KR101980433B1 - 고효율 오존발생시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고효율 오존발생시스템에 관한 것으로서, 방전관, 상기 방전관의 외주면에서 이격된 상태로 배치되어 상기 방전관과의 사이에 반응공간을 형성하는 절연관, 및 상기 절연관의 외측에 배치되는 방열관을 구비하는 오존발생기; 고압의 산소를 공급받아 냉 산소와 온 산소로 분리해주는 보텍스 튜브; 전단부를 통해 상기 보텍스 튜브에서 배출되는 온 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 온 산소를 공급해주는 공급관; 및 전단부를 통해 상기 보텍스 튜브에서 배출되는 냉 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 냉 산소를 공급해주되, 전단부와 후단부 사이의 부분에서 상기 방열관의 표면과 접하는 냉각관;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 적은 에너지를 사용하여 오존 생성시 발생하는 열을 제거하는 것이 가능하다.

Description

고효율 오존발생시스템{Ozone generating system with high energy efficiency}

본 발명은 고효율 오존발생시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 적은 에너지를 사용하여 오존발생기에 대한 냉각을 효율적으로 수행하는 것이 가능한 오존발생시스템에 관한 것이다.

오존이 물에 용해되어 만들어지는 오존수는 강력한 산화반응을 일으켜 살균력과 정화력이 뛰어나다. 또한, 반응 후 생성되는 부산물이 이산화탄소, 물 및 산소 등으로 이루어지기 때문에 부산물의 처리가 용이하다.

오존수를 만들기 위한 오존을 발생시키는 오존발생기는 내측에서부터 외측으로 차례대로 방전관, 절연관 및 방열관이 배치되어 이루어지며, 상기 방전관과 방열관은 서로 다른 극에 연결되어 절연관과 방전관 사이 공간으로 산소를 통과시키면 산소가 플라즈마 상태가 되어 산소의 일부가 오존으로 변화한다.

그런데 오존발생기의 작동시에 발생하는 열은 오존발생기의 효율을 떨어뜨리게 되므로 오존발생기를 냉각해줄 필요가 있다.

등록번호 제20-0278111호의 '오존발생기의 냉각장치'는 오존발생기의 작동중 오존발생기를 냉각하는 것과 관련된 종래기술 중의 하나이다.

상기 종래기술에 의한 오존발생기의 냉각장치는, 외주면 양단부 영역에 각각 산소유입구와 오존배출구가 형성되어 있으며 고압전원이 인가되는 방열관과 상기 방열관의 내주면과의 사이에 오존발생공간을 형성하도록 상기 방열관 내에 수용되는 유리관과 상기 유기관의 내주면에 형성되며 고압전원이 인가되는 용사전극층을 갖는 오존발생기로 구성된 오존발생기에 잇어서, 상기 오존발생기를 기밀하게 수용하는 냉각케이스와, 상기 냉각케이스의 일영역에 설치되어 상기 오존발생기를 냉각시키는 냉매냉각기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

즉, 상기 종래기술에 의한 오존발생기의 냉각장치에서는 오존발생기를 기밀한 냉각케이스에 수용하고 상기 냉각케이스에 냉매냉각기를 두는 방법으로 오존발생기를 냉각한다.

그러나 상기 냉매냉각기를 이용하여 오존발생기를 냉각시키는 데에는 많은 에너지가 소요되며, 특히 반도체 제조공정과 같이 전기소모량이 제한되는 환경에서는 상기 종래기술에 의한 오존발생기의 냉각장치를 사용하는 것이 적합하지 못하다.

KR 20-0278111 Y1 KR 10-2009-0055326 A KR 10-1634667 B1

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 적은 에너지를 사용하여 오존 생성시 발생하는 열을 제거하는 것이 가능한 고효율 오존발생시스템을 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 방전관, 상기 방전관의 외주면에서 이격된 상태로 배치되어 상기 방전관과의 사이에 반응공간을 형성하는 절연관, 및 상기 절연관의 외측에 배치되는 방열관을 구비하는 오존발생기; 고압의 산소를 공급받아 냉 산소와 온 산소로 분리해주는 보텍스 튜브; 전단부를 통해 상기 보텍스 튜브에서 배출되는 온 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 온 산소를 공급해주는 공급관; 및 전단부를 통해 상기 보텍스 튜브에서 배출되는 냉 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 냉 산소를 공급해주되, 전단부와 후단부 사이의 부분에서 상기 방열관의 표면과 접하는 냉각관;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템에 의해 달성된다.

