JP4826003B2 - 水溶性感光性ポリマー及び水溶性感光性樹脂組成物 - Google Patents

水溶性感光性ポリマー及び水溶性感光性樹脂組成物 Download PDF

Info

Publication number
JP4826003B2
JP4826003B2 JP2000289971A JP2000289971A JP4826003B2 JP 4826003 B2 JP4826003 B2 JP 4826003B2 JP 2000289971 A JP2000289971 A JP 2000289971A JP 2000289971 A JP2000289971 A JP 2000289971A JP 4826003 B2 JP4826003 B2 JP 4826003B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
soluble
resin composition
soluble photosensitive
weight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000289971A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002097226A (ja
Inventor
完 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Inc filed Critical Toppan Inc
Priority to JP2000289971A priority Critical patent/JP4826003B2/ja
Publication of JP2002097226A publication Critical patent/JP2002097226A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4826003B2 publication Critical patent/JP4826003B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/50Improvements relating to the production of bulk chemicals
    • Y02P20/52Improvements relating to the production of bulk chemicals using catalysts, e.g. selective catalysts

Landscapes

  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は水溶性感光性ポリマー及びその樹脂組成物に係り、光硬化に際して非露光部は水のみで容易に洗浄除去することができ、露光部は不溶性となる感光性樹脂組成物に係るものであり、印刷産業、エレクトロニクス産業等に利用される。
【0002】
【従来の技術】
感光性樹脂は金属加工産業、エレクトロニクス産業、印刷産業、塗料・インキ産業などの発展とともにその利用分野を広範囲に拡大してきた。具体的用途の主たるものは、(a)金属の部分的エッチングによる、銅張積層板の作成、LSIなどの精密な電子回路の作成、(b)印刷用樹脂版の作成、(c)スクリーン印刷用インキなどである。従って、最終の使用目的、条件、作成者側の工程の簡素化、環境面への配慮などから当然感光性樹脂組成物の変性化が要求される。現在では、特性の異なる多品種の感光性樹脂が市販・上市されている。これらの感光性樹脂を用いて金属箔などの部分的エッチング液による回路作成、あるいは印刷用樹脂版の作成を行う場合には次のような工程が用いられる。すなわち、塗布された感光性樹脂組成物の薄膜上にネガマスクを置き、光照射して露光部を光硬化させ、非露光部を洗浄によって除去した後、露出した金属部分はエッチング液への浸漬によって溶出させ回路作成する。また、印刷用製版では、エッチングの工程は不要である。
従来、上記の用途で用いられた水溶性感光性樹脂組成物としては、光架橋剤としての水溶性アジド化合物と、これにより光架橋可能な水溶性ポリマーとを組み合わせたものが知られている。例えば重合体マトリックスとしてポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドンを用いたもの(特開昭49−43569号公報)、ビニルアルコール−マレイン酸共重合体もしくはこれらの塩を用いたもの(特開昭48−97602号公報)、ビニルアルコール−アクリルアミドの共重合体を用いたもの(特開昭48−97603号公報)、水溶性ポリビニルブチラートを用いたもの(特開昭48−98905号公報)などがあるが、これらは低感度のため露光量を大きくしなければならない、また、露光量を大きくするために露光時間が長くなってしまい生産性が低下するなどの問題がある。一方、水溶性アジド化合物とポリビニルピロリドンを組み合わせたもの(特開昭48−90185号公報)では、十分な解像度が得られないという問題がある。更に、感光性樹脂組成物は保存安定性が良好であることが望ましい。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的とするところは、水現像可能な、高感度、高解像性で保存安定性も良好な、水溶性感光性ポリマー及びその樹脂組成物を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、感光性アジド基及び水溶性のアルカリ塩基及び水溶性非感光性部を含む一般式(1)で表される化合物をモノマー単位として含むことを特徴とする水溶性感光性ポリマーである。
【化3】
Figure 0004826003
式中、AXは水溶性のアルカリ塩基を示す。
【0005】
請求項2の発明は、前記アルカリ塩基が一般式(4)で示されるスルホン酸アルカリ塩であることを特徴とする請求項1記載の水溶性感光性ポリマーである。
【化4】
Figure 0004826003
式中、Xはナトリウム又はカリウムを示す。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の水溶性感光性ポリマーの出発物質としては、(I)N−ビニルアセトアミドを単独で重合させることにより得られるポリマー(II)N−ビニルアセトアミドと、それ以外の水溶性モノマーとの共重合体が挙げられる。
【0010】
上記(II)における水溶性モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、N−ビニルピロリドン、アクリロアミド、ジメチルアクリルアミド、アクリロイルモルホリンなどが挙げらる。これらのモノマーは1種のみを使用しても2種以上を併用してもよい。
