JP4800715B2 - ウェーハの分割方法 - Google Patents
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Description
2 研削装置
4 切削装置
20,40 チャックテーブル
21 研削部
22 回転軸
23 ホイール
24 砥石部
36 DAF
36a 剥離紙
40 チャックテーブル
40a フレームクランプ
41 切削部
42 切削送り部
43 アライメント部
44 切り込み送り部
45 割り出し送り部
400 駆動源
401,451 移動基台
410 ハウジング
411 スピンドル
412 切削ブレード
413 支持部
420,441,450 ボールネジ
421,442,452 パルスモータ
422,443,453 ガイドレール
430 カメラ
440 壁部
d1 切削溝
d2 対応切削溝
W ウェーハ
Wa 表面
Wb 裏面
W1 デバイス領域
W2 外周余剰領域
W3 凹部
W4 リング状補強部
S ストリート
D デバイス
F1 ダイシングフレーム
T1 ダイシングテープ
Claims (1)
- 複数のデバイスがストリートによって区画されて形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが表面に形成されたウェーハの裏面にダイボンド用の接着フィルムを貼着し、切削ブレードでストリートを切削して個々のデバイスに分割するウェーハの分割方法であって、
前記ウェーハは、前記デバイス領域に対応する裏面が研削によって薄く加工され、前記外周余剰領域がリング状の補強部に形成された凹状をなし、
前記ウェーハの前記デバイス領域に対応する裏面にダイボンド用の前記接着フィルムを貼着する接着フィルム貼着工程と、
前記ウェーハのストリート上にダイボンド用の前記接着フィルムに到達しない浅い切削溝を形成する切削溝形成工程と、
前記切削溝が形成された表面にダイシングテープ表面を貼着し前記接着フィルム側から前記ストリートに対応する領域を切削して前記切削溝形成工程によって形成された前記切削溝に達する深さの対向切削溝を形成して前記ウェーハを個々のデバイスに分割する分割工程と、
を含むことを特徴とするウェーハの分割方法。
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- 2005-09-08 JP JP2005261236A patent/JP4800715B2/ja active Active
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