상기 보텍스 튜브는 산소 봄베에서 고압의 산소를 공급받는 것이 바람직하다.

상기 냉각관의 전단부와 후단부 사이의 부분은 상기 방열관의 표면을 감싸는 나선형으로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 냉각관은 길이방향으로 연결된 다수 개의 부분관으로 이루어지고, 각 부분관 사이에는 전방의 부분관으로부터 냉 산소를 공급받아 2차 냉 산소와 2차 온 산소로 분리한 후 2차 냉 산소를 후방의 부분관으로 공급해주는 보조 보텍스 튜브를 더 구비하는 것이 바람직하다. 이때, 전단부를 통해 상기 보조 보텍스 튜브에서 배출되는 2차 온 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 2차 온 산소를 공급해주는 보조 공급관을 더 구비할 수 있다.

본 발명에 의한 고효율 오존발생시스템은 고압의 산소를 공급받아 냉 산소와 온 산소로 분리해주는 제2보텍스 튜브; 전단부를 통해 상기 제2보텍스 튜브에서 배출되는 온 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 온 산소를 공급해주는 제2공급관; 및 전단부를 통해 상기 제2보텍스 튜브에서 배출되는 냉 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 냉 산소를 공급해주되, 전단부와 후단부 사이의 부분에서 상기 방열관의 표면과 접하는 제2냉각관;을 더 포함할 수 있다.

상기 냉각관은 전단부와 후단부 사이에서 다수 갈래로 갈라져 다수의 분기관을 구비하며, 상기 각 분기관은 상기 방열관의 표면과 접한 후 합류하도록 형성될 수 있다.

상기 냉각관의 후단부는 상기 공급관의 전단부와 후단부 사이 부분에 연결되는 것이 바람직하다.

본 발명에 의한 고효율 오존발생시스템은 전단부가 상기 냉각관의 전단부에 연결되고 후단부가 상기 반응공간에 연결되는 온도조절관을 더 구비하고, 이때, 상기 냉각관의 후단부를 지나는 냉 산소의 온도에 따라 상기 온도조절관으로 유입되는 냉 산소의 양이 조절되도록 할 수 있다.

상기 방열관의 표면으로 바람을 공급하는 냉각팬을 더 구비할 수 있다.

본 발명에 의한 고효율 오존발생시스템은 오존 생성의 반응물인 산소를 보텍스 튜브를 이용하여 온도별로 분리하고 냉 산소를 오존 생성시 발생하는 열의 제거에 활용하므로 별도의 에너지를 사용하지 않고도 오존 생성시 발생하는 열을 제거해줄 수 있다.

상기 고효율 오존발생시스템을 구성하는 보텍스 튜브는 다수 개가 직렬 또는 병렬로 배치되어 오존 생성시 발생하는 열을 보다 효과적으로 제거해주는 것이 가능하다.

또한, 오존을 생성하기 위한 오존발생기에 항상 일정한 온도의 산소를 공급하여 고효율 오존발생시스템이 안정적으로 작동하도록 할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 고효율 오존발생시스템의 개략적인 구성도,
도 2는 본 발명의 제2실시예에 의한 고효율 오존발생시스템의 개략적인 구성도,
도 3은 본 발명의 제3실시예에 의한 고효율 오존발생시스템의 개략적인 구성도,
도 4는 본 발명의 제4실시예에 의한 고효율 오존발생시스템의 개략적인 구성도,
도 5는 본 발명의 제5실시예에 의한 고효율 오존발생시스템의 개략적인 구성도이다.

실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참고하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범위에 의해 정의될 뿐이다.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참고하여 자세하게 설명하도록 한다.

