスチリル）−５−トリクロロメチル−１，３，４−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビスイミダゾールである。

前記光重合開始剤は、一種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
光重合開始剤の感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）中における総量としては、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）の全固形分（質量）に対して、０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％が特に好ましい。該総量が前記範囲内であると、光硬化効率が良好で短時間露光が可能であり、現像する際の欠落やパターン表面の荒れの発生が抑えられ、良好な画像パターンを効果的に形成することができる。

光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「メルカプタン系水素供与体」という。）である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「アミン系水素供与体」という。）である。なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とをともに有していてもよい。

前記メルカプタン系水素供与体の具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２−メルカプト−２，５−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。

前記アミン系水素供与体の具体例としては、４、４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４、４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましく、特に４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。

前記水素供与体は、一種単独で又は２種以上を混合して使用することができる。形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、１種以上のメルカプタン系水素供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。

前記メルカプタン系水素供与体と前記アミン系水素供与体との組合せの具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンである。

前記メルカプタン系水素供与体と前記アミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体（Ｍ）とアミン系水素供与体（Ａ）との質量比（Ｍ：Ａ）は通常、１：１〜１：４が好ましく、１：１〜１：３がより好ましい。前記水素供与体の感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）における総量としては、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％が特に好ましい。

−−光重合性モノマー−−
光重合性モノマーとしては、下記化合物を一種単独で又は他のモノマーと組み合わせて使用することができる。
具体的には、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジイソプロペニルベンゼン、１，４−ジヒドロキシベンゼンジ（メタ）アクリレート、デカメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、等が挙げられる。

また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。

これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス（２−アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレートである。

光重合性性モノマーの感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）中における含有量としては、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）の全固形分（質量）に対して、５〜８０質量％が好ましく、１０〜７０質量％が特に好ましい。該含有量が前記範囲内であると、組成物の露光部におけるアルカリ現像液に対する耐性が良好であり、組成物としたときのタッキネスが増加することなく、取扱い性に優れる。

〈合金部分を含む粒子〉
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、合金部分を含む粒子の少なくとも一種を含有する。この合金部分を含む粒子は、黒濃度が高く、少量であるいは薄膜にして優れた遮光性能を発現し得ると共に、高い熱安定性を有するので、黒濃度を損なうことなく高温（例えば２００度以上）での熱処理が可能であり、安定的に高度の遮光性を確保することができる。例えば、高度の遮光性が要求され、一般にベーク処理が施されるカラーフィルタ用の遮光膜（例えばブラックマトリクス）などの構成に好適である。

本発明に係る合金部分を含む粒子は、各粒子が、合金からなるもの、合金部分とその他の金属部分からなるもの、及び２種以上の合金部分からなるものを含むものである。

本発明において、金属の定義については、岩波理化学辞典 第４版（１９８７年、岩波書店発行）に記載されている通りであり、本発明における合金は、二種以上の金属が原子レベルで混合したもので、固溶体、共晶、化合物、金属間化合物などが含まれる。なお、合金については、例えば、岩波理化学辞典 第４版（１９８７年、岩波書店発行）に記載されている。

本発明における合金部分を構成する金属には、特に制限はないが、金、銀、白金、パラジウム、銅、タングステン、チタン、錫のうち、２種を組み合わせたものが好ましい。具体的な好ましい例としては、金／銀合金（Au/Ag合金）、銀／パラジウム合金（Ag/Pd合金）、銀／錫合金（Ag/Sn合金）などが挙げられ、中でも、コスト、安全性の観点から、銀／錫合金は特に好ましい。

また、合金と金属とからなる複合粒子、又は合金と合金とからなる複合粒子を構成する金属には、特に制限はないが、金、銀、白金、パラジウム、銅、タングステン、チタン、錫などが好ましく用いられる。また、合金としては、これらの金属のうち、２種を組み合わせたものが好ましい。
具体的な好ましい複合粒子の例としては、銀と金／銀合金との組合せ、銀と銀／パラジウム合金との組合せ、錫と銀／錫合金との組合せ、銀と銀／錫合金との組合せ、銀／錫合金と金／銀合金との組合せ、銀／パラジウム合金と銀／錫合金との組合せ、等の組み合わせ態様が好適に挙げられる。この中でも、コスト、安全性の観点から、錫と銀／錫合金との組合せ、銀と銀／錫合金との組合せは特に好ましい。

本発明に係る「合金部分を有する粒子」において、粒子が、少なくとも一部が合金で構成されていること、合金部分と他の金属部分とから構成されていること、合金部分と合金部分とから構成されていることは、例えば、（株）日立製作所製のＨＤ−２３００とノーラン（Ｎｏｒａｎ）社製のＥＤＳ（エネルギー分散型Ｘ線分析装置）とを用いて、加速電圧２００ｋＶによる各々の粒子の中心１５ｎｍ□エリアのスペクトル測定により確認することができる。

本発明に係る「合金部分を含む粒子」の作製方法には、特に制限はなく、例えば、坩堝などの中で加熱、溶融混合して形成する等の一般的方法で形成することが可能であるが、形成後の微粒子化工程が余分に必要であるので、粒子還元法が好ましい。粒子還元法は、２種以上の金属化合物を混合し、還元するものである。用いる金属の還元性が異なる場合には、必要に応じていずれか一方の金属を錯塩にすることにより析出タイミングをコントロールすることが好適である。還元は溶液で行なうことが好ましく、この場合、溶媒は水でも有機溶媒でもよい。例えば、既述の銀／錫合金、銀と銀／錫合金との複合粒子の場合には、下記化合物を用いることが好ましい。
銀（Ａｇ）化合物としては、硝酸銀（ＡｇＮＯ₃）、酢酸銀（Ａｇ（ＣＨ₃ＣＯＯ））、過塩素酸銀（ＡｇＣｌＯ₄・Ｈ₂Ｏ）等が好適に挙げられる。中でも特に酢酸銀が好ましい。
錫（Ｓｎ）化合物としては、塩化第一錫（ＳｎＣｌ₂）、塩化第二錫（ＳｎＣｌ₄）、酢酸第一錫（Ａｇ（ＣＨ₃ＣＯＯ）₂）等が好適に挙げられる。中でも特に、酢酸第一錫が好ましい。

還元は、還元剤を用いる方法、電解により還元する方法等を好ましい還元方法として挙げることができる。中でも、還元剤を用いた前者による方法が、微細な粒子が得られる点で好ましい。前記還元剤としては、ハイドロキノン、カテコール、パラアミノフェノール、パラフェニレンジアミン、ヒドロキシアセトンなどが挙げられる。中でも、揮発しやすく、表示装置に悪影響を与えにくい点で、ヒドロキシアセトンが特に好ましい。

以下、銀錫合金部分を含む粒子を例に詳細に説明する。
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、銀錫合金部分を含む粒子の少なくとも１種を用いて好適に構成することができる。

銀錫合金部を含む粒子は、銀（Ａｇ）の割合を３０〜８０モル％としてＡｇと錫（Ｓｎ）とを複合化（例えば合金化）して得られるものが好ましい。Ａｇの割合を特に前記範囲とすることで、高温域での熱安定性が高く、光の反射率を抑えた高い黒濃度を得ることができる。

換言すれば、Ａｇの割合が、３０モル％未満であると、融点が低くなり熱で変化しやすく熱安定性が低下することがあり、８０モル％を超えると、光の反射率が高くなることがある。中でも、好ましくは４０〜７５モル％であり、最も好ましくは５０〜７５モル％である。
特に、Ａｇの割合が７５モル％である粒子、すなわちＡｇＳｎ合金粒子は作製が容易であり、得られた粒子も安定で好ましい。

