JP4786027B2 - 光学系及び光学装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学系及び光学装置に関し、特に、ＯＣＴとＯＣＭの観察に切り替え可能な光学系及び光学装置に関するものである。
【従来の技術】
生物標本の内部を観察できる光学装置として、特開昭６１−２１９９１９号公報に開示されている共焦点光学系を備えた走査型光学顕微鏡が知られている。また、特開平４−１４６４１０号公報には、走査光学系において、対物レンズの瞳の大きさや瞳位置に対して対物レンズに入射する光の光束径を変換したり走査ミラーの位置を調整したりする技術が記載されている。
また、近年では、生体組織等の不透明な散乱体内部が観察できる手法として、米国特許第５，３２１，５０１号等に開示されているような低コヒーレンス干渉法あるいはＯＣＴ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）と呼ばれる手法が知られるようになってきた。図１１は、低コヒーレンス干渉法のための一般的な光学系を示している。コヒーレンス長（あるいは可干渉距離）が短い光源８１を用い、この光源８１からの光をビームスプリッタ８２により試料４へ導く信号光路と反射鏡８３へ導く参照光路とに分割する。それぞれの光路を往復して戻ってきた光を再びビームスプリッタ８２で合成したとき、参照光路と略等しい光路長を形成する信号光路の試料４内の観測点８６にあって、コヒーレンス長に略等しい光軸方向の範囲に存在する領域から散乱されて戻ってきた光のみが参照光と干渉する。したがって、この干渉信号を検出器８４で検出することにより、試料内部の情報を光軸方向において選択的に得ることができる。
通常、参照光路の反射鏡８３を光軸方向に移動することにより、試料４の深さ方向の走査を行うと同時に、参照光にドップラーシフトを与える。一般的に、低コヒーレンス干渉法では、干渉信号のうちドップラーシフト周波数のビート信号を検波するいわゆるヘテロダイン干渉計測を行うので、非常に高いＳ／Ｎ比での測定を行うことができる。
ここで、走査ミラーにより光軸に垂直な方向にも走査を行うことで、図１１におけるｘ−ｚ断面の像を得ることができる。対物レンズの焦点深度を、参照光路の反射鏡の移動範囲よりも大きく設定しておくことで、反射鏡を移動しても略一定のｘ−ｙ面内分解能を保つことができ、反射鏡を高速に動かせば画像取得も高速に行える。この場合、大きな焦点深度が必要となるために、対物レンズの開口数は小さいものを用いることになる。
一方、Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ ｖｏｌ．１９，Ｎｏ．８，ｐ．５９０（１９９４）に示されているように、低コヒーレンス干渉法において、対物レンズの開口数を大きなものとし、共焦点光学系を使用した顕微鏡観察法が知られている。この観察法は、ＯＣＭ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）と呼ばれるものであり、共焦点光学系による高い空間分解能と、低コヒーレンス干渉法の高いＳ／Ｎ比が組み合わされた顕微鏡技術である。ＯＣＴでは対物レンズの焦点深度に比べコヒーレンス長が短いのに対し、ＯＣＭでは対物レンズの焦点深度はコヒーレンス長と同等かそれ以下となる。ＯＣＭでは、図１１のｘ−ｙ面における分解能が高いというメリットを生かして、光軸に垂直な方向に走査するためのｘ、ｙ両方向の走査ミラーを用い、ｘ−ｙ面内の高分解画像を得ることができる。ＯＣＭにおいても、ＯＣＴと同様に、ヘテロダイン干渉計測を応用することで、生体内部を高分解能で観察することができる。ＯＣＴとＯＣＭのそれぞれの技術の特徴については、Ｏｐｔｉｃｓ ＆ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｎｅｗｓ，Ｍａｙ，ｐ．４１（１９９７）にも掲載されている。
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、ＯＣＴは試料の深さ方向（ｚ方向）において広い範囲を観察することができる。しかしながら、ある深さ位置において高分解能で試料を観察することはできない。逆に、ＯＣＭはある深さ位置において高分解能で試料を観察することはできるが、焦点深度が浅いため目的の深を見つけるまでに時間がかかるという問題がある。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、観察したい試料内の位置（深さ位置）を容易に見つけることができ、なお且つその深さ位置において高分解能、高Ｓ／Ｎ比で観察ができる光学系及び光学装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の光学系は、光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記光源からの光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備え、
前記光分岐部材と前記対物レンズの間に光束径変換光学系を配置したことを特徴とするものである。
また、本発明の別の光学系は、光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置され対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系と、
前記信号光路に配置され前記瞳リレー光学系によってリレーされた瞳位置の近傍に配置された光走査系と、
前記リレーされた瞳位置と前記光走査系を略一致させる補正機構と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の光学装置は、光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置される少なくとも１つの対物レンズと、
前記対物レンズによって集光された光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子と、
前記光分岐部材と前記光合成部材の間に配置され光路長を変化させる光路長調整機構と、
走査制御機構を備えた光学装置であって、
前記走査系は前記集光された光と前記試料を前記対物レンズの光軸に平行な方向に相対的に移動させる第１の走査機構と、前記集光された光と前記試料を該１の方向と垂直な第２の方向に移動させる第２の走査機構を少なくとも備え、
前記走査制御機構は前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の何れかを選択する機能と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度を決定する機能とを備えたことを特徴とするものである。
【発明の実施の形態】
上述したように、上記ＯＣＴは、開口数の小さな一般的には低倍率の対物レンズを使用して、試料の深さ方向（ｚ方向）において広い範囲を観察するのに適していると言える。一方、ＯＣＭは、一般的には共焦点光学系と開口数の大きな高倍率の対物レンズを用いて、生体試料の内部を高分解能で観察するのに適している。よって、試料の内部観察において、試料内の大きな構造の確認や各部位の位置関係の把握を行った上で、その中の注目領域についてさらに細かい分解能で観察を行う場合等、ＯＣＴとＯＣＭの両者を容易に切り替えて観察することは非常に有効な手法となる。
図１（ａ）は本発明の光学系の構成を示す図で、ＯＣＴとＯＣＭの両者を容易に切り替えて観察することができる光学系を示している。この図を用いて本発明の光学系の構成と作用を説明する。
光源１から出た光は、光分岐部材２により参照光路と信号光路に分岐される。参照光路とは、図１（ａ）においては、光分岐部材２を透過し、折り返しミラー９を経由する光路である。一方、信号光路とは、光分岐部材２により反射される光路である。光分岐部材２により反射された光は、ハーフミラー１０を透過して、光束径変換光学系６、光走査系５、対物レンズ３を通過し、試料４に照射される。試料４により反射・散乱された光は、対物レンズ３、光走査系５、光束径変換光学系６を通過し、ハーフミラー１０で反射される。参照光路と信号光路は光合成部材７によって合成され、光検出素子８で検出される。
前述のように、ＯＣＴとＯＣＭでは試料側の焦点深度が大きく異なるため、両者の観察を行うためには少なくとも２種類の開口数を持つ光学系が必要となる。そこで、本発明の光学系では、光束径変換光学系６を光学系内に配置することで、異なる開口数を持つ光学系に応じた光束径が設定できるようにしている。
光束径変換光学系６は、対物レンズ３に入射する光の光束径を変換することができる。したがって、図１（ａ）に示したように、光束径変換光学系６により光束径を小さくすることにより対物レンズ３の実質的な開口数は小さくなる。また、光束径変換光学系６により光束径を大きくすることにより、図１（ａ）の点線内の構成は、図１（ｂ）に示すように、対物レンズ３の開口数を大きくする構成とすることができる。したがって、例えば開口数の小さな対物レンズ３を使用するＯＣＴでの観察と、開口数の大きな対物レンズ３を使用するＯＣＭでの観察の両者を切り替えて行う場合、上記の構成を用いることにより最適な光束径を設定することができる。これにより、どちらの観察の場合も、光量損失を起こさずに対物レンズ３の切り替えを行うことができる。
特に、低コヒーレンス干渉法等により生体試料等を観察する場合には、試料４からの戻り光が微弱であり、光の利用効率の低下は最も避けなければならない事項である。しかしながら、本発明の構成を用いることにより、様々な対物レンズ３に最適な光束径が設定できる。よって、常に高い光の利用効率が実現されるので、高Ｓ／Ｎ比での観察が可能となる。
なお、光分岐部材２や光合成部材７は、ハーフミラー、ビームスプリッタあるいはファイバカプラーのように、入射した光を透過光と反射光に分岐する境界面を有する光学素子である。また、光束径変換光学系６は、対物レンズ３の瞳をリレーする瞳リレー光学系とすることができる。この構成により、光走査系５を対物レンズ３の瞳位置と共役な位置に配置することも可能となる。
また、図１では対物レンズ３で集光した光を、光走査系５で対物レンズ３の光軸と垂直な方向に走査させているが、光走査系５を固定ミラーにして試料４を保持するステージを光軸と垂直な方向に移動させても良い。
次に、開口数を切り替える別の例として、対物レンズを変換する場合を説明する。対物レンズの光軸に垂直な方向に光を走査する場合、対物レンズの瞳位置あるいは瞳位置と共役な位置においてミラー走査することが望ましい。ところが、対物レンズの瞳の大きさは、対物レンズ毎に異なるのが一般的である。そのため、光束径が常に一定の光学系だと、瞳よりも光束径が小さい場合には所望の開口数が得られない。逆に、光束径が大きい場合には光の利用効率が低下してしまうという問題が生じる。
これに対して、本発明の光学系では光束径変換光学系６を備えているため、対物レンズの瞳径に入射光束の径を一致させることができる。よって、上記のような問題は生じない。また、対物レンズを切り替えてＯＣＴ観察とＯＣＭ観察の切り替えが行われたとしても、低コヒーレンス干渉の特徴である高いＳ／Ｎ比が損なわれることはない。
次に、図２に、本発明の別の光学系の構成を示す。図１と異なるのは、信号光路の中の、ハーフミラー１０から試料４までの光学系である。図２においては、ハーフミラー１０を透過した信号光路の光は光走査系５により走査され、瞳リレー光学系１１を通過し、対物レンズ３により試料４に照射される。瞳リレー光学系１１は、対物レンズ３の瞳１３の瞳位置をリレーし、リレーされた位置に光走査系５が配置されている。
ここで、この状態で対物レンズの交換が行われ、対物レンズ３の代わりに別の対物レンズが光路中に配置されたとする。一般的に対物レンズの瞳位置は対物レンズごとに異なる。この場合も、別の対レンズの瞳位置は、対物レンズの瞳１３の位置と異なる。そのため、別の対物レンズの瞳は瞳リレー光学系でリレーされるが、光走査系５の位置とは異なる位置にリレーされてしまう。そこで、本発明の光学系では補正機構１２を設け、補正機構１２によって瞳リレー光学系１１で新たにリレーされた瞳の位置と光走査系５の位置を一致させるようにしている。
図２では、補正機構１２が移動機構（不図示）を備えており、この移動機構によって瞳リレー光学系１１と光走査系５が一体で移動するようになっている。このため、対物レンズ３が交換されても、リレーされた対物レンズの瞳位置と光走査系５の位置を一致させることができる。この結果、光走査系５による光の走査によって光束が瞳１３でケラレることがなく、周辺光量不足を防ぐことができる。
なお、図１および図２に示す光学系において、以下のように構成することができる。光分岐部材２から光合成部材７の間の光路、すなわち参照光路又は信号光路あるいはその両方に、音響光学素子（ＡＯＭ）などの光の周波数を変調する周波数変調部材を有するように構成することができる。これにより、参照光路と信号光路との間の周波数差を利用したヘテロダイン計測を行うことができるため、高Ｓ／Ｎ比の観察像を得ることができる。
また、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長を変化させる光路長調整機構を有するように構成することができる。これにより、試料内の観測点の深さ方向位置を調整したり、又は、走査したりすることが可能となる。
また、その光路長調整機構を、光の周波数を変調可能であるように構成することができる。これにより、光路長調整機構が周波数変調部材の作用を兼ねることができる。
また、光検出素子で検出された光に対し、参照光路と信号光路との間の光の差周波数成分の信号を取得するための信号処理装置を有するように構成することができる。
周波数変調部材や光路長調整機構により、信号光路と参照光路のそれぞれの光の周波数に差を付けることができる。そして、光検出素子により検出される信号のうち、この周波数差に相当する成分の信号を信号処理装置を用いて取得して、ヘテロダイン検出を行うことができる。
図３に、本発明の光学装置の構成を示す。光源１を出た光は、光分岐部材２により参照光路と信号光路に分岐される。光分岐部材２を透過する参照光路の光は、光路長調整機構２１を通過して、光合成部材７に到達する。一方、光分岐部材２により反射された信号光路の光は、ハーフミラー１０を透過し、光走査系２２により反射され、対物レンズ２５又は２６を通過して試料４に照射される。試料４は走査ステージ２４に保持されている。試料４内の観測点（対物レンズによる集光位置）２９で反射・散乱された光は、対物レンズ２５又は２６、光走査系２２を通過し、ハーフミラー１０で反射され、光合成部材７に到達する。光合成部材７で参照光路と信号光路の光が合成され、光検出素子８で検出される。
本発明の光学装置では光路長調整機構２１が参照光路に配置されており、参照光路の光路長を変化させることができるようになっている。具体的には、光路長調整機構２１は反射型あるいは透過型の光学素子と移動機構を備えており、この光学素子を移動させることによって光路長を変化させている。そして、この光路長を変化させることによって、試料４の内部において、信号光路の光路長が参照光路の光路長が一致する位置を変えることができるようになっている。よって、光路長調整機構２１は試料４内の観測点２９と試料４を相対的に、対物レンズ２５の光軸に沿う方向（第１の方向）に移動させる機構である。
走査系は光走査系２２と走査ステージ２４で構成されている。このうち、走査ステージ２４は第１の走査機構であって、試料４を第１の方向に移動させる。そして、光走査系２２は第２の走査機構であって、試料４内の観測点２９を対物レンズ２５の光軸と垂直な方向（第２の方向）に移動させる。よって、図３の構成においては、第１の方向はｚ方向、第２の方向はｘ方向に一致する。なお、２つの瞳リレー光学系１１によって、対物レンズの瞳１３、２３は光走査系２２の位置にリレーされている。瞳位置の違いは図２の補正機構１２によって行われる。
走査制御機構２７は光走査系２２と走査ステージ２４の走査速度、及び光路長調整機構２１の光学素子の移動速度（走査速度）を制御する機能を備えている。そして更に、走査制御機構２７は、第１の方向への走査機構として、走査ステージ２４と光路長調整機構２１のいずれか一方を選択する機能を備えている。
以上が本発明の光学装置の基本構成であるが、対物レンズとしてはＬｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ使用するのが好ましい。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
また、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズの他に、Ｌｃ＜Ｄｆを満足する開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ備えることもできる。そして、Ｌｃ≧Ｄｆを満足する対物レンズとＬｃ＜Ｄｆを満足する対物レンズの両方を備える場合、走査制御機構２７は対物レンズの切替に応じて走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
ここで、対物レンズについて説明する。対物レンズ２５は、Ｌｃ＜Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズである。この対物レンズ２５の焦点深度は試料４に入射する光源１からの光の可干渉距離（コヒーレンス長）よりも長いため、ＯＣＴによる観測に適している。一方、対物レンズ２６は、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズである。この対物レンズ２６の開口数は対物レンズ２５の開口数よりも大きく、ＯＣＭによる観測に適している。
なお、本発明の構成においては、後述するように、対物レンズ２５を使用せず、対物レンズ２６のみによって構成することも可能である。しかしながら、説明を容易にするため、ここではそれぞれの対物レンズを使用する構成とする。また、同じく説明を容易とするため、それぞれの対物レンズの開口数を満足するように、光源からの光が対物レンズの瞳全てを通過するものとする。したがって、対物レンズ２５はＯＣＴ用、対物レンズ２６はＯＣＭ用となる。
次に、走査制御機構２７の作用を説明する。走査制御機構２７は、使用する対物レンズのＤｆの値に応じて、第１の方向への走査機構として走査ステージ２４と光路長調整機構２１のいずれか一方を選択する。そして、光走査系２２と選択された第１の方向への走査機構の走査速度を決定する。
