JP4747995B2 - 光走査装置 - Google Patents

Description

本発明は光走査装置に関し、特に複数の光源から発せられた光ビームを偏向素子にて偏向し走査露光を行う光走査装置に関する。

近年ドキュメントの多色化が進み画像形成装置においてもカラー画像の生産性の向上を図る試みがされており、複数の感光体を用いてカラー画像の生産性を向上させたカラーレーザプリンタが商品化されている。

これら複数感光体を使用する画像形成装置に用いられる露光装置は各感光体に対応した複数の走査装置を並列に配置する方法が用いられているが、小型化また、部品点数を少なくし、より低コストとするために複数ビームを単一の偏向器により偏向し複数感光体を走査する方式が提案されている。

各感光ドラムの感光面上に静電潜像を形成するための走査光学系としては、各感光ドラムに回転多面鏡と結像光学系とを１組ずつ備えたものもあるが、回転多面鏡と結像光学系とを４組用意するのはコスト的に問題がある。そのため、近年では、１つの回転多面鏡を共通に利用することにより複数本のレーザー光束を同時に偏向するとともに、それ以後において各レーザー光束をこれらに個々に対応する結像光学系に夫々入射させて各感光ドラムに導く走査光学系が存在する。

複数の光ビームを所定の被走査面上にそれぞれ独立に照射するには回転多面鏡で偏向反射された後に該複数の光ビームを分離する必要があるが、同一波長の光源に対しては空間分離が必要となる。例えば回転多面鏡の偏向面（反射面）に対し副走査断面内で斜め方向から光ビームを入射させると目的の空間分離が可能になる。しかし光学構成がコンパクトになる走査光学装置においては空間分離の為の光路長が短いために偏向面に対する斜入射角が大きくなり、このため被走査面上の走査線曲がりと結像性能の劣化といった問題が発生する。

ここでｆθレンズを構成する回転非対称レンズであるトーリックレンズのレンズ形状を、入射ビームの走査線軌跡に沿った母線曲がりを与えることにより結像性能の劣化を解決し、かつトーリックレンズの少なくとも一方のレンズ面の母線を副走査方向に光軸に対し所定量シフトさせることにより走査線湾曲を補正し、斜入射による複数ビームの空間分離を可能とし、回転多面鏡の薄型化／軽量化を図った構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

上記の構成では個別レンズ／共通レンズに分離されたｆθレンズのうち、個別レンズの透過面に母線湾曲面を使用し、副走査方向に複数ビームをそれぞれ異なる角度で入射するサジタルオフセット時のBＯＷ（走査線曲がり）補正を行っている。ところが、斜め入射時に結像特性を良好に補正するためには共通レンズに副走査方向のパワーを持たせることもあり、最終的な像面の位置で副走査方向の像面湾曲を補正する必要があるが、上記の構成では像面湾曲の補正が難しい。

あるいは、回転多面鏡に入射される複数本のレーザー光束が回転多面鏡の中心軸に直交する平面に対して傾けられている構成を採りながら、fθ特性、像面湾曲等を良好に保ちつつ走査線湾曲を補正する走査光学系が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

共通レンズには主走査方向の断面形状が主走査方向の距離の関数として、また副走査方向の曲率が主走査方向の距離の関数として独立に定義されるアナモフィック非球面を使用し、個別レンズには基準平面からのサグ量が主走査方向・副走査方向それぞれの光軸からの距離の関数として表されている面を使用している。

この場合、主走査方向における望ましい特性を出すための複雑な面形状と、副走査方向の望ましい特性を出すための複雑な面形状を同一の面にもたせていて、、初期性能を追い込むための金型修正時などに主走査と副走査の性能を独立して修正することが難しい。

すなわち、副走査方向の特性を補正すればこれに連動して主走査方向の性能も変動してしまうので、一方をベストの状態に調整できたとしても他方の性能が劣化してしまう虞がある。
特開平１０−０７３７７８号公報 特開２００３−１４９５７３号公報