本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、銀錫合金部を有する粒子を一種単独で含有するのみならず、Ａｇの割合が前記範囲内で異なる二種以上の銀錫合金部を有する金属粒子を併用して構成するようにしてもよい。

銀錫合金部を有する粒子の場合、坩堝などの中で加熱、溶融混合して形成する等の一般的方法で合金化する等して形成することが可能であるが、Ａｇの融点は９００℃付近で、Ｓｎの融点は２００℃付近であって両者の融点に大きな差があるうえ、複合化（例えば合金化）後の微粒子化工程が余分に必要になることから、粒子還元法によるのが好ましい。すなわち、Ａｇ化合物とＳｎ化合物とを混合し、これを還元するものであり、金属Ａｇと金属Ｓｎを同時に接近した位置で析出させ、複合化（例えば合金化）と微粒子化とを同時に達成する方法である。Ａｇは還元されやすく、Ｓｎよりも先に析出する傾向にあるため、Ａｇ及び／又はＳｎを錯塩にすることにより析出タイミングをコントロールすることが好適である。
なお、Ａｇ化合物、Ｓｎ化合物、還元方法の詳細については既述の通りである。

本発明に係る「合金部分を含む粒子」は、以下に示す物理的性質や、粒子サイズ、粒子形状等を有する粒子であるのが好ましい。

本発明に係る「合金部分を含む粒子」の合金部分を構成する複数の金属が、２種の金属元素である場合、該２種の金属元素の比としては、モル比で１／９９〜９９／１が好ましく、より好ましくは５／９５〜９５／５であり、更に好ましくは１０／９０〜９０／１０である。両者の比が前記範囲内であると、赤味を帯びる等がなく良好な黒色調が得られ、加熱による反射率の増大も生じない。
また、合金部分を構成する複数の金属が、金属と合金、又は２種の合金である場合は、両者の比はいずれも、モル比で１／９９〜９９／１が好ましく、より好ましくは５／９５〜９５／５であり、更に好ましくは１０／９０〜９０／１０である。この場合も、両者の比が前記範囲内であると、赤味を帯びる等がなく良好な黒色調が得られ、加熱による反射率の増大も生じない。

本発明に係る「合金部分を含む粒子」は、数平均粒子サイズで１０〜７００ｎｍが好ましく、より好ましくは１２〜２００ｎｍであり、特に好ましくは１５〜１００ｎｍである。数平均粒子サイズが特に前記範囲内であると、膜面状の良好な膜を成膜することができ、黒さが減って黄色味を帯びる等がなく、良好な黒色調を得ることができる。
特に銀錫合金部を有する粒子の場合、数平均粒子サイズが特に前記範囲内であると、金属Ｓｎの粒子とは異なり、いずれの粒子径でも黒い色相を有する。なお、数平均粒子サイズが、７００ｎｍを超えると成膜したときの面状が悪くなることがあり、２０ｎｍ未満であると黒さが減って黄色味を帯びてくることがある。

前記数平均粒子サイズは、透過型電子顕微鏡ＪＥＭ−２０１０（日本電子（株）製）により得た写真を用いて次のようにして測定されるものである。
粒子１００個を選び、それぞれの粒子像と同じ面積の円の直径を粒子径とし、１００個の粒子の粒子径の平均を数平均粒子サイズとする。なお、写真は、倍率１０万倍、加速電圧２００ｋＶで撮影したものを用いる。

本発明に係る「合金部分を含む粒子」の粒子形状としては、特に制限はなく、不定形、球形、キュービック状、針状等のいずれの形状であってもよい。

上記の物理的性質、粒子サイズ、粒子形状を少なくとも有し、かつ維持される限り、合金部分を含む粒子を形成する金属元素以外に、更に塩や有機物、その他の元素（Ｃａ、Ｐ、Ｎａ等）などを含んでいてもよい。

本発明に係る「合金部分を含む粒子」は、必要に応じて２種類以上混合して用いてもよいし、他の金属粒子や合金粒子と混合して用いてもよい。合金、又は合金と合金からなる複合粒子を合成する際には、副生成物として少量の金属微粒子や合金微粒子が生成することがあるが、これらを含んだまま使用しても差し支えない。

合金部分を含む粒子を含有する本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、必要に応じて分散剤を用いて構成することができる。
前記分散剤としては、顔料の分散に用いられる公知の分散剤を用いることができる。好ましい分散剤の例としては、チオール基含有化合物、ポリエチレンオキサイド基含有化合物、アミノ酸又はその誘導体、ペプチド化合物、多糖類及び多糖類由来の天然高分子、合成高分子、及びこれらに由来するゲルなどを挙げることができる。

「合金部分を含む粒子」の本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）中における量としては、目的や用途に応じて適宜選択すればよく、高度の遮光性を得る観点からは、層もしくは組成物の全固形分（体積）に対して、５〜２０体積％が好ましく、７〜１５体積％がより好ましく、８〜１５体積％が最も好ましい。
粒子の量が前記範囲内であると、光の反射率が抑えられ、黒濃度が高く、薄膜で高い遮光性を得ることができる。特に、カラーフィルタのブラックマトリクスなど、画像表示領域の遮光材料として用いた場合は、高コントラストで鮮やかな表示画像を得ることが可能である。なお、粒子の量が、５体積％未満であるときには成膜した際の膜厚が１μｍより厚くなることがあり、２０体積％を超えるときには反射率が高く表示コントラストを損なうことがある。

基板上に設けられる濃色離画壁を構成する感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）には、上記した合金部分を含む粒子以外に、更に他の着色剤を含有して色調整や濃度調整などを行なうようにしてもよい。

ここで、本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、高い光学濃度を有する感光性の層（組成物）をいい、光学濃度の値としては、２．５以上が好ましく、２．５〜１０．０がより好ましく、２．５〜６．０が更に好ましく、３．０〜５．０が特に好ましい。

また、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は感光性に構成されており、既述のように、好ましくは光開始系で硬化させる形態に構成される。光開始系に構成された形態では、露光波長（一般には紫外域）に対する光学濃度も重要である。すなわち、かかる場合の光学濃度の値としては、２．０〜１０．０が好適であり、好ましくは２．５〜６．０、最も好ましいのは３．０〜５．０である。該光学濃度が前記範囲内であると、重合反応を良好に行なわせることが可能で、離画壁形状を所望の形状に構成した離画壁を形成することができる。

〈着色剤〉
本発明においては、既述の「合金部分を含む粒子」以外に、更に他の着色剤を併用してもよい。
具体的には、特開２００５−１７７１６号公報の段落番号［０１１９]〜［０１３４］に記載の色材や、公知の染料ないし顔料として、ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー７１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー９８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５６；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ６３；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット３８；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド３０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２６；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック７；等が挙げられる。

本発明においては、前記着色剤の中でも黒色の着色剤が好ましい。黒色の着色剤として、更に例示すると、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックが好ましい。

顔料は、分散液として使用することが望ましい。この分散液は、顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（又はビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（有機溶媒）とを含む。
顔料を分散させる際に用いる分散機には、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」第一版、ｐ.４３８、朝倉書店（２０００年）に記載のニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に、この文献のｐ.３１０に記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。

着色剤、特に顔料については、分散安定性の観点から、数平均粒径が０．００１〜０．１μｍのものが好ましく、更に０．０１〜０．０８μｍのものが好ましい。なお、数平均粒径が０．１μｍを超えると、顔料による偏光の解消が生じてコントラストが低下することがある。
ここで、「粒径」とは、粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円としたときの直径をいい、「数平均粒径」とは、多数の粒子について前記粒径を求め、１００個の平均をとったときの平均値をいう。

前記他の着色剤は、本発明の効果を損なわない範囲で含有することができ、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）中の「合金部分を含む粒子」の質量に対して１０〜２００質量％程度が望ましい。