본 발명에 의한 고효율 오존발생시스템(1)은 오존발생기(10), 보텍스 튜브(20), 공급관(30) 및 냉각관(40)을 포함하여 이루어진다. 도 1에는 본 발명에 의한 고효율 오존발생시스템(1)의 개략적인 구성도가 도시되어 있다.

오존발생기(10)는 산소나 산소를 포함하는 공기를 공급받아 플라즈마 상태가 되도록 함으로써 오존을 생성하는 역할을 한다. 상기 오존발생기(10)는 방전관(11), 절연관(12) 및 방열관(13)으로 이루어진다.

방전관(11)은 금속재질의 관으로서 고압트랜스(미도시)의 플러스 극에 연결된다. 절연관(12)은 유리 또는 세라믹과 같은 절연 재질로 이루어지는 관으로서 상기 방전관(11)의 외주면에서 이격된 상태로 배치되어 방전관(11)과의 사이에 반응공간(S)을 형성한다. 그리고 방열관(13)은 금속재질의 관으로서 고압트랜스의 마이너스 극에 연결된다. 방전관(11)과 방열관(13)에 인가되는 고전압에 의하여 반응공간(S)에서는 방전이 발생하고 반응공간(S) 내의 산소가 오존으로 변화한다.

보텍스 튜브(20)(Vortex tube)는 고압의 산소(O)가 유입되는 유입관(21)과 상기 유입관(21)에 직각으로 형성되어 유입관(21)으로부터 유입된 산소(O)를 온도별로 분리해주는 와류관(22)으로 이루어진다. 상기 와류관(22)의 일단부로는 온도가 낮은 냉 산소(cO)가 배출되고, 타단부로는 온도가 높은 온 산소(wO)가 배출된다.

공급관(30)은 전단부가 보텍스 튜브(20)에서 온 산소(wO)가 배출되는 출구에 연결되고 후단부가 오존발생기(10)의 반응공간(S)에 연통하여, 보텍스 튜브(20)에서 분리된 온 산소(wO)를 반응공간(S)으로 공급한다. 상기한 것과 같이 반응공간(S)으로 공급된 산소는 방전에 의해 오존으로 변화한다.

냉각관(40)은 전단부가 보텍스 튜브(20)에서 냉 산소(cO)가 배출되는 출구에 연결되고 후단부가 오존발생기(10)의 반응공간(S)에 연통하여 보텍스 튜브(20)에서 분리된 냉 산소(cO)를 반응공간(S)으로 공급하되, 전단부와 후단부 사이의 부분이 상기 방열관(13)의 표면과 접하도록 배치되어 오존발생기(10)에서 오존 생성 반응시 발생하는 열에 의해 가열된 방열관(13)을 냉각한 후 온도가 높아진 상태의 냉 산소(cO)를 반응공간(S)에 공급한다. 즉, 냉각관(40)을 지나는 냉 산소(cO)는 오존 생성의 반응물이 되는 동시에 오존 생성에 의해 가열된 오존발생기(10)를 냉각시키는 냉각제의 역할을 한다.

이러한 본 발명의 고효율 오존발생시스템(1)은 별도의 에너지를 사용하지 않고도 오존 생성시 발생하는 열을 제거해줄 수 있기 때문에 오존 생성의 에너지 효율을 높여줄 수 있다. 오존 생성의 에너지 효율이 높은 것은 반도체 제조공정과 같이 전기소모량이 예를 들어 500W 이하로 제한되는 환경에서 특히 유효하다고 할 수 있다.

보텍스 튜브(20)는 산소 봄베(50)에서 고압의 산소(O)를 공급받는 것이 바람직하다.

산소 봄베(50)에는 순수한 산소가 압축된 상태로 저장되어 있으므로 별도의 에너지를 사용하지 않고도 보텍스 튜브(20)에 대하여 산소를 고압으로 공급해줄 수 있다. 이에 따라, 오존 생성의 에너지 효율을 높여줄 수 있을 뿐만 아니라, 고농도의 산소를 반응시킴에 의해 고농도의 오존을 생성하는 것이 가능하다.