Ｌｃ＜Ｄｆの場合、つまり対物レンズ２５を用いる場合であるから光学装置はＯＣＴとなる。ＯＣＴでは、コヒーレンス長がｚ方向の分解能を決定する。そこで、走査制御機構２７は第１の方向への走査機構として光路長調整機構２１を選択する。これにより、試料４内で信号光路の光路長が参照光路の光路長と一致する位置が変化することになる。この時、対物レンズ２５と試料４との相対的な位置は変化しない。そして、光路長調整機構２１における光学素子の走査速度をｖ１、光走査系２２の走査速度をｖ２とすると、走査制御機構２７はｖ１＞ｖ２となるように各々の速度を設定する。
このように、Ｌｃ＜Ｄｆの場合は、光路長調整機構２１の走査速度（第１の方向の走査速度）を光走査系２２の走査速度（第２の方向の走査速度）よりも速く設定して、ｘ−ｚ断面画像を観測する。なお、第１の方向の走査を速く行うことは、光路長調整機構２１の走査で発生するドップラー周波数を利用したヘテロダイン干渉計測において、実用的なドップラー周波数を得る上で有効である。
一方、Ｌｃ≧Ｄｆの場合、つまり、ここでは対物レンズ２６を用いる場合であるから光学装置はＯＣＭとなる。ＯＣＭでは、焦点深度がコヒーレンス長以下となるため、観測点２９を第１の方向に走査するには、対物レンズ２６と試料４との相対的な位置を変化させる必要がある。そこで、走査制御機構２７は第１の方向への走査機構として走査ステージ２４を選択する。そして、走査ステージ２４の走査速度をｖ１、光走査系２２の走査速度をｖ２とすると、ｖ２＞ｖ１となるように各々の速度を設定する。
光走査系２２の具体的構成としては走査ミラーが考えられる。走査ミラーを使用した場合、走査ステージ２４による走査は、走査ミラーによる走査に比べて一般的に速度が遅い。したがって、試料のｘ−ｚ断面画像をできるだけ高速に観測するためには、第２の方向の走査を第１の方向よりも高速に行うのが最も効率的である。つまり、走査速度はｖ２＞ｖ１と設定されるのが望ましい。
なお、図３では走査ステージ２４により第１の方向を走査しているが、走査ステージ２４を固定して対物レンズ２６を第１の方向に移動させる機構にすることも可能である。そして、上記のような走査速度の設定は、第１の方向の走査を対物レンズ２６で行う場合にも好ましい。特に、第１の方向における観察範囲がコヒーレンス長よりも大きい場合には、対物レンズ２６による観測点２９の移動に応じて、光路長調整機構２１による光路長の調整も必要となる。よって、対物レンズ２６の走査速度ｖ１を光走査系２２の走査速度ｖ２より小さくすることにより、光路長の調整を行うことができる。
このように、走査制御機構２７は使用する対物レンズの切替に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
図３に示す構成では、説明を容易とするために、対物レンズ２５と２６の交換によりＯＣＴとＯＣＭの切り替えを行っている。しかしながら、本発明の光学装置の基本構成において、対物レンズ２６のみでＯＣＴとＯＣＭの観察も可能である。例えば、対物レンズ２６に入射する光の光束を絞ると有効開口数が小さくなり、対物レンズ２６は実質的に対物レンズ２５と同じになる。このようにすれば、１つの対物レンズによりＯＣＴ及びＯＣＭを行う構成も可能である。なお、有効開口数とは、実際に対物レンズ２６に入射する光束径によって決まる試料側の開口数である。
この場合、走査制御機構２７は以下の使用する対物レンズの有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
さて、図３の光学装置では光路長調整機構により周波数変調を行い、テロダイン干渉計測を行っている。しかしながら、これとは別に、音響光学素子のような光路長変化を伴わない周波数変調部材を配置して、ヘテロダイン干渉計測をすることができる。この場合の構成は、図３に示す構成と略同じであるが、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置する点が異なる。また、走査制御機構２７の動作において、Ｌｃ＜ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' の場合も走査速度をｖ２＞ｖ１に設定するという点で異なる。
光路長調整機構２１によって周波数変調が行われることは図３で説明した。しかしながら、図３に示したような折り返しミラーを駆動する構成では、光路長の調整範囲全体にわたって変調周波数を一定に保つことは難しい。このため、図３のような光路長調整機構２１だと、ドップラー周波数に広がりが生じＳ／Ｎ比の低下を招くおそれがある。
これに対して、音響光学素子のような周波数変調部材では、常に一定の周波数変調が行われる上、光路長変化を伴わない。したがって、光路長調整機構２１で周波数変調を行う必要がない。また、Ｌｃ＜Ｄｆ' の場合においても、Ｌｃ≧Ｄｆ' の場合と同じく、走査速度をｖ２＞ｖ１と設定することができ、光路長調整機構２１を高速に駆動する必要がない。前にも述べたが、光走査系２２の具体的手段としての走査ミラーは一般的に高速駆動が可能であるため、本発明の構成は、時間分解能を要求される観察においては特に有効である。
このように、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置しておくと、周波数変調のための機械的駆動機構が不要となる。よって、特に前述のＯＣＭにおいてより高速な観測を行うことができるので好ましい。
この場合、走査制御機構２７はＬｃとＤｆあるいはＬｃとＤｆ' の大小に関わらず、走査速度を以下のように設定するとともに、第１の方向への走査機構の選択を行う。
ｖ２＞ｖ１
なお、使用する対物レンズのＤｆあるいはＤｆ' の値に応じて、走査速度を切替える構成を説明したが、この構成においても参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置することも当然できる。
図４に、本発明の別の光学装置の構成を示す。
光源１を出た光は、光分岐部材２により参照光路と信号光路に分岐される。光分岐部材２を透過する参照光路の光は、光路長調整機構３１を通過して、光合成部材７に到達する。一方、光分岐部材２により反射された信号光路の光は、ハーフミラー１０を透過し、第２の方向に光を走査する光走査系３２により反射される。光走査系３２により反射された光は、瞳リレー光学系１１を通過して第３の方向に光を走査する光走査系３３に入射する。光走査系３３で反射された光は、瞳リレー光学系１１を通過して対物レンズ３５又は３６に入射し、試料４に照射される。試料４は走査ステージ３４に保持されている。試料４内の観測点（対物レンズによる集光位置）２９で反射・散乱された光は、対物レンズ３５又は３６、瞳リレー光学系１１、光走査系３３、３２を通過し、ハーフミラー１０で反射され、光合成部材７に到達する。光合成部材７で参照光路と信号光路の光が合成され、光検出素子８で検出される。
図４の光学装置においても、光路長調整機構３１が参照光路に配置されており、参照光路の光路長を変化させることができるようになっている。また、走査系は光走査系３２、３３と走査ステージ２４で構成されている。このうち、走査ステージ２４は第１の走査機構であって、試料４を第１の方向に移動させる。そして、光走査系３２は第２の走査機構であって、試料４内の観測点２９を対物レンズ２５の光軸と垂直な方向（第２の方向）に移動させる。また、光走査系３３は第３の走査機構であって、試料４内の観測点２９を第１及び第２の方向と垂直な方向（第３の方向）に移動させる。よって、図３の構成においては、第１の方向はｚ方向、第２の方向はｘ方向、第３の方向はｙ方向に一致する。なお、２つの瞳リレー光学系１１によって、対物レンズの瞳１３あるいは２３は光走査系３２と３３の位置にリレーされている。対物レンズの瞳１３と２３の瞳位置の違いは、図２の補正機構１２によって行われる。
走査制御手段３７は光走査系３２、３３と走査ステージ３４の走査速度、及び光路長調整機構３１の光学素子の移動速度（走査速度）を制御する機能を備えている。そして更に、走査制御手段３７は、第１の方向への走査機構として、走査ステージ３４と光路長調整機構３１のいずれか一方を選択する機能を備えている。
以上が本発明の別の光学装置の基本構成であるが、対物レンズとしてはＬｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ使用するのが好ましい。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
また、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズの他に、Ｌｃ＜Ｄｆを満足する開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ備えることもできる。そして、Ｌｃ≧Ｄｆ満足する対物レンズとＬｃ＜Ｄｆ満足する対物レンズの両方を備える場合、走査制御機構３７は対物レンズの切替に応じて走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。 Ｌｃ＜Ｄｆの場合、つまり、ここでは対物レンズ３５を用いる場合であり、光学装置はＯＣＴとなる。ＯＣＴでは、コヒーレンス長がｚ方向の分解能を決定する。そこで、走査制御機構３７は第１の方向への走査機構として光路長調整機構３１を選択する。これにより、試料４内で信号光路の光路長が参照光路の光路長と一致する位置が変化することになる。この時、対物レンズ３５と試料４との相対的な位置は変化しない。そして、光路長調整機構３１における光学素子の走査速度をｖ１、光走査系３２の走査速度をｖ２、光走査系３３走査速度をｖ３とすると、走査制御機構３７はｖ１＞ｖ２＞ｖ３となるように各々の速度を設定する。
このように、Ｌｃ＜Ｄｆの場合は、光路長調整手段３１の走査速度（第１の方向の走査速度）を走査系３２の走査速度（第２の方向の走査速度）よりも速く設定して、ｘ−ｚ断面画像を観測する。そして、走査系３３の走査速度（第３の方向の走査速度）を走査系３２の走査速度よりも更に遅く設定して、ｙ方向ごとのｘ−ｚ断面画像が得られるようにしている。これにより、図４の光学装置では試料４の３次元画像が得られる。なお、第１の方向の走査を速く行うことは、光路長調整手段２１の走査で発生するドップラー周波数を利用したヘテロダイン干渉計測において、実用的なドップラー周波数を得る上で有効である。
一方、Ｌｃ≧Ｄｆの場合、つまり、ここでは対物レンズ３６を用いる場合であり、光学装置はＯＣＭとなる。ＯＣＭでは、焦点深度がコヒーレンス長以下となるため、観測点３９を第１の方向に走査するには、対物レンズ３６と試料４との相対的な位置を変化させる必要がある。そこで、走査制御機構３７は第１の方向への走査機構として走査ステージ３４を選択する。そして、走査ステージ３４における光学素子の走査速度をｖ１、光走査系３２の走査速度をｖ２、光走査系３３の走査速度をｖ３とすると、走査制御機構３７はｖ２＞ｖ３＞ｖ１となるように各々の速度を設定する。
このように、Ｌｃ≧Ｄｆの場合は、走査ステージ３４の走査速度（第１の方向の走査速度）を光走査系３２の走査速度（第２の方向の走査速度）や光走査系３３の走査速度（第３の方向の走査速度）よりも遅く設定して、ｘ−ｙ断面画像を優先的に観測する。そして、ｘ−ｙ断面画像の取得後に走査ステージ３４を移動させ、新たなｚ位置でのｘ−ｙ断面画像が得られるようにしている。これにより、試料４の３次元画像が得られる。
光走査系３２、３３の具体的構成としては走査ミラーが考えられる。走査ミラーを使用した場合、走査ステージ３４による走査は、走査ミラーによる走査に比べて一般的に速度が遅い。したがって、試料４の３次元画像をできるだけ高速に観測するためには、第２の方向及び第３の方向の走査を第１の方向よりも高速に行うのが最も効率的である。つまり、走査速度はｖ２＞ｖ３＞ｖ１と設定されるのが望ましい。
また、図３の光学装置でも説明したように、走査ステージ３４を固定して対物レンズ３６を第１の方向に移動させる機構にすることも可能である。そして、上記のような走査速度の設定は、第１の方向の走査を対物レンズ３６で行う場合にも好ましい。特に、第１の方向における観察範囲がコヒーレンス長よりも大きい場合には、対物レンズ３６による観測点３９の移動に応じて、光路長調整機構３１による光路長の調整も必要となる。よって、対物レンズ３６の走査速度ｖ１を光走査系２２、２３の走査速度ｖ２、ｖ３より小さくすることにより、光路長の調整を行うことができる。
このように、走査制御機構３７は使用する対物レンズの切替に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
また、本発明の別の光学装置の基本構成においても、対物レンズ３６のみでＯＣＴとＯＣＭの観察も可能である。これは図３の光学装置で説明したように、対物レンズ３６に入射する光の光束を絞り有効開口数を小さくすれば良い。この結果、対物レンズ３６は実質的に対物レンズ３５と同じになるのでＯＣＴ用の対物レンズとなる。よって１つの対物レンズでＯＣＴ及びＯＣＭを行う構成も可能である。
この場合、走査制御機構３７は以下の使用する対物レンズの有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
また、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置することができる。この点については図３の光学装置で説明したとおりで、光路長調整機構３１において周波数変調を行う必要がなくなる。そのため、走査制御機構３７は使用する対物レンズの開口数あるいは有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ１＞ｖ３又はｖ２＞ｖ３＞ｖ１
Ｌｃ≧ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
このように、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置することにより、特に前述のＯＣＭにおいて、より高速な観測を行うことができる。前にも述べたが、走査系３２、３３の具体的手段としての走査ミラーは一般的に高速駆動が可能であるため、このような構成は、時間分解能を要求される観察においては特に有効である。
また、図３あるいは図４に示した光学装置において、光束径の大きさを変える光束径変換光学系を配置することもできる。この場合、光束径変換光学系は、光が光走査系に入射するかあるいは光走査系から射出される位置に配置すれば良い。この構成により、ＯＣＴやＯＣＭにおいて、所望の有効開口数を設定したり、あるいは対物レンズを交換した際に光の利用効率の低下を防ぐことができる。
また、その光束径変換光学系は、対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系とすることができる。この構成により、第２の方向あるいは第３の方向への走査を行う走査系を、対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置することも可能となる。
また、瞳リレー光学系によってリレーされた対物レンズの瞳位置と光走査系の位置を、略一致させる補正機構を設けても良い。この構成により、対物レンズの交換によって対物レンズの瞳位置が異なる場合においても、リレーされた瞳位置と光走査系の位置をほぼ一致させることができる。これにより、第２の方向あるいは第３の方向への走査を行う光走査系が対物レンズの瞳位置と常に共役な位置になるように構成でき、周辺光量不足等を防ぐことができる。
また、対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により、信号光路と参照光路との分散特性に差が生じる場合がある。そこで、この分散特性の差を補償する分散調整素子を設けるのが良い。更に、その分散調整素子は、分散調整量を選択的に又は連続的に調整可能であれば好ましい。
光源からの光として、スペクトルに幅を持つ光を使用した場合を考える。この光が光路中に配置された光学素子を通過するとき、その光学素子の分散特性に応じて波長によりその光路長が異なるという現象が起きる。例えば、光源のスペクトル分布が図１０（ａ）に示されるものであった場合に、図１０（ｂ）で示した分散特性を持つ光学素子を光が通過すると、図１０に示す波長λ１の光の光路長は波長λｈの光の光路長よりも長くなる。本発明の光学系あるいは光学装置において干渉計測を行う場合には、波長による光路長の差があると、Ｓ／Ｎ比の低下を招く。信号光路と参照光路との分散特性の差は、光束径変換光学系や補正機構による信号光路の光学系の変更、あるいは対物レンズの開口数（有効開口数）を変化させる操作に伴って発生する。そこで、上述の分散調整素子を用いることにより、信号光路と参照光路との分散特性の差を補償することができる。その結果、干渉計測におけるＳ／Ｎ比を向上させることができる。
また、対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により発生する光路長の変化分を、光路長調整量として光路長調整機構により補償するように構成することができる。この構成を用いることにより、上述の分散調整素子と同様に光路長変化分を補償することができる。
また、分散調整量又は光路長調整量あるいはその両方を記憶するための記憶手段を有するように構成しておくことが好ましい。これまで述べたように、ＯＣＴとＯＣＭを切り替えて使用する方法の一つとして、１つの対物レンズの有効開口数を変化させる方法がある。この場合、効率的でかつ高Ｓ／Ｎ比の観察を行うためには、有効開口数の変化に伴って分散の調整又は光路長の調整あるいはその両方を正確に行う必要がある。一方、様々な試料に最適な倍率で観察するためには、対物レンズを何種類も交換する必要がある。この場合、有効開口数も様々に変化するため、それに伴う分散の調整量や光路長調整量の組み合せも多くなる。
そのため、有効開口数が変化する度にそれぞれの最適な調整量を探るのは、観察操作を行う上で非常に煩雑となる。そこで、記憶手段で分散調整量又は光路長調整量あるいはその両方を予め記憶しておくことで、分散や光路長の調整操作時にこれを参照することができる。
また、光源は低コヒーレンス光源であることが好ましい。この構成により、低コヒーレンス干渉観察を行うことができる。
また、本発明の光学系を有する顕微鏡を構成することができる。これまでに述べた光学系を顕微鏡に組み込むか、あるいは顕微鏡に接続することで、顕微鏡システムの操作性を生かした効率的な観察を行うことができる。