〈他の成分〉
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）には、前記成分以外に更に以下に示す他の成分を用いて構成することができる。
−−溶剤−−
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）においては、有機溶剤を用いてもよい。有機溶剤の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。

−−界面活性剤−−
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）には、界面活性剤として、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）の構成成分と混和性のあるものを使用可能である。好ましい界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報の段落番号［００１５］〜［００２４］、特開２００３−１７７５２２号公報の段落番号［００１２］〜［００１７］、特開２００３−１７７５２３号公報の段落番号［００１２］〜［００１５］、特開２００３−１７７５２１号公報の段落番号［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５１９号公報の段落番号［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５２０号公報の段落番号［００１２］〜［００１５］、特開平１１−１３３６００号公報の段落番号［００３４］〜［００３５］、特開平６−１６６８４号公報に記載の界面活性剤が好適に挙げられる。
より高い効果を得る観点からは、フッ素系界面活性剤及び／又はシリコン系界面活性剤（フッ素原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤を含む。）のいずれか１種、あるいは２種以上を選択するのが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。

前記フッ素系界面活性剤を用いる場合、界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は１〜３８が好ましく、５〜２５がより好ましく、７〜２０が最も好ましい。フッ素原子数が前記範囲内であると、溶解性が良好である点で望ましい。
なお、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）の全固形分に対する界面活性剤の含有量は、０．００１〜１％が一般的であり、０．０１〜０．５％が好ましく、０．０３〜０．３％が特に好ましい。

−−紫外線吸収剤−−
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平５−７２７２４号公報に記載の化合物のほか、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３’，５’−ジ−ｔ−４’−ヒドロキシベンゾエート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、エチル−２−シアノ−３，３−ジ−フェニルアクリレート、２，２’−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピリジン）−セバケート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリデニル）−エステル、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、７−｛［４−クロロ−６−（ジエチルアミノ）−５−トリアジン−２−イル］アミノ｝−３−フェニルクマリン等が挙げられる。

感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）中における紫外線吸収剤の含有量としては、全固形分に対して、０．５〜１５％が一般的であり、１〜１２％が好ましく、１．２〜１０％が特に好ましい。

−−熱重合防止剤その他−−
本発明に係る感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）は、熱重合防止剤を用いて好適に構成することができる。熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
熱重合防止剤を含有する場合の、感光性樹脂層（感光性樹脂組成物）中における熱重合防止剤の含有量は、該層（組成物）の全固形分に対して、０．０１〜１％が一般的であり、０．０２〜０．７％が好ましく、０．０５〜０．５％が特に好ましい。

また、上記成分以外に、特開平１１−１３３６００号公報の段落番号［００３６］に記載の「接着助剤」やその他の添加剤等を含有させることができる。

−感光性転写材料−
本発明の濃色離画壁の形成方法に用いる感光性樹脂層は、感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を転写する転写法により形成することができる。この感光性樹脂層は、既述のようにして構成される感光性樹脂組成物を用いて形成することができる。

感光性転写材料は、濃色離画壁の形状を容易にかつ低コストに実現し得るものとして、仮支持体上に少なくとも、樹脂及びその前駆体と合金部分を含む粒子とを少なくとも含有する樹脂組成物、特に感光性を有する既述の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層及び、必要に応じて中間層や保護層を仮支持体側から順に設けて好適に構成することができる。転写法により転写された感光性樹脂層をパターニングすることで、濃色離画壁（ブラックマトリックスなど）を形成することができる。

本発明における感光性転写材料は、既述の樹脂及びその前駆体の少なくとも１種と合金部分を含む粒子の少なくとも１種とを含有する感光性樹脂層、特に本発明に係る既述の感光性樹脂組成物で構成された感光性樹脂層が設けられるので、高温域でも熱安定性に優れると共に、薄膜でかつ光学濃度の高い遮光膜を最も好適に作製することができる。

感光性転写材料は、仮支持体の上に、既述のように樹脂及びその前駆体と合金部分を含む粒子とを少なくとも含む感光性樹脂組成物を用いて形成された感光性樹脂層を有してなり、必要に応じて更に、熱可塑性樹脂層、中間層、保護フィルム等を設けて構成することができる。

感光性樹脂層の層厚は、１．０μｍ〜５．０μｍの範囲が好ましく、特に１．０〜３．０μｍの範囲が好ましい。

仮支持体、熱可塑性樹脂層、及び中間層については、特開２００５−１７３２２号公報の段落番号［００６０］〜［００７０］や、特開２００５−３８６１号公報の段落番号［００２２］〜［００３３］に記載があり、本発明においてもその記載を参考にすることができる。

感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フィルムを設けることが好ましい。保護フィルムは仮支持体と同一かあるいは類似の材料からなるものでもよいが、感光性樹脂層から容易に分離可能されるものであることが重要である。保護フィルムを構成する材料としては、例えば、シリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
なお、保護フィルムの厚さは、４〜４０μｍが一般的であり、５〜３０μｍが好ましく、１０〜２５μｍが特に好ましい。

〜感光性転写材料の作製方法〜
次に、感光性転写材料の作製方法について詳述する。
感光性転写材料は、仮支持体上に、熱可塑性樹脂層を構成する成分を溶解した塗布液（熱可塑性樹脂層用塗布液）を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を設け、設けられた熱可塑性樹脂層上に、熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤を用いて調製した中間層形成用の溶液（中間層用塗布液）を塗布し、乾燥させて中間層を積層し、その後更に、中間層を溶解しない溶剤で調製した感光性樹脂層形成用の調製液（感光性樹脂層用塗布液）を塗布し、乾燥させて感光性樹脂層を形成することによって好適に作製することができる。なお、熱可塑性樹脂層を設けない場合には、中間層の溶剤には特に制約はない。

仮支持体上に該仮支持体側から順に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けた第１シートと、保護フィルム上に感光性樹脂層を設けた第２シートとを用意し、第１シートの中間層表面と感光性樹脂層の表面とが接するように貼り合せることによって作製することもできる。また更に、仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けた第１シートと、保護フィルム上に該保護フィルム側から順に感光性樹脂層及び中間層を設けた第２シートとを用意し、第１シートの中間層表面と第２シートの熱可塑性樹脂層の表面とが接するように貼り合せることによって作製することもできる。
なお、塗布は、公知の塗布装置等によって行なうことができるが、スリット状ノズルを用いた塗布装置（スリットコータ）によって行なうことが好ましい。

−基板−
基板は、濃色離画壁が設けられる被壁形成体である永久支持体であり、該基板としては、例えば、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フイルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや透明合成樹脂フィルムが挙げられる。また、基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、塗布形成された感光性樹脂層あるいは感光性転写材料を用いて転写形成された感光性樹脂層との間の密着を良好にすることができる。

前記カップリング処理としては、特開２０００−１９１９２６号公報の段落番号［００２７］〜［００３２］に記載の方法や、特開２０００−３４０６９６号公報の段落番号［００１８］〜［００１９］に記載の方法など、公知の方法が好適に用いられる。

本発明の濃色離画壁の形成方法においては、既述のように、塗布法又は感光性転写材料を用いた転写法により所望の基板上に濃色離画壁を形成することができ、基板上に形成された濃色離画壁は、２以上の画素群の画素間を離画するものであり、一般には黒色であることが多いが、黒色に限定されるものではない。

〜濃色離画壁の形成〜
以下、本発明の濃色離画壁の形成方法による濃色離画壁の形成形態について、塗布法又は転写法による場合を中心に説明する。
（１）感光性樹脂組成物を用いた濃色離画壁の形成（塗布法）
所望の基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。この基板を調温し、調温された基板上に既述したように液状組成に調製された感光性樹脂組成物を塗布する。このとき、塗布形成された塗布膜の膜厚は、１．０〜５．０μｍが好ましく、１．０〜３．０μｍがより好ましい。
引き続き、溶媒の一部を乾燥させて塗布膜の流動性をなくした後、ＥＢＲ（エッジ・ビード・リムーバー）等にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、プリベークして感光性樹脂層を得る。