本発明は上記事実を考慮し、主走査方向の特性と副走査方向の特性を互いに独立して調整可能な光走査装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の光走査装置は、光源と、前記光源から発せられる光を平行光束に変換する第一の光学素子と、前記光を主走査方向に偏向し被走査物の被走査面を走査露光させる偏向素子と、前記光を前記偏向素子上にて前記主走査方向と直交する副走査方向について線上に結像させるための第二の光学素子と、前記偏向素子で偏向した前記光を前記被走査面上にて結像させ、かつ等速で走査露光させるための金型で成形された２枚のモールドレンズからなる第三の光学素子および第四の光学素子とを備え、前記第三の光学素子の、前記光が入射する入射面は、像面上の主走査方向の特性のみに影響を与える面であり、前記第四の光学素子の、前記光が出射する出射面は、像面上の副走査方向の特性のみに影響を与える面であると共に、副走査方向の像面湾曲と走査線湾曲を補正する面形状を備え、前記偏向素子に入射する光は、副走査方向に対して角度を持って入射することを特徴とする。

上記構成の発明では、第四の光学素子の副走査方向の特性を満たすための面には主走査方向の性能に影響する特性を持たせない面としたことで、第三の光学素子の入射面で主走査方向の光学特性を、第四の光学素子の出射面で副走査方向の光学特性をそれぞれ独立に調整し、光学性能を追求することができる。また、第四の光学素子の出射面を副走査方向の像面湾曲と走査線湾曲を補正する面形状としたことで、主走査方向／副走査方向独立にレンズの特性を調整することができる。また２枚のレンズを用いることで使用できる面の数が増えるので、主走査方向／副走査方向独立にレンズの特性を調整し、光学性能を追求し易くする。さらに、副走査方向に複数のビームを通すことができるので、装置のサイズを小型化することができる。

請求項２に記載の光走査装置は、前記第三の光学素子の、副走査方向について前記被走査面に沿って走査線形状及び結像特性を補正し、主走査方向においてレンズパワーを持たない面の形状は、レンズ面上の座標が(x,y,z)で表され、副走査方向の座標をx,主走査方向の座標をy,光軸方向の座標をzとしたとき、

の数式で記述されることを特徴とする。

上記構成の発明では、副走査方向の特性を満たすための面には主走査方向の性能に影響する特性を持たせない面としたことで、主走査方向／副走査方向独立にレンズの特性を調整し、光学性能を追求することができる。

請求項３に記載の光走査装置は、複数の前記光源が複数の前記被走査物を走査露光することを特徴とする。

上記構成の発明では、複数の光源から発せられた光ビームで複数の感光体を走査露光するカラー画像形成装置とすることができる。

本発明は上記構成としたので、主走査方向の特性と副走査方向の特性を互いに独立して調整可能な光走査装置とすることができた。

＜基本構成＞
図１には本発明に係る光走査装置を備えた画像形成装置が示されている。

図１は本発明に係る光走査装置を備えたフルカラーレーザビームプリンタを示すものである。

この画像形成装置１０は、図１に示すように、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）用の各感光体ドラム３２Y〜３２Ｋを有する現像装置３０Y〜３０Ｋと、これら感光体ドラム３２Y〜３２Ｋ に接触する一次帯電用の帯電ロールと、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色のレーザ光３１Ｙ〜３１Ｋを照射するＲＯＳ（RAster Output SCAnner）２０とで、その主要部が構成されている。

感光体ドラム３２Y、３２Ｍ、３２C、３２Ｋは、共通の接平面を有するように一定の間隔をおいて配置されている、所謂タンデム式のカラープリンタとなっている。各色毎の画像情報に応じた信号は、図示しない画像処理ユニットによりラスタライジングされてＲＯＳ２０に入力される。このレーザ光学ユニットでは、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色のレーザ光が変調され、対応する色の感光体ドラム３２Y〜３２Ｋに照射される。

上記各感光体ドラム３２Y〜３２Ｋでは、周知の電子写真方式による各色毎の画像形成プロセスが行なわれる。まず、上記感光体ドラム３２Y〜３２Ｋとしては例えばＯＰC感光体を用いた感光体ドラムが用いられ、これらの感光体ドラム３２Y〜３２Ｋは回転駆動される。上記感光体ドラム３２Y〜３２Ｋの表面は帯電ロールによってＤC電圧を印加することで例えば約−３００Ｖ程度に帯電される。

表面電位を印加された感光体ドラム３２Y〜３２Ｋの表面には、露光装置としてのＲＯＳ２０によってイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色に対応したレーザ光３１Ｙ〜３１Ｋが照射され、各色毎の入力画像情報に応じた静電潜像が形成される。ＲＯＳ２０でレーザ光３１Ｙ〜３１Ｋが照射され、画像が書き込まれることにより、感光体ドラム３２Y〜３２Ｋ上の画像露光部の表面電位は画線部、すなわち露光した箇所が除電され静電潜像が形成される。

次いで、上記感光体ドラム３２Y〜３２Ｋの表面に形成されたイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色に対応した静電潜像は、対応する色の現像装置３０Y〜３０Ｋによって現像され、感光体ドラム３２Y〜３２Ｋ上にイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色のトナー像として現像され可視化される。

各現像装置３０Y〜３０Ｋには、それぞれ色の異なったイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）色のトナー及びキャリアからなる現像剤が充填されている。これらの現像装置３０Y〜３０Ｋは、図示しないトナー補給装置からトナーが補給され、補給されたトナーは各現像装置３０Y〜３０Ｋ内部のオーガーで充分にキャリアと攪拌されて摩擦帯電される。

キャリアと攪拌されて摩擦帯電され現像ロール３３上に供給されたトナーは、マグネットロールの磁力によって、キャリアとトナーで構成された磁気ブラシを形成する。この磁気ブラシが感光体ドラム３２Y〜３２Ｋと接触している。現像ロール３３に現像バイアス電圧を印加して、現像ロール３３上のトナーを感光体ドラム３２Y〜３２Ｋ上に形成された静電潜像にトナーを転写することにより、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色のトナー画像が形成される。

次に、上記各感光体ドラム３０Ｙ〜３０Ｋ上に形成されたイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色のトナー像は用紙Ｐ上に位置合わせを行い
重ねてそれぞれ転写される。これにより用紙Ｐ上には、Ｙ単色像上にシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）色をそれぞれ重ねた四重色像として最終的なフルカラートナー像が形成されることになる。

最後に、用紙Ｐ上に形成されたイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）のフルカラートナー像は定着器３４によって熱溶着されることで用紙Ｐ上に定着され、一連の画像形成プロセスが完了する。
＜光走査装置＞
図２には本発明に係る光走査装置が、また図３には光走査装置の光路が示されている。

図２に示すように、光走査装置であるＲＯＳ２０はＹ〜Ｋ４色それぞれの光源２１から発せられたレーザ光３１をコリメータレンズ２２で平行光束とし、ポリゴンミラー２３で主走査方向に偏向する。

ポリゴンミラー２３へのビーム入射方式として、複数ビームを主走査方向に角度差を持たせるタンジェンシャル・オフセット入射や、副走査方向に複数ビームをそれぞれ異なる角度で入射するサジタル・オフセット入射などが考えられるが、本発明の場合は反射面２３Aに入射する各色のレーザ光３１はそれぞれ副走査方向（図中上下方向）に所定の角度を持ち、サジタル方向に互いにオフセット入射とすることで反射面２３Aの副走査方向のサイズを小さくすることができる。

しかし前述のように同一波長の光源に対しては各色の光源を感光体ドラム３２Y〜３２Ｋに導くために空間分離が必要となる。例えば反射面２３Aに対し副走査断面内で斜め方向からレーザ光３１を入射させると目的の空間分離が可能になるが、ＲＯＳ２０を小型化すれば空間分離の為の光路長が短くなるため反射面２３Aに対する斜入射角が大きくなり、このため被走査面上の走査線曲がりと結像性能の劣化といった問題が発生する。これに対応するため、本発明では後述のように共通・個別ｆθレンズの面形状を設定している。

ポリゴンミラー２３で偏向されたレーザ光３１は共通ｆθレンズ２４に入射し、２色ずつ副走査方向に分割されて第１ミラー２５に入射する。すなわちイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）のレーザ光３１Ｙ、３１Ｍは第１ミラー２５Aに入射し、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）のレーザ光３１C、３１Ｋは第１ミラー２５Bに入射する。

レーザ光３１は第１ミラー２５から更に１色ずつ副走査方向に分割されて第２ミラー２６に入射する。すなわち、図３（Ａ）に示すようにレーザ光３１Ｙ、３１Ｍはそれぞれ第２ミラー２６Ｙ、２６Ｍに入射し、レーザ光３１C、３１Ｋはぞれぞれ第２ミラー２６C、２６Ｋに入射する。副走査方向両端に近いレーザ光３１Ｙ、３１Ｋはそのまま第２ミラー２６で反射される。こののちレーザ光３１Ｙ、３１Ｋは個別ｆθレンズ２８Ｙ、２８Ｋに入射し、走査線２９Ｙ、２９Ｋとして結像する。

またレーザ光３１Ｍ、３１Cはそれぞれ第３ミラー２７Ｍ、２７Cに入射／反射され、個別ｆθレンズ２８Ｍ、２８Cに入射し、走査線２９Ｍ、２９Cとして結像する。

このとき、上記の個別ｆθレンズ２８Ｙ〜２８Ｋは個別形状のレンズ４個を使用するのではなく、本実施形態の光路が副走査方向に対称な構造である点を利用して、同一形状の個別ｆθレンズ２個を組として用いる。

すなわち個別ｆθレンズ２８Ｙ、２８Ｋは同一形状のレンズを配置位置／方向を違えたものであり、同様に個別ｆθレンズ２８Ｍ、２８Cは同一形状のレンズを配置位置／方向を違えたものである。これにより個別ｆθレンズ２８は装置全体として２種類のレンズを２個ずつ用意すればよいので、部品点数を削減しコストを低減することができる。

また、共通ｆθレンズ３２および個別ｆθレンズ２８を始めプラスチックモールドによる成形部品を採用することで、走査光学系（ｆθレンズ、シリンダーミラー）の枚数削減、ポリゴンミラー２５の厚さ減少、部品コスト減、光学素子のレイアウト自由度の向上などのメリットがある。
＜光路と面形状＞
図４には本発明に係る光走査装置の光路展開図が示されている。

図４（Ａ）に示すように、本発明では副走査方向においてポリゴンミラー上で4色の光線が一致し、最後のｆθレンズでは各色毎に個別のfθレンズを持たせている。

そのため走査線曲がり（BＯＷ）の発生は不可避であり、本発明のように所謂タンデム式のカラープリンタで光走査装置を小型化しコストを低減するためにレンズの枚数が少なくする必要があり、レンズ１枚あたりに必要とされる機能が多くなる。

しかし前述のように主走査方向の特性を出すための複雑な面形状と、副走査方向の特性を出すための複雑な面形状とを同一面にもたせてしまうと、初期性能を追い込むためのｆθレンズ金型修正時などに主走査方向の特性と副走査方向の特性を独立して修正することが難しい。

主走査特性（ビーム径、倍率など）と副走査特性（ビーム径、BＯＷ補正など）を同一の面で補正するような形状の面をｆθレンズに使用すると、レンズ作り込み時の修正（成形条件、型修正など）によって主走査／副走査で互いに独立して特性を修正できず、レンズ性能の確立が難しくなる。例えば副走査特性×／主走査特性○などの場合、副走査特性を修正すれば主走査特性が悪化してしまう。

すなわち主走査方向の特性を調整すれば副走査方向の性能にも影響が出てしまい、あるいは副走査方向の特性を調整すれば主走査方向の性能にも影響が出てしまう。これにより双方の性能を十分に調整することが難しくなってしまう。

そこで本発明では後述のように副走査方向の特性（例えば上記のようなサジタルオフセット時の走査線湾曲補正と副走査方向の像面湾曲補正）を満たすための面には主走査方向の性能に影響する特性を持たせない面形状とし、また主走査方向の特性を満たすための面（リニアリティ補正、主走査方向の像面湾曲補正）に副走査方向の性能に影響する特性を持たせない面形状とすることで、主走査方向／副走査方向独立にレンズの性能を追い込んで行くことができる。
＜共通ｆθレンズ＞
図５には本発明に係る光走査装置の共通ｆθレンズが示されている。

図５に示すように、本発明では共通ｆθレンズ２４にレーザ光３１が入射する面をＳ１、出射する面をＳ２とするとき、入射面Ｓ１はアナモルフィック非球面、出射面Ｓ２はｙトーリック面とする。

ここでは、ｙトーリック面である出射面Ｓ２はｘ方向、つまり副走査方向の曲率は常に一定であり、下記z(y)で表される形状をy軸の周りに回転してできる面形状となっている。

すなわち、
CUY：光軸原点の主走査方向曲率
K：コーニック定数
A,B,C,D:y軸方向の高次の係数
とすると、
共通ｆθレンズ２４の出射面Ｓ２は

なる式で記述される。

また共通ｆθレンズ２４の入射面Ｓ１は、
CUX：光軸原点の副走査方向曲率
CUY：光軸原点の主走査方向曲率
Kx：副走査方向コーニック定数
Ky：主走査方向コーニック定数
AR,BR,CR,DR：回転対称の偶数次係数
AP,BP,CP,DP：回転対称の奇数次係数
C0：光軸原点の副走査方向曲率半径
とすると、

なる式で記述される。
＜個別ｆθレンズ＞
図６には本発明に係る光走査装置の個別ｆθレンズが示されている。

図６に示すように、本発明では個別ｆθレンズ２８にレーザ光３１が入射する面をＳ１、出射する面をＳ２とするとき、入射面Ｓ１はｙトーリック面、出射面Ｓ２はｘｙ面上でｘ１（ｙ）で作られる母線を頂点とし、曲率半径Ｒ（ｙ）が主走査方向の位置ｙで決まる円弧を連ねて作られる面とする。この出射面Ｓ２は母線が湾曲し副走査方向の曲率が主走査方向に沿って変化する面である。

入射面Ｓ１は前述の共通ｆθレンズ２４の出射面Ｓ２と同様の式で表される。

これに対して個別ｆθレンズ２８の出射面Ｓ２は

なる式で記述され、この式に使われている変数C0、B2ｎ，Ｘ0，A2ｎ等を変えても、後述のように主走査方向の特性にはほとんど影響を与えない。

上記のように、出射面Ｓ２の面形状を規定することで、主走査方向の特性を調整すれば副走査方向の性能にも影響が出てしまい、あるいは副走査方向の特性を調整すれば主走査方向の性能にも影響が出てしまうといった事態を防ぐことができる。

すなわち副走査方向の特性（例えば前述のようなサジタルオフセット時の走査線湾曲補正と副走査方向の像面湾曲補正）を満たすための面、すなわち個別ｆθレンズの出射面Ｓ2、には主走査方向の性能に影響する特性を持たせない面形状とし、また逆に主走査方向の特性（リニアリティ補正、主走査方向の像面湾曲補正）を満たすための面、に副走査方向の性能に影響する特性を持たせない面形状をもたせることで、主走査方向／副走査方向独立にレンズの性能を追い込んで行くことができる。
＜レンズ特性＞
図７〜１０には本発明に係る光走査装置のカラーレジ特性および結像特性の設計性能が示されている。

本発明に係る光走査装置の特性は、図３（Ａ）に示すように外側２色（＝ＹＫ色）と内側２色（ＭC色）でそれぞれ異なる形状の個別ｆθレンズ２８を２個ずつ用いており、諸特性もまたこの２つの系統に大別される。

主走査方向中央を０としたときの走査線３１の形状を図７、リニアリティ（倍率ずれ）を図８に示す。

図７に示すように、外側２色（＝ＹＫ色）と内側２色（ＭC色）では走査線３１の形状とはほぼ平坦であり、走査領域全域に渡って走査線の色間差は数um以下に抑えられている。走査線の傾きについては個別レンズを光軸に対して垂直な面内で回転調整することにより各色の走査線を一致させることができる。

図８に示すように外側２色（＝ＹＫ色）と内側２色（ＭC色）の間で、倍率ずれ特性の差はほとんどなく同じく走査領域に全域に渡って数um以下に抑えられている。

図９には主走査方向中央を０としたときの像面湾曲特性が示されている。

図９に示すように各色ともデフォーカス値はp−pで1.0mm以内に抑えられており像面湾曲特性は良好に補正されてる。

このため、メリジオナル方向の特性を維持したままサジタル方向の特性を調整するには本発明の構成、すなわち主走査方向の特性（例えば上記のようなサジタル方向のビーム径補正）を満たすための面には副走査方向の性能に影響する特性を持たせない面形状を使うことで、メリジオナル方向の特性に好ましくない影響を与えずに像面湾曲特性を補正することができる。

