JP6358577B2 - 走査型光学顕微鏡 - Google Patents
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Description
走査型光学顕微鏡は、レーザー光などの光を対物レンズにより集光し、その光スポットを走査しながら試料に照射し、前記試料からの透過光もしくは反射光の強度を検出し、画像処理を行うことにより試料の像を得る。
また、前記光検出素子は、i)前記第1干渉光を受光する第1受光面、ii)前記第2干渉光を受光する第2受光面、iii)前記第3干渉光を受光する第3受光面、及びiv)前記第4干渉光を受光する第4受光面を含んでもよい。
図1は、本開示の実施の形態1における走査型光学顕微鏡の一例を示す構成図である。
なお、本実施の形態における、走査型光学顕微鏡においては、試料からの反射光により試料の像を得ているが、これに限定されるものではなく、たとえば、一般的に用いられる生物用の顕微鏡のように、試料の透過光より試料の透過像を得る、透過型の走査型光学顕微鏡であってもよい。
図5は、本開示の実施の形態2における走査型光学顕微鏡の一例を示す構成図である。図5に示すように、本実施の形態の走査型光学顕微鏡は、実施の形態1のレーザー光源1、コリメートレンズ2、第1のビームスプリッタ3、第1対物レンズ5、第1のレンズ8、ピンホール9、第2のレンズ10、ミラー11、位相板12、光合波素子13、結像レンズ14および光検出素子15(第2のビームスプリッタ4以外の構成)を備えている。さらに、本実施の形態の走査型光学顕微鏡は、第1の偏光ビームスプリッタ23と、1/4波長板24と、1/2波長板25と、第1の偏向ミラー37と、第2の偏向ミラー38とを備えている。
図6は、本開示の実施の形態3における走査型光学顕微鏡の一例を示す構成図である。図6に示すように、本実施の形態の走査型光学顕微鏡は、実施の形態2のレーザー光源1、コリメートレンズ2、第1のビームスプリッタ3、第1対物レンズ5、第1のレンズ8、ピンホール9、第2のレンズ10、ミラー11、光合波素子13、第1の偏光ビームスプリッタ23、1/4波長板24および1/2波長板25を備えている。言い換えると、本実施の形態の走査型光学顕微鏡は、実施の形態2の構成要素のうち、位相板12、結像レンズ14、光検出素子15、第1の偏向ミラー37および第2の偏向ミラー38以外の構成を備えている。さらに、本実施の形態の走査型光学顕微鏡は、1/4波長板26と、第2の偏光ビームスプリッタ27と、第3の偏光ビームスプリッタ28と、第1受光素子29と、第2受光素子30と、第3受光素子31と、第4受光素子32とを備えている。
なお、本実施の形態3における、走査型光学顕微鏡においては、試料からの反射光により試料の像を得ているが、これに限定されるものではなく、第1の実施の形態と同様、試料の透過光より試料の透過像を得る、透過型の走査型光学顕微鏡であってもよい。
図9は、本開示の実施の形態4における走査型光学顕微鏡の一例を示す構成図である。図9に示すように、本実施の形態の走査型光学顕微鏡は、レーザー光源1、コリメートレンズ2、第1対物レンズ5、第1のレンズ8、ピンホール9、第1の偏光ビームスプリッタ23、1/4波長板24、1/2波長板25、1/4波長板26、第2の偏光ビームスプリッタ27、第3の偏光ビームスプリッタ28、第1受光素子29、第2受光素子30、第3受光素子31、第4受光素子32、1/2波長板33、反射ミラー34および1/4波長板35を備えている。
2 コリメートレンズ
3 第1のビームスプリッタ
4 第2のビームスプリッタ
5 第1対物レンズ
6 試料
7 試料台
8 第1のレンズ
9 ピンホール
10 第2のレンズ
11 ミラー
12 位相板
13 光合波素子
14 結像レンズ
15 光検出素子
16 第1受光面
17 第2受光面
18 第3受光面
19 第4受光面
20 第1の信号演算装置
21 第2の信号演算装置
22 第3の信号演算装置
23 第1の偏光ビームスプリッタ
24 1/4波長板
25 1/2波長板
26 1/4波長板
27 第2の偏光ビームスプリッタ
28 第3の偏光ビームスプリッタ
29 第1受光素子
30 第2受光素子
31 第3受光素子
32 第4受光素子
33 1/2波長板
34 反射ミラー
35 1/4波長板
36 結像レンズ
37 第1の偏向ミラー
38 第2の偏向ミラー
101 レーザー光源
102 コリメートレンズ
103 ビームスプリッタ
104 走査ユニット
105 ミラー
106 ミラー
107 リレーレンズ
108 対物レンズ
109 試料
110 試料ステージ
111 検出器レンズ
112 ピンホール
113 光検出器
114 情報処理装置
115 回転制御装置
205 第2対物レンズ
213 光分岐素子
Claims (14)
- 光源と、
前記光源からの出射光を、照射光と参照光とに分岐する第1ビームスプリッタと、
前記照射光を試料上に集光し、前記集光された光が前記試料で反射された光である信号光を受光する第1対物レンズと、
前記光源と前記試料との間の光路から前記信号光を分岐する第2ビームスプリッタと、
前記分岐された信号光の光路中に設けられ、前記第1対物レンズの結像点と光学的に共役な位置に配置されたピンホールと、
前記分岐された信号光を前記ピンホールに集光する集光レンズと、
第1の少なくとも互いに位相が異なる4つの分割光を含む第1の光を出力する位相板と、
前記第1の光と第2の光を合波し、第2の少なくとも互いに位相が異なる4つの分割光を含む干渉光を生成する第3ビームスプリッタと、
前記干渉光を受光し、少なくとも4つの電気信号を出力する光検出素子を含み、
前記第1の少なくとも4つの分割光と前記第2の少なくとも4つの分割光は対応しており、
前記少なくとも4つの電気信号の強度と前記第2の少なくとも4つの分割光の強度は対応しており、
位相板は第1の位相板または第2の位相板であり、
前記位相板が前記第1の位相板である時は、前記参照光が前記第1の位相板に入力され、前記第2の光は前記ピンホールを透過した前記信号光であり、
前記位相板が前記第2の位相板であるときは、前記ピンホールを透過した前記信号光が前記第2の位相板に入力され、前記第2の光は前記参照光である、
走査型光学顕微鏡。 - 前記第1の少なくも互いに位相が異なる4つの分割光は、
i)第1分割域を透過した第1分割光、ii)第2分割領域を透過し前記第1分割光と位相が90度シフトした第2分割光、iii)第3分割領域を透過し前記第1分割光と位相が180度シフトした第3分割光、iv)第4分割領域を透過し前記第1分割光と位相が270度シフトした第4分割光を含む、
請求項1に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記光検出素子は、i)前記第1分割光に対応する第1干渉光を受光する第1受光面、ii)前記第2分割光に対応する第2干渉光を受光する第2受光面、iii)前記第3分割光に対応する第3干渉光を受光する第3受光面、及びiv)前記第4分割光に対応する第4干渉光を受光する第4受光面を含み、
前記第2の少なくとも互いに位相が異なる4つの分割光は前記第1干渉光、前記第2干渉光、前記第3干渉光、前記第4干渉光を含む、
請求項2に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記光検出素子は、前記第1受光面、前記第2受光面、前記第3受光面、第4受光面を同一平面に有する、
請求項3に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記第1受光面からの出力信号値と前記第3受光面からの出力信号値との差分を得る第1の信号演算器と、
前記第2受光面からの出力信号値と前記第4受光面からの出力信号値との差分を得る第2の信号演算器と、
前記第1の信号演算器からの出力信号値と前記第2の信号演算器からの出力信号値との二乗和平方根を出力する第3の信号演算器を含む、
請求項3に記載の走査型光学顕微鏡。 - 光源と、
前記光源からの出射光を、照射光と参照光とに分岐する第1ビームスプリッタと、
前記照射光を試料上に集光する第1対物レンズと、
前記試料上に集光され、前記試料を透過した信号光を受光する第2対物レンズと、
前記信号光の光路を変更する第2ビームスプリッタと、
前記光路を変更された信号光の光路中に設けられ、前記第1対物レンズの結像点と光学的に共役な位置に配置されたピンホールと、
前記光路を変更された信号光を前記ピンホールに集光する集光レンズと、
第1の少なくとも互いに位相が異なる4つの分割光を含む第1の光を出力する位相板と、
前記第1の光と第2の光を合波し、第2の少なくとも互いに位相が異なる4つの分割光を含む干渉光を生成する第3ビームスプリッタと、
前記干渉光を受光し、少なくとも4つ電気信号を出力する光検出素子と、
前記第1の少なくとも4つの分割光と前記第2の少なくとも4つの分割光は対応しており、
前記少なくとも4つの電気信号の強度と前記第2の少なくとも4つの分割光の強度は対応しており、
位相板は第1の位相板または第2の位相板であり、
前記位相板が前記第1の位相板である時は、前記参照光が前記第1の位相板に入力され、前記第2の光は前記ピンホールを透過した前記信号光であり、
前記位相板が前記第2の位相板である時は、前記ピンホールを透過した前記信号光が前記第2の位相板に入力され、前記第2の光は前記参照光である、
走査型光学顕微鏡。 - 前記位相板は、
i)第1分割域を透過した第1分割光、ii)第2分割領域を透過し前記第1分割光と位相が90度シフトした第2分割光、iii)第3分割領域を透過し前記第1分割光と位相が180度シフトした第3分割光、iv)第4分割領域を透過し前記第1分割光と位相が270度シフトした第4分割光に分割して出力する、
請求項6に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記光検出素子は、i)前記第1分割光に対応する第1干渉光を受光する第1受光面、ii)前記第2分割光に対応する第2干渉光を受光する第2受光面、iii)前記第3分割光に対応する第3干渉光を受光する第3受光面、及びiv)前記第4分割光に対応する第4干渉光を受光する第4受光面を含み、
前記第2の少なくとも互いに位相が異なる4つの分割光は前記第1干渉光、前記第2干渉光、前記第3干渉光、前記第4干渉光を含む、
請求項7に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記光検出素子は、前記第1受光面、前記第2受光面、前記第3受光面、第4受光面を同一平面に有する、
請求項8に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記第1受光面からの出力信号値と前記第3受光面からの出力信号値との差分を得る第1の信号演算器と、
前記第2受光面からの出力信号値と前記第4受光面からの出力信号値との差分を得る第2の信号演算器と、
前記第1の信号演算器からの出力信号値と前記第2の信号演算器からの出力信号値との二乗和平方根を出力する第3の信号演算器を含む、
請求項9に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記試料上の微小スポットを走査するスポット走査装置を備えた、
請求項1に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記スポット走査装置は電動ステージであり、
前記試料を前記電動ステージにより、2次元または3次元方向に移動することにより、
前記試料と前記微小スポットの相対位置を変え、前記試料の画像情報を得る、
請求項11に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記スポット走査装置は、ガルバノスキャナ、または、音響光学素子、または、電気光学素子のいずれかであり、
前記照射光の光軸傾きを変えることで、前記試料上の前記微小スポットの位置を2次元方向に走査し、前記試料の画像情報を得る、
請求項11に記載の走査型光学顕微鏡。 - 前記光源は、レーザー、または、スーパールミネッセントダイオード、または、発光ダイオード、または、ハロゲンランプである、
請求項1に記載の走査型光学顕微鏡。
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