また、以上の光学系を顕微鏡から取り外し可能にすることができる。この構成により、新規に顕微鏡システムを構築することなく、従来の顕微鏡にその光学系を後付けすることができる。また、１つの光学系を異なる複数の顕微鏡に取り付けることも可能となる。
以上述べたように、本発明の光学系と光学装置は、ＯＣＴ、ＯＣＭのどららの観察においても、画像取得に要する時間をできるだけ短くできることができる。したがって、生体試料を特にｉｎ ｖｉｖｏで観測する場合には、細胞や組織の動きを高い時間分解で観測したいという要求に応えることが可能となる。また、ＯＣＴとＯＣＭを切り替えた場合に、Ｓ／Ｎ比の低下を招くこともない。
以下、本発明の光学系及び光学装置の実施例を、図面を参照にして説明する。
（実施例１）
図５（ａ）は、本発明による光学系の実施例を示したものである。この実施例は低コヒーレンス干渉光学系の例であって、試料内の対物レンズの光軸に平行な断面の画像を観察するための光学系である。
図５（ａ）において、低コヒーレンス光源１０１からの光は、ファイバーカップラー１０２へ光ファイバーで導かれる。ファイバーカップラー１０２からの光は参照光路１０３と信号光路１０４に分岐される。参照光路１０３の光は、ＡＯＭ（音響光学素子）１３１を通過し、コリメータレンズ１０５で平行光として射出され、可動ミラー１０６で反射される。可動ミラー１０６による反射光はコリメータレンズ１０５より再び同じ光路を戻り、ＡＯＭ１３１を通過してファイバーカップラー１０２に到達する。
一方、信号光路１０４の光は、ＡＯＭ１３２を通過し、シングルモードファイバー端１９１を射出し、コリメータレンズ１０７で平行光として射出される。そして、射出した光はｘ方向の走査を行うガルバノミラー１０８で反射し、光束径変換光学系１１５内の瞳リレー光学系１０９を通過し、対物レンズ１１０により試料１１１に照射される。試料１１１内の観測点１１２からの散乱光は、再び対物レンズ１１０、瞳リレー光学系１０９、ガルバノミラー１０８、コリメータレンズ１０７、ＡＯＭ１３２を通ってファイバーカップラー１０２に到達する。参照光路１０３と信号光路１０４からの戻り光はファイバーカップラー１０２で合成され、光検出器１１４で検出される。光検出器１１４の出力は、信号処理装置１３３に入力される。この光学系においては、光分岐素子と合成素子が１つのファイバーカップラー１０２により構成されている。
本実施例では、コリメータレンズ１０５、可動ミラー１０６、及び可動ミラー１０６を移動させる図示されていない移動機構が光路長調整機構を構成している。可動ミラー１０６を高速で変位させることにより光の周波数のドップラーシフトが起こる。また、ＡＯＭ１３２、１３３を動作させることにより、各光路の光の周波数が変調される。これらを選択的に使用するか、又は組み合わせて使用することができる。参照光路１０３と信号光路１０４の光の差周波数成分を信号処理装置１３３で検出することにより、参照光路１０３と信号光路１０４のヘテロダイン干渉計測を行うことができる。
次に、信号光路の動作について説明する。対物レンズ１１０の瞳１１３は瞳リレー光学系１０９でリレーされる。ガルバノミラー１０８は、瞳リレー光学系１０９によってリレーされた瞳位置に配置されている。
対物レンズ１１０は、焦点深度が大きい、つまり、開口数の小さな対物レンズである。一方、図５（ｂ）は開口数の大きな対物レンズ１２０である。ここで、図５（ｂ）は、図５（ａ）において、対物レンズ１１０を対物レンズ１２０に切り替えられたときの光学系であって、ガルバノミラー１０８以降の光学系について示したものである。したがって、ＯＣＴ観察を行う場合には、対物レンズ１１０が使用される。一方、ＯＣＭ観察の場合は対物レンズ１２０が用いられ、シングルモードファイバー端１９１を共焦点ピンホールとする共焦点光学系による観察を行うことができる。
ここで、対物レンズ１２０の瞳１２３の瞳径は、対物レンズ１１０の瞳１１３の瞳径よりも小さい。このため、対物レンズ１２０を使用する場合には、光束径変換光学系１１５により瞳リレー光学系１０９を別の瞳リレー光学系１１９に変換する。ガルバノミラー１０８から対物レンズの瞳への瞳リレー倍率は、瞳リレー光学系１０９よりも瞳リレー光学系１１９の方が小さくなるように設定されている。したがって、ガルバノミラー１０８から射出される光束の径を、対物レンズの瞳径に一致させることできる。これにより、光源１０１からの光を無駄なく使用することができる。
さらに、対物レンズ１２０の瞳１２３の対物レンズ１２０内での位置は、対物レンズ１１０のそれとは異なっているが、瞳リレー光学系１１９によって瞳１２３はガルバノミラー１０８と共役になっている。すなわち、本実施例では、リレーされた対物レンズの瞳位置がガルバノミラー１０８に略一致しているから、光束径変換光学系１１５が補正機構としても作用していることになる。
（実施例２）
図６（ａ）は、本発明による光学装置の実施例を示したものである。本実施例は低コヒーレンス干渉光学装置の例であって、試料内の対物レンズの光軸に平行な断面の画像を観察するための光学装置である。
図６（ａ）において、低コヒーレンス光源２０１からの光は、ファイバーカップラー２０２へ光ファイバーで導かれる。ファイバーカップラー２０２からの光は参照光路２０３と信号光路２０４に分岐される。参照光路２０３の光は、ＡＯＭ２３１を通過し、ファイバー端２４１を射出の後、コリメータレンズ２４２で平行光に変換され、別のコリメータレンズ２４３を通過してファイバーカップラー２２２に導かれる。
一方、信号光路２０４の光は、ＡＯＭ２３２を通過し、サーキュレーター２４６を通過後、シングルモードファイバー端２９１から射出され、コリメータレンズ２０７で平行光に変換される。その後、光束径変換光学系２１５を通過し、ｘ方向の走査を行うガルバノミラー２０８で反射され、瞳リレー光学系２０９を通過し、対物レンズ２１０により試料２１１を照射する。試料２１１は、ｚ方向に移動可能なステージ２１６に固定されている。試料２１１内の観測点２１２からの散乱光は、再び対物レンズ２１０、瞳リレー光学系２０９、ガルバノミラー２０８、光束径変換光学系２１５、コリメータレンズ２０７を通り、サーキュレーター２４６を通過してファイバーカップラー２２２に到達する。参照光路２０３と信号光路２０４からの光はファイバーカップラー２２２で合成され、光検出器２１４で検出される。光検出器２１４の出力は、信号処理装置２３３に入力される。
まず、信号光路の動作について説明する。本実施例では、低コヒーレンス光源２０１は、中心波長１．３μｍ、コヒーレンス長２０μｍの光源である。そして、図６（ａ）の対物レンズ２１０には開口数０．５のものを用いている。このとき、
Ｌｃ＝２０μｍ
Ｄｆ＝５．２μｍ
となるので、対物レンズ２１０は、Ｌｃ≧Ｄｆを満たしている。
図６（ａ）においては、対物レンズ２１０に入射する光束径は、対物レンズ２１０の瞳２１３の瞳径に一致している。このため、有効開口数は対物レンズ２１０の開口数に等しい。したがって、この状態においてはＯＣＭによる観察を行うことができる。そこで、走査制御機構２７０は、第１の方向（ｚ方向）の走査機構としてステージ２１６を選択し、振動周波数を１０Ｈｚに設定する。また、第２の方向（ｘ方向）の走査機構であるガルバノミラー２０８の振動周波数を４ｋＨｚに設定する。
本実施例の光学装置では、観察範囲をｘ：４００μｍ、ｚ：４００μｍとし、ｘ−ｚ断面の１画像の走査時間を０．１秒に設定している。そして、得られる画素数を４００×４００画素とすると、上記振動周波数を平均走査速度に換算すれば、ｘ：３．２ｍ／秒（＝ｖ２）、ｚ：８ｍｍ／秒（＝ｖ１）となり、ｖ２＞ｖ１となっている。つまり、ｘ方向に高速走査を行い、ｚ方向は相対的に低速で走査を行うことで、ｘ−ｚ画像を得る。なお、干渉信号の計測については、参照光路及び信号光路に配置されたＡＯＭ２３１及び２３２の変調周波数の差周波数を用いたヘテロダイン計測を行う。差周波数成分の検出は信号処理装置２３３により行われる。
一方、図６（ｂ）は、図６（ａ）と同じ対物レンズ２１０を用いてＯＣＴ観察を行う例である。ここでは、図６（ａ）のうち、コリメータレンズ２０７より後の光学系を抜き出して示している。光束径変換光学系２１５は光束径変換光学系２１９を有しており、光束径変換光学系２１９をコリメータレンズ２０７とガルバノミラー２０８の間に挿入できる機構となっている。光束径変換光学系２１９は、コリメータレンズ２０７から射出される平行光束の光束径を縮小する倍率を有している。例えば、この光束径変換光学系２１９が光路中に挿入された場合、対物レンズ２１０の有効開口数は０．０３５となるように倍率が設定されている。このとき、Ｄｆ' は、
Ｄｆ' ＝約１ｍｍ
となるので、図６（ｂ）の光学系では、Ｌｃ＜Ｄｆ' を満たしていることになる。
図６（ｂ）の光学系でのＯＣＴ観察においても、ｘ−ｚ断面の１画像の走査時間を０．１秒に設定している。ＯＣＴでは、一般的に、第１の方向（ｚ方向）の走査は、例えば図５（ａ）における可動ミラー１０６を高速に振動させ、このとき発生するドップラー周波数を利用したヘテロダイン計測を行うことが多い。しかしながら、本実施例では、ＯＣＴの場合においても、ＡＯＭ２３１及び２３２によって生じる変調周波数を用いてヘテロダイン計測を行う。このため、ｚ方向への高速走査は必要ない。そこで、走査制御機構２７０は第１の方向の走査速度ｖ１と第２の方向の走査速度ｖ２について、図６（ａ）と同じく、ｖ２＞ｖ１となるように設定する。
この設定により、第２の方向の走査においては、図６（ａ）と同じガルバノミラー２０８を同じ走査速度で駆動することが可能で、ガルバノミラー２０８の制御機構が簡易的なものとなる。一方、第１の方向の走査機構については、ステージ２１６又は参照光路の光路長調整機構２６０を用いることができる。ステージ２１６を用いた場合には、光路長調整手段２６０には走査機構が不要となるメリットがある。
このように、本実施例では、ＯＣＴとＯＣＭの両者の観察において、対物レンズ、ｘ方向走査機構・走査速度、ｚ方向走査機構、ヘテロダイン計測のための光変調手段を全て共通化することができる。
次に、参照光路の光路長調整機構２６０について説明する。光路長調整機構２６０の主な構成要素は、コリメータレンズ２４２、２４３、駆動ステージ２４５、駆動部２４４である。ファイバー端２４１とコリメータレンズ２４２は駆動部２４４に固定されている。駆動部２４４は駆動ステージ２４５上を移動する。これにより、コリメータレンズ２４２と２４３の間の光路長が変化し、光路長の調整が行われる。
光束径変換光学系２１５において、光束径変換光学系２１９を信号光路に挿脱すると、ＯＣＭ用の図６（ａ）の光学系とＯＣＴ用の図６（ｂ）の光学系が切り替わる。このとき、光束径変換光学系２１９の挿脱によって、新たな光路長の変化が起こる。光路長の変化が起こると、ＯＣＭとＯＣＴでの観測位置が大きく異なる可能性がある。さらには、観測点２１２が試料２１１から外れてしまう可能性もある。そのため、これらの可能性を無くすために、何らかの光学的な補償をする必要がある。
そこで、光路長調整機構２６０の駆動部２４４を上記光路長の変化分に相当する距離だけ移動させて、光路長変化の影響をなくすことができる。また、本実施例では、光路長調整量の記憶手段として、指示マーク２６１が駆動部２４４に、また、調整用目盛２６２、２６３が駆動ステージ２４５に記されているため、容易に光路長調整量の切り替えが行える。
また、コリメータレンズ２４２と２４３の間には、例えばプリズムや回折格子のような分散調整素子２５１が挿脱可能であるように構成されている。これは、信号光路と参照光路の間で発生する分散特性の差を補償するものである。なお、この分散特性の差は、光束径変換光学系２１９の信号光路への挿脱により発生する。これにより、光学系の切り替えに伴うＳ／Ｎ比の低下を防ぐことができる。
本実施例においては、走査制御機構２７０、光束径変換光学系２１５、光路長調整機構２６０及び分散調整素子２５１を電気的に制御し、ＯＣＴとＯＣＭの切り替えに係わる煩雑な操作を全て自動的に行うことも可能である。
（実施例３）
図７（ａ）は、本発明による光学装置の別の実施例を示したものである。本実施例も低コヒーレンス干渉光学装置の例であって、試料内の３次元画像を観察するための光学装置である。
図７（ａ）において、低コヒーレンス光源３０１からの光は、ファイバーカップラー３０２へ光ファイバーで導かれる。ファイバーカップラー３０２からの光は参照光路３０３と信号光路３０４に分岐される。参照光路３０３の光は、ＡＯＭ３３１、サーキュレーター３４７を通ってコリメータレンズ３４２で平行光に変換される。さらに、分散調整素子３５１を通過し、可動ミラー３０６で反射される。反射光は、再び分散調整素子３５１、コリメータレンズ３４２、サーキュレータ３４７を通って、ファイバーカップラー３２２に到達する。
一方、信号光路３０４の光は、ＡＯＭ３３２、サーキュレーター３４６を通り、シングルモードファイバー端３９１から射出される。そして、コリメータレンズ３０７を通過し、ガルバノミラー３１８で反射され、瞳リレー光学系３１９を通過し、ガルバノミラー３０８に入射する。ガルバノミラー３０８で反射された光は、瞳リレー光学系３０９を通過後、対物レンズ３１０により試料３１１に照射される。試料３１１は、ステージ３１６に固定されている。
試料３１１内の観測点３１２からの散乱光は、再び対物レンズ３１０、瞳リレー光学系３０９、ガルバノミラー３０８、瞳リレー光学系３１９、ガルバノミラー３１８、コリメータレンズ３０７を通過し、サーキュレーター３４６を通って、ファイバーカップラー３２２に到達する。参照光路３０３と信号光路３０４からの光はファイバーカップラー３２２で合成され、光検出器３１４で検出される。光検出器３１４の出力は、信号処理装置３３３に入力される。
本実施例では、低コヒーレンス光源３０１は、中心波長１．３μｍ、コヒーレンス長２０μｍの光源である。対物レンズ３１０には、開口数０．５のものを用い、図７（ａ）においてＯＣＭ観察用の光学系を構成している。このとき、 Ｌｃ＝２０μｍ
Ｄｆ＝５．２μｍ
となるので、対物レンズ３１０は、Ｌｃ≧Ｄｆを満たしている。一方、図７（ｂ）はＯＣＴ観察用の光学系の一部で、図７（ａ）におけるガルバノミラー３０８以降を抜き出して示したものである。対物レンズ３２０の開口数は０．０２５であり、
Ｄｆ＝約２ｍｍ
となるので、対物レンズ３２０は、Ｌｃ＜Ｄｆを満たしている。
本実施例では、第２の方向（ｘ方向）と第３の方向（ｙ方向）の走査用に、ガルバノミラー３０８、３１８を有している。また、第１の方向（ｚ方向）の走査用に、ステージ３１６又は光路長調整機構（可動ミラー３０６）を有している。
よって、ＯＣＴ観察、ＯＣＭ観察の両者において、３次元観察が可能である。
本実施例における対物レンズ３１０と３２０では、それぞれの瞳３１３及び３２３の瞳径及び瞳位置が異なっている。対物レンズの瞳位置と走査ミラー位置が共役な位置関係になっていないと、ケラレが生じることは先に説明したとおりである。そこで、本実施例では、光束径を瞳径と一致すさせるため、対物レンズ３２０を使用する際に、光束径変換光学系としてアダプターレンズ（光束径変換光学系）３７３を、瞳リレー光学系３０９と対物レンズ３２０の間に配置する。この構成の利点は、瞳リレー光学系３０９を変更する必要がないという点である。図７（ｂ）のＯＣＴ観察においては、ｘ−ｚ断面の２次元像を観察し、その画像において注目する領域を、図７（ａ）のＯＣＭ観察により３次元で観察を行うという設定をしている。まず、ＯＣＴ観察では、対物レンズ３２０を使用し、アダプターレンズ３７３を光路内に挿入する。第１の方向の走査は参照光路３０３内の可動ミラー３０６により行い、第２の方向の走査は走査ミラー３０８により行う。ここでは、可動ミラー３０６の走査による光周波数のドップラーシフトを利用したヘテロダイン干渉計測を行うため、走査速度は第２の方向よりも第１の方向の方が速く設定される。走査速度の設定は、走査制御機構としてのコンピュータ３７１により制御されている。
次に、ＯＣＭ観察を行う場合には、対物レンズ３１０が光路中に挿入され、アダプターレンズ３７３が光路から外れる。第２及び第３の方向の走査は、それぞれ走査ミラー３０８、３１８により行われる。また、第１の方向の走査はステージ３１６により行われる。３次元画像の取得は、まず、ｘ−ｙ断面の２次元像を取得し、これをｚ方向に走査することにより行う。そのため、ｚ方向の走査が最も遅くなるように設定される。
第１の方向の走査機構を光路長調整機構（可動ミラー３０６）からステージ３１６へ切り替える操作、及び各走査機構の走査速度の設定は、コンピュータ３７１により制御される。また、ＯＣＭ観測の場合、ヘテロダイン干渉計測のための光周波数変調部材には、ＡＯＭ３３１及び３３２が用いられる。また、ＯＣＴ、ＯＣＭのそれぞれのヘテロダイン検波においては、可動ミラー３０６によって生じるドップラー周波数、あるいは、ＡＯＭ３３１と３３２によって生じる差周波数を信号処理装置３３３で処理する。具体的には、ロックインアンプ等が使用される。信号処理装置３３３の出力はコンピュータ３７１に取り込まれ、画像への変換を行い、表示装置３７２により画像表示が行われる。
図７（ｂ）で、アダプターレンズ３７３を光路内に挿入すると、アダプターレンズ３７３による分散及び光路長の変化が発生する。分散の変化については、参照光路内に配置された分散調整素子３５１により補償することが可能である。この分散の調整も、コンピュータ３７１により制御可能である。なお、この分散調整素子３５１は、図７（ａ）に示すようなくさびプリズムを向かい合わせた構成にすることにより、分散量を連続的に調整することができる。対物レンズや試料が交換された際に、参照光路３０３と信号光路３０４の間で分散特性に差が出る可能性があるが、この構成によりわずかな分散特性の差の調整も可能である。
図７（ａ）では、ＯＣＭ観察におけるｚ方向走査、つまり、観測点３１２の第１の方向への走査の手段としてステージ３１６を用いたが、別の手段として、例えば対物レンズ３１０をｚ方向に走査することも可能である。このような構成は、ステージ３１６に試料３１１を載せることが困難な場合や、試料３１１が生体試料であって試料３１１を走査することができない場合に有効である。ただし、この場合は、対物レンズ３１０のｚ方向走査に伴い、信号光路の光路長が変化するため、これと同期して参照光路の可動ミラー３０６を同時に走査する必要がある。
（実施例４）
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、リレーされた瞳位置を補正する例を示している。ここでは、ＯＣＴとＯＣＭのそれぞれに用いられる対物レンズの瞳の瞳径は同じで、瞳の位置が異なる場合を示している。図８（ａ）は図７（ａ）の一部について示し、図８（ｂ）は図７（ｂ）と同じ部分を示している。
