JP2000122282A - 感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク - Google Patents

感光性樹脂組成物及びプリント配線板製造用フォトレジストインク

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JP2000122282A
JP2000122282A JP28983498A JP28983498A JP2000122282A JP 2000122282 A JP2000122282 A JP 2000122282A JP 28983498 A JP28983498 A JP 28983498A JP 28983498 A JP28983498 A JP 28983498A JP 2000122282 A JP2000122282 A JP 2000122282A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高解像性を有しながらも、基材ヘ塗布した後
予備乾燥塗膜を形成する過程における有機溶剤の揮発に
起因する労働安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を
低減することができ、プリント配線板製造用フォトレジ
ストインク等として有用であって、水性化が可能であ
り、水又は希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組
成物を提供する。 【解決手段】 (A)ポリビニルアルコール系重合体に
スチリルピリジニウム基もしくはスチリルキノリニウム
基を導入してなる水溶性の感光性樹脂、(B)カルボキ
シル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解
するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレ
ン性不飽和基を有さないもの、(C)光重合開始剤、
(D)光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
(E)水を含む。水又は希アルカリ水溶液で現像可能で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、水性化可能な感光
性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、水又は希アルカ
リ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物であって、特に
プリント配線板製造用フォトレジストインクとして有用
なもの、及びこの感光性樹脂組成物から成るプリント配
線板製造用フォトレジストインクに関するものである。
【0002】
【従来の技術】希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレ
ジストインクは、現像時に溶剤を用いる必要がなく、溶
剤現像型のフォトレジストインクに比べ労働安全衛生
面、環境汚染防止性、火災防止性などに優れていること
から、近年、特にプリント配線板製造用インク、グラビ
アロール蝕刻用インク、カラーフィルタ画素製造用イン
ク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィ
ルタ保護膜製造用インク等の分野に盛んに利用されてい
る。このような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレ
ジストインクとしては、従来は例えば、特開平5−22
4413号公報、特開5−241340号公報に開示さ
れているような感光性樹脂組成物が用いられていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストイ
ンクは、一般的には、インク成分を基材表面に均一に塗
布して、その後の露光現像過程に供することができるよ
うに、その成分を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させ
たものであり、そのため露光に際しては、あらかじめ予
備乾燥によりこれら有機溶剤を揮発させておく必要があ
った。従って、塗布から予備乾燥塗膜形成の過程におい
ては、有機溶剤に起因する労働安全衛生、環境汚染、火
災防止などの問題は未解決のままであった。
【0004】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、高解像性を有しながらも、基材ヘ塗布した後予備
乾燥塗膜を形成する過程における有機溶剤の揮発に起因
する労働安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減
することができ、エッチングレジストインク、めっきレ
ジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングイ
ンク等のプリント配線板製造用フォトレジストインク
や、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、カラ
ーフィルタ画素製造用インク、スクリーン印刷版製造用
感光性組成物、カラーフィルタ保護膜製造用インク等と
して有用であって、水性化が可能であり、水又は希アル
カリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物及びこの感光
性樹脂組成物からなるプリント配線板製造用フォトレジ
ストインクを提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本願の請求項1に記載の
感光性樹脂組成物は、(A)ポリビニルアルコール系重
合体にスチリルピリジニウム基もしくはスチリルキノリ
ニウム基を導入してなる水溶性の感光性樹脂、(B)カ
ルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又
は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能な
エチレン性不飽和基を有さないもの、(C)光重合開始
剤、(D)光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
(E)水を含んで成る水又は希アルカリ水溶液で現像可
能であることを特徴とするものでる。
【0006】また本願の請求項2に記載の感光性樹脂組
成物は、請求項1の構成に加えて、上記の光重合可能な
エチレン性不飽和単量体(D)として、(d1)分子中
に少なくとも1個のカルボキシル基及び少なくとも1個
の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含む
ものを用いて成ることを特徴とする物である。
【0007】また本発明の請求項3に記載の感光性樹脂
組成物は、請求項1又は2の構成に加えて、上記の化合
物(d)として、(d1)分子中に1個のヒドロキシル
基及び1個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化
合物と多価カルボン酸との部分エステル化物を用いて成
ることを特徴とするものである。
【0008】また、本発明の請求項4に記載のプリント
配線板製造用フォトレジストインクは、請求項1乃至3
の何れかに記載の感光性樹脂組成物から成ることを特徴
とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。なお本明細書中において「(メタ)アクリル−」
はアクリル−及び/又はメタクリル−を意味し、例えば
(メタ)アクリル酸はアクリル酸及び/又はメタクリル
酸を、また(メタ)アクリルアミドはアクリルアミド及
び/又はメタクリルアミドを意味するものとする。 <(A)ポリビニルアルコール系重合体にスチリルピリ
ジニウム基もしくはスチリルキノリニウム基を導入して
なる水溶性の感光性樹脂>本発明の感光性樹脂組成物
は、水溶性の感光性樹脂として、ポリビニルアルコール
系重合体にスチリルピリジニウム基もしくはスチリルキ
ノリニウム基を導入してなる水溶性の感光性樹脂(A)
を含むものである。
【0010】この感光性樹脂(A)の製造に用いられる
ポリビニルアルコール系重合体とは、例えばポリ酢酸ビ
ニルを完全ケン化又は部分ケン化して得られるポリビニ
ルアルコール、並びに完全ケン化或いは部分ケン化ポリ
ビニルアルコール中の−OH基や−OCOCH3基に酸
無水物含有化合物、カルボキシ含有化合物、エポキシ基
含有化合物もしくはアルデヒド基含有化合物等の種々の
化合物を反応して得られる水溶性ポリビニルアルコール
誘導体、並びにポリ酢酸ビニルを部分ケン化又は完全ケ
ン化してなるビニルアルコール単位を有するビニルアル
コール系共重合体であって、酢酸ビニルの共重合体成分
として、例えば(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル
アミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、スチ
レン、エチレン、プロピレン、無水マレイン酸、(メ
タ)アクリロニトリル、(メタ)アクリル酸エステル等
を用いたもの等が挙げられる。
【0011】ここで、このポリビニルアルコール系重合
体中には、その重合単位の内に、ビニルアルコール単位
を60モル%以上含有することが望ましいものであり、
80モル%以上含有するもの乃至ポリ酢酸ビニルの完全
ケン化物の場合は特に水溶性に優れ、水性可能な感光性
樹脂組成物を得るのに最適な結果が得られる。ここでビ
ニルアルコール単位が60モル%に満たないとポリビニ
ルアルコール系重合体は水に溶け難くなり、本発明の感
光性樹脂組成物を良好な水性のものとし難い。
【0012】ポリビニルアルコール系重合体にスチリル
ピリジニウム基もしくはスチリルキノリニウム基を導入
してなる水溶性の感光性樹脂(A)の製造方法は公知で
あり、例えば特開昭55−23163号公報、特開昭5
5−62905号公報、特開昭56−11906号公報
等に開示される方法により合成可能である。
【0013】具体的には、例えばポリビニルアルコール
系重合体に、これに含まれるアルコール性−OH基を利
用して、アセタール化反応によりホルミルスチリルピリ
ジニウム塩もしくはホルミルスチリルキノリニウム塩を
付加させることにより、感光性樹脂(A)が得られる。
