JP4820317B2 - 放電処理装置 - Google Patents
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Description
6 電極
10 ロール電極
12 周壁(電極本体)
20 軸部(軸の一方側)
22a 中心穴(第2冷媒路)
26 接続穴(第2冷媒路)
28 側壁(電極本体)
30 軸部(軸の他方側)
32 中心穴(第1冷媒路)
32a 中心穴(第1冷媒路)
34 接続穴(第1冷媒路)
37 中空穴(第1冷媒路)
38 側壁(電極本体)
42 中空穴(第1冷媒路)
44 筒状空間(第2冷媒路)
50 内部周壁(内側部材)
51 密閉空間
52 内部側壁(内側部材)
53 密閉空間
54 内部側壁(内側部材)
55 密閉空間
Claims (2)
- 対向する電極間に電圧を印加し、該電極間で放電を発生させて被処理物を処理する放電処理装置において、
前記電極の少なくとも一つは、
軸と、放電面となる外周面を有する周壁と、該周壁の両端と前記軸との間に延在し結合された二つの側壁とを少なくとも含み、内部に中空空間が形成される電極本体と、
前記電極本体の前記中空空間内に配置され、前記電極本体の前記周壁と前記二つの側壁とに沿って間隔を設けて延在し、前記電極本体の前記周壁と前記二つの側壁との間に密閉空間を形成する内側部材と、
前記密閉空間を介して互いに連通する、第1冷媒路及び第2冷媒路と、
を備え、
前記第1冷媒路は、前記軸の一方側から、前記電極本体の前記中空空間のうち前記密閉空間以外の部分を通って前記軸の他方側まで延在し、前記密閉空間の前記軸の他方側に連通し、
前記第2冷媒路は、前記軸の一方側に配置され、前記密閉空間の前記軸の一方側に連通し、
前記軸の一方側において、前記第1冷媒路の周囲に前記第2冷媒路が配置されて二重管状であり、
冷媒は、前記第1冷媒路及び前記第2冷媒路の一方から供給され、他方から排出されることを特徴とする、放電処理装置。 - 前記電極本体の前記周壁が円筒形状であり、
前記内側部材は、前記電極本体の前記周壁と同軸に配置され、円筒形状の外周面を有することを特徴とする、請求項1に記載の放電処理装置。
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