対物レンズ４１０と４２０のそれぞれの瞳４１３と４２３の瞳径は同じ大きさである。ただし、それぞれの瞳の位置が異なっている。本実施例では、瞳とガルバノミラーの位置関係を共役にするため、補正機構として図８（ａ）、（ｂ）に示すように、平行平面板４７３を光路中に挿脱する。平行平面板４７３の材質は、ガラス、結晶、透明樹脂などである。この構成を用いると、比較的簡単な光学素子を用いるだけで、瞳リレー光学系４０９を変更する必要がなく、また、走査ミラー、瞳リレー光学系、試料のそれぞれの相対位置をほとんど一定に保ったまま、対物レンズを交換することができるという利点がある。
（実施例５）
図９は、本発明の光学系と顕微鏡を組合わせた例を示すものである。図９では、図７及び図８に示された光学装置に用いられている光学系を顕微鏡に応用している。図９においては、図７の干渉光学系３８０の信号光路が、走査光学系５０３に導入され、走査光学系５０３からの光が顕微鏡５０１に入射する。走査光学系５０３は、図８に示された光学系で構成されている。
顕微鏡５０１はレボルバ５２０を備えており、ここに図８で用いられた対物レンズ４１０、４２０と別の対物レンズ５１０が取り付けられている。このレボルバ５２０を回転させることによって対物レンズを変換し、ＯＣＴとＯＣＭの観察を切り替えて行うことができる。
干渉光学系３８０と走査光学系５０３は、コンピュータ３７１により制御することが可能である。また、干渉光学系３８０と走査光学系５０３は、走査干渉光学ユニット５０２として一体に構成することが可能である。そして、この走査干渉光学ユニット５０２は顕微鏡５０１から取り外し可能であるように構成されている。したがって、観察用途に適した様々な顕微鏡に、この走査干渉光学ユニット５０２を取り付けることができる。
以上の本発明の光学系及び光学装置は、例えば次のように構成することができる。
〔１〕 光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記光源からの光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備え、
前記光分岐部材と前記対物レンズの間に光束径変換光学系を配置したことを特徴とする光学系。
〔２〕 前記光束径変換光学系は、対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系であることを特徴とする上記１記載の光学系。
〔３〕 前記走査系は光走査系、ステージ走査系であることを特徴とする上記１記載の光学系。
〔４〕 光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置され対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系と、
前記信号光路に配置され前記瞳リレー光学系によってリレーされた瞳位置の近傍に配置された光走査系と、
前記リレーされた瞳位置と前記光走査系を略一致させる補正機構と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備えたことを特徴とする光学系。
〔５〕 前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光の周波数を変調する周波数変調部材を有することを特徴とする上記１から４の何れか１項記載の光学系。
〔６〕 前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光路長を変化させる光路長調整機構を有することを特徴とする上記１から５の何れか１項記載の光学系。
〔７〕 前記光路長調整機構が、光の周波数を変調可能であることを特徴とする上記６記載の光学系。
〔８〕 前記光検出素子で検出された光に対し、前記参照光路と前記信号光路との間の光の差周波数成分の信号を取得するための信号処理装置を有することを特徴とする上記５記載の光学系。
〔９〕 前記光検出素子で検出された光に対し、前記参照光路と前記信号光路との間の光の差周波数成分の信号を取得するための信号処理装置を有することを特徴とする上記７記載の光学系。
〔１０〕光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置される少なくとも１つの対物レンズと、
前記対物レンズによって集光された光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子と、
前記光分岐部材と前記光合成部材の間に配置され光路長を変化させる光路長調整機構と、
走査制御機構を備えた光学装置であって、
前記走査系は前記集光された光と前記試料を前記対物レンズの光軸に平行な第１の方向に相対的に移動させる第１の走査機構と、前記集光された光と前記試料を該第１の方向と垂直な第２の方向に移動させる第２の走査機構を少なくとも備え、
前記走査制御機構は前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の何れかを選択する機能と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度を決定する機能とを備えたことを特徴とする光学装置。
〔１１〕 前記信号光路に配置可能で、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する少なくとも１つの対物レンズを有することを特徴とする上記１０記載の光学装置。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
〔１２〕 前記信号光路に配置可能で、Ｌｃ＜Ｄｆを満たす開口数を有する少なくとも１つの対物レンズを有することを特徴とする上記１１記載の光学装置。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
〔１３〕 前記走査制御機構は、前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の選択と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度の決定を、前記対物レンズの交換に伴い選択的に切り替えることを特徴とする上記１２記載の光学装置。
〔１４〕 前記走査制御機構は、以下のように前記走査速度の設定を行う上記１３記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
〔１５〕 前記走査制御機構は、以下のように前記走査速度の設定を行う上記１１記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
〔１６〕 前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を有することを特徴とする上記１０から１５の何れか１項記載の光学装置。
〔１７〕 前記参照光路又は前記信号光路のいずれか一方、あるいはその両方の光路に周波数変調部材を設け、該周波数変調部材は光路長を変化させることなく光の周波数を変調する作用を有し、該前記走査制御機構はＬｃとＤｆあるいはＬｃとＤｆ' の大小に関わらず、
ｖ２＞ｖ１
となるように前記走査速度を設定することを特徴とする上記１０から１３の何れか１項記載の光学装置。
ここで、Ｄｆ、Ｄｆ' は一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式、対物レンズの開口数をＮＡ' とした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
〔１８〕 前記走査系は前記第２の方向と垂直な方向に移動させる第３の走査機構を有し、前記走査制御機構は以下のように走査速度の設定を行う上記１３記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
〔１９〕 前記走査系は前記第２の方向と垂直な方向に移動させる第３の走査機構を有し、前記走査制御機構は以下のように走査速度の設定を行う上記１１記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
〔２０〕 前記走査系は前記第２の方向と垂直な方向に移動させる第３の走査機構を有し、前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を有することを特徴とする上記１３記載の光学装置。
〔２１〕 前記走査制御機構は使用する対物レンズの開口数あるいは有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定を行う上記２０記載の光学装置。
Ｌｃ＜ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ１＞ｖ３又はｖ２＞ｖ３＞ｖ１
Ｌｃ≧ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
〔２２〕 前記走査系に入射するかあるいは前記走査系から射出する光の光束径を変換する光束径変換光学系を有することを特徴とする上記１０から２１の何れか１項記載の光学装置。
〔２３〕 前記光束径変換光学系は、前記対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系であることを特徴とする上記２２記載の光学装置。
〔２４〕 前記信号光路に配置され、前記対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系と、前記瞳リレー光学系によりリレーされた瞳位置と前記光走査系の位置を略一致させる補正機構とを有することを特徴とする上記１０から２３の何れか１項記載の光学系。
〔２５〕 前記対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により発生する、前記信号光路と前記参照光路との分散特性の差を補正する分散調整素子であって、その分散調整量を選択的に又は連続的に調整可能である分散調整素子を有することを特徴とする上記１から２４の何れか１項記載の光学系あるいは光学装置。
〔２６〕 前記対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により発生する光路長の変化分を、光路長調整量として前記光路長調整機構により補償することを特徴とする上記６、７、９から２５の何れか１項記載の光学系あるいは光学装置。
〔２７〕 前記分散調整量又は前記光路調整量あるいはその両方を記憶するための記憶手段を有することを特徴とする上記２５または２６記載の光学系あるいは光学装置。
〔２８〕 前記光源は低コヒーレンス光源であることを特徴とする上記１から２７の何れか１項記載の光学系あるいは光学装置。
〔２９〕 上記１から８の何れか１項記載の光学系を有する顕微鏡。
〔３０〕 前記光学系が前記顕微鏡から取り外し可能であることを特徴とする上記２９記載の顕微鏡。
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の光学系及び光学装置によれば、ＯＣＴとＯＣＭの両者において、それぞれに最適な効率の良い観察を行い、両者の観察を容易に切り替えることができる。また、ＯＣＴとＯＣＭを切り替えて観察する場合において、切り替えに伴うＳ／Ｎ比の低下を防ぎ、両者の観察において高いＳ／Ｎ比を実現することできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光束径変換光学系を備えた光学系の構成を示す図であって、（ａ）入射光束径と射出光束径が同じ場合を示す図、（ｂ）入射光束径に比べて射出光束径が大きく変換された場合を示す図である。
【図２】瞳リレー位置補正機構を有する本発明の光学系の構成を示す図である。
【図３】本発明の光学装置の構成を示す図である。
【図４】観測範囲を３次元に拡張した本発明の光学装置の構成を示す図である。
【図５】実施例１の光学系の構成を示す図であって、（ａ）ＯＣＴ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図、（ｂ）ＯＣＭ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図である。
【図６】実施例２の光学装置の構成を示す図であって、（ａ）ＯＣＭ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図、（ｂ）ＯＣＴ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図である。
【図７】実施例３の光学装置の構成を示す図であって、（ａ）ＯＣＭ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図、（ｂ）ＯＣＴ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図である。
【図８】実施例４の光学装置の一部の構成を示す図であって、（ａ）補正機構によって瞳リレー位置が補正されたときの図、（ｂ）補正機構がないときの図である。
【図９】実施例５として本発明の光学系有する顕微鏡の例を示す図である。
【図１０】低コヒーレンス光源のスペクトル分布と光学素子の分散特性を示す図である。
【図１１】低コヒーレンス干渉法のための一般的な光学系を示す図である。
【符号の説明】
１…光源
２…光分岐素子
３…対物レンズ
４…試料
５、２２、３２、３３…光走査系
６…光束径変換光学系
７…光合成素子
８…光検出素子
９…折り返しミラー
１０…ハーフミラー
１１…瞳リレー光学系
１２…補正機構
１３…対物レンズの瞳
２１…光路長調整機構
２４、３４…走査ステージ
２５、２６…対物レンズ
２７、３７…走査制御機構
２９、３９…観測点
３１…光路長調整機構
３５、３６…対物レンズ
８１…光源
８２…ビームスプリッタ
８３…反射鏡
８４…光検出器
８６…観測点
１０１…低コヒーレンス光源
１０２…ファイバーカップラー
１０３…参照光路
１０４…信号光路
１０５…コリメータレンズ
１０６…可動ミラー
１０７…コリメータレンズ
１０８…ガルバノミラー
１０９…瞳リレー光学系
１１０…対物レンズ
１１１…試料
１１２…観測点
１１３…対物レンズの瞳
１１４…光検出器
１１５…光束径変換光学系
１１９…瞳リレー光学系
１２０…対物レンズ
１２３…対物レンズの瞳
１３１、１３２…ＡＯＭ（音響光学素子）
１３３…信号処理装置
１９１…シングルモードファイバー端
２０１…低コヒーレンス光源
２０２…ファイバーカップラー
２０３…参照光路
２０４…信号光路
２０７…コリメータレンズ
２０８…ガルバノミラー
２０９…瞳リレー光学系
２１０…対物レンズ
２１１…試料
２１２…観測点
２１３…対物レンズの瞳
２１４…光検出器
２１５…光束径変換光学系
２１６…ステージ
２１９…リレー系
２２２…ファイバーカップラー
２３１、２３２…ＡＯＭ
２３３…信号処理装置
２４１…ファイバー端
２４２、２４３…コリメータレンズ
２４４…駆動部
２４５…駆動ステージ
２４６…サーキュレーター
２５１…分散調整素子
２６０…光路長調整機構
２６１…指示マーク
２６２、２６３…調整用目盛
２７０…走査制御機構
２９１…シングルモードファイバー端
３０１…低コヒーレンス光源
３０２…ファイバーカップラー
３０３…参照光路
３０４…信号光路
３０６…可動ミラー
３０７…コリメータレンズ
３０８…ガルバノミラー
３０９…瞳リレー光学系
３１０…対物レンズ
３１１…試料
３１２…観測点
３１３…対物レンズの瞳
３１４…光検出器
３１６…ステージ
３１８…ガルバノミラー
３１９…瞳リレー光学系
３２０…対物レンズ
３２２…ファイバーカップラー
３２３…対物レンズの瞳
３３１、３３２…ＡＯＭ
３３３…信号処理装置
３４２…コリメータレンズ
３４６、３４７…サーキュレーター
３５１…分散調整素子
３７１…コンピュータ
３７２…表示装置
３７３…アダプターレンズ
３８０…干渉光学系
３９１…シングルモードファイバー端
４０９…瞳リレー光学系
４１０…対物レンズ
４１３…対物レンズの瞳
４２０…対物レンズ
４２３…対物レンズの瞳
４７３…平行平面板
５０１…顕微鏡
５０２…走査干渉光学ユニット
５０３…走査光学系
５１０…対物レンズ
５２０…レボルバ
本発明は、光学系及び光学装置に関し、特に、ＯＣＴとＯＣＭの観察に切り替え可能な光学系及び光学装置に関するものである。
【従来の技術】
生物標本の内部を観察できる光学装置として、特開昭６１−２１９９１９号公報に開示されている共焦点光学系を備えた走査型光学顕微鏡が知られている。また、特開平４−１４６４１０号公報には、走査光学系において、対物レンズの瞳の大きさや瞳位置に対して対物レンズに入射する光の光束径を変換したり走査ミラーの位置を調整したりする技術が記載されている。
また、近年では、生体組織等の不透明な散乱体内部が観察できる手法として、米国特許第５，３２１，５０１号等に開示されているような低コヒーレンス干渉法あるいはＯＣＴ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）と呼ばれる手法が知られるようになってきた。図１１は、低コヒーレンス干渉法のための一般的な光学系を示している。コヒーレンス長（あるいは可干渉距離）が短い光源８１を用い、この光源８１からの光をビームスプリッタ８２により試料４へ導く信号光路と反射鏡８３へ導く参照光路とに分割する。それぞれの光路を往復して戻ってきた光を再びビームスプリッタ８２で合成したとき、参照光路と略等しい光路長を形成する信号光路の試料４内の観測点８６にあって、コヒーレンス長に略等しい光軸方向の範囲に存在する領域から散乱されて戻ってきた光のみが参照光と干渉する。したがって、この干渉信号を検出器８４で検出することにより、試料内部の情報を光軸方向において選択的に得ることができる。
通常、参照光路の反射鏡８３を光軸方向に移動することにより、試料４の深さ方向の走査を行うと同時に、参照光にドップラーシフトを与える。一般的に、低コヒーレンス干渉法では、干渉信号のうちドップラーシフト周波数のビート信号を検波するいわゆるヘテロダイン干渉計測を行うので、非常に高いＳ／Ｎ比での測定を行うことができる。
ここで、走査ミラーにより光軸に垂直な方向にも走査を行うことで、図１１におけるｘ−ｚ断面の像を得ることができる。対物レンズの焦点深度を、参照光路の反射鏡の移動範囲よりも大きく設定しておくことで、反射鏡を移動しても略一定のｘ−ｙ面内分解能を保つことができ、反射鏡を高速に動かせば画像取得も高速に行える。この場合、大きな焦点深度が必要となるために、対物レンズの開口数は小さいものを用いることになる。