냉각관(40)의 전단부와 후단부 사이의 부분, 즉 냉각관(40)의 중간부는 방열관(13)의 표면을 감싸는 나선형으로 이루어질 수 있다.

냉각관(40)의 중간부가 나선형으로 이루어지는 경우, 냉 산소(cO)의 기류가 방열관(13)의 표면과 고르게 접하며 형성되어 방열관(13)에서 발생하는 열을 효과적으로 제거해줄 수 있다.

본 발명의 제2실시예에 의한 고효율 오존발생시스템에서는 상기 냉각관(40)이 다수 개의 부분관(41)으로 이루어지고, 이 경우 고효율 오존발생시스템은 보조 보텍스 튜브(60)를 더 포함할 수 있다. 도 2에는 본 발명의 제2실시예에 의한 고효율 오존발생시스템의 개략적인 구성도가 도시되어 있다. 참고로, 도 2에서는 예시적으로 냉각관(40)이 두 개의 부분관(41)으로 이루어져 있다.

부분관(41)들은 서로 길이방향으로 연결되어 냉각관(40)을 형성하고, 부분관(41)들 사이에 보조 보텍스 튜브(60)가 배치된다. 보다 자세하게, 보조 보텍스 튜브(60)의 입구는 부분관(41)들 중 전방에 위치하는 부분관의 후단부에 연결되어 전방의 부분관으로부터 냉 산소(cO)를 공급받아 2차 냉 산소(2cO)와 2차 온 산소(2wO)로 분리하고, 2차 냉 산소(2cO)가 배출되는 출구는 부분관들 중 후방에 위치하는 부분관의 전단부에 연결되어 2차 냉 산소(2cO)를 후방의 부분관으로 공급해준다.

상기 보조 보텍스 튜브(60)는 방열관(13)의 표면을 따라 이동하면서 방열관(13)으로부터 열을 공급받아 온도가 상승한 전방 부분관 내의 냉 산소(cO)를 다시 한 번 냉각시켜줌으로써 냉각관(40)의 후단부, 즉 후방의 부분관에서도 방열관(13)을 효과적으로 냉각시켜줄 수 있도록 해준다.

본 발명의 제2실시예에서와 같이 고효율 오존발생시스템이 보조 보텍스 튜브(60)를 구비하는 경우에는 보조 공급관(70)이 더 구비될 수 있다.

보조 공급관(70)은 전단부가 상기 보조 보텍스 튜브(60)에서 2차 온 산소(2wO)가 배출되는 출구에 연결되고 후단부가 상기 반응공간(S)에 연통되어 2차 온 산소(2wO)를 반응공간(S)으로 공급해준다. 이에 따라, 보텍스 튜브(20)가 공급받은 고압의 산소를 손실시키지 않고 모두 오존 생성의 반응물로 공급해줄 수 있다.

본 발명의 제3실시예에 의한 고효율 오존발생시스템에는 도 3에 도시되어 있는 것과 같이 제2보텍스 튜브(80), 제2공급관(90) 및 제2냉각관(100)을 더 구비한다.

제2보텍스 튜브(80)는 상기 보텍스 튜브(20)와 병렬적으로 배치되어 보텍스 튜브(20)와 마찬가지로 산소 봄베(50)로부터 고압의 산소를 공급받고 냉 산소(cO)와 온 산소(wO)로 분리한다.

제2공급관(90)의 전단부는 제2보텍스 튜브(80)에서 온 산소(wO)가 배출되는 출구에 연결되고 후단부는 반응공간(S)에 연통되어 제2보텍스 튜브(80)에서 배출된 온 산소(wO)를 반응공간(S)으로 공급한다.

그리고 제2냉각관(100)의 전단부는 제2보텍스 튜브(80)에서 냉 산소(cO)가 배출되는 출구에 연결되고 후단부는 반응공간(S)에 연통되어 제2보텍스 튜브(80)에서 배출된 냉 산소(cO)를 반응공간(S)으로 공급하되, 보텍스 튜브(20)에 연결된 냉각관(40)과 마찬가지로 전단부와 후단부 사이의 부분에서 방열관(13)의 표면에 접하여 오존 생성시 발생하는 열에 의해 가열된 방열관(13)을 냉각하는 역할을 한다.