【0014】このような感光性樹脂(A)の、スチリル
ピリジニウム基が導入された部分の代表的な構造式の例
を下記の一般式(1)に、スチリルキノリニウム基が導
入された部分の代表的な構造式の例を下記の一般式
(2)にそれぞれ示す。
【0015】
【化1】 ここで上記一般式(1)及び(2)においてR1、R2
それぞれ水素原子、アルキル基又はアラルキル基を示
し、X-は酸の共役塩基を示し、mは1〜6の整数、n
は0又は1を示す。
【0016】このような感光性樹脂(A)中における、
スチリルピリジニウム基及びスチリルキノリニウム基
(共役塩基X-を含む。)の導入率は、感光性樹脂
(A)を構成するビニルアルコール重合単位当り0.3
〜20モル%の割合が好ましいものであり、更に好まし
くは、0.5〜10モル%とするものである。導入率が
0.3モル%未満では感光性樹脂(A)に充分な光架橋
能を付与することができず、一方、20モル%を超えて
導入すると感光性樹脂(A)の水溶性が著しく低下し、
本発明の感光性樹脂組成物を良好な水性のものとし難
い。
【0017】このようにして得られる感光性樹脂(A)
を他の成分と共に水(E)もしくは水(E)と水性有機
溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化、又は分散することに
より、本発明の感光性樹脂組成物を調製できる。このよ
うに本発明の感光性樹脂組成物は水性化可能なものであ
る。また感光性樹脂組成物を基材ヘ塗布した後予備乾燥
皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物の成分
を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させたものと比較し
て、有機溶剤の揮発を抑制し、有機溶剤に起因する労働
安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減すること
ができるものである。なお、溶解、乳化、分散の方法は
特に限定するものではなく、例えば他の成分中に、感光
性樹脂(A)の水溶液を加えることによって溶解、乳
化、分散させても良いし、感光性樹脂(A)の水溶液に
他の成分を加えることによって溶解、乳化、分散させて
も良い。また溶解、乳化、分散に際しては、ホモミキサ
ー、パイプラインホモミキサー、ビーズミル、ロールミ
ル、ボールミル等の各種の攪拌機、混練機を用いること
ができる。
【0018】またこれらの感光性樹脂(A)の配合割合
は、本発明の感光性樹脂組成物に用いる水(E)及び有
機溶剤を除いた全成分中の合計量中で0.1〜50重量
%であることが好ましいものであり、更に好ましくは1
〜30重量%である。配合割合が0.1重量%に満たな
い場合は、本発明の感光性樹脂組成物の水性化が困難と
なり、また50重量%を超える場合、本発明の感光性樹
脂組成物の光重合反応による硬化後の硬化皮膜の耐水性
が不足し易く、硬化皮膜の形成時に硬化皮膜の剥がれを
生じ易い。また0.5重量%以上配合した場合には、特
に水による現像が容易となる。 <(B)カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨
潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光
反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの>本発明
の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基を有し、希アル
カリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマ
ーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さな
いもの(B)を含むものである。
【0019】このバインダーポリマー(B)は、分子中
に充分なカルボキシル基を有するので、希アルカリ水溶
液中で膨潤、分散又は溶解し得るものである。
【0020】このため、バインダーポリマー(B)を含
んでなる本発明の感光性樹脂組成物は、上記水溶性の感
光性樹脂成分(A)の存在と相俟って、それにより形成
される皮膜が、露光前は水や希アルカリ水溶液で膨潤、
分散又は溶解し得る。したがって、この感光性樹脂組成
物は、形成された皮膜の選択的露光を行なった後、水又
は希アルカリ水溶液による現像を行って、感光性樹脂組
成物の非露光部分を洗い流すと共に、露光部分を残すこ
とにより、画像形成を可能とすることができるものであ
る。
【0021】また、上記の通り、本発明の感光性樹脂組
成物は、(B)成分と共に、ポリビニルアルコール系の
水溶性の感光性樹脂(A)を含むので、組成物を露光に
より光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金
属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビ
ニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離可能
なものである。
【0022】また、バインダーポリマー(B)は、光反
応可能なエチレン性不飽和基を有さないものである。こ
こで光反応可能なエチレン性不飽和基を含まないとは、
バインダーポリマー(B)を合成する際に、光反応可能
なエチレン性不飽和基を積極的には導入しないことを意
味し、バインダーポリマー(B)をラジカル重合によっ
て合成するに際して、ラジカル停止反応における不均化
やその他の要因によって不可避的に生じるわずかなエチ
レン性不飽和結合の存在は許容されるものである。その
ため本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用
フォトレジストインクとして用いる場合において、プリ
ント配線板製造用基板に塗工された本発明の感光性樹脂
組成物を露光硬化させる際に、バインダーポリマー
(B)の様な高分子量の成分が僅かの露光によって光反
応を生じて急激に分子量が増大することを防ぎ、選択的
露光時における、露光部と未露光部分の境界面での僅か
な光の漏れで硬化することを防いで、露光部と未露光部
分の境界面における希アルカリ溶液に対する溶解性、膨
潤性等を向上することができる。そのため、アートワー
クに忠実な、シャープなパターンを形成することがで
き、解像性を向上することができるものである。
【0023】また、バインダーポリマー(B)はそれ自
体皮膜形成可能であることが望ましいものであり、この
ようなバインダーポリマー(B)と上記の感光性樹脂
(A)を組み合わせた本発明の感光性樹脂組成物を用い
ることにより、感光性樹脂組成物の予備乾燥皮膜は表面
粘着性が無くなり、フォトツールアートワーク等を直接
貼付した場合でも、フォトツールアートワーク等に感光
性樹脂組成物が付着して汚れるようなことがないもので
ある。
【0024】ここで本発明の感光性樹脂組成物を希アル
カリ水溶液で現像可能なものとし、また本発明の感光性
樹脂組成物の硬化物をアルカリ水溶液で剥離可能なもの
とするためには、バインダーポリマー(B)の酸価は2
0〜300mgKOH/gであることが好ましく、酸価
が20mgKOH/gに満たない場合、希アルカリ溶液
で短時間に現像することが困難となり、300mgKO
H/gを超える場合には硬化物の希アルカリ溶液に対す
る耐性が低くなり過ぎて、良好なパターン形成が困難と
なる場合がある。また更に好ましくは、バインダーポリ
マー(B)の酸価を40〜250mgKOH/gとする
ものであり、この場合は、短期間の現像が可能で、かつ
特に良好なパターン形成が可能となり、また本発明の感
光性樹脂組成物へバインダーポリマー(B)が乳化、分
散されやすくなり、最適な結果が得られる。
【0025】また、バインダーポリマー(B)の重量平
均分子量は4000〜500000であることが好まし
く、4000に満たない場合には、予備乾燥後の皮膜に
粘着性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備
乾燥皮膜に直接貼りつけて露光した場合にはフォトツー
ルアートワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能
性があるものであり、また500000を超える場合に
は、現像性の低下を招き易い。またバインダーポリマー
(B)の重量平均分子量が4000〜300000であ
るときには、予備乾燥後の皮膜の粘着性が高くなる問題
も生じず、また良好な感度及び現像性を得ることができ
る。更に、20000〜300000である場合に、特
に高い感度と解像性とを兼ね備えたものとなり最適な結
果を生じる。
【0026】これらの性質は、本発明のインクをプリン
ト配線板製造用のフォトエッチングレジストインク、画
像形成可能なめっきレジストインク等として使用する場
合に特に好適なものである。
【0027】また、バインダーポリマー(B)の配合量
は本発明の感光性樹脂組成物から、水(E)及び有機溶
剤を除外した全成分中で5重量%以上であることが好ま
しい。バインダーポリマー(B)の配合量が本発明の感
光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した全成分
中で5重量%に満たない場合、予備乾燥後の皮膜に粘着
性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備乾燥
皮膜に直接貼りつけて露光した場合にフォトツールアー
トワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能性があ
る。
【0028】上記のバインダーポリマー(B)として
は、エチレン性不飽和単量体の重合体、共重合体に何ら
かの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなる
ものを例示できる。具体的には、下記の(B1)乃至
(B3)を示すことができる。 <(B1)1個以上のカルボキシル基を有するエチレン
性不飽和単量体(a)と、このエチレン性不飽和単量体
(a)と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分
(b)とからなる共重合成分を重合してなる共重合体>
ここで、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性