上記(II)におけるN−ビニルアセトアミドとそれ以外の水溶性モノマーとの共重合反応割合は、N−ビニルアセトアミド1.0モルに対し、それ以外の水溶性モノマー10モル以下が好ましい。10モルを超えると、感光基の導入量が不足し、感光性が低下する恐れがあるからである。
【0011】
本発明の水溶性感光性ポリマーは前記(I)または(II)で示されるポリマーに、4−アジドベンズアルデヒド−2−スルホン酸アルカリ塩などのアルカリ塩基を含むアジド化合物の少なくとも1種を水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、またはこれらにアルコールを添加した溶液中で反応させるいわゆるアルドール縮合反応によって導入することにより得ることができる。なお、化合物合成方法はこれに限定されるものではない。
【0012】
本発明のポリマーの原料となるアルカリ塩基を含むアジドベンズアルデヒド化合物としては水溶性のアルカリ塩基を含めば何でも良いが、比較的入手容易なスルホン酸アルカリ塩基を含む4−アジドベンズアルデヒド−2−スルホン酸アルカリ塩が好ましい。
【0013】
本発明の水溶性感光性樹脂組成物は、上記水溶性感光性ポリマーとアジド化合物によって架橋可能な他の水溶性ポリマーとの混合物として使用することができる。
【0014】
アジド化合物によって架橋可能な水溶性ポリマーとしては、ポリビニルブチラール、ポリビニルピロリドン、アクリルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体、カゼインなどを用いることができる。これら水溶性ポリマーは単独で用いても、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0015】
本発明の水溶性感光性樹脂組成物において、アジド化合物によって架橋可能な水溶性ポリマー(A)と水溶性感光性ポリマー(B)との配合割合は、(A)固形分100重量部に対して、(B)固形分5〜40重量部程度の範囲の割合で配合させるのが好ましい。(B)固形分の配合割合が5重量部未満では感度が落ち、一方、40重量部を超えると基材に対する剥離性が低下するからである。
【0016】
本発明の水溶性感光性樹脂組成物においては、上記水溶性ポリマーの他に、必要に応じて相溶性のある増感剤、着色剤、可塑剤、界面活性剤、基板との密着を高めるためのカップリング剤等の各種添加剤を適宜、添加、配合させることができる。例えば、増感剤としては、1,5−ナフタレンジスルホン酸ジナトリウムや1−[1−ベンゾイル−2−(p−ジメチルアミノフェノニル)エテニル]ピリジニウムプロミド等を用いることができる
【0017】
本発明の感光性樹脂組成物を基板に数〜数十μmの膜厚に均一に塗布し、暗所で溶媒を揮散させた後、所定のパターンを有するネガマスクを密着させ、超高圧水銀灯、高圧水銀灯などで露光し、光照射部分を架橋反応させる。その後、水道水にて非露光部分を洗い流すと、マスクパターンに忠実な光硬化パターンを形成することができる。
【0018】
【実施例】
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。
【0019】
<合成例1> 水溶性感光性ポリマーの合成
ポリ−N−ビニルアセトアミド(昭和電工(株)製 「GE−191LL」:平均分子量=40,000、固形分約40重量%)100重量部を純水300重量部に溶解させ、ここへ4−アジドベンズアルデヒド−2−スルホン酸ナトリウム35重量部を加えて完全に溶解させ、さらに5重量%の水酸化ナトリウム水溶液5重量部を加えた後、室温にて3日間攪拌した。攪拌終了後、希塩酸にて中和し、さらに純水を280重量部加えて濃度約10重量%の水溶性感光性ポリマー溶液を得た。
【0020】
<合成例2> 水溶性感光性ポリマーの合成
N−ビニルアセトアミド26重量部およびN−ビニルピロリドン78重量部を純水1000部に溶解させ、55℃に加熱した。これに重合開始剤として「VA−044」(和光純薬製)を0.2重量部加えて5時間攪拌し、濃度10重量%の共重合体溶液を調製した。ここへ4−アジドベンズアルデヒド−2−スルホン酸ナトリウム75重量部、純水700重量部、および5重量%の水酸化ナトリウム水溶液10重量部を加えた後、室温にて3日間攪拌した。攪拌終了後、希塩酸にて中和し、濃度約10重量%の水溶性感光性ポリマー溶液を得た。
【0021】
<合成例3> 水溶性感光性樹脂組成物の調製
カゼイン溶液(富士薬品(株)製「2R−50」:固形分11.2%)1700重量部に合成例1で得られた水溶性感光性ポリマー溶液35重量部を加えて攪拌し、固形分約11%の水溶性感光性樹脂組成物を得た。
【0022】
<合成例4> 水溶性感光性樹脂組成物の調製
カゼイン溶液(富士薬品(株)製「2R−50」:固形分11.2%)1700重量部に合成例2で得られた水溶性感光性ポリマー溶液40重量部を加えて攪拌し、固形分約11%の水溶性感光性樹脂組成物を得た。
【0023】
<実施例1>
ガラス基板(90x90mm)を脱脂、水洗、乾燥させた後、合成例3で調製した水溶性感光性樹脂組成物を170rpmにて回転塗布し、80℃にて10分間乾燥を行い、感光膜(膜厚7μm)を形成した。
【0024】
この感光膜上にKodak Photographic Step Tablet No.2(以下グレースケールと称する)を真空密着させながら超高圧水銀灯を用いて1000mJの光量で露光を行った直後に常温の水道水で現像したところ、グレースケール感度は4で解像度は40μmであった。この感度は露光後24時間放置した後に現像した場合も変わらなかった。
【0025】
<実施例2>
水溶性感光性樹脂組成物を合成例4で調製したものに置き換えた以外は実施例1と同様の方法で塗布、乾燥、露光、現像を行ったところ、グレースケール感度は4で解像度は40μmであった。
この感度は露光後24時間放置した後に現像した場合も変わらなかった。
【0026】
<比較例1>
水溶性感光性樹脂組成物中の感光性ポリマーを式(3)で表される4,4'−ジアジドスチルベン−2,2'−ジスルホン酸ナトリウム19.7重量部(4水和物として)に置き換えた以外は実施例1と同様の方法で塗布、乾燥、露光、現像を行ったところ、グレースケール感度は3で解像度は50μmであった。
【化5】
Figure 0004826003
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば同光量下でグレースケール感度が比較例の3に対し4という高感度であり、かつ比較例の50μmという解像度に対し40μmという高解像性で、保存安定性が良好な水溶性感光性樹脂組成物が提供できる。