방열관(13)이 냉각관(40) 및 제2냉각관(100)과 접함으로 인하여 보다 많은 양의 냉기가 방열관(13)의 열을 제거하므로 방열관(13)을 보다 효과적으로 냉각해줄 수 있다.

도 4에는 본 발명의 제4실시예에 의한 고효율 오존발생시스템의 개략적인 구성도가 도시되어 있다. 본 발명의 제4실시예에 의한 고효율 오존발생시스템은 냉각관(40)의 전단부와 후단부 사이에서 다수 갈래로 갈라져 다수의 분기관(42)을 구비한다. 도 4에서는 예시적으로 냉각관(40)의 중간부가 3개의 분기관(42)으로 이루어진 것을 볼 수 있다.

상기 분기관(42)들은 각각이 방열관(13)의 표면상에서 나뉘어 접하므로 방열관(13)을 전체적으로 균질하게 냉각시켜줄 수 있다.

방열관(13)의 표면과 접한 후의 분기관(42)들은 냉각관(40)의 후단부에서 다시 합류하여 반응공간(S)과 연통하게 된다.

냉각관(40)의 후단부는 반응공간(S)과 직접 연통하지 않고 공급관(30)의 전단부와 후단부 사이 부분에 연결되어 공급관(30)을 통해 간접적으로 반응공간(S)과 연통할 수 있다. 참고로, 냉각관(40)의 후단부가 공급관(30)의 전단부와 후단부 사이 부분에 연결된 경우는 도면에 도시되어 있지 않다.

방열관(13)을 냉각한 후의 냉 산소(cO) 온도와 공급관(30)을 지나는 온 산소(wO)의 온도는 서로 다를 수 있는데, 상기한 것과 같이 냉각관(40)의 후단부를 공급관(30)의 전단부와 후단부 사이 부분에 연결하면 냉각관(40)에서 배출되는 냉 산소(cO)와 공급관(30) 내의 온 산소(wO)가 섞여 반응공간(S) 내에 일정한 온도를 가지는 산소가 공급될 수 있다.

본 발명의 제5실시예에 의한 고효율 오존발생시스템은 도 5에 도시되어 있는 것과 같이 온도조절관(110)을 더 구비한다.

온도조절관(110)은 전단부가 냉각관(40)의 전단부에 연결되고 후단부가 상기 반응공간(S)에 연결되되, 냉각관(40)과는 다르게 방열관(13)의 표면과 접하지 않는다. 따라서, 온도조절관(110)을 지나는 냉 산소(cO)는 온도가 거의 변화하지 않는다.

이러한 온도조절관(110)의 전단부로 유입되는 냉 산소(cO)의 양은 냉각관(40)의 후단부를 지나는 냉 산소(cO)의 온도에 따라 조절된다. 즉, 냉각관(40)이 방열관(13)에서 많은 열을 흡수하여 냉각관(40)의 후단부를 지나는 냉 산소(cO)의 온도가 너무 높은 경우에는 온도조절관(110)으로 유입되는 냉 산소(cO)의 양을 많게 하고, 냉각관(40)이 방열관(13)에서 많은 열을 흡수하지 않아 냉각관(40)의 후단부를 지나는 냉 산소(cO)의 온도가 낮은 경우에는 온도조절관(110)으로 유입되는 냉 산소(cO)의 양을 줄인다. 이에 따라, 반응공간(S)으로 유입되는 산소의 온도를 보다 일정하게 해줄 수 있다.

냉각관(40)의 후단부를 지나는 냉 산소(cO)의 온도를 측정할 수 있도록 냉각관(40)의 후단부에는 온도 센서가 배치되어야 할 것이다. 그리고 상기 온도조절관(110)의 후단부는 반응공간(S)에 직접 연결되기보다는 냉각관(40)의 후단부에서 중간부로 약간 이격된 위치나 공급관(30)에 연결되어 반응공간(S)과 간접적으로 연결되는 것이, 온도가 다른 산소들을 미리 섞어 반응공간(S)으로 균질한 온도의 산소를 공급하는 측면에서 바람직하다.