不飽和単量体(a)は、主として、共重合体生成物であ
るバインダーポリマー(B)中に充分なカルボキシル基
を導入することにより、バインダーポリマー(B)を希
アルカリ水溶液中で膨潤、分散もしくは溶解し得るもの
にするために用いられる。
【0029】このエチレン性不飽和単量体(a)として
は(メタ)アクリル酸、ケイ皮酸等を例示できる。更に
(a)成分としては、フマル酸、イタコン酸、クロトン
酸及びマレイン酸並びにこれらの無水物、或いはこれら
と飽和アルコールとの部分エステルを例示できる。これ
らのものは単独で又は複数種を適宜組み合わせて用いる
ことができる。
【0030】エチレン性不飽和単量体成分(a)と共重
合可能なエチレン性不飽和単量体成分(b)としては、
例えば(メタ)アクリル酸エステル系不飽和単量体とし
て、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アク
リレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メ
タ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、
t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル
(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレ
ート、n−デシル(メタ)アクリレート、イソデシル
(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレー
ト、ミリスチル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)
アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シク
ロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メ
タ)アクリレート等の直鎖、分岐或は脂環族の(メタ)
アクリル酸エステル、及びヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、エ
トキシエチル(メタ)アクリレート、ジエチレングリコ
ールモノ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコー
ルモノ(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングリ
コールモノ(メタ)アクリレート等のエチレングリコー
ルエステル系(メタ)アクリレート及び同様なプロピレ
ングリコール系(メタ)アクリレート、ブチレングリコ
ール系モノ(メタ)アクリレート、グリセロールモノ
(メタ)アクリレート等、及びベンジル(メタ)アクリ
レート等の芳香族系の(メタ)アクリレート、並びに
(メタ)アクリルアミド系不飽和単量体として(メタ)
アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、
N−プロピル(メタ)アクリルアミド、N−t−ブチル
(メタ)アクリルアミド、N−t−オクチル(メタ)ア
クリルアミド、ジアセトン(メタ)アクリルアミド等、
並びにスチレン、α−メチルスチレン、ビニルエーテル
等を挙げることができる。
【0031】更に、(a)成分と共重合可能なエチレン
性不飽和単量体成分(b)としては、更に上記以外のも
のとして、例えばN−フェニルマレイミド、N−シクロ
ヘキシルマレイミド等のN−置換マレイミド類等、ビニ
ルピロリドン、(メタ)アクリロニトリル、酢酸ビニル
等を挙げることができる。これらのものは、単独で又は
複数種組み合わせて用いることができる。
【0032】上記のような不飽和単量体(a)及び
(b)としては、共に室温で液体又は固体のもののみを
選択して用いると、不飽和単量体(a)及び(b)を混
合し、反応させる処理を、容易に行うことができて、取
り扱い性を向上することができるものであり、また常圧
下で容易に、かつ自由な共重合組成で重合可能なもので
あるため、好ましものである。
【0033】またバインダーポリマー(B1)として、
特に好ましいものは共重合体成分として(メタ)アクリ
ル酸エステル系不飽和単量体と(メタ)アクリル酸とを
主成分とすると共に、(メタ)アクリル酸エステル系不
飽和単量体と(メタ)アクリル酸との配合割合を、バイ
ンダーポリマー(B1)の酸価が所望のものになるよう
にしてなる共重合体、或いは共重合体成分として(メ
タ)アクリアミド系不飽和単量体と(メタ)アクリル酸
とを主成分とすると共に、(メタ)アクリアミド系不飽
和単量体と(メタ)アクリル酸との配合割合を、バイン
ダーポリマー(B1)の酸価が所望のものになるように
してなる共重合体であり、この場合、所望の酸化や重合
度を有するバインダーポリマー(B1)を容易に合成す
ることが可能なものである。
【0034】また、共重合体成分としてマレイン酸若く
はその誘導体とスチレンとを主成分としてなる共重合体
もバインダーポリマー(B1)として特に好ましいもの
であり、この場合も、所望の酸化や重合度を有するバイ
ンダーポリマー(B1)を容易に合成することが可能な
ものである。
【0035】これらの単量体成分を用いて共重合体を得
る方法は、特に限定されるものではなく、溶液重合、乳
化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることが
できる。また、溶液重合、乳化重合等の場合には、共重
合体樹脂を取り出すことなく溶液又はエマルジヨンのま
ま、本発明の組成物のために配合してもよい。
【0036】なお、マレイン酸の部分エステルとスチレ
ンとを共重合成分として含む共重合体は、これらの共重
合成分或いはこれらの共重合成分と他の共重合成分を重
合することにより直接得ることもできるが、あらかじめ
スチレンと無水マレイン酸を共重合成分として含む重合
体を得た後、飽和アルコール、特に飽和モノアルコール
を付加することによって、所望の酸化を有するバインダ
ーポリマー(B1)を得るようにしてもよい。
【0037】エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共
重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を
導入してなるものの具体例としては、下記の(B2)を
挙げることができる。 <(B2)ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単
量体を重合成分として含む重合体或いは共重合体に、多
塩基酸無水物を付加してなるもの>ヒドロキシル基を有
するエチレン性不飽和単量体の例としては、ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)
アクリレート、ジエチレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、トリエチレングリコールモノ(メタ)アクリ
レート等のエチレングリコールエステル系(メタ)アク
リレート及び同様なプロピレングリコール系(メタ)ア
クリレート、ブチレングリコール系モノ(メタ)アクリ
レート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等を挙
げることができ、これらのものは、単独で又は複数種組
み合わせて用いることができる。また、これらヒドロキ
シル基を有するエチレン性不飽和単量体とともに、これ
らと共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共
重合してもよい。
【0038】ここで重合方法は特に限定されるものでは
なく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合
方法を用いることができる。
【0039】多塩基酸無水物としては、例えば無水コハ
ク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキ
サヒドロ無水フタル酸等の後述する(d1)の合成に用
いられるものを使用可能であり、これらのものは、単独
で又は複数種組み合わせて用いることができる。また、
重合体或いは共重合体と多塩基酸無水物との付加も公知
の方法により可能である。
【0040】エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共
重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を
導入してなるものの具体例としてはさらに、下記の(B
3)を挙げることができる。 <(B3)エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体
を重合単位として含む重合体又は共重合体に飽和モノカ
ルボン酸及び多塩基酸無水物を反応させて得られるもの
>このエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体とし
ては、例えばグリシジル(メタ)アクリレート、2−メ
チルグリシジル(メタ)アクリレート等のグリシジル
(メタ)アクリレート類、(3,4−エポキシシクロヘ
キシル)メチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アク
リル酸のエポキシシクロヘキシル誘導体類等が挙げられ
る。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わ
せて用いることができる。また、これらエポキシ基を有
するエチレン性不飽和単量体とともに、これらと共重合
可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共重合しても
よい。
【0041】ここで重合方法は、特に限定されるもので
はなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重
合方法を用いることができる。
【0042】また飽和モノカルボン酸としては、例えば
ギ酸、酢酸、プロピオン酸、グリコール酸、乳酸等を挙
げることができ、これらのものは単独又は二種以上を適
宜組み合わせて用いることができる。
【0043】また、多塩基酸無水物としては、例えば無
水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル
酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の後述する(d1)の
合成に用いられるものを使用可能であり、これらのもの
は、単独で又は複数種組み合わせて用いることができ
る。
【0044】また、飽和モノカルボン酸及び多塩基酸無
水物の付加も公知の方法により可能である。
【0045】なお、上記のような各種のバインダーポリ
マー(B)は、カルボキシル基の一部もしくは全部が、
アルカノールアミン等の有機の塩基性化合物、アンモニ
ア等によって中和されていても良い。 <(C)光重合開始剤>本発明の感光性樹脂組成物は、
光重合開始剤(C)を含むものである。この光重合開始
剤(C)としては、極性溶媒溶解性のもの、或いは非溶
解性のもののいずれも使用することが可能である。例え
ば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等
のベンゾインとそのアルキルエーテル類、アセトフェノ
ン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシ
シクロヘキシルフェニルケトン、4−(2−ヒドロキシ
エトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピ
ル)ケトン等のアセトフェノン類、2−メチルアントラ
キノン、2−アミルアントラキノン等のアントラキノン
類、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチ
ルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4
−ジイソプロピルチオキサントン、1−クロロ−4−プ
ロポキシチオキサントン等のチオキサントン類、アセト
フェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール
等のケタール類、ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−
4−メトキシベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テ
トラ−(tert−ブチルペルオキシルカルボニル)ベ
ンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニ
ルスルフィド等のベンゾフェノン類やキサントン類、2
−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−
モルホリノ−プロパン−1−オン、2−ベンゾイル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−
ブタノン−1、4,4’−ビス−ジエチルアミノベンゾ
フェノン等の窒素原子を含むもの、並びに2,4,6−
トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド
等、並びに、レーザーによる直接描画用として例えばビ
ス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−
ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1
−イル)−フェニル)チタニウム等のメタロセン類が挙
げられ、これらの光重合開始剤(C)は各々単独で又は
二以上のものを適宜互いに組み合わせて配合されたもの
を用いることができる。またこれらの光重合開始剤
(C)は、安息香酸系又はp−ジメチルアミノ安息香酸
エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミ
ルエステル、2−ジメチルアミノエチルベンゾエート等
の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤及び増感剤等
と併用しても良い。
【0046】この光重合開始剤(C)の配合量は、本発
明の感光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した
全成分中で0.1〜20重量%であることが望ましい。
0.1重量%に満たない場合は、本発明の感光性樹脂組
成物に十分な光硬化性を与えることが難しく、また、2
0重量%を越えて配合しても、光硬化性をより向上させ
ることに寄与しない。 <(D)光重合可能なエチレン性不飽和単量体>本発明
の感光性樹脂組成物には、光重合可能なエチレン性不飽
和単量体(D)が配合される。
【0047】光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)は、本発明の感光性樹脂組成物に充分な光反応性
を付与し、選択的露光により画像形成可能なものとする
ものである。
【0048】この光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)としては、例えばトリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレ
ート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、
トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、
2,2−ビス〔4−((メタ)アクリロキシエトキシ)
フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−((メタ)ア
クリロキシ・ジエトキシ)フェニル〕プロパン、2−ヒ
ドロキシ−1,3−ジ(メタ)アクリロキシプロパン、
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル
(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコー
ル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングリコー
ル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メ
タ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル
(メタ)アクリレート、1−メトキシシクロドデカジエ
ニル(メタ)アクリレート、β−(メタ)アクロイルオ
キシエチルハイドロジェンフタレート、β−(メタ)ア
クロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3
−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、ラウリル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)ア
クリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ビスフ
ェノールA−ジエポキシアクリル酸付加物、(メタ)ア
クリルアミド、N−メトキシメチル(メタ)アクリルア
ミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、(メ
タ)アクリロイルモルホリン、N−メチロール(メタ)
アクリルアミド、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレ
ート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート、2,2−ビス〔4−
メタクリロイルオキシ・ポリエトキシフェニル〕プロパ
ン等を挙げることができる。これらの化合物は単独又は
二種以上を適宜組み合わせて用いることができるもので
ある。
【0049】また光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)としては、下記の(d)を含むものを用いること
ができる。 <(d)分子中に少なくとも1個のカルボキシル基及び
少なくとも1個の光反応性のエチレン性不飽和基を有す
る化合物>光重合可能なエチレン性不飽和単量体(D)
の一部又は全部として、分子中に少なくとも1個のカル
ボキシル基及び少なくとも1個の光反応性のエチレン性
不飽和基を有する化合物(d)を含むものを用いると、
分子中にカルボキシル基を有する化合物(d)の、本発
明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節す
ることにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ
水溶液に対する溶解性の調整が容易となる。この化合物
(d)を使用する場合には、好ましくは光重合可能なエ
チレン性不飽和単量体(D)全量に対して1〜50重量
%となるように配合することが好ましいものである。
【0050】この化合物(d)としては特に限定はされ
ないが、例えば、分子中に1個のヒドロキシル基及び1
個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多
価カルボン酸との部分エステル化物である化合物(d
1)や、エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各1個の
み有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物
(d2)を挙げることができる。 <(d1)分子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光
反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カル
ボン酸との部分エステル化物>化合物(d)として、部
分エステル化物(d1)を用いる場合、その製造方法は
公知であり、例えば、二塩基酸、三塩基酸等の無水物と
分子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光反応性のエ
チレン性不飽和基を有する化合物とを、必要に応じて触
媒を用い、加熱反応させることによって得られる。この
反応は、モノエステル化で留めることが望ましい。
【0051】上記の二塩基酸、三塩基酸等の無水物とし
ては、例えばコハク酸、フタル酸、マレイン酸、トリメ
リット酸、ピロメリット酸、ナジック酸、メチルナジッ