前記塗布は、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター〔例えば、エフ・エー・エス・アジアジャパン社製のＭＨ−１６００（商品名）〕等を用いて行なうことができる。前記乾燥は、公知の乾燥装置（例えば、東京応化工業社製の真空乾燥装置ＶＣＤ等）を用いて行なうことができる。また、前記プリベークは、特に限定されないが、例えば、１２０℃で３分間加熱することにより行なえる。

続いて、マスク（画像パターンを有する石英露光マスク）と基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂層の表面との間の距離を適宜（例えば２００μｍ）に設定し、マスクを介して感光性樹脂層を露光する。このとき、露光は、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティ型露光機（例えば、日立電子エンジニアリング（株）製）等を用いて行ない、露光量としては適宜（例えば３００ｍＪ／ｃｍ²）選択することができる。
露光に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。

続いて、現像液を用いて感光性樹脂層を現像して未硬化領域を除去してパターニングし、所望のパターン画像を形成する。その後、必要に応じて水洗処理して濃色離画壁を得る。
現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧し、感光性樹脂層の表面を均一に湿らせることが好ましい。現像に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液を使用できるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。
また、露光、現像の具体的な方法については、特開２００５−３８６１号公報の段落番号［００６９］〜［００７４］に記載があり、本発明においてもその記載を参考にすることができる。

（２）感光性転写材料を用いた濃色離画壁の形成（転写法）
既述したように、仮支持体上に少なくとも感光性樹脂層を設けて作製した感光性転写材料を用いて、保護フィルムが設けられているときには保護フィルムを剥離除去し、露出した感光性樹脂層の表面を、既述の塗布法の場合と同様に洗浄、熱処理して安定化させた基板（永久支持体）の上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層して積層体とする。ラミネータには、従来公知のラミネータ、真空ラミネータ等の中から適宜選択して使用することができ、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。

次いで、積層体から仮支持体を除去し、仮支持体を除去した後の除去面の上方に所望のフォトマスクを配置して、光源からフォトマスクを通して感光性樹脂層にパターン状に紫外線を照射する。照射後、所定の現像液を用いて現像処理し、感光性樹脂層をパターニングする。引き続き、必要に応じてパターン画像を水洗処理し、濃色離画壁を得る。現像処理に用いる現像液及び露光に用いる光源は、前記塗布法を用いた場合と同様である。

本発明においては、形成される濃色離画壁の厚みを１．０μｍ以上とする。１．０μｍ未満では、ＲＧＢ３色の画素形成時の混色を防ぐことができない。また、濃色離画壁は、既述のように樹脂又はその前駆体と合金部分を含む粒子とで構成された層（組成物）よりなるので１μｍ以上でも現像処理でパターンに欠陥、変動を生ずることもない。なお、厚みの上限値としては、１０μｍ以下が好ましい。厚みが１０μｍ以下であると、現像時に精細なパターンの脱落を効果的に防止することができる。中でも特に、１．５μｍ〜４．０μｍの範囲内とするのがより好ましい。

なお、本発明における濃色離画壁の厚みとは、該濃色離画壁の高さであり、該濃色離画壁が形成された基板表面から該濃色離画壁の一番高い部分までの距離（すなわち濃色離画壁のみの距離）を意味する。但し、ゴミなどの異物を除いた状態での高さである。
この基板からの距離は、例えば、表面粗さ計Ｐ−１０（ＴＥＮＣＯＲ社製）を用いて測定することができる。

また、形成される濃色離画壁の光学濃度は、２．５以上が好ましく、２．５〜１０．０がより好ましく、２．５〜６．０が更に好ましく、３．０〜５．０が特に好ましい。濃色離画壁は、複数の画素の画素間に設けられるもの（例えばブラックマトリクス）であり、黒色濃度が２．５以上であると、画像コントラストが高く鮮やかな画像表示が可能である。

＜カラーフィルタの製造方法＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、既述の本発明の濃色離画壁の形成方法により形成された濃色離画壁と、２色以上の複数の画素からなる画素群とを基板上に設けてなるカラーフィルタの製造方法であって、濃色離画壁の形成後に、基板の濃色離画壁が形成された側に着色液体組成物を液滴付与することにより、前記複数の画素を形成する構成としたものである。

すなわち、既述のようにして、現像を経て基板上に形成された濃色離画壁間の空隙に２色以上の画素（例えばＲＧＢ３色の各画素）を形成するための着色液体組成物を液滴付与することにより、濃色離画壁の空隙、つまり壁と壁とに挟まれた凹部に侵入させて、濃色離画壁で画素間が隔離されるように２色以上の色で構成された複数の画素を形成する。

着色液体組成物を離画壁間の空隙に侵入させる方法としては、インクジェット法やストライプギーサー塗布法など、公知の方法を適用可能であり、中でもコストの点でインクジェット法が好ましい。

また、液滴付与により画素形成する前に、濃色離画壁の形状を固定化するようにしてもよく、固定化の手段には特に限定されないが、例えば下記手段が挙げられる。
すなわち、１）現像後、再露光を行なう（ポスト露光と呼ぶことがある。）、２）現像後、比較的低い温度で加熱処理を行なう、等である。ここでいう加熱処理には、濃色離画壁を有する基板を、電気炉、乾燥器等で加熱する、あるいは赤外線ランプで照射することが含まれる。

前記１）による場合、露光量は、大気下である場合は５００〜３０００ｍＪ／ｃｍ²が好ましく、より好ましくは１０００〜２０００ｍＪ／ｃｍ²であり、貧酸素雰囲気下である場合はそれより低い露光量で露光することが可能である。また、前記２）による場合、加熱温度は５０〜１２０℃が好ましく、より好ましくは７０〜１００℃程度であり、その加熱時間は１０〜４０分程度である。加熱温度が、５０℃より低いと濃色離画壁の硬化が不充分となることがあり、１２０℃を超えると濃色離画壁の形状が崩れてしまうことがある。

前記インクジェット法については、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、予め基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を適用することができる。

好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理（いわゆるベーク処理）を行なう加熱工程を設ける。すなわち、光照射により光重合した層を有する基板を電気炉、乾燥器等で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、及び紫外線吸光度を確保する観点から、約１２０℃〜約２５０℃で約１０分〜約１２０分間加熱することが好ましい。

カラーフィルタのパターン形状は、特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、更にはデルタ配列状であってもよい。

〜インクジェット法〜
インクジェット法としては、帯電したインクを連続的に噴射して電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱した際の発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。

インクは、油性、水性のいずれも使用することができる。また、インクに含まれる着色材は、染料、顔料のいずれでもよく、耐久性の点で顔料がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる塗布用の着色インク（着色樹脂組成物、例えば特開２００５−３８６１号公報の段落番号［００３４］〜［００６３］に記載）や、特開平１０−１９５３５８号公報の段落番号［０００９］〜［００２６］に記載のインクジェット用組成物を使用できる。

インクジェット法に用いるインクには、着色後の工程を考慮して、加熱により硬化する、又は紫外線などのエネルギー線の付与により硬化する成分を添加することができる。加熱により硬化する成分としては、各種の熱硬化性樹脂が広く挙げられ、また、エネルギー線の付与により硬化する成分としては、例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものが挙げられる。特に、耐熱性を考慮して、アクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は、水溶性のものが好ましく、水に難溶性のものでもエマルション化する等して使用できる。
この場合、既述した感光性樹脂組成物を好適なものとして用いることができる。

また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、２官能乃至３官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルタ用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。