본 발명에 의한 고효율 오존발생시스템은 냉각팬(120)을 더 구비할 수 있다.

상기 냉각팬(120)은 방열관(13)의 표면으로 바람을 공급하는 역할을 하여, 오존 생성시 발생한 열에 의해 가열된 방열관(13)을 보다 효과적으로 냉각시킬 수 있다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

1 : 고효율 오존발생시스템
10 : 오존발생기
11 : 방전관
12 : 절연관
13 : 방열관
20 : 보텍스 튜브
30 : 공급관
40 : 냉각관
41 : 부분관
42 : 분기관
50 : 산소 봄베
60 : 보조 보텍스 튜브
70 : 보조 공급관
80 : 제2보텍스 튜브
90 : 제2공급관
100 : 제2냉각관
110 : 온도조절관
120 : 냉각팬
S : 반응공간

Claims (10)

1. 방전관, 상기 방전관의 외주면에서 이격된 상태로 배치되어 상기 방전관과의 사이에 반응공간을 형성하는 절연관, 및 상기 절연관의 외측에 배치되는 방열관을 구비하는 오존발생기;
   고압의 산소를 공급받아 냉 산소와 온 산소로 분리해주는 보텍스 튜브;
   전단부를 통해 상기 보텍스 튜브에서 배출되는 온 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 온 산소를 공급해주는 공급관; 및
   상기 보텍스 튜브에서 배출되는 냉 산소를 공급받는 전단부와 상기 전단부를 통해 공급받은 냉 산소를 상기 반응공간으로 공급하는 후단부를 구비하며, 전단부와 후단부 사이의 부분에서는 상기 방열관의 표면과 인접하여 상기 방열관을 냉각시키는 냉각관;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 보텍스 튜브는 산소 봄베에서 고압의 산소를 공급받는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 냉각관의 전단부와 후단부 사이의 부분은 상기 방열관의 표면을 감싸는 나선형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 냉각관은 길이방향으로 연결된 다수 개의 부분관으로 이루어지고,
   각 부분관 사이에는 전방의 부분관으로부터 냉 산소를 공급받아 2차 냉 산소와 2차 온 산소로 분리한 후 2차 냉 산소를 후방의 부분관으로 공급해주는 보조 보텍스 튜브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
5. 제4항에 있어서,
   전단부를 통해 상기 보조 보텍스 튜브에서 배출되는 2차 온 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 2차 온 산소를 공급해주는 보조 공급관을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
6. 제1항에 있어서,
   고압의 산소를 공급받아 냉 산소와 온 산소로 분리해주는 제2보텍스 튜브;
   전단부를 통해 상기 제2보텍스 튜브에서 배출되는 온 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 온 산소를 공급해주는 제2공급관; 및
   전단부를 통해 상기 제2보텍스 튜브에서 배출되는 냉 산소를 공급받아 후단부를 통해 상기 반응공간으로 냉 산소를 공급해주되, 전단부와 후단부 사이의 부분에서 상기 방열관의 표면과 접하는 제2냉각관;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
7. 제1항에 있어서,
   상기 냉각관은 전단부와 후단부 사이에서 다수 갈래로 갈라져 다수의 분기관을 구비하며, 상기 각 분기관은 상기 방열관의 표면과 접한 후 합류하는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 냉각관의 후단부는 상기 공급관의 전단부와 후단부 사이 부분에 연결되는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
9. 제1항에 있어서,
   전단부가 상기 냉각관의 전단부에 연결되고 후단부가 상기 반응공간에 연결되는 온도조절관을 더 구비하고,
   상기 냉각관의 후단부를 지나는 냉 산소의 온도에 따라 상기 온도조절관으로 유입되는 냉 산소의 양이 조절되는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
   
10. 제1항에 있어서,
    상기 방열관의 표면으로 바람을 공급하는 냉각팬을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 고효율 오존발생시스템.
    

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