Claims (2)

  1. 感光性アジド基及び水溶性のアルカリ塩基及び水溶性非感光性部を含む一般式(1)で表される化合物をモノマー単位として含むことを特徴とする水溶性感光性ポリマー。
    Figure 0004826003
    式中、AXは水溶性のアルカリ塩基を示す。
  2. 前記アルカリ塩基が一般式(2)で示されるスルホン酸アルカリ塩基であることを特徴とする請求項1記載の水溶性感光性ポリマー。
    Figure 0004826003
    式中、Xはナトリウム又はカリウムを示す。
JP2000289971A 2000-09-25 2000-09-25 水溶性感光性ポリマー及び水溶性感光性樹脂組成物 Expired - Fee Related JP4826003B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000289971A JP4826003B2 (ja) 2000-09-25 2000-09-25 水溶性感光性ポリマー及び水溶性感光性樹脂組成物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000289971A JP4826003B2 (ja) 2000-09-25 2000-09-25 水溶性感光性ポリマー及び水溶性感光性樹脂組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002097226A JP2002097226A (ja) 2002-04-02
JP4826003B2 true JP4826003B2 (ja) 2011-11-30

Family

ID=18773270

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000289971A Expired - Fee Related JP4826003B2 (ja) 2000-09-25 2000-09-25 水溶性感光性ポリマー及び水溶性感光性樹脂組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4826003B2 (ja)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05113661A (ja) * 1991-10-23 1993-05-07 Hitachi Ltd 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法並びにけい光面形成方法
JPH0632823A (ja) * 1992-07-17 1994-02-08 Mitsubishi Electric Corp 水溶性の感光性高分子化合物の製造方法および感光性樹脂組成物
JPH0772620A (ja) * 1993-09-03 1995-03-17 Hitachi Ltd 感光性化合物およびそれを用いたパターン形成方法
JP3428715B2 (ja) * 1994-02-23 2003-07-22 東洋合成工業株式会社 感光性樹脂組成物
JPH0968796A (ja) * 1995-08-31 1997-03-11 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 光硬化画像の形成方法
JPH09185163A (ja) * 1995-12-29 1997-07-15 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 水溶性感光性樹脂組成物およびこれを用いたブラックマトリックスパターンの形成方法
JPH1124241A (ja) * 1997-07-09 1999-01-29 Toyo Gosei Kogyo Kk 感光性組成物及びパターン形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002097226A (ja) 2002-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3759711A (en) Er compositions and elements nitrogen linked apperding quinone diazide light sensitive vinyl polym
JP3771705B2 (ja) 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク
US6228560B1 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JP2015096960A (ja) 感光性樹脂組成物
JPH11327136A (ja) 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトソルダーレジストインク
JPH0527437A (ja) 水系感光性樹脂組成物及びそれを用いたプリント回路板の製造方法
US3387976A (en) Photopolymer and lithographic plates
JP4783531B2 (ja) 水性エマルジョン型の感光性樹脂組成物
CA2166177C (en) Polymers and use in photoimageable compositions
GB2057704A (en) Photosensitive resin composition and planographic printing plates therewith
US3857822A (en) Light-sensitive copolymers, a process for their manufacture and copying compositions containing them
JP4826003B2 (ja) 水溶性感光性ポリマー及び水溶性感光性樹脂組成物
JP2003131380A (ja) 感光性樹脂組成物
JP2000122282A (ja) 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク
JP3044500B2 (ja) ブラックマトリックスの形成方法
JP3620155B2 (ja) 水溶性感光性組成物
JP3463176B2 (ja) 感光性組成物
JP2540577B2 (ja) 感光性樹脂板の製法
JP3402735B2 (ja) エッチングマスクパターン形成用水溶性感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
JPH0416105B2 (ja)
JPH0834898A (ja) 水溶性感光性樹脂組成物
JP3469066B2 (ja) 光重合性組成物及び光重合性積層体
KR20000030321A (ko) Ps 판용 아크릴레이트계 감광재료
JP4306280B2 (ja) 感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性樹脂積層体
JP5685180B2 (ja) 感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルムおよびパターン形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070824

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100113

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101019

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101125

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110816

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110829

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees