JP4741957B2 - 基板の処理装置 - Google Patents

Description

この発明は基板を処理するためのチャンバを有する基板の処理装置に関する。

液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。

つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、基板のレジストが除去された部分をエッチングし、エッチング後にレジストを除去するなどの一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。

このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液によって基板を処理する工程、さらにリンス液によって洗浄する工程などがあり、洗浄後には基板に付着残留したリンス液を除去する乾燥工程が必要となる。

基板に対して上述した一連の処理を各種の処理液で行う場合、基板を水平に搬送したのでは、基板に供給される処理液の重量によって基板が撓むため、基板の処理を全面にわたって均一に行なうことができなくなるということがある。

そこで、処理液によって基板を処理する際、上記基板が処理液の重量によって撓むのを防止するため、基板を所定の傾斜角度、たとえば７５度の角度で傾斜させて搬送するということが考えられている。基板を傾斜させて搬送すれば、処理液は基板の板面に溜まらず、上方から下方へ円滑に流れるから、処理液の重量によって基板が撓むのを防止することができる。

ところで、基板に対して薬液処理、リンス液処理及び乾燥処理などの複数の処理を連続して行なう場合、処理装置は基板に対して複数の処理を順次行なう複数の処理ユニットが一列に配置された構造となる。

上記処理ユニットはチャンバを有する。このチャンバは、処理液に対して耐蝕性を有する、たとえばステンレス鋼板などの板材によって形成されている。各チャンバには基板を処理するための処理液が供給される。

上記チャンバの内部にはノズル体が設けられる。各ノズル体はチャンバの内部に設けられた内部給液管に接続されている。内部給液管と外部給液管は、互いに連通する状態でチャンバの後板に対して液密に接続される。それによって、上記外部給液管に供給された処理液は、外部に漏れることなく、内部給液管を通じて上記ノズル体からチャンバ内を搬送される基板に向けて噴射される。

図５はチャンバ１の後板１ａに対して外部給液管２と内部給液管３を互いに連通した状態で液密に接続する従来構造を示す。すなわち、外部給液管２の端部には外部フランジ４が溶接ｗによって液密に接続され、内部給液管３の端部には内部フランジ５が溶接ｗによって液密に接続される。

上記チャンバ１の後板１ａには開口部６が形成されていて、この開口部６の周囲には、後板１ａの外面と内面にそれぞれ第１の固定フランジ７と第２の固定フランジ８とが上記側板１ａに溶接ｗによって液密に接続固定されている。

そして、上記第１の固定フランジ７には上記外部フランジ４がシール材９を介してねじ１１によって液密に取付け固定され、上記第２の固定フランジ８には上記内部フランジ５がシール材１２を介してねじ１３によって液密に取付け固定される。

それによって、上記外部給液管２と内部給液管３とが互いに連通する状態でチャンバ１の後板１ａに対して液密に接続されることになるから、外部給液管２に供給された処理液を、チャンバ１の外部に漏洩させることなく、上記内部給液管３に供給することができるようになっている。

一方、図示はしないが、チャンバの側板には上下方向に沿って細長い長孔が開口形成されている。隣り合う一対のチャンバの側板は、互いの長孔が連通する状態で液密に接続される。

従来、隣り合う一対のチャンバの側板を液密に接続する場合、一方のチャンバの側板の内面に第１の枠状部材を設け、他方のチャンバの側板の内面には第２の枠状部材を設ける。各枠状部材は外形寸法が上記長孔よりも大きく形成され、内径寸法が上記長孔よりも小さいとともに上記基板が通過可能な大きさに形成されている。

各枠状部材は周辺部を各チャンバの側板に溶接によって固定される。そして、第１の枠状部材と第２の枠状部材は、上記長孔の内方に突出したこれらの内周部の対向面間にシール材を介在させ、外周部で一対のチャンバの側板を挟んだ状態でねじ止め固定される。それによって、一対の枠状部材が一対のチャンバの側板に対して液密に、しかも隣り合うチャンバが上記長孔を介して連通して接続される。

従来、外部給液管と内部給液管をチャンバの後板に液密に接続するには、上記後板の開口部が形成された部分の外面と内面に、それぞれ外部フランジと内部フランジを溶接によって固定しなければならなかった。