すなわち、例えば図１０（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、本発明に係る個別ｆθレンズ２８のＳ２面において変数C０、つまり光軸原点の副走査方向曲率半径を５%変えた場合の主走査方向特性（LineArity、主走査像面）と副走査方向の像面位置を比較すると、副走査方向の像面位置を図１０（Ｃ）のように移動させた場合でも主走査方向特性は図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように殆ど変化がない。これにより主走査特性に影響を与えずに副走査方向の像面位置を移動させることができる。

あるいは図１１（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、本発明に係る個別ｆθレンズ２８のＳ２面において変数A２、つまり母線形状を決める係数を５%変えた場合の主走査方向特性（LineArity、主走査像面）と走査線形状を比較すると、走査線形状を図１１（Ｃ）のように変動させた場合でも主走査方向特性は図１１（Ａ）、（Ｂ）に示すように殆ど変化がない。これにより主走査特性に影響を与えずに走査線形状を調整することができる。
＜まとめ＞
以上のように本発明では副走査方向の特性（例えばサジタルオフセット時の走査線湾曲補正と副走査方向の像面湾曲補正）を満たすための面には主走査方向の性能に影響する特性を持たせない面形状とし、また主走査方向の特性を満たすための面（リニアリティ補正、主走査方向の像面湾曲補正）に副走査方向の性能に影響する特性を持たせない面形状とすることで、主走査方向／副走査方向独立にレンズの特性を調整し、光学性能を追求することが可能となった。
＜その他＞
以上、本発明の実施例について記述したが、本発明は上記の実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得ることは言うまでもない。

すなわち本実施形態ではタンデム式のフルカラー画像形成装置への適用であるが、これに限定されず例えば単色モノクロ画像形成装置や３色以下の画像形成装置を用いてもよいことは言うまでもない。

本発明に係る光走査装置を備えた画像形成装置を示す図である。 本発明に係る光走査装置の内部を示す斜視図である。 本発明に係る光走査装置の部品配置と光路を示す図である。 本発明に係る光走査装置の光路を示す展開図である。 本発明に係る光走査装置の共通ｆθレンズを示す図である。 本発明に係る光走査装置の個別ｆθレンズを示す図である。 本発明に係る光走査装置の色別の走査線形状を示す図である。 本発明に係る光走査装置の色別の倍率ズレを示す図である。 本発明に係る光走査装置のサジタル／タンジェンシャル方向別の像面湾曲を示す図である。 本発明に係る光走査装置の個別ｆθレンズＳ２面において変数C０を変化させたときの主／副走査方向の特性変化を示す図である。 本発明に係る光走査装置の個別ｆθレンズＳ２面において変数A２を変化させたときの主／副走査方向の特性変化を示す図である。

符号の説明

１０ 光走査装置
２０ 光走査装置
２３ ポリゴンミラー
２４ 共通ｆθレンズ
２５ 第１ミラー
２６ 第２ミラー
２７ 第３ミラー
２８ 個別ｆθレンズ
２９ 走査線
３０ 現像器
３１ レーザ光

Claims (3)

1. 光源と、
   前記光源から発せられる光を平行光束に変換する第一の光学素子と、
   前記光を主走査方向に偏向し被走査物の被走査面を走査露光させる偏向素子と、
   前記光を前記偏向素子上にて前記主走査方向と直交する副走査方向について線上に結像させるための第二の光学素子と、
   前記偏向素子で偏向した前記光を前記被走査面上にて結像させ、かつ等速で走査露光させるための金型で成形された２枚のモールドレンズからなる第三の光学素子および第四の光学素子とを備え、
   前記第三の光学素子の、前記光が入射する入射面は、像面上の主走査方向の特性のみに影響を与える面であり、
   前記第四の光学素子の、前記光が出射する出射面は、像面上の副走査方向の特性のみに影響を与える面であると共に、副走査方向の像面湾曲と走査線湾曲を補正する面形状を備え、
   前記偏向素子に入射する光は、副走査方向に対して角度を持って入射することを特徴とする光走査装置。
2. 前記第三の光学素子の、副走査方向について前記被走査面に沿って走査線形状及び結像特性を補正し、主走査方向においてレンズパワーを持たない面の形状は、レンズ面上の座標が(x,y,z)で表され、副走査方向の座標をx,主走査方向の座標をy,光軸方向の座標をzとしたとき、以下の数式で記述されることを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
   

   
3. 複数の前記光源が複数の前記被走査物を走査露光することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光走査装置。

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