本発明のカラーフィルタは、既述の本発明のカラーフィルタの製造方法により作製されたものであり、中でも、インクジェット法により液滴付与して複数の画素が形成されたカラーフィルタが好ましく、ＲＧＢ３色のインクをインクジェット法により吹き付けて形成されたＲＧＢ３色の画素で構成されたカラーフィルタが好ましい。

本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、ＰＬＺＴ等と組合せて表示素子として用いることができる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも好適に使用できる。

＜表示装置＞
本発明の表示装置は、既述の本発明のカラーフィルタを用いて構成されたものであり、本発明のカラーフィルタは既述の本発明のカラーフィルタの製造方法により作製されるものである。本発明の表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えるので、画素間の色滲み、混色等に伴なう画素欠陥がなく、高コントラストの鮮やかな画像の表示が可能である。

本発明の表示装置は、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などを含む。表示装置の定義や各表示装置の説明については、例えば、「電子ディスプレイデバイス」佐々木昭夫著、（株）工業調査会（１９９０年発行）、「ディスプレイデバイス」伊吹順章著、産業図書（株）（平成元年発行）などに記載されている。

本発明の表示装置としては、中でも液晶表示装置が特に好ましい。液晶表示装置については、例えば、「次世代液晶ディスプレイ技術」内田龍男編集、（株）工業調査会（１９９４年発行）に記載されている。
液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、前記「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている様々な方式の液晶表示装置に適用することができる。中でも特に、カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については、例えば、「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ」共立出版（株）（１９９６年発行）に記載されている。更に、ＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については、例えば、「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−」ｐ.４３、東レ・リサーチセンター調査研究部門（２００１年発行）に記載されている。

本発明の液晶表示装置は、カラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなど、様々な部材から構成することができる。本発明の濃色離画壁（例えばブラックマトリックス）は、これら公知の部材で構成される液晶表示装置に好適に適用することができる。これら部材については、例えば、「’９４ 液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場」島 健太郎、（株）シーエムシー（１９９４年発行）、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）」表 良吉、（株）富士キメラ総研（２００３年発行）に記載されている。

本発明は、テレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビゲーションなどの用途に特に制限なく好適に適用することができる。

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。

（実施例１）：転写法
＜遮光膜用感光性塗布液Ａ１の調製＞
−ＡｇＳｎ合金微粒子の分散液（分散液Ａ１）の調製−
純水１０００ｍｌに、酢酸銀（Ｉ）５５．９ｇ、酢酸スズ（II）２３．６ｇ、グルコン酸５４ｇ、ピロリン酸ナトリウム４５ｇ、ポリエチレングリコール（分子量３，０００）２ｇ、及びＥ７３５（アイエスピー・ジャパン（株）製；ビニルピロリドン／酢酸ビニルコポリマー）５ｇを溶解し、溶液１を得た。
別途、純水５００ｍｌにヒドロキシアセトン３６．１ｇを溶解して、溶液２を得た。

上記より得た溶液１を２５℃に保ちつつ激しく攪拌しながら、これに上記の溶液２を２分間かけて添加し、緩やかに６時間攪拌を継続した。すると、混合液が黒色に変化し、ＡｇＳｎ（Ａｇ／Ｓｎ[モル比]＝１／３）合金微粒子を得た。次いで、この液を遠心分離してＡｇＳｎ合金微粒子を沈殿させた。遠心分離は、１５０ｍｌの液量に小分けして、卓上遠心分離機Ｈ−１０３ｎ（（株）コクサン製）により回転数２，０００ｒ.ｐ.ｍ.で３０分間行なった。そして、上澄みを捨て全液量を１５０ｍｌにし、これに純水１３５０ｍｌを加え、１５分間攪拌してＡｇＳｎ合金微粒子を再び分散させた。この操作を２回繰り返して水相の可溶性物質を除去した。

その後、この液に対して更に遠心分離を行ない、ＡｇＳｎ合金微粒子を再び沈殿させた。遠心分離は前記同様の条件にて行なった。遠心分離した後、前記同様に上澄みを捨て全液量を１５０ｍｌにし、これに純水８５０ｍｌ及びアセトン５００ｍｌを加え、さらに１５分間攪拌してＡｇＳｎ合金微粒子を再び分散させた。

再び前記同様にして遠心分離を行ない、ＡｇＳｎ合金微粒子を沈殿させた後、前記同様に上澄みを捨て液量を１５０ｍｌにし、これに純水１５０ｍｌ及びアセトン１２００ｍｌを加えて更に１５分間攪拌し、ＡｇＳｎ合金微粒子を再び分散させた。そして再び、遠心分離を行なった。このときの遠心分離の条件は、時間を９０分に延ばした以外は前記同様である。その後、上澄みを捨て全液量を７０ｍｌにし、これにアセトン３０ｍｌを加えた。これをアイガーミル（アイガーミルＭ−５０型（メディア：直径０．６５ｍｍジルコニアビーズ１３０ｇ、アイガー・ジャパン（株）製）を用いて６時間分散し、ＡｇＳｎ合金微粒子の分散液（分散液Ａ１）を得た。この微粒子分散液を透過型電子顕微鏡で観察した結果、分散平均粒径は数平均粒子サイズで約４０ｎｍであった。

前記数平均粒子サイズの測定は、透過型電子顕微鏡ＪＥＭ−２０１０（日本電子（株）製）により得た写真を用いて以下のようにして行なった。
粒子１００個を選び、それぞれの粒子像と同じ面積の円の直径を粒子径とし、１００個の粒子の粒子径の平均を数平均粒子サイズとした。このとき、写真は、倍率１０万倍、加速電圧２００ｋＶで撮影したものを用いた。

−遮光膜用感光性塗布液Ａ１の調製−
下記組成を混合して、遮光膜用感光性塗布液Ａ１を調製した。
〔組成〕
・前記ＡｇＳｎ微粒子の分散液（分散液Ａ１） …５０．００部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …２８．６部
・メチルエチルケトン …３７．６部
・フッ素系界面活性剤 … ０．２部
（Ｆ−７８０−Ｆ、大日本インキ化学工業（株）製）
・ヒドロキノンモノメチルエーテル … ０．００１部
・スチレン／アクリル酸共重合体 … ９．６部
（モル比＝５６／４４、重量平均分子量３０，０００）
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート … ９．６部
（ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ、日本化薬社製）
・ビス［４−［Ｎ−［４−（４，６−ビストリクロロメチル−ｓ−トリアジン−２−イル）フェニル］カルバモイル］フェニル］セバケート … ０．５部

＜遮光膜用感光性塗布液Ａ２の調製＞
−ＡｇＳｎ系複合微粒子の分散液（分散液Ａ２）の調製−
純水１０００ｍｌに、酢酸銀（Ｉ）４０．８ｇ、酢酸スズ（II）４０．３ｇ、グルコン酸５４ｇ、ピロリン酸ナトリウム４５ｇ、ポリエチレングリコール（分子量３，０００）３．２ｇ、及びポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン社製；ＰＶＰ−Ｋ１５）５．２ｇを溶解し、溶液３を得た。
別途、純水５００ｍｌにヒドロキシアセトン４６．１ｇを溶解して、溶液４を得た。

上記より得た溶液３を２８℃に保ちつつ激しく攪拌しながら、これに上記の溶液４を２分間かけて添加し、緩やかに６時間攪拌を継続した。すると、混合液が黒色に変化し、金属Ｓｎ２３％及びＡｇＳｎ合金（Ａｇ／Ｓｎ[モル比]＝１／３）７７％の組成よりなる、錫と銀錫合金との複合微粒子を得た。次いで、この液を遠心分離して複合微粒子を沈殿させた。遠心分離は、１５０ｍｌの液量に小分けして、卓上遠心分離機Ｈ−１０３ｎ（（株）コクサン製）により回転数２，０００ｒ.ｐ.ｍ.で３０分間行なった。そして、上澄みを捨て全液量を１５０ｍｌにし、これに純水１３５０ｍｌを加え、１５分間攪拌して複合微粒子を再び分散させた。この操作を２回繰り返して水相の可溶性物質を除去した。

その後、この液に対して更に遠心分離を行ない、複合微粒子を再び沈殿させた。遠心分離は前記同様の条件にて行なった。遠心分離した後、前記同様に上澄みを捨て全液量を１５０ｍｌにし、これに純水８５０ｍｌ及びアセトン５００ｍｌを加え、さらに５分間攪拌して複合微粒子を再び分散させた。

再び前記同様にして遠心分離を行ない、複合微粒子を沈殿させた後、前記同様に上澄みを捨て液量を１５０ｍｌにし、これに純水１５０ｍｌ及びアセトン１２００ｍｌを加えて更に１５分間攪拌し、複合微粒子を再び分散させた。そして再び、遠心分離を行なった。このときの遠心分離の条件は、時間を９０分に延ばした以外は前記同様である。その後、上澄みを捨て全液量を７０ｍｌにし、これにアセトン３０ｍｌを加えた。これをアイガーミル（アイガーミルＭ−５０型（メディア：直径０．６５ｍｍジルコニアビーズ１３０ｇ、アイガー・ジャパン（株）製）を用いて１５時間分散し、複合微粒子の分散液（分散液Ａ２）を得た。
この分散液を透過型電子顕微鏡で観察した結果、分散平均粒径は数平均粒子サイズで約２５ｎｍであった。なお、数平均粒子サイズの測定は、透過型電子顕微鏡ＪＥＭ−２０１０（日本電子（株）製）を用いて上記と同様にして行なった。

−遮光膜用感光性塗布液Ａ２の調製−
前記「遮光膜用感光性塗布液Ａ１の調製」において、分散液Ａ１を上記より得た複合微粒子の分散液（分散液Ａ２）に代えたこと以外、前記「遮光膜用感光性塗布液Ａ１の調製」と同様にして、遮光膜用感光性塗布液Ａ２を調製した。

＜遮光膜用感光性塗布液Ａ３の調製＞
−ＳｎＰｄ系複合微粒子の分散液（分散液Ａ３）の調製−
純水１０００ｍｌに、塩化錫（II）４７．４ｇ、塩化パラジウム（II）２５．６ｇ、グルコン酸５４ｇ、ピロリン酸ナトリウム４５ｇ、ポリエチレングリコール（分子量３，０００）３．２ｇ、及びポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン社製；ＰＶＰ−Ｋ１５）５．２ｇを溶解し、溶液５を得た。
別途、純水５００ｍｌにヒドロキシアセトン５５．０ｇを溶解して、溶液６を得た。

上記より得た溶液５を２８℃に保ちつつ激しく攪拌しながら、これに上記の溶液６を２分間かけて添加し、緩やかに６時間攪拌を継続した。すると、混合液が黒色に変化し、金属Ｓｎ２３％及びＳｎＰｄ合金７７％の組成よりなる、錫と錫パラジウム合金との複合微粒子を得た。次いで、この液を遠心分離して複合微粒子を沈殿させた。遠心分離は、１５０ｍｌの液量に小分けして、卓上遠心分離機Ｈ−１０３ｎ（（株）コクサン製）により回転数２，０００ｒ.ｐ.ｍ.で３０分間行なった。そして、上澄みを捨て全液量を１５０ｍｌにし、これに純水１３５０ｍｌを加え、１５分間攪拌して複合微粒子を再び分散させた。この操作を２回繰り返して水相の可溶性物質を除去した。

その後、この液に対して更に遠心分離を行ない、複合微粒子を再び沈殿させた。遠心分離は前記同様の条件にて行なった。遠心分離した後、前記同様に上澄みを捨て全液量を１５０ｍｌにし、これに純水８５０ｍｌ及びアセトン５００ｍｌを加え、さらに５分間攪拌して複合微粒子を再び分散させた。

再び前記同様にして遠心分離を行ない、複合微粒子を沈殿させた後、前記同様に上澄みを捨て液量を１５０ｍｌにし、これに純水１５０ｍｌ及びアセトン１２００ｍｌを加えて更に１５分間攪拌し、複合微粒子を再び分散させた。そして再び、遠心分離を行なった。このときの遠心分離の条件は、時間を９０分に延ばした以外は前記同様である。その後、上澄みを捨て全液量を７０ｍｌにし、これにアセトン３０ｍｌを加えた。これをアイガーミル（アイガーミルＭ−５０型（メディア：直径０．６５ｍｍジルコニアビーズ１３０ｇ、アイガー・ジャパン（株）製）を用いて１５時間分散し、複合微粒子の分散液（分散液Ａ３）を得た。
この分散液を透過型電子顕微鏡で観察した結果、分散平均粒径は数平均粒子サイズで約３０ｎｍであった。なお、数平均粒子サイズの測定は、透過型電子顕微鏡ＪＥＭ−２０１０（日本電子（株）製）を用いて上記と同様にして行なった。

−遮光膜用感光性塗布液Ａ３の調製−
前記「遮光膜用感光性塗布液Ａ１の調製」において、分散液Ａ１を上記より得た複合微粒子の分散液（分散液Ａ３）に代えたこと以外、前記「遮光膜用感光性塗布液Ａ１の調製」と同様にして、遮光膜用感光性塗布液Ａ３を調製した。

＜遮光膜用感光性塗布液Ａ４の調製＞
以下に示す「樹脂組成物の処方」に記載の、カーボンブラック分散液、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを計り取り、温度２４℃（±２℃）で混合して、回転数１５０ｒ.ｐ.ｍ.にて１０分間攪拌した後、メチルエチルケトン、バインダーＰ−１、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、及び界面活性剤１を計り取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加し、温度４０℃（±２℃）下で回転数１５０ｒ.ｐ.ｍ.にて３０分間攪拌することにより、遮光膜用感光性塗布液Ａ４を調製した。

〔樹脂組成物の処方〕
・下記カーボンブラック分散液 …４４部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート … ８部
・メチルエチルケトン …５３部
・下記バインダーＰ−１ … ９．１部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル … ０．００２部
・下記ＤＰＨＡ液 … ４．２部
・２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン … ０．１６部
・下記界面活性剤１ … ０．０４５部

＊カーボンブラック分散液
・カーボンブラック（デグッサ社製、Ｎｉｐｅｘ３５）…１３．１％
・下記分散剤…０．６５％
・ポリマー…６．７２％
〔ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８[モル比]）のランダム共重合体、分子量３．７万〕
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７９．５３％

＊バインダーＰ−１
・ポリマー…２７％
〔ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８[モル比]）のランダム共重合体、分子量３．８万〕
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７３％
＊ＤＰＨＡ液
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート…７６％
（商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製；重合禁止剤ＭＥＨＱを５００ｐｐｍ含有）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…２４％
＊界面活性剤１
・下記構造物１…３０％
・メチルエチルケトン…７０％

＜感光性転写材料の作製＞
（１）厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレート仮支持体（ＰＥＴ仮支持体）の表面に、スリットノズルを用いて乾燥膜厚が５μｍになるように下記処方Ｈからなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布し、１００℃で３分間乾燥させ、熱可塑性樹脂層を形成した。

（２）この熱可塑性樹脂層上に、下記処方Ｐからなる中間層用塗布液をスリットコーターを用いて乾燥膜厚が１．５μｍとなるように塗布し、１００℃で３分間乾燥させて、中間層を積層した。

（３）次に、上記より得た遮光膜用感光性塗布液Ａ１を、スリット状ノズルを用いて乾燥膜厚が下記表１に示すように上記の中間層上に塗布し、１００℃で５分間乾燥させて、感光性層を形成した。
更に、感光層上に厚さ１２μｍのポリプロピレンフィルムを圧着し、保護フィルムを設けた。以上のようにして、ＰＥＴ仮支持体／熱可塑性樹脂層／中間層／感光層／保護フィルムの積層構造に構成された感光性転写材料Ａ１を作製した。

また、上記において、遮光膜用感光性塗布液Ａ１を遮光膜用感光性塗布液Ａ２〜Ａ４の各々に順次代えたこと以外は、上記と同様にして、感光性転写材料Ａ２〜Ａ４を作製した。
また更に、遮光膜用感光性塗布液Ａ１〜Ａ４の平均粒子径、乾燥膜厚を下記表１に示すように変更したこと以外は、上記と同様にして、遮光膜用感光性塗布液Ａ５〜Ａ２０を調製すると共に、感光性転写材料Ａ５〜Ａ２０を作製した。

〔熱可塑性樹脂層用塗布液の調製〕
下記処方Ｈの諸成分を混合し、熱可塑性樹脂層用塗布液を調製した。
−熱可塑性樹脂層用塗布液の処方Ｈ−
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝５５／１１．７／４．５／２８．８[モル比]）の共重合体（重量平均分子量８０，０００） … ５８部
・スチレン／アクリル酸（＝６３／３７[モル比]）の共重合体 …１３６部
（重量平均分子量７，０００）
・２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン… ９０部
（新中村化学工業（株）製、多官能アクリレート）
・前記界面活性剤１ … １部
・メチルエチルケトン …５４１部
・１−メトキシ−２−プロパノール … ６３部
・メチルアルコール …１１１部

〔中間層用塗布液の調製〕
下記処方Ｐの諸成分を混合し、中間層用塗布液を調製した。
−中間層用塗布液の処方Ｐ−
・ポリビニルアルコール … ３．０部
（ＰＶＡ−２０５、（株）クラレ製）
・ポリビニルピロリドン … １．５部
（ＰＶＰ−Ｋ３０、アイエスピー・ジャパン（株）製）
・蒸留水 …５０．５部
・メチルアルコール …４５．０部

＜転写による遮光膜付基板の作製＞
（１）まず、上記より得た感光性転写材料Ａ１〜Ａ２０について、各感光性転写材料の保護フィルムを剥離除去した後、露出した感光性層が、被転写体であるガラス基板（厚み１．１ｍｍ）の表面と接するように重ね合わせ、ラミネーターＬａｍｉｃII型〔（株）日立インダストリイズ製〕を用いて、ゴムローラ温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分の条件で貼り合わせた。次いで、ＰＥＴ仮支持体を剥離し、ガラス基板上に感光性層／中間層／熱可塑性樹脂層の順に積層されるように転写した（転写工程）。

（２）続いて、超高圧水銀灯を備えたプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング社製）を用い、マスク（画像パターンを有する石英露光マスク）と、該マスクと熱可塑性樹脂層とが向き合うように配置したガラス基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性層の中間層に接する側の表面との間の距離を２００μｍとし、マスクを介して熱可塑性樹脂層側から露光量３００ｍＪ／ｃｍ ² で全面露光した（露光工程）。

（３）露光後、ＫＯＨ系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を１００倍希釈したもの（使用時のｐＨは１１〜１２）をフラットノズルから２５℃、ノズル圧力６．１５ＭＰａにて、熱可塑性樹脂層上から５８秒間噴射してシャワー現像を行ない、熱可塑性樹脂層、中間層、及び感光性層の未露光部を現像除去してパターンを得た（現像工程）。その後さらに、ガラス基板のパターンが形成された側に超純水を超高圧洗浄ノズルにより９．８ＭＰａの圧力で噴射して残渣を除去し、ガラス基板上にブラックマトリクス（濃色離画壁）を形成した。

（４）次に、ブラックマトリクスが形成されたガラス基板を、基板予備加熱装置により２２０℃で６０分間加熱した後、２４０℃で５０分間さらに加熱してベーク処理を施し（ベーク工程）、遮光膜付基板を作製した。
以上のようにして、２０種類の遮光膜付基板Ａ１〜Ａ２０を得た。

＜カラーフィルタの作製＞
次いで、インクジェット装置を用いて、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各インクを、上記で得た遮光膜付基板Ａ１〜Ａ２０のブラックマトリクスパターン（離画壁）の間隙に付与して着色し、複数の着色画素を形成して、カラーフィルタＡ１〜Ａ２０を得た。各色のインクは、下記方法にて調製した。

〜Ｒインクの調製〜
下記成分のうち、まず顔料、高分子分散剤、及び溶剤を混合し、３本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得、その顔料分散液をディソルバー等で充分に攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加して、Ｒインクを調製した。
〔Ｒインクの組成〕
・顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４） … ５部
・高分子分散剤（ＡＶＥＣＩＡ社製ソルスパース２４０００） … １部
・バインダー（グリシジルメタクリレート−スチレン共重合体） … ３部
・第一エポキシ樹脂 … ２部
（エピコート１５４、油化シェル社製；ノボラック型エポキシ樹脂）
・第二エポキシ樹脂（ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル） … ５部
・硬化剤（トリメリット酸） … ４部
・３−エトキシプロピオン酸エチル（溶剤） …８０部

〜Ｇインク、Ｂインクの調製〜
前記Ｒインクの組成中のＣ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４をＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６に代えて同量用いた以外は、Ｒインクの調製と同様にしてＧインクを調製した。また、前記Ｒインクの組成中のＣ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４をＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６に代えて同量用いた以外は、Ｒインクの調製と同様にしてＢインクを調製した。

着色により画素形成した後、２３０℃のオーブン中で３０分間ベーク処理してブラックマトリクス及び各色の画素をともに硬化させ、カラーフィルタＡ１〜Ａ２０を得た。

＜評価＞
得られた遮光膜付基板及びカラーフィルタの各々について、以下に示す測定及び評価を行なった。測定及び評価の結果は下記表１に示す。
−１．光学濃度−
ベーク処理後のブラックマトリクスの光学濃度を下記方法により測定した。
分光光度計ＵＶ−２１００〔（株）島津製作所製〕を用いて、遮光膜付基板の透過光学濃度（ＯＤ）を波長５５５ｎｍで測定すると共に、更にこれら遮光膜付基板の各々に用いたガラス基板の透過光学濃度（ＯＤ⁰）を同様の方法で測定した。そして、ＯＤからＯＤ⁰を差し引いた値（透過ＯＤ；＝ＯＤ−ＯＤ⁰）を透過光学濃度とした。

−２．膜厚−
接触式表面粗さ計Ｐ−１０（ＴＥＮＣＯＲ社製）を用いて、ベーク処理後のブラックマトリクスの膜厚を測定した。

−３．画素間の混色評価−
得られたカラーフィルタを２００倍の光学顕微鏡で目視観察して画素間の混色の有無を評価した。評価は、１０００画素の観察により行ない、下記ランクに分けた。評価結果を下記表１に示す。Ａランク及びＢランクが許容範囲内である。
〔評価ランク〕
Ａランク：画素を構成するインクは、ブラックマトリクスの間隙にきれいに収まっており、混色は全く認められなかった。
Ｂランク：混色が１〜２箇所認められた。
Ｃランク：混色が３〜１０箇所認められた。
Ｄランク：混色が１１箇所以上認められた。

−４．現像時のドット安定性−
ブラックマトリクス形成時に１０μｍ、１６μｍの円形のパターンの露光（各１００個）を行ない、現像後に残っているドット数を数え、残存率（％）を求めた。