一方、Ｏｐｔｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ ｖｏｌ．１９，Ｎｏ．８，ｐ．５９０（１９９４）に示されているように、低コヒーレンス干渉法において、対物レンズの開口数を大きなものとし、共焦点光学系を使用した顕微鏡観察法が知られている。この観察法は、ＯＣＭ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）と呼ばれるものであり、共焦点光学系による高い空間分解能と、低コヒーレンス干渉法の高いＳ／Ｎ比が組み合わされた顕微鏡技術である。ＯＣＴでは対物レンズの焦点深度に比べコヒーレンス長が短いのに対し、ＯＣＭでは対物レンズの焦点深度はコヒーレンス長と同等かそれ以下となる。ＯＣＭでは、図１１のｘ−ｙ面における分解能が高いというメリットを生かして、光軸に垂直な方向に走査するためのｘ、ｙ両方向の走査ミラーを用い、ｘ−ｙ面内の高分解画像を得ることができる。ＯＣＭにおいても、ＯＣＴと同様に、ヘテロダイン干渉計測を応用することで、生体内部を高分解能で観察することができる。ＯＣＴとＯＣＭのそれぞれの技術の特徴については、Ｏｐｔｉｃｓ ＆ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｎｅｗｓ，Ｍａｙ，ｐ．４１（１９９７）にも掲載されている。
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、ＯＣＴは試料の深さ方向（ｚ方向）において広い範囲を観察することができる。しかしながら、ある深さ位置において高分解能で試料を観察することはできない。逆に、ＯＣＭはある深さ位置において高分解能で試料を観察することはできるが、焦点深度が浅いため目的の深を見つけるまでに時間がかかるという問題がある。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、観察したい試料内の位置（深さ位置）を容易に見つけることができ、なお且つその深さ位置において高分解能、高Ｓ／Ｎ比で観察ができる光学系及び光学装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の光学系は、光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記光源からの光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備え、
前記光分岐部材と前記対物レンズの間に光束径変換光学系を配置したことを特徴とするものである。
また、本発明の別の光学系は、光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置され対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系と、
前記信号光路に配置され前記瞳リレー光学系によってリレーされた瞳位置の近傍に配置された光走査系と、
前記リレーされた瞳位置と前記光走査系を略一致させる補正機構と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の光学装置は、光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置される少なくとも１つの対物レンズと、
前記対物レンズによって集光された光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子と、
前記光分岐部材と前記光合成部材の間に配置され光路長を変化させる光路長調整機構と、
走査制御機構を備えた光学装置であって、
前記走査系は前記集光された光と前記試料を前記対物レンズの光軸に平行な方向に相対的に移動させる第１の走査機構と、前記集光された光と前記試料を該１の方向と垂直な第２の方向に移動させる第２の走査機構を少なくとも備え、
前記走査制御機構は前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の何れかを選択する機能と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度を決定する機能とを備えたことを特徴とするものである。
【発明の実施の形態】
上述したように、上記ＯＣＴは、開口数の小さな一般的には低倍率の対物レンズを使用して、試料の深さ方向（ｚ方向）において広い範囲を観察するのに適していると言える。一方、ＯＣＭは、一般的には共焦点光学系と開口数の大きな高倍率の対物レンズを用いて、生体試料の内部を高分解能で観察するのに適している。よって、試料の内部観察において、試料内の大きな構造の確認や各部位の位置関係の把握を行った上で、その中の注目領域についてさらに細かい分解能で観察を行う場合等、ＯＣＴとＯＣＭの両者を容易に切り替えて観察することは非常に有効な手法となる。
図１（ａ）は本発明の光学系の構成を示す図で、ＯＣＴとＯＣＭの両者を容易に切り替えて観察することができる光学系を示している。この図を用いて本発明の光学系の構成と作用を説明する。
光源１から出た光は、光分岐部材２により参照光路と信号光路に分岐される。参照光路とは、図１（ａ）においては、光分岐部材２を透過し、折り返しミラー９を経由する光路である。一方、信号光路とは、光分岐部材２により反射される光路である。光分岐部材２により反射された光は、ハーフミラー１０を透過して、光束径変換光学系６、光走査系５、対物レンズ３を通過し、試料４に照射される。試料４により反射・散乱された光は、対物レンズ３、光走査系５、光束径変換光学系６を通過し、ハーフミラー１０で反射される。参照光路と信号光路は光合成部材７によって合成され、光検出素子８で検出される。
前述のように、ＯＣＴとＯＣＭでは試料側の焦点深度が大きく異なるため、両者の観察を行うためには少なくとも２種類の開口数を持つ光学系が必要となる。そこで、本発明の光学系では、光束径変換光学系６を光学系内に配置することで、異なる開口数を持つ光学系に応じた光束径が設定できるようにしている。
光束径変換光学系６は、対物レンズ３に入射する光の光束径を変換することができる。したがって、図１（ａ）に示したように、光束径変換光学系６により光束径を小さくすることにより対物レンズ３の実質的な開口数は小さくなる。また、光束径変換光学系６により光束径を大きくすることにより、図１（ａ）の点線内の構成は、図１（ｂ）に示すように、対物レンズ３の開口数を大きくする構成とすることができる。したがって、例えば開口数の小さな対物レンズ３を使用するＯＣＴでの観察と、開口数の大きな対物レンズ３を使用するＯＣＭでの観察の両者を切り替えて行う場合、上記の構成を用いることにより最適な光束径を設定することができる。これにより、どちらの観察の場合も、光量損失を起こさずに対物レンズ３の切り替えを行うことができる。
特に、低コヒーレンス干渉法等により生体試料等を観察する場合には、試料４からの戻り光が微弱であり、光の利用効率の低下は最も避けなければならない事項である。しかしながら、本発明の構成を用いることにより、様々な対物レンズ３に最適な光束径が設定できる。よって、常に高い光の利用効率が実現されるので、高Ｓ／Ｎ比での観察が可能となる。
なお、光分岐部材２や光合成部材７は、ハーフミラー、ビームスプリッタあるいはファイバカプラーのように、入射した光を透過光と反射光に分岐する境界面を有する光学素子である。また、光束径変換光学系６は、対物レンズ３の瞳をリレーする瞳リレー光学系とすることができる。この構成により、光走査系５を対物レンズ３の瞳位置と共役な位置に配置することも可能となる。
また、図１では対物レンズ３で集光した光を、光走査系５で対物レンズ３の光軸と垂直な方向に走査させているが、光走査系５を固定ミラーにして試料４を保持するステージを光軸と垂直な方向に移動させても良い。
次に、開口数を切り替える別の例として、対物レンズを変換する場合を説明する。対物レンズの光軸に垂直な方向に光を走査する場合、対物レンズの瞳位置あるいは瞳位置と共役な位置においてミラー走査することが望ましい。ところが、対物レンズの瞳の大きさは、対物レンズ毎に異なるのが一般的である。そのため、光束径が常に一定の光学系だと、瞳よりも光束径が小さい場合には所望の開口数が得られない。逆に、光束径が大きい場合には光の利用効率が低下してしまうという問題が生じる。
これに対して、本発明の光学系では光束径変換光学系６を備えているため、対物レンズの瞳径に入射光束の径を一致させることができる。よって、上記のような問題は生じない。また、対物レンズを切り替えてＯＣＴ観察とＯＣＭ観察の切り替えが行われたとしても、低コヒーレンス干渉の特徴である高いＳ／Ｎ比が損なわれることはない。
次に、図２に、本発明の別の光学系の構成を示す。図１と異なるのは、信号光路の中の、ハーフミラー１０から試料４までの光学系である。図２においては、ハーフミラー１０を透過した信号光路の光は光走査系５により走査され、瞳リレー光学系１１を通過し、対物レンズ３により試料４に照射される。瞳リレー光学系１１は、対物レンズ３の瞳１３の瞳位置をリレーし、リレーされた位置に光走査系５が配置されている。
ここで、この状態で対物レンズの交換が行われ、対物レンズ３の代わりに別の対物レンズが光路中に配置されたとする。一般的に対物レンズの瞳位置は対物レンズごとに異なる。この場合も、別の対レンズの瞳位置は、対物レンズの瞳１３の位置と異なる。そのため、別の対物レンズの瞳は瞳リレー光学系でリレーされるが、光走査系５の位置とは異なる位置にリレーされてしまう。そこで、本発明の光学系では補正機構１２を設け、補正機構１２によって瞳リレー光学系１１で新たにリレーされた瞳の位置と光走査系５の位置を一致させるようにしている。
図２では、補正機構１２が移動機構（不図示）を備えており、この移動機構によって瞳リレー光学系１１と光走査系５が一体で移動するようになっている。このため、対物レンズ３が交換されても、リレーされた対物レンズの瞳位置と光走査系５の位置を一致させることができる。この結果、光走査系５による光の走査によって光束が瞳１３でケラレることがなく、周辺光量不足を防ぐことができる。
なお、図１および図２に示す光学系において、以下のように構成することができる。光分岐部材２から光合成部材７の間の光路、すなわち参照光路又は信号光路あるいはその両方に、音響光学素子（ＡＯＭ）などの光の周波数を変調する周波数変調部材を有するように構成することができる。これにより、参照光路と信号光路との間の周波数差を利用したヘテロダイン計測を行うことができるため、高Ｓ／Ｎ比の観察像を得ることができる。
また、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長を変化させる光路長調整機構を有するように構成することができる。これにより、試料内の観測点の深さ方向位置を調整したり、又は、走査したりすることが可能となる。
また、その光路長調整機構を、光の周波数を変調可能であるように構成することができる。これにより、光路長調整機構が周波数変調部材の作用を兼ねることができる。
また、光検出素子で検出された光に対し、参照光路と信号光路との間の光の差周波数成分の信号を取得するための信号処理装置を有するように構成することができる。
周波数変調部材や光路長調整機構により、信号光路と参照光路のそれぞれの光の周波数に差を付けることができる。そして、光検出素子により検出される信号のうち、この周波数差に相当する成分の信号を信号処理装置を用いて取得して、ヘテロダイン検出を行うことができる。
図３に、本発明の光学装置の構成を示す。光源１を出た光は、光分岐部材２により参照光路と信号光路に分岐される。光分岐部材２を透過する参照光路の光は、光路長調整機構２１を通過して、光合成部材７に到達する。一方、光分岐部材２により反射された信号光路の光は、ハーフミラー１０を透過し、光走査系２２により反射され、対物レンズ２５又は２６を通過して試料４に照射される。試料４は走査ステージ２４に保持されている。試料４内の観測点（対物レンズによる集光位置）２９で反射・散乱された光は、対物レンズ２５又は２６、光走査系２２を通過し、ハーフミラー１０で反射され、光合成部材７に到達する。光合成部材７で参照光路と信号光路の光が合成され、光検出素子８で検出される。
本発明の光学装置では光路長調整機構２１が参照光路に配置されており、参照光路の光路長を変化させることができるようになっている。具体的には、光路長調整機構２１は反射型あるいは透過型の光学素子と移動機構を備えており、この光学素子を移動させることによって光路長を変化させている。そして、この光路長を変化させることによって、試料４の内部において、信号光路の光路長が参照光路の光路長が一致する位置を変えることができるようになっている。よって、光路長調整機構２１は試料４内の観測点２９と試料４を相対的に、対物レンズ２５の光軸に沿う方向（第１の方向）に移動させる機構である。
走査系は光走査系２２と走査ステージ２４で構成されている。このうち、走査ステージ２４は第１の走査機構であって、試料４を第１の方向に移動させる。そして、光走査系２２は第２の走査機構であって、試料４内の観測点２９を対物レンズ２５の光軸と垂直な方向（第２の方向）に移動させる。よって、図３の構成においては、第１の方向はｚ方向、第２の方向はｘ方向に一致する。なお、２つの瞳リレー光学系１１によって、対物レンズの瞳１３、２３は光走査系２２の位置にリレーされている。瞳位置の違いは図２の補正機構１２によって行われる。
走査制御機構２７は光走査系２２と走査ステージ２４の走査速度、及び光路長調整機構２１の光学素子の移動速度（走査速度）を制御する機能を備えている。そして更に、走査制御機構２７は、第１の方向への走査機構として、走査ステージ２４と光路長調整機構２１のいずれか一方を選択する機能を備えている。
以上が本発明の光学装置の基本構成であるが、対物レンズとしてはＬｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ使用するのが好ましい。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
また、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズの他に、Ｌｃ＜Ｄｆを満足する開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ備えることもできる。そして、Ｌｃ≧Ｄｆを満足する対物レンズとＬｃ＜Ｄｆを満足する対物レンズの両方を備える場合、走査制御機構２７は対物レンズの切替に応じて走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
ここで、対物レンズについて説明する。対物レンズ２５は、Ｌｃ＜Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズである。この対物レンズ２５の焦点深度は試料４に入射する光源１からの光の可干渉距離（コヒーレンス長）よりも長いため、ＯＣＴによる観測に適している。一方、対物レンズ２６は、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズである。この対物レンズ２６の開口数は対物レンズ２５の開口数よりも大きく、ＯＣＭによる観測に適している。
なお、本発明の構成においては、後述するように、対物レンズ２５を使用せず、対物レンズ２６のみによって構成することも可能である。しかしながら、説明を容易にするため、ここではそれぞれの対物レンズを使用する構成とする。また、同じく説明を容易とするため、それぞれの対物レンズの開口数を満足するように、光源からの光が対物レンズの瞳全てを通過するものとする。したがって、対物レンズ２５はＯＣＴ用、対物レンズ２６はＯＣＭ用となる。
次に、走査制御機構２７の作用を説明する。走査制御機構２７は、使用する対物レンズのＤｆの値に応じて、第１の方向への走査機構として走査ステージ２４と光路長調整機構２１のいずれか一方を選択する。そして、光走査系２２と選択された第１の方向への走査機構の走査速度を決定する。
Ｌｃ＜Ｄｆの場合、つまり対物レンズ２５を用いる場合であるから光学装置はＯＣＴとなる。ＯＣＴでは、コヒーレンス長がｚ方向の分解能を決定する。そこで、走査制御機構２７は第１の方向への走査機構として光路長調整機構２１を選択する。これにより、試料４内で信号光路の光路長が参照光路の光路長と一致する位置が変化することになる。この時、対物レンズ２５と試料４との相対的な位置は変化しない。そして、光路長調整機構２１における光学素子の走査速度をｖ１、光走査系２２の走査速度をｖ２とすると、走査制御機構２７はｖ１＞ｖ２となるように各々の速度を設定する。
このように、Ｌｃ＜Ｄｆの場合は、光路長調整機構２１の走査速度（第１の方向の走査速度）を光走査系２２の走査速度（第２の方向の走査速度）よりも速く設定して、ｘ−ｚ断面画像を観測する。なお、第１の方向の走査を速く行うことは、光路長調整機構２１の走査で発生するドップラー周波数を利用したヘテロダイン干渉計測において、実用的なドップラー周波数を得る上で有効である。
一方、Ｌｃ≧Ｄｆの場合、つまり、ここでは対物レンズ２６を用いる場合であるから光学装置はＯＣＭとなる。ＯＣＭでは、焦点深度がコヒーレンス長以下となるため、観測点２９を第１の方向に走査するには、対物レンズ２６と試料４との相対的な位置を変化させる必要がある。そこで、走査制御機構２７は第１の方向への走査機構として走査ステージ２４を選択する。そして、走査ステージ２４の走査速度をｖ１、光走査系２２の走査速度をｖ２とすると、ｖ２＞ｖ１となるように各々の速度を設定する。
光走査系２２の具体的構成としては走査ミラーが考えられる。走査ミラーを使用した場合、走査ステージ２４による走査は、走査ミラーによる走査に比べて一般的に速度が遅い。したがって、試料のｘ−ｚ断面画像をできるだけ高速に観測するためには、第２の方向の走査を第１の方向よりも高速に行うのが最も効率的である。つまり、走査速度はｖ２＞ｖ１と設定されるのが望ましい。
なお、図３では走査ステージ２４により第１の方向を走査しているが、走査ステージ２４を固定して対物レンズ２６を第１の方向に移動させる機構にすることも可能である。そして、上記のような走査速度の設定は、第１の方向の走査を対物レンズ２６で行う場合にも好ましい。特に、第１の方向における観察範囲がコヒーレンス長よりも大きい場合には、対物レンズ２６による観測点２９の移動に応じて、光路長調整機構２１による光路長の調整も必要となる。よって、対物レンズ２６の走査速度ｖ１を光走査系２２の走査速度ｖ２より小さくすることにより、光路長の調整を行うことができる。