ク酸、ドテシルコハク酸、クロレンディック酸、ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸、エチレングリコールビス
(アンヒドロトリメート)、ポリアゼライン酸、テトラ
ヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4
−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒド
ロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、3−プ
ロピルテトラヒドロフタル酸、4−プロピルテトラヒド
ロフタル酸、3−ブチルテトラヒドロフタル酸、4−ブ
チルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3
−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒド
ロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エ
チルヘキサヒドロフタル酸、3−プロピルヘキサヒドロ
フタル酸、4−プロピルヘキサヒドロフタル酸、3−ブ
チルヘキサヒドロフタル酸、4−ブチルヘキサヒドロフ
タル酸等の多価カルボン酸に対応する無水物等を挙げる
ことができる。これらの酸無水物は単独又は二種以上を
適宜組み合わせて用いることができるものである。
【0052】また分子中に1個のヒドロキシル基及び1
個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物とし
ては、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2
−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ポリエチレ
ングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレ
ングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリブチレン
グリコールモノ(メタ)アクリレート等との反応物、ポ
リカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等を挙げる
ことができる。これらのものは、単独又は二種以上を適
宜組み合わせて用いることができる。 <(d2)エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各1個
のみ有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化
物>化合物(d)として、部分エステル化物(d2)を
用いる場合、この化合物の製造方法は公知であり、例え
ばエポキシ基及びエチレン性不飽和基を各1個のみ有す
るエチレン性不飽和化合物と二塩基酸、三塩基酸等の酸
無水物とを、必要に応じ触媒を用い、加熱反応させるこ
とによって得られる。この反応は、モノエステル化で留
めることが望ましい。
【0053】このエポキシ基を1個のみ有するエチレン
性不飽和化合物としては、例えばグリシジル(メタ)ア
クリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレー
ト等のグリシジル(メタ)アクリレート類、(3,4−
エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート
等の(メタ)アクリル酸のエポキシシクロヘキシル誘導
体類等が挙げられる。これらのものは、単独又は二種以
上を適宜組み合わせて用いることができる。また多価カ
ルボン酸としては、化合物(d1)の製造に用いる上記
酸無水物に対応するものを用いることができる。
【0054】上記に示したような光重合可能なエチレン
性不飽和単量体(D)は、上記感光性樹脂(A)と共に
用いられることにより、本発明の感光性樹脂組成物の光
反応性を高めることができる。
【0055】光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)の配合割合は、本発明の感光性樹脂組成物から水
及び有機溶剤を除外した全成分に対して、0.05〜7
5重量%であることが望ましい。0.05に満たない
と、硬化被膜の強度が充分なものとならない恐れがあ
り、75重量%を超えると、本発明の感光性樹脂組成物
の予備乾燥後の皮膜の表面粘着性が強くなり、フォトツ
ールアートワーク等を直接貼付した場合に、汚れを生じ
易くなる。特に1.0〜50重量%の場合、硬化被膜強
度が良好であると共に、表面の粘着性も低いので更に好
ましいものである。 <(E)水>本発明の感光性樹脂組成物は水(E)を必
須の媒体としている。その配合割合は本発明の感光性樹
脂組成物全成分に対して10〜97重量%であることが
望ましい。配合割合が10重量%未満の場合、インクの
流動性が不充分となり、塗布性等を良好なものとするの
が困難であり、また97重量%を超えると本発明の感光
性樹脂組成物を基材面に塗布した際の塗布皮膜が薄くな
りすぎ、エッチングレジストインク、めっきレジストイ
ンク、ソルダーレジストインク等として充分な性能を発
揮できなくなり好ましくない。
【0056】また、任意成分として有機溶剤等の媒体を
配合することもでき、具体的には、水に易溶性の溶剤の
みならず、難溶性、非溶性の有機溶剤を用いることがで
きる。これら有機溶剤の例としてはエタノール、プロパ
ノール、2−プロパノール、ブタノール、2−ブタノー
ル、ヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレング
リコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコ
ール、ジプロピレングリコール、ブチレングリコール、
トリメチロールプロパン、ネオペンチルグリコール、グ
リセリン、1,2,4−ブタントリオール、1,2−ブ
タンジオール、1,4−ブタンジオール、ダイアセトン
アルコール等の直鎖、分岐、2級或いは多価のアルコー
ル類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレ
ングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール
モノブチルエーテル等のエチレングリコールアルキルエ
ーテル類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、
ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレ
ングリコールモノメチルエーテル等のポリエチレングリ
コールアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノ
メチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエー
テル類、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等
のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類、エチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、グリ
セリンモノアセテート、グリセリンジアセテート等の酢
酸エステル類、乳酸エチル、乳酸ブチル等の乳酸エステ
ル類、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のジア
ルキルグリコールエーテル類、メチルエチルケトン、シ
クロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素類、スワゾールシリーズ
(丸善石油化学社製)、ソルベッソシリーズ(エクソン
・ケミカル社製)等の石油系芳香族系混合溶剤、もしく
はn−ヘキサン、シクロヘキサン、テトラヒドロフラン
等が挙げられる。これらの媒体は、各々単独で又は二以
上のものを適宜互いに組み合わせて配合される。
【0057】また、本発明のフォトレジストインクに
は、光反応可能な基導入された高分子化合物として、例
えばエチレン性不飽和基を導入してなる(メタ)アクリ
ル酸エステル共重合体、(メタ)アクリル酸エステル−
(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン−アクリル酸エ
ステル共重合体、スチレン−(メタ)アクリル酸−(メ
タ)アクリル酸エステル共重合体及びスチレン−マレイ
ン酸樹脂等の重合体等、並びに(メタ)アクリル酸を付
加してなるビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型
エポキシ樹脂及び脂環型エポキシ樹脂、或はこれらにさ
らに飽和若しくは不飽和多塩基酸無水物を付加したもの
等、或いはこれらのエマルジヨンを加えることができ
る。
【0058】さらに、本発明の水又は希アルカリ水溶液
で現像可能な感光性樹脂組成物には、印刷適性を調節す
る等の目的で、必要に応じてシリコーン、(メタ)アク
リレート共重合体、フッ素系界面活性剤等のレベリング
剤、アエロジル等のチクソトロピー剤、ハイドロキノ
ン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロー
ル、tert−ブチルカテコール、フェノチアジン等の
重合禁止剤、ハレーション防止剤、難燃剤、耐めっき性
向上剤、消泡剤、酸化防止剤、顔料湿潤剤、有機もしく
は無機の顔料及び染料、天然もしくは合成ゴムの粉末等
の各種添加剤、並びに分散安定性を向上させるための界
面活性剤や高分子分散剤等をさらに加えても良い。
【0059】本発明の感光性樹脂組成物の調製方法は特
に限定されず、各成分を公知の方法を用いて混合するこ
とができる。例えば、他の配合成分中に、感光性樹脂
(A)の水溶液を加えることによって混合、分散等させ
ても良いし、感光性樹脂(A)の水溶液に他の配合成分
を加えることによって混合、分散等させても良い。この
分散、混合に際しては、ホモミキサー、パイプラインホ
モミキサー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル等各
種の撹拌機、混練機を用いることもできる。
【0060】上記のように本発明の感光性樹脂組成物
は、感光性樹脂(A)を用いて他の成分を水もしくは水
と水性有機溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化又は分散す
ることができて水性化可能なものであり、この感光性樹
脂組成物を露光硬化させた後に非露光部分を水又は希ア
ルカリ水溶液で除去することができるものであって、現
像時に有機溶剤を使用する必要がなく、また感光性樹脂
組成物を基材へ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程
において、感光性樹脂組成物からの有機溶剤の揮発を抑
制することができ、有機溶剤に起因する労働安全性、環
境汚染、火災等の問題を低減することができるものであ
る。またこの感光性樹脂組成物の光重合反応により生成
する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する密着性が
良好であり、またエッチング液、めっき液等に対する耐
水性及び耐熱性に優れたものとすることができる。また
この感光性樹脂組成物の硬化物は、過ヨウ素酸ソーダ等
或いはアルカリ金属水酸化物等の水溶液の何れかにより
剥離することも可能なものである。従って本発明の感光
性樹脂組成物は、エッチングレジストインク、めっきレ
ジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングイ
ンク等のプリント配線板製造用フォトレジストインク
や、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、スク
リーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ画素
製造用インク、カラーフィルタ保護膜製造用インク等と
して最適なものである。
【0061】本発明の感光性樹脂組成物を用い、基板上
にパターンを成形する方法としては、現像法を用いるこ
とができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いて現像法
により基材上にパターンを形成する方法は、特に限定さ
れるものではないが、例えば、以下のような方法を採る
ことができる。 ・塗布工程 基材上に感光性樹脂組成物を浸漬法、スプレー塗装、ス
ピンコート法、ロール塗装、カーテンフロー塗装又はス
クリーン印刷法等により塗布する。ここで本発明の感光
性樹脂組成物をプリント配線板製造用インクとして用い
る場合には、基材として銅張積層板等のプリント配線板
製造用基板等が用いられる。 ・予備乾燥工程 上記の感光性樹脂組成物を、熱風加熱、電磁誘導加熱、
ホットプレス或いは遠赤外線乾燥等を用いて乾燥させ、
予備乾燥皮膜を形成する。 ・露光工程 フォトツールアートワークを上記の予備乾燥した感光性
樹脂組成物の塗膜表面に直接又は間接的に当てがい、タ
ングステンランプ、ケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧
水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、
メタルハライドランプ等を用いて紫外線を照射して塗膜
表面が選択的に露光される。また、ヘリウムカドミウム
レーザー、アルゴンレーザー、YAGレーザー等を用い
たレーザ直接描画法によって露光しても良い。 ・現像工程 本発明の感光性樹脂組成物は露光工程の後、水もしくは
希アルカリ溶液にて非露光部を洗浄除去することにより
現像することが可能である。
【0062】ここで、水による場合はその温度は特に限
定はされないが常温水もしくは温水によるのが好まし
い。
【0063】また希アルカリ溶液にて現像を行う場合に
は、例えば、ナトリウム、カリウム、リチウム等の水酸
化アルカリ、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の炭酸ア
ルカリの水溶液等を用いることができる。
【0064】また水もしくは希アルカリ溶液としては、
その溶媒として水単独のみならず、例えば水とアルコー
ル系等の親水性のある有機溶媒を混合したものを用いる
ことも可能である。 ・エッチング、めっき工程 本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板のエッチン
グレジスト又はめっきレジストとして用いる場合には、
例えば、上記の現像法によってプリント配線板製造用基
板上に形成されたレジストパターンをマスクとして、露
出している基板の表面を、エッチング、めっき等の公知
の方法で処理する方法等が挙げられる。
【0065】エッチングを行う場合は、基板上の導電性
層の種類に応じて選択されたエッチング剤を用いること
ができる。例えば、塩化第二銅などの酸性エッチング
液、アンモニア系エッチング液等を用いて行うことがで
きる。
【0066】まためっきを行う場合には、例えば、硫酸
銅めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスロ
ーはんだめっき等のはんだめっき、スルファミン酸ニッ
ケルめっき等のニッケルめっき、ソフト金めっき、ハー
ド金めっき等の金めっき等を行うことができる。 ・剥離工程 本発明の感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト、マー
キングインクとして用いる場合、その硬化物を残存させ
て用いることもできるが、エッチングレジスト又はめっ
きレジスト等として用いる場合には、その硬化物を最終
的に剥離することもできる。ここで硬化物は硬化物中の
感光性樹脂(A)由来部分を過ヨウ素酸ソーダ、次亜塩
素酸ソーダ等で分解することにより剥離できる。
【0067】また、上記現像工程に用いるアルカリ溶液
により剥離することもでき、この場合には現像に用いた
ものよりさらに強アルカリ性の溶液を用いることが好ま
しい。
【0068】
【実施例】以下に本発明を実施例に基づいて説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、
以下に使用される「部」及び「%」は、特に示さない限
り、全て重量基準である。また、「重量平均分子量」
は、下記測定条件に基づきGPC(ゲル・パーミテーシ
ョン・クロマトグラフィー)により測定されたものであ
る。 〔GPC測定法〕各試料を固型分について10mg/m
lとなる様にTHF(テトラヒドロフラン)溶液を調製
し、各々インジェクション量100μlにて測定した。 ・測定条件 GPC測定装置:昭和電工社製、商品名「SHODEX
SYSTEM 11」 カラム :昭和電工社製、商品名「SHODEX
KF−800P」、「SHODEX KF−80
5」、「SHODEX KF−803」及び「SHOD
EX KF−801」の4本直列 移動層 :THF 流 量 :1ミリリットル/分 カラム温度 :45℃ 検出器 :RI 換 算 :ポリスチレン 〔合成例1〕部分ケン化ポリ酢酸ビニル(重合度170
0、ケン化度88モル%、日本合成化学工業(株)製、
商品名「ゴーセノールGH−17」)200gを177
4gの水に溶解してから、20gのN−メチル−4−
(p−ホルミルスチリル)ピリジニウムメトサルフェー
トを加え、6gの85%リン酸を添加し、80℃で7時
間反応させ、ポリビニルアルコール系重合体のスチリル
ピリジニウム基付付加物(感光性樹脂(A)に相当)の
水溶液(S−1)を得た。 〔合成例2〕部分ケン化ポリ酢酸ビニル(重合度240
0、ケン化度88モル%、(株)クラレ製、商品名「P
VA−224)200gを1774gの水に溶解してか
ら20gのN−メチル−4−(p−ホルミルスチリル)
キノリニウムメトサルフェートを加え溶解した。この溶
液に6gの85%リン酸を添加し70℃で5時間反応さ
せ、ポリビニルアルコール系重合体のスチリルキノリニ
ウム付加物(感光性樹脂(A)に相当)の水溶液(S−
2)を得た。 〔合成例3〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル
酸20部、メチルメタクリレート80部、メチルエチル
ケトン100部、アゾビスイソブチロニトリル1部を加
え、窒素気流下に加熱し、75℃において5時間重合を
行ない、50%バインダーポリマー溶液(P−1)(バ
インダーポリマー(B1)に相当するアクリル酸エステ
ル系共重合体の溶液)を得た。得られたバインダーポリ
マーの重量平均分子量は110000、酸価は130m
gKOH/gであった。 〔合成例4〕スチレン−無水マレイン酸共重合体(エル
フアトケム社製、商品名「SMA−1000A」)15
0部をメチルエチルケトン152部に加熱溶解したもの
に、空気を吹き込みながら、撹拌下にn−ブチルアルコ
ール56部、ハイドロキノン0.1部、ジメチルベンジ
ルアミン3.0部を加え、常法により80℃で24時間
反応させ、57%溶液(P−2)(バインダーポリマー
(B1)に相当するスチレン−マレイン酸エステル系共
重合体の溶液)を得た。得られたバインダーポリマーの
重量平均分子量は7400、酸価は203mgKOH/
gであった。 〔合成例5〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、ヒドロキシ
エチルメタクリレート25部、メチルメタクリレート7
5部、メチルエチルケトン100部、ラウリルメルカプ
タン0.5部、アゾビスイソブチロニトリル3部を加
え、窒素気流下に加熱し、75℃において5時間重合を
行ない、50%共重合体溶液を得た。
【0069】上記50%共重合体溶液に、ハイドロキノ
ン0.05部、メチルエチルケトン25部、テトラヒド
ロ無水フタル酸20部、ジメチルベンジルアミン2.0
部を加え、80℃で空気を吹き込みながら10時間付加
反応を行い、50%バインダーポリマー溶液(P−3)
(バインダーポリマー(B2)の溶液に相当)を得た。
【0070】得られたバインダーポリマーの重量平均分
子量は20000、酸価は61mgKOH/gであっ
た。 〔合成例6〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジル
メタクリレート70部、メチルメタクリレート10部、
tert−ブチルメタクリレート20部、メチルエチル
ケトン100部、ラウリルメルカプタン0.5部、アゾ
ビスイソブチロニトリル3部を加え、窒素気流下に加熱
し、75℃において5時間重合を行ない、50%共重合
体溶液を得た。
【0071】上記50%共重合体溶液に、ハイドロキノ
ン0.05部、プロピオン酸39部、ジメチルベンジル
アミン2.0部を加え、80℃で空気を吹き込みながら
24時間付加反応を行い、続いてテトラヒドロ無水フタ
ル酸38部及びメチルエチルケトン77部を加えて80
℃で10時間反応させ、50%バインダーポリマー溶液
(P−4)(バインダーポリマー(B3)の溶液に相
当)を得た。
【0072】得られた感光性プレポリマーの重量平均分
子量は21000、酸価は79mgKOH/gであっ
た。 〔合成例7〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル
酸20部、メチルメタクリレート80部、カルビトール
アセテート100部、アゾビスイソブチロニトリル1部
を加え、窒素気流下に加熱し、80℃において5時間重
合を行ない、50%バインダーポリマー溶液(P−5)
(バインダーポリマー(B1)に相当するアクリル酸エ
ステル系共重合体の溶液)を得た。得られたバインダー
ポリマーの重量平均分子量は95000、酸価は130
mgKOH/gであった。 〔合成例8〕スチレン−無水マレイン酸共重合体(エル
フアトケム社製、商品名「SMA−1000A」)15
0部をカルビトールアセテート152部に加熱溶解した
ものに、空気を吹き込みながら、撹拌下にn−ブチルア
ルコール56部、ハイドロキノン0.1部、ジメチルベ
ンジルアミン3.0部を加え、常法により80℃で24
時間反応させ、57%溶液(P−6)(バインダーポリ
マー(B1)に相当するスチレン−マレイン酸エステル
系共重合体の溶液)を得た。得られたバインダーポリマ
ーの重量平均分子量は7400、酸価は203mgKO
H/gであった。 〔合成例9〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジル
メタクリレート70部、tert−ブチルメタクリレー
ト30部、カルビトールアセテート100部、ラウリル
メルカプタン0.3部、アゾビスイソブチロニトリル3
部を加え、窒素気流下に加熱し、80℃において5時間
重合を行ない、50%共重合体溶液を得た。
【0073】上記50%共重合体溶液に、ハイドロキノ
ン0.05部、アクリル酸37部、ジメチルベンジルア
ミン0.4部を加え、105℃で24時間付加反応を行
い、続いてテトラヒドロ無水フタル酸31部及びカルビ
トールアセテート68部を加えて100℃で3時間反応
させ50%感光性プレポリマー溶液(P’−1)を得
た。
【0074】得られた感光性プレポリマーの重量平均分
子量は18000、酸価は67mgKOH/gであっ
た。 〔実施例1〜4、7〜10、13〜16、19〜22〕
各成分を表1、2に示すような組成に調製したものを攪
拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散し、更に減圧
下で、空気を吹き込みながら有機溶剤成分を留去するこ
とにより水性のフォトレジストインクを調製した。 〔実施例5、6、11、12、17、18、23、2
4〕各成分を表1、2に示すような組成に調製したもの
を攪拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散すること
により水性のフォトレジストインクを調製した。 〔比較例1、2〕各成分を表2に示すような組成に調製
したものを、三本ロールにて充分混練しフォトレジスト
インクを調製した。
【0075】
【表1】
【0076】
【表2】 ここで表中において、 (*1)「アロニックスM−309」は、東亞合成化学
工業(株)製のトリメチロールプロパントリアクリレー
ト(エチレン性不飽和単量体(D))の商品名である。
【0077】(*2)「アロニックスM−101」は、
東亞合成化学工業(株)製のフェノール変性単官能アク
リレート(エチレン性不飽和単量体(D))の商品名で
ある。
【0078】(*3)「ライトアクリレートHOA−H
H」は、共栄社油脂化学工業(株)製の2−アクリロイ
ルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸(部分エステル化
物(d1))の商品名である。
【0079】(*4)「イルガキュアー907」は、チ
バ・ガイギー(株)製の光重合開始剤の商品名である。
【0080】(*5)「カヤキュアーDETX」は、日
本化薬(株)製の光重合開始剤の商品名である。
【0081】(*6)「ビクトリアピュアブルーBO
H」は、保土ヶ谷化学工業(株)製の有機染料の商品名
である。
【0082】上記の実施例1乃至30に示す水性のフォ
トレジストインク及び比較例1及び2のフォトレジスト
インクについて、下記に示すような評価試験を行なっ
た。 〔評価試験〕 〈塗布工程〉 [1]予備乾燥皮膜の膜厚測定 全ての実施例及び比較例のフォトレジストインクを、基
材厚1.6mm、銅箔厚35μmのFR−4両面銅張積
層板(住友ベークライト(株)社製、商品名「ELC
4762」)に縦型ロールコーター((株)ファーネス
社製)を用いて両面に塗布し、熱風対流式乾燥機にて8
0℃の温度で、15分乾燥させた後、室温まで冷却し
た。このとき得られた予備乾燥皮膜の膜厚を測定した。 〈露光・現像工程〉 [2]予備乾燥皮膜の表面粘着性 [1]の操作に続いて、全ての実施例及び比較例につい
て、予備乾燥皮膜が形成された積層板に配線パターンを
描いたフォトツールアートワークを両面から直接貼付
し、超高圧水銀灯を有する両面同時露光機((株)オー
ク製作所製、商品名「オークHMW−201GX」)を
用いて積算光量200mJ/cm2になるように露光
し、露光後において、フォトツールアートワークを予備
乾燥皮膜上からの剥離させる際の予備乾燥皮膜上の張り
跡の有無を観察すると共に、フォトツールアートワーク
の予備乾燥皮膜上からの剥離容易性を評価し、予備乾燥
皮膜の粘着性が小さいために張り跡が無く、フォトツー
ルアートワークが容易に剥離できたものを「良好」とし
て評価した。 [3]現像性 [2]の操作に続いて、全ての実施例及び比較例につい
て、それぞれ下記(i)、(ii)の2条件を用いて現像
性の評価を行った。
【0083】(i)30℃、1重量%炭酸ソーダ水溶液
を、スプレー圧1.5Kg/cm2で1分間吹きつけて
未露光部分を除去して現像した。
【0084】(ii)30℃の水をスプレー圧1.5kg
/cm2で3分間吹きつけて未露光部分を除去して現像
した。
【0085】上記(i)及び(ii)について、現像性を
目視で観察し、硬化皮膜が形成された露光部分が残存す
ると共に未露光部分が除去され、現像残りの全く無いも
のを「◎」と判定した。また未露光部分と露光部の境目
のラインにわずかにギザが確認されたものを「○」とし
て評価した。また露光部分と未露光部分が共に除去不能
であったものを「×」として評価した。 [4]粘着テープ剥離試験による密着性の評価 得られたレジストの基材に対する密着性を確認するた
め、硬化皮膜の、JISD 0202−1988の4.
15に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ
剥離試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、
分子にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目の
数を表して評価した。 〈エッチング工程〉 [5]耐エッチング液性(酸性の水溶液に対する耐水
性) [3]の現像処理の後、40重量%塩化第2鉄溶液で4
5℃、240秒エッチングを行い、硬化皮膜の剥がれの
有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として評価
した。 [6]硬化皮膜の皮膜剥離性 [5]の操作に続いて、 (i)実施例1乃至6、13乃至18、並びに比較例1
及び2について、45℃、3%水酸化ナトリウム水溶液
を、スプレー圧2kg/cm2で吹きつけてレジストを
剥離除去した場合の硬化皮膜の剥離を観察した。
【0086】(ii)実施例7乃至12、19乃至24、
並びに比較例1及び2について、20℃、3%過ヨウ素
酸水溶液に2分間浸漬後、スプレー圧2kg/cm2
吹きつけてレジストを剥離除去した場合の硬化皮膜の剥
離を観察した。
【0087】上記(i)及び(ii)につき、硬化皮膜が
完全に剥離されるのに要する時間を測定した。また剥離
することができなかったものを「不可」として評価し
た。 [7]エッチング性の評価 [6]により硬化皮膜が剥離された積層板上に形成され
た導体パターンに、断線、欠線、線細り、ピンホール、
ラインキザ(導体の直線パターンの直線性不良)及びエ
ッチングのもぐり等がないものを「良好」として評価し
た。 〈めっき工程〉 [8]耐めっき液性 [3]の現像処理の後、 ・脱脂(メルテックス(株)製、商品名「PC−45
5」の薬剤の25重量%水溶液に30℃で5分間浸漬) ・水洗 ・ソフトエッチング(過硫酸アンモニウムタイプソフト
エッチング剤(三菱ガス化学(株)社製、商品名「NP
E−300」)20重量%水溶液に室温で2分浸漬) ・水洗 ・硫酸洗浄(10重量%硫酸に室温で1分間浸漬) の工程を経た後、ニッケルめっき浴(硫酸ニッケル 3
00g、塩化ニッケル40g、硼酸40g、水620
g)に入れ、ニッケルめっきを45℃,1.5A/dm
2で10分間行った。ニッケルめっき終了後直ちに水洗
し、続いて、金めっき浴(日本高純度化学(株)製、商
品名「オーロブライトHS−2」)を用いて、液温40
℃、1.0A/dm2で10分間金めっきを行った。
【0088】以上の工程の間における、硬化皮膜の剥が
れの有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として
評価した。 [9]めっき終了後の硬化皮膜の粘着テープ剥離試験 [8]の操作の後、水洗、乾燥を行い、乾燥後の硬化皮
膜について、JISD 0202−1988の4.15
に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ剥離
試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、分子
にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目を表し
て評価した。 [10]めっき性評価 続いて、実施例1乃至30、比較例1及び2について、
45℃の3%水酸化ナトリウム水溶液を、スプレー圧2
kg/cm2で吹きつけてレジストを剥離除去した後、
拡大鏡で目視観察し、めっき性が良好で、めっきもぐり
の無いものを「良好」として評価した。 [11]アルカリエッチング後の金の導体パターンの評
価 続いて、アルカリエッチングを行い、銅を剥離した後の
ラインキザ(金の直線パターンの直線性不良)を光学顕
微鏡にて確認し、凹部と凸部の幅の差を測定した。
【0089】以上の結果を表3乃至5に示す。
【0090】
【表3】
【0091】
【表4】
【0092】
【表5】 表1乃至5から明らかなように、水性化可能ではない比
較例1、2のものでは、希アルカリ水溶液では現像でき
たものの、水では現像できなかったのに対し、水性化可
能な実施例の全てのものでは、水と希アルカリ水溶液の
双方によって現像可能することができた。また実施例の
すべてのものにおいて、希アルカリ水溶液での現像性が
比較例1、2のものよりも向上した。また特にバインダ
ーポリマー(B)として、数平均分子量が20000〜
300000のものを用いた実施例1〜5、7〜11、
13〜17、19〜23では、現像性が特に向上した。
【0093】また比較例1、2では硬化皮膜が過ヨウ素
酸ナトリウム溶液により剥離することができなかったの
に対して、実施例のものでは、アルカリ溶液で剥離する
ことができると共に、過ヨウ素酸ナトリウム溶液でも剥
離することができることが確認できた。
【0094】また実施例すべてのものは、予備乾燥皮膜
の粘着性が小さく、また硬化皮膜の基材への密着性が高
いものであった。また耐エッチング液性が高く、また硬
化皮膜をアルカリ溶液により剥離することができ、更に
エッチングレジストとして用いた場合、硬化皮膜が剥離
された積層板上に形成された胴体パターンに断線、欠
線、線細り、ピンホール、ラインギザ及びエッチングも
ぐりがなく、エッチング性が良好であった。まためっき
レジストとして用いた場合、めっきもぐりがなく、めっ
き性が良好であり、アルカリエッチング後の金回路パタ
ーンのラインギザがちいさいことが確認された。これら
の評価結果は、水性化可能ではない比較例1、2のもの
と同等以上のものであった。
【0095】従って実施例の全てのものは、現像法を用
いたエッチングレジストインク、、めっきレジストイン
ク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等とし
て好適なものであることが確認された。
【0096】
【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に記載の
感光性樹脂組成物は、(A)ポリビニルアルコール系重
合体にスチリルピリジニウム基もしくはスチリルキノリ
ニウム基を導入してなる水溶性の感光性樹脂、(B)カ
ルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又
は溶解するバインダーポリマーであって、光反応可能な
エチレン性不飽和基を有さないもの、(C)光重合開始
剤、(D)光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
(E)水を含んで成り水又は希アルカリ水溶液で現像可
能であるため、感光性樹脂(A)を用いて他の成分を水
もしくは水と水性有機溶媒等との混合溶媒中に溶解、乳
化又は分散させることができると共に、バインダーポリ
マー(B)は、分子中の充分なカルボキシル基により希
アルカリ水溶液中で膨潤、分散又は溶解し得るものであ
って、本発明の感光性樹脂組成物によって形成される皮
膜は、露光前は水や希アルカリ水溶液で膨潤、分散又は
溶解し得るものであり、したがって、この感光性樹脂組
成物は、形成された皮膜の選択的露光を行なった後、水
又は希アルカリ水溶液による現像を行って、感光性樹脂
組成物の非露光部分を洗い流すと共に、露光部分を残す
ことにより、画像形成を可能とすることができるもので
ある。またこの現像時に有機溶剤を使用する必要がな
く、更に感光性樹脂組成物を基材へ塗布した後予備乾燥
皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物からの
有機溶剤の揮発を抑制することができ、有機溶剤に起因
する労働安全性、環境汚染、火災等の問題を低減するこ
とができるものである。
【0097】またこの感光性樹脂組成物の光重合反応に
より生成する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する
密着性を良好なものとすることができる。
【0098】また、本発明の感光性樹脂組成物を露光に
より光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金
属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビ
ニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離する
ことができるものである。
【0099】また本発明の感光性樹脂組成物をプリント
配線板製造用フォトレジストインクとして用いる場合に
おいて、プリント配線板製造用基板に塗工された本発明
の感光性樹脂組成物を露光硬化させる際に、バインダー
ポリマー(B)の様な高分子量の成分が僅かの露光によ
って光反応を生じて急激に分子量が増大することを防
ぎ、選択的露光時における、露光部と未露光部分の境界
面での僅かな光の漏れで硬化することを防いで、露光部
と未露光部分の境界面における希アルカリ溶液に対する
溶解性、膨潤性等を向上することができ、アートワーク
に忠実な、シャープなパターンを形成することができ
て、解像性を向上することができるものである。
【0100】また光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)により本発明の感光性樹脂組成物の光反応性を高
めることができるものである。
【0101】また本発明の請求項2に記載の感光性樹脂
組成物は、請求項1の構成に加えて、上記の光重合可能
なエチレン性不飽和単量体(D)として、(d)分子中
に少なくとも1個のカルボキシル基及び少なくとも1個
の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含む
ものを用いるため、このように分子中にカルボキシル基
を有する化合物(d)の、本発明の感光性樹脂組成物中
における配合割合を適宜調節することにより、本発明の
感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性を
容易に調整することができるものである。
【0102】また本発明の請求項3に記載の感光性樹脂
組成物は、請求項1又は2の構成に加えて、上記の光重
合可能なエチレン性不飽和単量体(D)として、(d)
分子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光反応性のエ
チレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との
部分エステル化物を含むものを用いるため、分子中にカ
ルボキシル基を有する化合物(d)の、本発明の感光性
樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することによ
り、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対
する溶解性を容易に調製することができるものである。
【0103】また本発明の請求項4に記載のプリント配
線板製造用フォトレジストインクは、請求項1乃至3の
いずれかに記載の感光性樹脂組成物からなるため、エッ
チングレジストインク、ソルダーレジストインク、マー
キングインク等として好適なものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H025 AA00 AA02 AA14 AB15 AB20 AC01 AD01 BC09 BC13 BC31 BC83 BC85 BC86 CA00 CB43 CB52 FA17 4J027 AA05 AB10 AB28 AC03 AC04 AC06 AE02 AJ08 BA02 BA07 BA08 BA09 BA12 BA13 BA14 BA19 BA20 BA23 BA24 BA26 BA27 CA03 CB10 CC05 CC07 CD10 5E339 BE11 CC01 CC02 CD01 CE19 CF16 CF17 DD02 GG01

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)ポリビニルアルコール系重合体に
    スチリルピリジニウム基もしくはスチリルキノリニウム
    基を導入してなる水溶性の感光性樹脂、(B)カルボキ
    シル基を有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解
    するバインダーポリマーであって、光反応可能なエチレ
    ン性不飽和基を有さないもの、(C)光重合開始剤、
    (D)光重合可能なエチレン性不飽和単量体、及び
    (E)水を含んで成る水又は希アルカリ水溶液で現像可
    能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
  2. 【請求項2】 上記の光重合可能なエチレン性不飽和単
    量体(D)として、(d)分子中に少なくとも1個のカ
    ルボキシル基及び少なくとも1個の光反応性のエチレン
    性不飽和基を有する化合物を含むものを用いて成ること
    を特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 上記の化合物(d)として、(d1)分
    子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光反応性のエチ
    レン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部
    分エステル化物を含むものを用いて成ることを特徴とす
    る請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至3の何れかに記載の感光性
    樹脂組成物から成ることを特徴とするプリント配線板製
    造用フォトレジストインク。
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