チャンバはステンレス鋼板などの金属板によって形成されている。そのため、チャンバの後板に外部フランジと内部フランジを溶接によって固定すると、溶接時の熱によって後板に歪みが生じ、チャンバの形状精度が低下するということがあるばかりか、上記外部フランジと内部フランジの溶接作業を伴うから、その作業に多くの手間が掛かるということがある。

また、隣り合うチャンバを、各チャンバの側板に形成された長孔の液密状態を維持して接続する場合にも、連結固定される枠状部材をそれぞれのチャンバの内面に溶接するようにしている。そのため、各枠状部材を溶接することで、チャンバの側板に熱歪みが生じてチャンバの形状精度が低下するということがあったり、溶接作業に手間が掛かり、生産性の低下を招くということがある。

この発明はチャンバに対する溶接作業を伴わずに、チャンバの後板に外部給液管と内部給液管を液密に接続したり、隣り合うチャンバの長孔が形成された側板を液密に接続することができるようにした基板の処理装置を提供することにある。

この発明は、基板を処理液によって処理する処理装置であって、
上記基板が供給されるチャンバと、
上記処理液を上記チャンバへ供給する外部給液管と、
上記チャンバ内に設けられ上記外部給液管に供給された処理液をチャンバ内に導入する内部給液管と、
上記チャンバの一側板に形成された開口部で上記一側板に対して上記外部給液管と上記内部給液管を液密に接続する接続手段を具備し、
上記接続手段は、
外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記外部給液管の端部が溶接される外部フランジと、
外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記内部給液管の端部が溶接される内部フランジと、
上記開口部で上記チャンバの一側板を挟んで上記外部フランジと内部フランジをねじ止め固定する締結手段と、
上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方に設けられそのフランジと上記チャンバの一側板との液密状態を確保する第１のシール材と
上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方のフランジに設けられこれら第１のフランジと第２のフランジとの上記開口部で対向する面の液密状態を確保する第２のシール材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。

この発明は、基板を処理液によって処理する処理装置であって、
側板に長孔が開口形成された複数のチャンバを有し、複数のチャンバが互いの側板を対向させて並設される装置本体と、
並設された一対のチャンバの側板の上記長孔が形成された部分を液密に接続する接続手段を具備し、
上記接続手段は、
外形寸法が上記長孔よりも大きく、内径寸法が上記長孔よりも小さくて上記基板が通過可能な大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の一方の内面に設けられる第１の枠状部材と、
この第１の枠状部材とほぼ同じ大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の他方の内面に設けられ第２の枠状部材と、
一対のチャンバの側板を挟んで対向する上記第１の枠状部材と第２の枠状部材をねじ止め固定する締結手段と、
上記第１の枠状部材と第２の枠状部材にそれぞれ設けられ各枠状部材と各チャンバの側板との液密状態を確保する第１のシール材と、
上記第１の枠状部材と第２の枠状部材の一方に設けられこれら枠状部材の上記長孔で対向する部分の液密を確保する第２のシール材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。

この発明によれば、チャンバに対する溶接を行なうことなく、外部給液管と内部給液管を上記チャンバに対して液密に接続することが可能となるから、チャンバの形状精度や生産性の低下を招くのを防止することができる。

この発明は、チャンバに対する溶接を行なうことなく、隣り合うチャンバの長孔が形成された側板を液密に接続することができるから、チャンバの形状精度や生産性の低下を招くのを防止することができる。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。

図１は基板の処理装置を示す正面図であって、この処理装置は装置本体２１を有する。この装置本体２１は並設された複数の処理部からなる。この実施の形態では第１乃至第５の５つの処理部２１Ａ〜２１Ｅが並設されている。これら処理部２１Ａ〜２１Ｅの上部には搬送装置２２が設けられている。この搬送装置２２は未処理の基板を矢印Ａで示すように第５の処理部２１Ｅ側から第１の処理部２１Ａ側へと搬送するようになっている。

第１の処理部２１Ａの側方には上記搬送装置２２によって水平搬送された基板を所定の角度、例えば７５度の角度に傾斜させて上記第１の処理部２１Ａに送り込む傾斜受け渡しユニット２３が設けられている。

それによって、第５の処理部１Ｅ側から搬送装置２に供給された基板は、第１乃至第５の処理部２１Ａ〜２１Ｅによって順次処理されて矢印Ｂで示すように第５の処理部２１Ｅから送り出されるようになっている。すなわち、処理装置に対する基板の供給及び処理された基板の搬出を第５の処理部２１Ｅ側、つまり同じ位置で行なうことができるなっている。

図１と図２に示すように、各処理部２１Ａ〜２１Ｅはチャンバ２５を有する。チャンバ２５は、たとえばステンレス鋼板などの処理液に対する耐蝕性を備えた金属製の板材を溶接して、箱型状に形成されている。

上記チャンバ２５の側板の１つである後板２５ａには第１の接続手段としての複数の第１の接続部２６が設けられ、この第１の接続部２６では図３に示すように外部給液管２７と内部給液管２８とが互いに連通するとともに、上記後板２５ａに対して液密に接続される。なお、外部給液管２７と内部給液管２８は同径となっている。

すなわち、上記第１の接続部２６は上記後板２５ａに形成された開口部３１を有する。後板２５ａの上記開口部３１の部分の外面側には外部フランジ３２が設けられ、内面側には内部フランジ３３が設けられる。これらのフランジ３２，３３の外形寸法は上記開口部３１よりも大きく形成されているとともに、外部フランジ３２の方が内部フランジ３３よりも大径になっている。

上記外部フランジ３２の一側面には上記外部給液管２７の端部が溶接ｗによって液密に接続固定され、上記内部フランジ３３の一側面には上記内部給液管２８の端部が溶接ｗによって液密に接続固定されている。

上記外部フランジ３２の他側面には上記開口部３１とほぼ同じ径の盤状部３４が後板２５ａの厚さとほぼ同じ高さで突出して形成されている。さらに、外部フランジ３２の他側面の上記盤状部３４には上記開口部３１よりも小径で、上記外部給液管２７よりもわずかに大径な内側環状溝３５と、上記開口部３１よりも大径な外側環状溝３６が形成されている。

上記外側環状溝３６にはＯリングからなる第１のシール材３７が装着され、上記内側環状溝３５には同じくＯリングからなる第２のシール材３８が装着されている。上記外部フランジ３２の他側面の、上記外側環状溝３６と内側環状溝３５との間の部分には周方向に所定間隔で複数のねじ孔３９が形成されている。
上記内部フランジ３３には、上記外部フランジ３２に形成されたねじ孔３９と対応する位置に複数の通孔４１が厚さ方向に貫通して形成されている。

上記外部フランジ３２は第２のシール材３８をチャンバ２５の後板２５ａの外面の上記開口部３１の周辺部に接触させて設けられる。上記内部フランジ３３は他側面の周辺部を上記後板２５ａの上記開口部３１の周辺部に接触させるとともに、通孔４１を外部フランジ３２のねじ孔３９に対向させて設けられる。

そして、各通孔４１からねじ孔３９にそれぞれ締結手段としてのねじ４２を螺合することで、外部フランジ３２と内部フランジ３３はこれらの周辺部で上記後板２５ａの上記開口部３１の周辺部を挟持した状態で固定される。

それによって、上記第１のシール材３７が後板２５ａと外部フランジ３２との液密状態を維持し、第２のシール材３８が外部フランジ３２と内部フランジ３３との他側面間の上記開口部３１内に位置する部分の液密状態を維持する。

すなわち、上記第１のシール材３７はチャンバ２５の内部と外部とを液密に遮断し、上記第２のシール材３８は上記外部給液管２７と内部給液管２８とを液密に接続することになる。なお、図示はしないが、上記内部給液管２８にはチャンバ２５内に送り込まれた基板に対して処理液を噴射する複数のノズルが設けられている。

一方、上記チャンバ２５の幅方向の両側板２５ｂには、上下方向に沿って細長い長孔４４が形成されている。隣り合う一対のチャンバ２５の側板２５ｂは第２の接続手段としての第２の接続部４５によって液密に、しかも上記長孔４４を通じて連通するよう接続される。

上記第２の接続部４５は、図４に示すように隣り合うチャンバ２５の一方の側板２５ｂの内面に設けられる第１の枠状部材４６と、他方の側板２５ｂの内面に設けられる第２の枠状部材４７を有する。

各枠状部材４６，４７は、外径寸法が上記長孔４４の内径寸法よりも大きく設定されていて、内径寸法がチャンバ２５内に送り込まれる基板の高さ及び厚さ寸法よりも大きく設定されている。

各枠状部材４６，４７の内面周辺部には、各側板２５ｂの内面の上記長孔４４の周辺部に対応する位置に外部環状溝４８が形成され、これらの外部環状溝４８にはＯリングからなる第３のシール材４９が装着されている。上記第１の枠状部材４６の内面の、上記長孔４４よりも内方に位置する部分には内部環状溝５１が形成され、この内部環状溝５１には第４のシール材５２が装着されている。

上記第１の枠状部材４６の上記内部環状溝５１よりも径方向内側の部分には複数のねじ孔５３が周方向に所定間隔で形成されている。第２の枠状部材４７の周辺部には上記ねじ孔５３と対応する位置に厚さ方向に貫通する複数の通孔５４が形成されている。

第１の枠状部材４６と第２の枠状部材４７は、第３のシール材４９が設けられた周辺部で一対のチャンバ２５の側板２５ｂを挟持する状態で設けられる。そして、第２の枠状部材４７の通孔５４から第１の枠状部材４６のねじ孔５３に螺合されるねじ５５によって、第１の枠状部材４６と第２の枠状部材４７は、これらの周辺部で一対の側板２５ｂを挟持して取付け固定される。

それによって、第１の枠状部材４６と第２の枠状部材４７に設けられた第３のシール材４９により、これら枠状部材４６，４７が各チャンバ２５の側板２５ｂに液密に接触し、第４のシール材５２によって第１の枠状部材４６と第２の枠状部材４７とが液密に接触する。つまり、隣り合う一対のチャンバ２５の側板２５ｂに形成された長孔４４が連通する状態で、隣り合う一対のチャンバ２５の側板２５ｂがチャンバ２５の内部と外部を液密に遮断して接続される。

このような構成の処理装置によれば、外部給液管２７と内部給液管２８は、第１の接続部２６の第１のシール材３７と第２のシール材３８が設けられた外部フランジ３２に対して内部フランジ３３をねじ４２によって締結固定することで接続される。

そのため、第１のシール材３７によってチャンバ２５の後板２５ａに対して液密に接続され、しかも第２のシール材３８によって外部給液管２７と内部給液管２８が液密に接続される。

すなわち、チャンバ２５の後板２５ａに対して外部フランジ３２と内部フランジ３３を溶接することなく、液密な接続構造とすることができるから、後板２５ａに対して溶接を行なう従来のように、チャンバ２５に歪みが生じることがない。しかも、ねじ４２を締め付けるだけで、外部給液管２７と内部給液管２８を接続できるから、チャンバ２５の後板２５ａに溶接で接続する場合に比べて組立作業を容易に行なうことが可能となる。

一方、隣り合う一対のチャンバ２５の長孔４４が形成された側板２５ｂの接続は、一方のチャンバ２５の側板２５ｂの内面に設けられた第１の枠状部材４６と、他方のチャンバ２５の側板２５ｂの内面に設けられた第２の枠状部材４７とをねじ５５によって締結固定することで接続される。

そのため、各枠状部材４６，４７に設けられた第３のシール材４９によってこれら枠状部材４６，４７と側板２５ｂとの液密状態と、第１の枠状部材４６に設けられた第４のシール材５２によって一対の枠状部材４６，４７の内面間の液密状態が維持される。つまり、第３、第４のシール材４９，５２によって一対のチャンバ２５の隣り合う側板２５ｂを、チャンバ２５の内部と外部とを液密に遮断した状態で接続することができる。

すなわち、チャンバ２５の側板２５ｂの内面に、第１の枠状部材４６や第２の枠状部材４７を溶接することなく、隣り合う一対の側板２５ｂを外部に対して液密に、しかも各側板２５ｂに形成された長孔４４を連通させて接続することができる。