このように、走査制御機構２７は使用する対物レンズの切替に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
図３に示す構成では、説明を容易とするために、対物レンズ２５と２６の交換によりＯＣＴとＯＣＭの切り替えを行っている。しかしながら、本発明の光学装置の基本構成において、対物レンズ２６のみでＯＣＴとＯＣＭの観察も可能である。例えば、対物レンズ２６に入射する光の光束を絞ると有効開口数が小さくなり、対物レンズ２６は実質的に対物レンズ２５と同じになる。このようにすれば、１つの対物レンズによりＯＣＴ及びＯＣＭを行う構成も可能である。なお、有効開口数とは、実際に対物レンズ２６に入射する光束径によって決まる試料側の開口数である。
この場合、走査制御機構２７は以下の使用する対物レンズの有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
さて、図３の光学装置では光路長調整機構により周波数変調を行い、テロダイン干渉計測を行っている。しかしながら、これとは別に、音響光学素子のような光路長変化を伴わない周波数変調部材を配置して、ヘテロダイン干渉計測をすることができる。この場合の構成は、図３に示す構成と略同じであるが、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置する点が異なる。また、走査制御機構２７の動作において、Ｌｃ＜ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' の場合も走査速度をｖ２＞ｖ１に設定するという点で異なる。
光路長調整機構２１によって周波数変調が行われることは図３で説明した。しかしながら、図３に示したような折り返しミラーを駆動する構成では、光路長の調整範囲全体にわたって変調周波数を一定に保つことは難しい。このため、図３のような光路長調整機構２１だと、ドップラー周波数に広がりが生じＳ／Ｎ比の低下を招くおそれがある。
これに対して、音響光学素子のような周波数変調部材では、常に一定の周波数変調が行われる上、光路長変化を伴わない。したがって、光路長調整機構２１で周波数変調を行う必要がない。また、Ｌｃ＜Ｄｆ' の場合においても、Ｌｃ≧Ｄｆ' の場合と同じく、走査速度をｖ２＞ｖ１と設定することができ、光路長調整機構２１を高速に駆動する必要がない。前にも述べたが、光走査系２２の具体的手段としての走査ミラーは一般的に高速駆動が可能であるため、本発明の構成は、時間分解能を要求される観察においては特に有効である。
このように、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置しておくと、周波数変調のための機械的駆動機構が不要となる。よって、特に前述のＯＣＭにおいてより高速な観測を行うことができるので好ましい。
この場合、走査制御機構２７はＬｃとＤｆあるいはＬｃとＤｆ' の大小に関わらず、走査速度を以下のように設定するとともに、第１の方向への走査機構の選択を行う。
ｖ２＞ｖ１
なお、使用する対物レンズのＤｆあるいはＤｆ' の値に応じて、走査速度を切替える構成を説明したが、この構成においても参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置することも当然できる。
図４に、本発明の別の光学装置の構成を示す。
光源１を出た光は、光分岐部材２により参照光路と信号光路に分岐される。光分岐部材２を透過する参照光路の光は、光路長調整機構３１を通過して、光合成部材７に到達する。一方、光分岐部材２により反射された信号光路の光は、ハーフミラー１０を透過し、第２の方向に光を走査する光走査系３２により反射される。光走査系３２により反射された光は、瞳リレー光学系１１を通過して第３の方向に光を走査する光走査系３３に入射する。光走査系３３で反射された光は、瞳リレー光学系１１を通過して対物レンズ３５又は３６に入射し、試料４に照射される。試料４は走査ステージ３４に保持されている。試料４内の観測点（対物レンズによる集光位置）２９で反射・散乱された光は、対物レンズ３５又は３６、瞳リレー光学系１１、光走査系３３、３２を通過し、ハーフミラー１０で反射され、光合成部材７に到達する。光合成部材７で参照光路と信号光路の光が合成され、光検出素子８で検出される。
図４の光学装置においても、光路長調整機構３１が参照光路に配置されており、参照光路の光路長を変化させることができるようになっている。また、走査系は光走査系３２、３３と走査ステージ２４で構成されている。このうち、走査ステージ２４は第１の走査機構であって、試料４を第１の方向に移動させる。そして、光走査系３２は第２の走査機構であって、試料４内の観測点２９を対物レンズ２５の光軸と垂直な方向（第２の方向）に移動させる。また、光走査系３３は第３の走査機構であって、試料４内の観測点２９を第１及び第２の方向と垂直な方向（第３の方向）に移動させる。よって、図３の構成においては、第１の方向はｚ方向、第２の方向はｘ方向、第３の方向はｙ方向に一致する。なお、２つの瞳リレー光学系１１によって、対物レンズの瞳１３あるいは２３は光走査系３２と３３の位置にリレーされている。対物レンズの瞳１３と２３の瞳位置の違いは、図２の補正機構１２によって行われる。
走査制御手段３７は光走査系３２、３３と走査ステージ３４の走査速度、及び光路長調整機構３１の光学素子の移動速度（走査速度）を制御する機能を備えている。そして更に、走査制御手段３７は、第１の方向への走査機構として、走査ステージ３４と光路長調整機構３１のいずれか一方を選択する機能を備えている。
以上が本発明の別の光学装置の基本構成であるが、対物レンズとしてはＬｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ使用するのが好ましい。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
また、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する対物レンズの他に、Ｌｃ＜Ｄｆを満足する開口数を有する対物レンズを少なくとも１つ備えることもできる。そして、Ｌｃ≧Ｄｆ満足する対物レンズとＬｃ＜Ｄｆ満足する対物レンズの両方を備える場合、走査制御機構３７は対物レンズの切替に応じて走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。 Ｌｃ＜Ｄｆの場合、つまり、ここでは対物レンズ３５を用いる場合であり、光学装置はＯＣＴとなる。ＯＣＴでは、コヒーレンス長がｚ方向の分解能を決定する。そこで、走査制御機構３７は第１の方向への走査機構として光路長調整機構３１を選択する。これにより、試料４内で信号光路の光路長が参照光路の光路長と一致する位置が変化することになる。この時、対物レンズ３５と試料４との相対的な位置は変化しない。そして、光路長調整機構３１における光学素子の走査速度をｖ１、光走査系３２の走査速度をｖ２、光走査系３３走査速度をｖ３とすると、走査制御機構３７はｖ１＞ｖ２＞ｖ３となるように各々の速度を設定する。
このように、Ｌｃ＜Ｄｆの場合は、光路長調整手段３１の走査速度（第１の方向の走査速度）を走査系３２の走査速度（第２の方向の走査速度）よりも速く設定して、ｘ−ｚ断面画像を観測する。そして、走査系３３の走査速度（第３の方向の走査速度）を走査系３２の走査速度よりも更に遅く設定して、ｙ方向ごとのｘ−ｚ断面画像が得られるようにしている。これにより、図４の光学装置では試料４の３次元画像が得られる。なお、第１の方向の走査を速く行うことは、光路長調整手段２１の走査で発生するドップラー周波数を利用したヘテロダイン干渉計測において、実用的なドップラー周波数を得る上で有効である。
一方、Ｌｃ≧Ｄｆの場合、つまり、ここでは対物レンズ３６を用いる場合であり、光学装置はＯＣＭとなる。ＯＣＭでは、焦点深度がコヒーレンス長以下となるため、観測点３９を第１の方向に走査するには、対物レンズ３６と試料４との相対的な位置を変化させる必要がある。そこで、走査制御機構３７は第１の方向への走査機構として走査ステージ３４を選択する。そして、走査ステージ３４における光学素子の走査速度をｖ１、光走査系３２の走査速度をｖ２、光走査系３３の走査速度をｖ３とすると、走査制御機構３７はｖ２＞ｖ３＞ｖ１となるように各々の速度を設定する。
このように、Ｌｃ≧Ｄｆの場合は、走査ステージ３４の走査速度（第１の方向の走査速度）を光走査系３２の走査速度（第２の方向の走査速度）や光走査系３３の走査速度（第３の方向の走査速度）よりも遅く設定して、ｘ−ｙ断面画像を優先的に観測する。そして、ｘ−ｙ断面画像の取得後に走査ステージ３４を移動させ、新たなｚ位置でのｘ−ｙ断面画像が得られるようにしている。これにより、試料４の３次元画像が得られる。
光走査系３２、３３の具体的構成としては走査ミラーが考えられる。走査ミラーを使用した場合、走査ステージ３４による走査は、走査ミラーによる走査に比べて一般的に速度が遅い。したがって、試料４の３次元画像をできるだけ高速に観測するためには、第２の方向及び第３の方向の走査を第１の方向よりも高速に行うのが最も効率的である。つまり、走査速度はｖ２＞ｖ３＞ｖ１と設定されるのが望ましい。
また、図３の光学装置でも説明したように、走査ステージ３４を固定して対物レンズ３６を第１の方向に移動させる機構にすることも可能である。そして、上記のような走査速度の設定は、第１の方向の走査を対物レンズ３６で行う場合にも好ましい。特に、第１の方向における観察範囲がコヒーレンス長よりも大きい場合には、対物レンズ３６による観測点３９の移動に応じて、光路長調整機構３１による光路長の調整も必要となる。よって、対物レンズ３６の走査速度ｖ１を光走査系２２、２３の走査速度ｖ２、ｖ３より小さくすることにより、光路長の調整を行うことができる。
このように、走査制御機構３７は使用する対物レンズの切替に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
また、本発明の別の光学装置の基本構成においても、対物レンズ３６のみでＯＣＴとＯＣＭの観察も可能である。これは図３の光学装置で説明したように、対物レンズ３６に入射する光の光束を絞り有効開口数を小さくすれば良い。この結果、対物レンズ３６は実質的に対物レンズ３５と同じになるのでＯＣＴ用の対物レンズとなる。よって１つの対物レンズでＯＣＴ及びＯＣＭを行う構成も可能である。
この場合、走査制御機構３７は以下の使用する対物レンズの有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
また、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置することができる。この点については図３の光学装置で説明したとおりで、光路長調整機構３１において周波数変調を行う必要がなくなる。そのため、走査制御機構３７は使用する対物レンズの開口数あるいは有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定と第１の方向への走査機構の選択を行う。
Ｌｃ＜ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ１＞ｖ３又はｖ２＞ｖ３＞ｖ１
Ｌｃ≧ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
このように、参照光路又は信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を配置することにより、特に前述のＯＣＭにおいて、より高速な観測を行うことができる。前にも述べたが、走査系３２、３３の具体的手段としての走査ミラーは一般的に高速駆動が可能であるため、このような構成は、時間分解能を要求される観察においては特に有効である。
また、図３あるいは図４に示した光学装置において、光束径の大きさを変える光束径変換光学系を配置することもできる。この場合、光束径変換光学系は、光が光走査系に入射するかあるいは光走査系から射出される位置に配置すれば良い。この構成により、ＯＣＴやＯＣＭにおいて、所望の有効開口数を設定したり、あるいは対物レンズを交換した際に光の利用効率の低下を防ぐことができる。
また、その光束径変換光学系は、対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系とすることができる。この構成により、第２の方向あるいは第３の方向への走査を行う走査系を、対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置することも可能となる。
また、瞳リレー光学系によってリレーされた対物レンズの瞳位置と光走査系の位置を、略一致させる補正機構を設けても良い。この構成により、対物レンズの交換によって対物レンズの瞳位置が異なる場合においても、リレーされた瞳位置と光走査系の位置をほぼ一致させることができる。これにより、第２の方向あるいは第３の方向への走査を行う光走査系が対物レンズの瞳位置と常に共役な位置になるように構成でき、周辺光量不足等を防ぐことができる。
また、対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により、信号光路と参照光路との分散特性に差が生じる場合がある。そこで、この分散特性の差を補償する分散調整素子を設けるのが良い。更に、その分散調整素子は、分散調整量を選択的に又は連続的に調整可能であれば好ましい。
光源からの光として、スペクトルに幅を持つ光を使用した場合を考える。この光が光路中に配置された光学素子を通過するとき、その光学素子の分散特性に応じて波長によりその光路長が異なるという現象が起きる。例えば、光源のスペクトル分布が図１０（ａ）に示されるものであった場合に、図１０（ｂ）で示した分散特性を持つ光学素子を光が通過すると、図１０に示す波長λ１の光の光路長は波長λｈの光の光路長よりも長くなる。本発明の光学系あるいは光学装置において干渉計測を行う場合には、波長による光路長の差があると、Ｓ／Ｎ比の低下を招く。信号光路と参照光路との分散特性の差は、光束径変換光学系や補正機構による信号光路の光学系の変更、あるいは対物レンズの開口数（有効開口数）を変化させる操作に伴って発生する。そこで、上述の分散調整素子を用いることにより、信号光路と参照光路との分散特性の差を補償することができる。その結果、干渉計測におけるＳ／Ｎ比を向上させることができる。
また、対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により発生する光路長の変化分を、光路長調整量として光路長調整機構により補償するように構成することができる。この構成を用いることにより、上述の分散調整素子と同様に光路長変化分を補償することができる。
また、分散調整量又は光路長調整量あるいはその両方を記憶するための記憶手段を有するように構成しておくことが好ましい。これまで述べたように、ＯＣＴとＯＣＭを切り替えて使用する方法の一つとして、１つの対物レンズの有効開口数を変化させる方法がある。この場合、効率的でかつ高Ｓ／Ｎ比の観察を行うためには、有効開口数の変化に伴って分散の調整又は光路長の調整あるいはその両方を正確に行う必要がある。一方、様々な試料に最適な倍率で観察するためには、対物レンズを何種類も交換する必要がある。この場合、有効開口数も様々に変化するため、それに伴う分散の調整量や光路長調整量の組み合せも多くなる。
そのため、有効開口数が変化する度にそれぞれの最適な調整量を探るのは、観察操作を行う上で非常に煩雑となる。そこで、記憶手段で分散調整量又は光路長調整量あるいはその両方を予め記憶しておくことで、分散や光路長の調整操作時にこれを参照することができる。
また、光源は低コヒーレンス光源であることが好ましい。この構成により、低コヒーレンス干渉観察を行うことができる。
また、本発明の光学系を有する顕微鏡を構成することができる。これまでに述べた光学系を顕微鏡に組み込むか、あるいは顕微鏡に接続することで、顕微鏡システムの操作性を生かした効率的な観察を行うことができる。
また、以上の光学系を顕微鏡から取り外し可能にすることができる。この構成により、新規に顕微鏡システムを構築することなく、従来の顕微鏡にその光学系を後付けすることができる。また、１つの光学系を異なる複数の顕微鏡に取り付けることも可能となる。
以上述べたように、本発明の光学系と光学装置は、ＯＣＴ、ＯＣＭのどららの観察においても、画像取得に要する時間をできるだけ短くできることができる。したがって、生体試料を特にｉｎ ｖｉｖｏで観測する場合には、細胞や組織の動きを高い時間分解で観測したいという要求に応えることが可能となる。また、ＯＣＴとＯＣＭを切り替えた場合に、Ｓ／Ｎ比の低下を招くこともない。
以下、本発明の光学系及び光学装置の実施例を、図面を参照にして説明する。
（実施例１）
図５（ａ）は、本発明による光学系の実施例を示したものである。この実施例は低コヒーレンス干渉光学系の例であって、試料内の対物レンズの光軸に平行な断面の画像を観察するための光学系である。
図５（ａ）において、低コヒーレンス光源１０１からの光は、ファイバーカップラー１０２へ光ファイバーで導かれる。ファイバーカップラー１０２からの光は参照光路１０３と信号光路１０４に分岐される。参照光路１０３の光は、ＡＯＭ（音響光学素子）１３１を通過し、コリメータレンズ１０５で平行光として射出され、可動ミラー１０６で反射される。可動ミラー１０６による反射光はコリメータレンズ１０５より再び同じ光路を戻り、ＡＯＭ１３１を通過してファイバーカップラー１０２に到達する。
一方、信号光路１０４の光は、ＡＯＭ１３２を通過し、シングルモードファイバー端１９１を射出し、コリメータレンズ１０７で平行光として射出される。そして、射出した光はｘ方向の走査を行うガルバノミラー１０８で反射し、光束径変換光学系１１５内の瞳リレー光学系１０９を通過し、対物レンズ１１０により試料１１１に照射される。試料１１１内の観測点１１２からの散乱光は、再び対物レンズ１１０、瞳リレー光学系１０９、ガルバノミラー１０８、コリメータレンズ１０７、ＡＯＭ１３２を通ってファイバーカップラー１０２に到達する。参照光路１０３と信号光路１０４からの戻り光はファイバーカップラー１０２で合成され、光検出器１１４で検出される。光検出器１１４の出力は、信号処理装置１３３に入力される。この光学系においては、光分岐素子と合成素子が１つのファイバーカップラー１０２により構成されている。