前記表１に示すように、形成されたブラックマトリクス（濃色離画壁）が着色剤として合金部を含む微粒子を用いて１μｍ以上の膜厚に構成された実施例では、高濃度が得られると共に、混色及び現像によるドット欠如の発生が抑えられ、安定的に精細なブラックマトリクスを形成することができた。
これに対し、ブラックマトリクスの膜厚が１μｍに満たない比較例では、高濃度は得られるものの、混色は抑えられず、また、着色剤に合金部を含む微粒子以外の顔料（カーボンブラック）を用いた比較例では、現像による影響を大きく受けて所期のドットを保持できず、混色防止の点で膜厚が大きい方が望ましいところ、厚膜になるに伴なって所期のドットの保持安定性は劣化してしまった。

（実施例２）：塗布法
＜遮光膜用感光性塗布液の調製＞
実施例１と同様にして、遮光膜用感光性塗布液Ａ１〜Ａ２０を調製した。

＜保護層用塗布液の調製＞
下記組成を混合して、保護層用塗布液を調製した。
・ポリビニルアルコール … ３．０部
（ＰＶＡ−２０５、（株）クラレ製）
・ポリビニルピロリドン … １．３部
（ＰＶＰ−Ｋ３０、アイエスピー・ジャパン（株）製）
・蒸留水 …５０．７部
・メチルアルコール …４５．０部

＜塗布による遮光膜付基板の作製＞
（１）上記より得た遮光膜用感光性塗布液Ａ１〜Ａ２０について、各遮光膜用感光性塗布液をガラス基板上に、スリット状ノズルを備えたガラス基板用コーターＭＨ−１６００（エフ・エー・エス・アジア社製）を用いて膜厚が０．８μｍになるように塗布し、１００℃で５分間乾燥させて感光性層を形成した（塗布工程）。次いで、この感光性層上にスリット状ノズルを用いて、上記より得た保護層用塗布液を乾燥膜厚が１．５μｍになるように塗布し、１００℃で５分間乾燥させて保護層を形成し、遮光膜用感光材料を作製した。

（２）引き続き、超高圧水銀灯を備えたプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング社製）を用い、マスク（画像パターンを有する石英露光マスク）と上記の遮光膜用感光材料とを垂直に立てた状態で、マスク面と遮光膜用感光材料の感光層の中間層に接する側の表面との間の距離を２００μｍとし、露光量７０ｍＪ／ｃｍ ² で全面露光した（露光工程）。次いで、露光後の遮光膜用感光材料を現像処理液ＴＣＤ（富士写真フイルム（株）製；アルカリ現像液）を５倍希釈したもの（使用時のｐＨは１０．２）を用いて現像処理（３３℃、２０秒；現像工程）し、ガラス基板上にブラックマトリックス（濃色離画壁）を形成した。
次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板を、基板予備加熱装置により２２０℃で６０分間加熱した後、２４０℃で５０分間さらに加熱してベーク処理し（ベーク工程）、遮光膜付基板Ａ２１〜Ａ４０を作製した。

続いて、作製した遮光膜付基板Ａ２１〜Ａ４０の各々を用いて、実施例１と同様にして、カラーフィルタＡ２１〜Ａ４０を得た。
得られた遮光膜付基板及びカラーフィルタの各々について、実施例１と同様の測定、評価を行なった結果、実施例１と同様の結果が得られた。

（実施例３）
実施例１、２で得られたカラーフィルタＡ１〜Ａ４０を用いて、以下のようにして液晶表示装置を作製した。

〈オーバーコート層の形成〉
カラーフィルタＡ１〜Ａ４０の各々に対して、各カラーフィルタ（以下、「カラーフィルタ基板」と称する。）上に、特開２００４−３３３９８５号公報の段落番号［０１０３］に記載の方法によりオーバーコート層を形成した。

〈ＩＴＯ膜の形成〉
続いて、カラーフィルタ基板上に形成されたオーバーコート層上に更に、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜をスパッタリングにより形成し、ＩＴＯ透明電極を設けた。

〈スペーサの形成〉
続いて、特開２００４−２４０３３５号公報の［実施例１］に記載のスペーサ形成方法と同様の方法で、上記のＩＴＯ透明電極上にスペーサを形成した。

〈液晶配向制御用突起の形成〉
下記のポジ型感光性樹脂層用塗布液を用いて、前記スペーサが形成されたＩＴＯ透明電極上に液晶配向制御用突起を形成した。但し、露光、現像、及びベーク工程は、以下の方法により行なった。
まず、下記処方にて調製したポジ型感光性樹脂層用塗布液を、スペーサが形成されたＩＴＯ透明電極上に塗布し乾燥させて、感光性樹脂層を形成した。次に、所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から１００μｍの距離となるようにプロキシミティ露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー１５０ｍＪ／ｃｍ²にてプロキシミティ露光した。続いて、２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて３３℃で３０秒間基板に噴霧しながら現像した。こうして、感光性樹脂層の不要部（露光部）を現像除去することにより、カラーフィルタ基板上に所望形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板Ａ１〜Ａ４０を得た。次いで、液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板の各々を２３０℃下で３０分ベーク処理し、液晶配向制御用突起を硬化させた。
以上のようにして、硬化された液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板Ａ１〜Ａ４０を作製した。

〔ポジ型感光性樹脂層用塗布液の処方〕
・ポジ型レジスト液 …５３．３部
（ＦＨ−２４１３Ｆ、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）
・メチルエチルケトン …４６．７部
・メガファックＦ−７８０Ｆ（大日本インキ化学工業（株）製） … ０．０４部

〈液晶表示装置の作製〉
上記で得た液晶表示装置用基板Ａ１〜Ａ４０を用いて、特開平１１−２４２２４３号公報の第一実施例［００７９］〜［００８２］に記載の方法を用いて、液晶表示装置Ａ１〜Ａ４０を作製した。

〔評価〕
作製した液晶表示装置のうち、本発明の遮光膜用感光性塗布液を用いた遮光膜付基板で構成されたカラーフィルタを備えた液晶表示装置では、いずれの画面にも混色、欠陥がなく、表示画像は良好であった。これに対し、比較の遮光膜用感光性塗布液を用いた遮光膜付基板で構成されたカラーフィルタを備えた液晶表示装置では、混色、欠陥の影響により表示画像は劣っていた。

Claims (8)

1. 基板上に設けられる濃色離画壁の形成方法であって、
   樹脂及びその前駆体の少なくとも１種と、合金部分を含む粒子の少なくとも１種とを含む感光性樹脂層を露光、現像して、厚みが１．０μｍ以上の濃色離画壁を前記基板上に形成し、前記粒子が、銀錫合金部分を含む粒子の少なくとも１種を含むことを特徴とする濃色離画壁の形成方法。
2. 前記粒子が、銀錫合金部分及び、金属もしくは前記銀錫合金部分と組成の異なる合金からなる複合粒子の少なくとも１種を含む請求項１に記載の濃色離画壁の形成方法。
3. 前記銀錫合金部分における銀の割合が３０〜８０モル％である請求項１又は２に記載の濃色隔画壁の形成方法。
4. 前記濃色離画壁は、光学濃度が２．５以上である請求項１〜３のいずれか１項に記載の濃色離画壁の形成方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の濃色離画壁の形成方法により形成された濃色離画壁と、２色以上の複数の画素からなる画素群とが基板上に設けられてなるカラーフィルタの製造方法であって、前記濃色離画壁の形成後、前記基板の濃色離画壁が形成された側に着色液体組成物を液滴付与し、前記複数の画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
6. 前記着色液体組成物の液滴付与をインクジェット法により行なって前記複数の画素を形成する請求項５に記載のカラーフィルタの製造方法。
7. 請求項５又は６に記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたことを特徴とするカラーフィルタ。
8. 請求項７に記載のカラーフィルタを備えたことを特徴とする表示装置。