そのため、従来のようにチャンバ２５の側板２５ｂに対して溶接を行なわずに、隣り合う一対の側板２５ｂを液密に接続することができるから、チャンバ２５を溶接時の熱によって変形させるということがないばかりか、溶接作業を伴わないため、組み立て作業を能率よく行なうことができる。

上記一実施の形態では、第１の接続部の外部フランジに第１のシール材と第２のシール材を設けたが、これら２つのシール材を内部フランジに設けるようにしてもよく、或いは一方のシール材を外部フランジに設け、他方のシール材を内部フランジに設けるようにしてもよい。

また、第２の接続部の第１の枠状部材に第４のシール材を設けたが、この第４のシール材を第２の枠状部材に設けるようにしてもよい。

また、基板を所定の角度で立てて搬送する処理装置に第１の接続部と第２の接続を適用した場合について説明したが、基板をほぼ水平な状態で搬送する処理装置であっても、この発明の第１の接続部と第２の接続を適用することができる。

この一実施の形態を示す処理装置の正面図。 後板と側板を分解したチャンバの斜視図。 外部給液管と内部給液管との接続構造を示す第１の接続部の断面図。 隣り合うチャンバの側板の接続構造を示す第２の接続部の断面図。 従来の外部給液管と内部給液管との接続構造を示す断面図。

符号の説明

２１…装置本体、２５…チャンバ、２６…第１の接続部（第１の接続手段）、２７…外部供給管、２８…内部供給管、３１…開口部、３２…外部フランジ、３３…内部フランジ、３７…第１のシール材、３８…第２のシール材、４２…ねじ（締結手段）、４５…第２の接続部（第２の接続手段）、４６…第１の枠状部材、４７…第２の枠状部材、４９…第３のシール材、５２…第４のシール材、５５…ねじ（締結手段）。

Claims (2)

1. 基板を処理液によって処理する処理装置であって、
   上記基板が供給されるチャンバと、
   上記処理液を上記チャンバへ供給する外部給液管と、
   上記チャンバ内に設けられ上記外部給液管に供給された処理液をチャンバ内に導入する内部給液管と、
   上記チャンバの一側板に形成された開口部で上記一側板に対して上記外部給液管と上記内部給液管を液密に接続する接続手段を具備し、
   上記接続手段は、
   外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記外部給液管の端部が溶接される外部フランジと、
   外形寸法が上記開口部よりも大径に形成され上記内部給液管の端部が溶接される内部フランジと、
   上記開口部で上記チャンバの一側板を挟んで上記外部フランジと内部フランジをねじ止め固定する締結手段と、
   上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方に設けられそのフランジと上記チャンバの一側板との液密状態を確保する第１のシール材と
   上記内部フランジと外部フランジとのどちらか一方のフランジに設けられこれら第１のフランジと第２のフランジとの上記開口部で対向する面の液密状態を確保する第２のシール材と
   を具備したことを特徴とする基板の処理装置。
2. 基板を処理液によって処理する処理装置であって、
   側板に長孔が開口形成された複数のチャンバを有し、複数のチャンバが互いの側板を対向させて並設される装置本体と、
   並設された一対のチャンバの側板の上記長孔が形成された部分を液密に接続する接続手段を具備し、
   上記接続手段は、
   外形寸法が上記長孔よりも大きく、内径寸法が上記長孔よりも小さくて上記基板が通過可能な大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の一方の内面に設けられる第１の枠状部材と、
   この第１の枠状部材とほぼ同じ大きさに形成されていて、隣り合う一対のチャンバの対向する一対の側板の他方の内面に設けられ第２の枠状部材と、
   一対のチャンバの側板を挟んで対向する上記第１の枠状部材と第２の枠状部材をねじ止め固定する締結手段と、
   上記第１の枠状部材と第２の枠状部材にそれぞれ設けられ各枠状部材と各チャンバの側板との液密状態を確保する第１のシール材と、
   上記第１の枠状部材と第２の枠状部材の一方に設けられこれら枠状部材の上記長孔で対向する部分の液密を確保する第２のシール材と
   を具備したことを特徴とする基板の処理装置。

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