本実施例では、コリメータレンズ１０５、可動ミラー１０６、及び可動ミラー１０６を移動させる図示されていない移動機構が光路長調整機構を構成している。可動ミラー１０６を高速で変位させることにより光の周波数のドップラーシフトが起こる。また、ＡＯＭ１３２、１３３を動作させることにより、各光路の光の周波数が変調される。これらを選択的に使用するか、又は組み合わせて使用することができる。参照光路１０３と信号光路１０４の光の差周波数成分を信号処理装置１３３で検出することにより、参照光路１０３と信号光路１０４のヘテロダイン干渉計測を行うことができる。
次に、信号光路の動作について説明する。対物レンズ１１０の瞳１１３は瞳リレー光学系１０９でリレーされる。ガルバノミラー１０８は、瞳リレー光学系１０９によってリレーされた瞳位置に配置されている。
対物レンズ１１０は、焦点深度が大きい、つまり、開口数の小さな対物レンズである。一方、図５（ｂ）は開口数の大きな対物レンズ１２０である。ここで、図５（ｂ）は、図５（ａ）において、対物レンズ１１０を対物レンズ１２０に切り替えられたときの光学系であって、ガルバノミラー１０８以降の光学系について示したものである。したがって、ＯＣＴ観察を行う場合には、対物レンズ１１０が使用される。一方、ＯＣＭ観察の場合は対物レンズ１２０が用いられ、シングルモードファイバー端１９１を共焦点ピンホールとする共焦点光学系による観察を行うことができる。
ここで、対物レンズ１２０の瞳１２３の瞳径は、対物レンズ１１０の瞳１１３の瞳径よりも小さい。このため、対物レンズ１２０を使用する場合には、光束径変換光学系１１５により瞳リレー光学系１０９を別の瞳リレー光学系１１９に変換する。ガルバノミラー１０８から対物レンズの瞳への瞳リレー倍率は、瞳リレー光学系１０９よりも瞳リレー光学系１１９の方が小さくなるように設定されている。したがって、ガルバノミラー１０８から射出される光束の径を、対物レンズの瞳径に一致させることできる。これにより、光源１０１からの光を無駄なく使用することができる。
さらに、対物レンズ１２０の瞳１２３の対物レンズ１２０内での位置は、対物レンズ１１０のそれとは異なっているが、瞳リレー光学系１１９によって瞳１２３はガルバノミラー１０８と共役になっている。すなわち、本実施例では、リレーされた対物レンズの瞳位置がガルバノミラー１０８に略一致しているから、光束径変換光学系１１５が補正機構としても作用していることになる。
（実施例２）
図６（ａ）は、本発明による光学装置の実施例を示したものである。本実施例は低コヒーレンス干渉光学装置の例であって、試料内の対物レンズの光軸に平行な断面の画像を観察するための光学装置である。
図６（ａ）において、低コヒーレンス光源２０１からの光は、ファイバーカップラー２０２へ光ファイバーで導かれる。ファイバーカップラー２０２からの光は参照光路２０３と信号光路２０４に分岐される。参照光路２０３の光は、ＡＯＭ２３１を通過し、ファイバー端２４１を射出の後、コリメータレンズ２４２で平行光に変換され、別のコリメータレンズ２４３を通過してファイバーカップラー２２２に導かれる。
一方、信号光路２０４の光は、ＡＯＭ２３２を通過し、サーキュレーター２４６を通過後、シングルモードファイバー端２９１から射出され、コリメータレンズ２０７で平行光に変換される。その後、光束径変換光学系２１５を通過し、ｘ方向の走査を行うガルバノミラー２０８で反射され、瞳リレー光学系２０９を通過し、対物レンズ２１０により試料２１１を照射する。試料２１１は、ｚ方向に移動可能なステージ２１６に固定されている。試料２１１内の観測点２１２からの散乱光は、再び対物レンズ２１０、瞳リレー光学系２０９、ガルバノミラー２０８、光束径変換光学系２１５、コリメータレンズ２０７を通り、サーキュレーター２４６を通過してファイバーカップラー２２２に到達する。参照光路２０３と信号光路２０４からの光はファイバーカップラー２２２で合成され、光検出器２１４で検出される。光検出器２１４の出力は、信号処理装置２３３に入力される。
まず、信号光路の動作について説明する。本実施例では、低コヒーレンス光源２０１は、中心波長１．３μｍ、コヒーレンス長２０μｍの光源である。そして、図６（ａ）の対物レンズ２１０には開口数０．５のものを用いている。このとき、
Ｌｃ＝２０μｍ
Ｄｆ＝５．２μｍ
となるので、対物レンズ２１０は、Ｌｃ≧Ｄｆを満たしている。
図６（ａ）においては、対物レンズ２１０に入射する光束径は、対物レンズ２１０の瞳２１３の瞳径に一致している。このため、有効開口数は対物レンズ２１０の開口数に等しい。したがって、この状態においてはＯＣＭによる観察を行うことができる。そこで、走査制御機構２７０は、第１の方向（ｚ方向）の走査機構としてステージ２１６を選択し、振動周波数を１０Ｈｚに設定する。また、第２の方向（ｘ方向）の走査機構であるガルバノミラー２０８の振動周波数を４ｋＨｚに設定する。
本実施例の光学装置では、観察範囲をｘ：４００μｍ、ｚ：４００μｍとし、ｘ−ｚ断面の１画像の走査時間を０．１秒に設定している。そして、得られる画素数を４００×４００画素とすると、上記振動周波数を平均走査速度に換算すれば、ｘ：３．２ｍ／秒（＝ｖ２）、ｚ：８ｍｍ／秒（＝ｖ１）となり、ｖ２＞ｖ１となっている。つまり、ｘ方向に高速走査を行い、ｚ方向は相対的に低速で走査を行うことで、ｘ−ｚ画像を得る。なお、干渉信号の計測については、参照光路及び信号光路に配置されたＡＯＭ２３１及び２３２の変調周波数の差周波数を用いたヘテロダイン計測を行う。差周波数成分の検出は信号処理装置２３３により行われる。
一方、図６（ｂ）は、図６（ａ）と同じ対物レンズ２１０を用いてＯＣＴ観察を行う例である。ここでは、図６（ａ）のうち、コリメータレンズ２０７より後の光学系を抜き出して示している。光束径変換光学系２１５は光束径変換光学系２１９を有しており、光束径変換光学系２１９をコリメータレンズ２０７とガルバノミラー２０８の間に挿入できる機構となっている。光束径変換光学系２１９は、コリメータレンズ２０７から射出される平行光束の光束径を縮小する倍率を有している。例えば、この光束径変換光学系２１９が光路中に挿入された場合、対物レンズ２１０の有効開口数は０．０３５となるように倍率が設定されている。このとき、Ｄｆ' は、
Ｄｆ' ＝約１ｍｍ
となるので、図６（ｂ）の光学系では、Ｌｃ＜Ｄｆ' を満たしていることになる。
図６（ｂ）の光学系でのＯＣＴ観察においても、ｘ−ｚ断面の１画像の走査時間を０．１秒に設定している。ＯＣＴでは、一般的に、第１の方向（ｚ方向）の走査は、例えば図５（ａ）における可動ミラー１０６を高速に振動させ、このとき発生するドップラー周波数を利用したヘテロダイン計測を行うことが多い。しかしながら、本実施例では、ＯＣＴの場合においても、ＡＯＭ２３１及び２３２によって生じる変調周波数を用いてヘテロダイン計測を行う。このため、ｚ方向への高速走査は必要ない。そこで、走査制御機構２７０は第１の方向の走査速度ｖ１と第２の方向の走査速度ｖ２について、図６（ａ）と同じく、ｖ２＞ｖ１となるように設定する。
この設定により、第２の方向の走査においては、図６（ａ）と同じガルバノミラー２０８を同じ走査速度で駆動することが可能で、ガルバノミラー２０８の制御機構が簡易的なものとなる。一方、第１の方向の走査機構については、ステージ２１６又は参照光路の光路長調整機構２６０を用いることができる。ステージ２１６を用いた場合には、光路長調整手段２６０には走査機構が不要となるメリットがある。
このように、本実施例では、ＯＣＴとＯＣＭの両者の観察において、対物レンズ、ｘ方向走査機構・走査速度、ｚ方向走査機構、ヘテロダイン計測のための光変調手段を全て共通化することができる。
次に、参照光路の光路長調整機構２６０について説明する。光路長調整機構２６０の主な構成要素は、コリメータレンズ２４２、２４３、駆動ステージ２４５、駆動部２４４である。ファイバー端２４１とコリメータレンズ２４２は駆動部２４４に固定されている。駆動部２４４は駆動ステージ２４５上を移動する。これにより、コリメータレンズ２４２と２４３の間の光路長が変化し、光路長の調整が行われる。
光束径変換光学系２１５において、光束径変換光学系２１９を信号光路に挿脱すると、ＯＣＭ用の図６（ａ）の光学系とＯＣＴ用の図６（ｂ）の光学系が切り替わる。このとき、光束径変換光学系２１９の挿脱によって、新たな光路長の変化が起こる。光路長の変化が起こると、ＯＣＭとＯＣＴでの観測位置が大きく異なる可能性がある。さらには、観測点２１２が試料２１１から外れてしまう可能性もある。そのため、これらの可能性を無くすために、何らかの光学的な補償をする必要がある。
そこで、光路長調整機構２６０の駆動部２４４を上記光路長の変化分に相当する距離だけ移動させて、光路長変化の影響をなくすことができる。また、本実施例では、光路長調整量の記憶手段として、指示マーク２６１が駆動部２４４に、また、調整用目盛２６２、２６３が駆動ステージ２４５に記されているため、容易に光路長調整量の切り替えが行える。
また、コリメータレンズ２４２と２４３の間には、例えばプリズムや回折格子のような分散調整素子２５１が挿脱可能であるように構成されている。これは、信号光路と参照光路の間で発生する分散特性の差を補償するものである。なお、この分散特性の差は、光束径変換光学系２１９の信号光路への挿脱により発生する。これにより、光学系の切り替えに伴うＳ／Ｎ比の低下を防ぐことができる。
本実施例においては、走査制御機構２７０、光束径変換光学系２１５、光路長調整機構２６０及び分散調整素子２５１を電気的に制御し、ＯＣＴとＯＣＭの切り替えに係わる煩雑な操作を全て自動的に行うことも可能である。
（実施例３）
図７（ａ）は、本発明による光学装置の別の実施例を示したものである。本実施例も低コヒーレンス干渉光学装置の例であって、試料内の３次元画像を観察するための光学装置である。
図７（ａ）において、低コヒーレンス光源３０１からの光は、ファイバーカップラー３０２へ光ファイバーで導かれる。ファイバーカップラー３０２からの光は参照光路３０３と信号光路３０４に分岐される。参照光路３０３の光は、ＡＯＭ３３１、サーキュレーター３４７を通ってコリメータレンズ３４２で平行光に変換される。さらに、分散調整素子３５１を通過し、可動ミラー３０６で反射される。反射光は、再び分散調整素子３５１、コリメータレンズ３４２、サーキュレータ３４７を通って、ファイバーカップラー３２２に到達する。
一方、信号光路３０４の光は、ＡＯＭ３３２、サーキュレーター３４６を通り、シングルモードファイバー端３９１から射出される。そして、コリメータレンズ３０７を通過し、ガルバノミラー３１８で反射され、瞳リレー光学系３１９を通過し、ガルバノミラー３０８に入射する。ガルバノミラー３０８で反射された光は、瞳リレー光学系３０９を通過後、対物レンズ３１０により試料３１１に照射される。試料３１１は、ステージ３１６に固定されている。
試料３１１内の観測点３１２からの散乱光は、再び対物レンズ３１０、瞳リレー光学系３０９、ガルバノミラー３０８、瞳リレー光学系３１９、ガルバノミラー３１８、コリメータレンズ３０７を通過し、サーキュレーター３４６を通って、ファイバーカップラー３２２に到達する。参照光路３０３と信号光路３０４からの光はファイバーカップラー３２２で合成され、光検出器３１４で検出される。光検出器３１４の出力は、信号処理装置３３３に入力される。
本実施例では、低コヒーレンス光源３０１は、中心波長１．３μｍ、コヒーレンス長２０μｍの光源である。対物レンズ３１０には、開口数０．５のものを用い、図７（ａ）においてＯＣＭ観察用の光学系を構成している。このとき、 Ｌｃ＝２０μｍ
Ｄｆ＝５．２μｍ
となるので、対物レンズ３１０は、Ｌｃ≧Ｄｆを満たしている。一方、図７（ｂ）はＯＣＴ観察用の光学系の一部で、図７（ａ）におけるガルバノミラー３０８以降を抜き出して示したものである。対物レンズ３２０の開口数は０．０２５であり、
Ｄｆ＝約２ｍｍ
となるので、対物レンズ３２０は、Ｌｃ＜Ｄｆを満たしている。
本実施例では、第２の方向（ｘ方向）と第３の方向（ｙ方向）の走査用に、ガルバノミラー３０８、３１８を有している。また、第１の方向（ｚ方向）の走査用に、ステージ３１６又は光路長調整機構（可動ミラー３０６）を有している。
よって、ＯＣＴ観察、ＯＣＭ観察の両者において、３次元観察が可能である。
本実施例における対物レンズ３１０と３２０では、それぞれの瞳３１３及び３２３の瞳径及び瞳位置が異なっている。対物レンズの瞳位置と走査ミラー位置が共役な位置関係になっていないと、ケラレが生じることは先に説明したとおりである。そこで、本実施例では、光束径を瞳径と一致すさせるため、対物レンズ３２０を使用する際に、光束径変換光学系としてアダプターレンズ（光束径変換光学系）３７３を、瞳リレー光学系３０９と対物レンズ３２０の間に配置する。この構成の利点は、瞳リレー光学系３０９を変更する必要がないという点である。図７（ｂ）のＯＣＴ観察においては、ｘ−ｚ断面の２次元像を観察し、その画像において注目する領域を、図７（ａ）のＯＣＭ観察により３次元で観察を行うという設定をしている。まず、ＯＣＴ観察では、対物レンズ３２０を使用し、アダプターレンズ３７３を光路内に挿入する。第１の方向の走査は参照光路３０３内の可動ミラー３０６により行い、第２の方向の走査は走査ミラー３０８により行う。ここでは、可動ミラー３０６の走査による光周波数のドップラーシフトを利用したヘテロダイン干渉計測を行うため、走査速度は第２の方向よりも第１の方向の方が速く設定される。走査速度の設定は、走査制御機構としてのコンピュータ３７１により制御されている。
次に、ＯＣＭ観察を行う場合には、対物レンズ３１０が光路中に挿入され、アダプターレンズ３７３が光路から外れる。第２及び第３の方向の走査は、それぞれ走査ミラー３０８、３１８により行われる。また、第１の方向の走査はステージ３１６により行われる。３次元画像の取得は、まず、ｘ−ｙ断面の２次元像を取得し、これをｚ方向に走査することにより行う。そのため、ｚ方向の走査が最も遅くなるように設定される。
第１の方向の走査機構を光路長調整機構（可動ミラー３０６）からステージ３１６へ切り替える操作、及び各走査機構の走査速度の設定は、コンピュータ３７１により制御される。また、ＯＣＭ観測の場合、ヘテロダイン干渉計測のための光周波数変調部材には、ＡＯＭ３３１及び３３２が用いられる。また、ＯＣＴ、ＯＣＭのそれぞれのヘテロダイン検波においては、可動ミラー３０６によって生じるドップラー周波数、あるいは、ＡＯＭ３３１と３３２によって生じる差周波数を信号処理装置３３３で処理する。具体的には、ロックインアンプ等が使用される。信号処理装置３３３の出力はコンピュータ３７１に取り込まれ、画像への変換を行い、表示装置３７２により画像表示が行われる。
図７（ｂ）で、アダプターレンズ３７３を光路内に挿入すると、アダプターレンズ３７３による分散及び光路長の変化が発生する。分散の変化については、参照光路内に配置された分散調整素子３５１により補償することが可能である。この分散の調整も、コンピュータ３７１により制御可能である。なお、この分散調整素子３５１は、図７（ａ）に示すようなくさびプリズムを向かい合わせた構成にすることにより、分散量を連続的に調整することができる。対物レンズや試料が交換された際に、参照光路３０３と信号光路３０４の間で分散特性に差が出る可能性があるが、この構成によりわずかな分散特性の差の調整も可能である。
図７（ａ）では、ＯＣＭ観察におけるｚ方向走査、つまり、観測点３１２の第１の方向への走査の手段としてステージ３１６を用いたが、別の手段として、例えば対物レンズ３１０をｚ方向に走査することも可能である。このような構成は、ステージ３１６に試料３１１を載せることが困難な場合や、試料３１１が生体試料であって試料３１１を走査することができない場合に有効である。ただし、この場合は、対物レンズ３１０のｚ方向走査に伴い、信号光路の光路長が変化するため、これと同期して参照光路の可動ミラー３０６を同時に走査する必要がある。
（実施例４）
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、リレーされた瞳位置を補正する例を示している。ここでは、ＯＣＴとＯＣＭのそれぞれに用いられる対物レンズの瞳の瞳径は同じで、瞳の位置が異なる場合を示している。図８（ａ）は図７（ａ）の一部について示し、図８（ｂ）は図７（ｂ）と同じ部分を示している。
対物レンズ４１０と４２０のそれぞれの瞳４１３と４２３の瞳径は同じ大きさである。ただし、それぞれの瞳の位置が異なっている。本実施例では、瞳とガルバノミラーの位置関係を共役にするため、補正機構として図８（ａ）、（ｂ）に示すように、平行平面板４７３を光路中に挿脱する。平行平面板４７３の材質は、ガラス、結晶、透明樹脂などである。この構成を用いると、比較的簡単な光学素子を用いるだけで、瞳リレー光学系４０９を変更する必要がなく、また、走査ミラー、瞳リレー光学系、試料のそれぞれの相対位置をほとんど一定に保ったまま、対物レンズを交換することができるという利点がある。
（実施例５）
図９は、本発明の光学系と顕微鏡を組合わせた例を示すものである。図９では、図７及び図８に示された光学装置に用いられている光学系を顕微鏡に応用している。図９においては、図７の干渉光学系３８０の信号光路が、走査光学系５０３に導入され、走査光学系５０３からの光が顕微鏡５０１に入射する。走査光学系５０３は、図８に示された光学系で構成されている。
顕微鏡５０１はレボルバ５２０を備えており、ここに図８で用いられた対物レンズ４１０、４２０と別の対物レンズ５１０が取り付けられている。このレボルバ５２０を回転させることによって対物レンズを変換し、ＯＣＴとＯＣＭの観察を切り替えて行うことができる。
干渉光学系３８０と走査光学系５０３は、コンピュータ３７１により制御することが可能である。また、干渉光学系３８０と走査光学系５０３は、走査干渉光学ユニット５０２として一体に構成することが可能である。そして、この走査干渉光学ユニット５０２は顕微鏡５０１から取り外し可能であるように構成されている。したがって、観察用途に適した様々な顕微鏡に、この走査干渉光学ユニット５０２を取り付けることができる。
以上の本発明の光学系及び光学装置は、例えば次のように構成することができる。
〔１〕 光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記光源からの光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備え、
前記光分岐部材と前記対物レンズの間に光束径変換光学系を配置したことを特徴とする光学系。
〔２〕 前記光束径変換光学系は、対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系であることを特徴とする上記１記載の光学系。
〔３〕 前記走査系は光走査系、ステージ走査系であることを特徴とする上記１記載の光学系。
〔４〕 光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置され対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系と、
前記信号光路に配置され前記瞳リレー光学系によってリレーされた瞳位置の近傍に配置された光走査系と、
前記リレーされた瞳位置と前記光走査系を略一致させる補正機構と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子とを備えたことを特徴とする光学系。
〔５〕 前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光の周波数を変調する周波数変調部材を有することを特徴とする上記１から４の何れか１項記載の光学系。
〔６〕 前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光路長を変化させる光路長調整機構を有することを特徴とする上記１から５の何れか１項記載の光学系。
〔７〕 前記光路長調整機構が、光の周波数を変調可能であることを特徴とする上記６記載の光学系。
〔８〕 前記光検出素子で検出された光に対し、前記参照光路と前記信号光路との間の光の差周波数成分の信号を取得するための信号処理装置を有することを特徴とする上記５記載の光学系。
〔９〕 前記光検出素子で検出された光に対し、前記参照光路と前記信号光路との間の光の差周波数成分の信号を取得するための信号処理装置を有することを特徴とする上記７記載の光学系。
〔１０〕光源と、
前記光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置される少なくとも１つの対物レンズと、
前記対物レンズによって集光された光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子と、
前記光分岐部材と前記光合成部材の間に配置され光路長を変化させる光路長調整機構と、
走査制御機構を備えた光学装置であって、
前記走査系は前記集光された光と前記試料を前記対物レンズの光軸に平行な第１の方向に相対的に移動させる第１の走査機構と、前記集光された光と前記試料を該第１の方向と垂直な第２の方向に移動させる第２の走査機構を少なくとも備え、
前記走査制御機構は前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の何れかを選択する機能と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度を決定する機能とを備えたことを特徴とする光学装置。
〔１１〕 前記信号光路に配置可能で、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する少なくとも１つの対物レンズを有することを特徴とする上記１０記載の光学装置。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
〔１２〕 前記信号光路に配置可能で、Ｌｃ＜Ｄｆを満たす開口数を有する少なくとも１つの対物レンズを有することを特徴とする上記１１記載の光学装置。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
〔１３〕 前記走査制御機構は、前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の選択と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度の決定を、前記対物レンズの交換に伴い選択的に切り替えることを特徴とする上記１２記載の光学装置。
〔１４〕 前記走査制御機構は、以下のように前記走査速度の設定を行う上記１３記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
〔１５〕 前記走査制御機構は、以下のように前記走査速度の設定を行う上記１１記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
〔１６〕 前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を有することを特徴とする上記１０から１５の何れか１項記載の光学装置。
〔１７〕 前記参照光路又は前記信号光路のいずれか一方、あるいはその両方の光路に周波数変調部材を設け、該周波数変調部材は光路長を変化させることなく光の周波数を変調する作用を有し、該前記走査制御機構はＬｃとＤｆあるいはＬｃとＤｆ' の大小に関わらず、
ｖ２＞ｖ１
となるように前記走査速度を設定することを特徴とする上記１０から１３の何れか１項記載の光学装置。
ここで、Ｄｆ、Ｄｆ' は一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式、対物レンズの開口数をＮＡ' とした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。
〔１８〕 前記走査系は前記第２の方向と垂直な方向に移動させる第３の走査機構を有し、前記走査制御機構は以下のように走査速度の設定を行う上記１３記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
〔１９〕 前記走査系は前記第２の方向と垂直な方向に移動させる第３の走査機構を有し、前記走査制御機構は以下のように走査速度の設定を行う上記１１記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
〔２０〕 前記走査系は前記第２の方向と垂直な方向に移動させる第３の走査機構を有し、前記参照光路又は前記信号光路あるいはその両方に、光路長変化を伴うことなく光の周波数を変調する周波数変調部材を有することを特徴とする上記１３記載の光学装置。
〔２１〕 前記走査制御機構は使用する対物レンズの開口数あるいは有効開口数に応じて、以下のように走査速度の設定を行う上記２０記載の光学装置。
Ｌｃ＜ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ１＞ｖ３又はｖ２＞ｖ３＞ｖ１
Ｌｃ≧ＤｆあるいはＬｃ＜Ｄｆ' のとき、
ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。
〔２２〕 前記走査系に入射するかあるいは前記走査系から射出する光の光束径を変換する光束径変換光学系を有することを特徴とする上記１０から２１の何れか１項記載の光学装置。
〔２３〕 前記光束径変換光学系は、前記対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系であることを特徴とする上記２２記載の光学装置。
〔２４〕 前記信号光路に配置され、前記対物レンズの瞳をリレーする瞳リレー光学系と、前記瞳リレー光学系によりリレーされた瞳位置と前記光走査系の位置を略一致させる補正機構とを有することを特徴とする上記１０から２３の何れか１項記載の光学系。
〔２５〕 前記対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により発生する、前記信号光路と前記参照光路との分散特性の差を補正する分散調整素子であって、その分散調整量を選択的に又は連続的に調整可能である分散調整素子を有することを特徴とする上記１から２４の何れか１項記載の光学系あるいは光学装置。
〔２６〕 前記対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により発生する光路長の変化分を、光路長調整量として前記光路長調整機構により補償することを特徴とする上記６、７、９から２５の何れか１項記載の光学系あるいは光学装置。
〔２７〕 前記分散調整量又は前記光路調整量あるいはその両方を記憶するための記憶手段を有することを特徴とする上記２５または２６記載の光学系あるいは光学装置。
〔２８〕 前記光源は低コヒーレンス光源であることを特徴とする上記１から２７の何れか１項記載の光学系あるいは光学装置。
〔２９〕 上記１から８の何れか１項記載の光学系を有する顕微鏡。
〔３０〕 前記光学系が前記顕微鏡から取り外し可能であることを特徴とする上記２９記載の顕微鏡。
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の光学系及び光学装置によれば、ＯＣＴとＯＣＭの両者において、それぞれに最適な効率の良い観察を行い、両者の観察を容易に切り替えることができる。また、ＯＣＴとＯＣＭを切り替えて観察する場合において、切り替えに伴うＳ／Ｎ比の低下を防ぎ、両者の観察において高いＳ／Ｎ比を実現することできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光束径変換光学系を備えた光学系の構成を示す図であって、（ａ）入射光束径と射出光束径が同じ場合を示す図、（ｂ）入射光束径に比べて射出光束径が大きく変換された場合を示す図である。
【図２】瞳リレー位置補正機構を有する本発明の光学系の構成を示す図である。
【図３】本発明の光学装置の構成を示す図である。
【図４】観測範囲を３次元に拡張した本発明の光学装置の構成を示す図である。
【図５】実施例１の光学系の構成を示す図であって、（ａ）ＯＣＴ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図、（ｂ）ＯＣＭ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図である。
【図６】実施例２の光学装置の構成を示す図であって、（ａ）ＯＣＭ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図、（ｂ）ＯＣＴ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図である。
【図７】実施例３の光学装置の構成を示す図であって、（ａ）ＯＣＭ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図、（ｂ）ＯＣＴ用対物レンズを用いた時の光学系を示す図である。
【図８】実施例４の光学装置の一部の構成を示す図であって、（ａ）補正機構によって瞳リレー位置が補正されたときの図、（ｂ）補正機構がないときの図である。
【図９】実施例５として本発明の光学系有する顕微鏡の例を示す図である。
【図１０】低コヒーレンス光源のスペクトル分布と光学素子の分散特性を示す図である。
【図１１】低コヒーレンス干渉法のための一般的な光学系を示す図である。
【符号の説明】
１…光源
２…光分岐素子
３…対物レンズ
４…試料
５、２２、３２、３３…光走査系
６…光束径変換光学系
７…光合成素子
８…光検出素子
９…折り返しミラー
１０…ハーフミラー
１１…瞳リレー光学系
１２…補正機構
１３…対物レンズの瞳
２１…光路長調整機構
２４、３４…走査ステージ
２５、２６…対物レンズ
２７、３７…走査制御機構
２９、３９…観測点
３１…光路長調整機構
３５、３６…対物レンズ
８１…光源
８２…ビームスプリッタ
８３…反射鏡
８４…光検出器
８６…観測点
１０１…低コヒーレンス光源
１０２…ファイバーカップラー
１０３…参照光路
１０４…信号光路
１０５…コリメータレンズ
１０６…可動ミラー
１０７…コリメータレンズ
１０８…ガルバノミラー
１０９…瞳リレー光学系
１１０…対物レンズ
１１１…試料
１１２…観測点
１１３…対物レンズの瞳
１１４…光検出器
１１５…光束径変換光学系
１１９…瞳リレー光学系
１２０…対物レンズ
１２３…対物レンズの瞳
１３１、１３２…ＡＯＭ（音響光学素子）
１３３…信号処理装置
１９１…シングルモードファイバー端
２０１…低コヒーレンス光源
２０２…ファイバーカップラー
２０３…参照光路
２０４…信号光路
２０７…コリメータレンズ
２０８…ガルバノミラー
２０９…瞳リレー光学系
２１０…対物レンズ
２１１…試料
２１２…観測点
２１３…対物レンズの瞳
２１４…光検出器
２１５…光束径変換光学系
２１６…ステージ
２１９…リレー系
２２２…ファイバーカップラー
２３１、２３２…ＡＯＭ
２３３…信号処理装置
２４１…ファイバー端
２４２、２４３…コリメータレンズ
２４４…駆動部
２４５…駆動ステージ
２４６…サーキュレーター
２５１…分散調整素子
２６０…光路長調整機構
２６１…指示マーク
２６２、２６３…調整用目盛
２７０…走査制御機構
２９１…シングルモードファイバー端
３０１…低コヒーレンス光源
３０２…ファイバーカップラー
３０３…参照光路
３０４…信号光路
３０６…可動ミラー
３０７…コリメータレンズ
３０８…ガルバノミラー
３０９…瞳リレー光学系
３１０…対物レンズ
３１１…試料
３１２…観測点
３１３…対物レンズの瞳
３１４…光検出器
３１６…ステージ
３１８…ガルバノミラー
３１９…瞳リレー光学系
３２０…対物レンズ
３２２…ファイバーカップラー
３２３…対物レンズの瞳
３３１、３３２…ＡＯＭ
３３３…信号処理装置
３４２…コリメータレンズ
３４６、３４７…サーキュレーター
３５１…分散調整素子
３７１…コンピュータ
３７２…表示装置
３７３…アダプターレンズ
３８０…干渉光学系
３９１…シングルモードファイバー端
４０９…瞳リレー光学系
４１０…対物レンズ
４１３…対物レンズの瞳
４２０…対物レンズ
４２３…対物レンズの瞳
４７３…平行平面板
５０１…顕微鏡
５０２…走査干渉光学ユニット
５０３…走査光学系
５１０…対物レンズ
５２０…レボルバ
Claims (9)
- 光源からの光を参照光路と信号光路に分岐する境界面を備える光分岐部材と、
前記信号光路に配置される少なくとも１つの対物レンズと、
前記対物レンズによって集光された光と試料とを相対的に移動させる走査系と、
前記参照光路と前記信号光路を合成する境界面を備える光合成部材と、
前記光合成部材により合成された光を検出する光検出素子と、
前記光分岐部材と前記光合成部材の間に配置され光路長を変化させる光路長調整機構と、
走査制御機構を備えた光学装置であって、
前記走査系は前記集光された光と前記試料を、前記対物レンズの光軸と平行な第１の方向に相対的に移動させる第１の走査機構と、
前記集光された光と前記試料を、該第１の方向と垂直な第２の方向に移動させる第２の走査機構を少なくとも備え、
前記走査制御機構は前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の何れかを選択する機能と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度を決定する機能とを備え、
前記信号光路に配置可能で、Ｌｃ≧Ｄｆを満たす開口数を有する少なくとも１つの対物レンズを有することを特徴とする光学装置。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ） 2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。 - さらに、前記信号光路に配置可能で、Ｌｃ＜Ｄｆを満たす開口数を有する少なくとも１つの対物レンズを有することを特徴とする請求項１記載の光学装置。ここで、Ｄｆは一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離である。
- 前記走査制御機構は、以下のように前記走査速度の設定を行う請求項１記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。 - 前記走査系は前記第２の方向と垂直な方向に移動させる第３の走査機構を有し、前記走査制御機構は以下のように走査速度の設定を行う請求項１記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆ' のとき、ｖ１＞ｖ２＞ｖ３
Ｌｃ≧Ｄｆ' のとき、ｖ２＞ｖ３＞ｖ１
ここで、Ｄｆ' は信号光路に配置される対物レンズの有効開口数をＮＡ' 、光源の波長をλｃとした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２、ｖ３はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度、第３の方向への走査速度である。 - 前記走査制御機構は、前記第１の走査機構と前記光路長調整機構の選択と、前記選択された機構と前記第２の走査機構の走査速度の決定を、前記対物レンズの交換に伴い選択的に切り替えることを特徴とする請求項２記載の光学装置。
- 前記走査制御機構は、以下のように前記走査速度の設定を行う請求項５記載の光学装置。
Ｌｃ＜Ｄｆのとき、ｖ１＞ｖ２
Ｌｃ≧Ｄｆのとき、ｖ２＞ｖ１
ここで、Ｄｆは信号光路に配置される対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式より求まる値、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。 - 前記参照光路又は前記信号光路のいずれか一方、あるいはその両方の光路に周波数変調部材を設け、該周波数変調部材は光路長を変化させることなく光の周波数を変調する作用を有し、該前記走査制御機構はＬｃとＤｆあるいはＬｃとＤｆ' の大小に関わらず、
ｖ２＞ｖ１
となるように前記走査速度を設定することを特徴とする請求項５記載の光学装置。ここで、Ｄｆ、Ｄｆ' は一般的に焦点深度と呼ばれる値で、対物レンズの開口数をＮＡ、光源の中心波長をλｃとした場合、Ｄｆ＝λｃ／（ＮＡ）2 の式、対物レンズの開口数をＮＡ' とした場合、Ｄｆ' ＝λｃ／（ＮＡ' ）2 の式より求まる値である。また、Ｌｃは試料に入射する光の可干渉距離、ｖ１、ｖ２はそれぞれ第１の方向への走査速度、第２の方向への走査速度である。 - 前記対物レンズの有効開口数の変化及びこれに付随する光学系の変化により発生する、前記信号光路と前記参照光路との分散特性の差を補正する分散調整素子であって、その分散調整量を選択的に又は連続的に調整可能である分散調整素子を有することを特徴とする請求項１記載の光学系あるいは光学装置。
- 前記光分岐部材と前記光合成部材とが単一の光学部材からなることを特徴とする請求項１から８の何れか１項記載の光学系あるいは光学装置。
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