JP2002071067A - クランプ式継ぎ手装置及び基板の処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は配管の接続部分の温度が低下する
のを防止できるように下クランプ式継ぎ手装置を提供す
ることにある。 【解決手段】 開閉可能に構成されたクランパ１５を有
し、このクランパの内周面に形成されたクランプ溝２４
に、それぞれ配管が接続される一対のフランジ部材２５
が流体密に保持されるクランプ式継ぎ手装置において、
上記フランジ部材の上記クランプ溝に保持される部分の
外周には、このフランジ部材を加熱する継ぎ手用ヒータ
２９が設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は配管を分解可能に
接続するためのクランプ式継ぎ手装置及びそのクランプ
式継ぎ手装置を用いた基板の処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体ウエハや液晶表示装置に
用いられるガラス基板などの基板に回路パターンを形成
するためには、この基板をＣＶＤやエッチング装置など
の処理装置によって処理するリソグラフィー工程があ
る。

【０００３】リソグラフィー工程に用いられる処理装置
は処理チャンバを有し、この処理チャンバにはＣＶＤ用
の原料ガスやエッチングガスあるいはエッチング液など
の反応流体が供給される。

【０００４】処理チャンバに供給された反応流体は、こ
の処理チャンバ内に設置された基板と反応して所定の処
理を行ったのち、処理チャンバに接続された配管を通じ
吸引ポンプによって排出されるようになっている。

【０００５】このような処理装置において、処理チャン
バから排出される反応流体は、その種類によって排出経
路での温度低下が例えば１０℃程度あると凝固して配管
内に付着残留してしまうものがある。

【０００６】そこで、配管にヒータを装着し、その配管
を流れる反応流体の温度低下を防止することで、反応流
体が配管内で凝固するのを防止するということが行なわ
れている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、処理チャン
バに接続される配管には、その配管に接続された種々の
機器などを分解したり、配管内の清掃や点検を容易に行
なえるようにするため、配管の途中に複数の継ぎ手を設
け、その配管を分解できるようにしている。

【０００８】継ぎ手としては、配管の分解や接続が容易
に行えるクランプ式のものが用いられることが多い。ク
ランプ式の継ぎ手は、クランパを有し、そのクランパの
内周面に形成されたクランプ溝に、配管を接続するため
のフランジ部材を保持できる構成になっている。

【０００９】クランプ式の継ぎ手は、そのクランパやフ
ランジ部材からの放熱が大きい。そのため、配管にヒー
タを装着し、配管内を流れる反応流体を加熱して凝固す
るのを防止しても、反応流体が継ぎ手の部分で温度低下
を起こして凝固し易いということがある。それによっ
て、配管の点検清掃を頻繁に行わなければならないとい
うことがあった。

【００１０】この発明は、反応流体の温度低下を防止で
きるようにしたクランプ式継ぎ手装置及びその継ぎ手装
置を用いた基板の処理装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、開閉
可能に構成されたクランパを有し、このクランパの内周
面に形成されたクランプ溝に、それぞれ配管が接続され
る一対のフランジ部材が流体密に保持されるクランプ式
継ぎ手装置において、上記フランジ部材の上記クランプ
溝に保持される部分の外周には、このフランジ部材を加
熱する帯状ヒータが設けられることを特徴とするクラン
プ式継ぎ手装置にある。

【００１２】請求項２の発明は、上記フランジ部材は、
上記クランプ溝に保持されるフランジ部及び上記配管が
接続される短管部を有し、上記クランプ溝に保持される
一対のフランジ部の間にはインナリングとアウタリング
との間に保持されたリング状のパッキングが設けられて
いて、上記帯状ヒータは上記アウタリングの外周に設け
られることを特徴とする請求項１記載のクランプ式継ぎ
手装置にある。

【００１３】請求項３の発明は、基板を処理する処理装
置において、上記基板が収容されるとともにこの基板に
所定の処理を行なう反応流体が供給される処理チャンバ
と、この処理チャンバに接続され配管用ヒータによって
加熱される配管と、この配管に接続され上記処理チャン
バ内を減圧する減圧手段と、上記配管を所定の個所で分
解可能に接続したクランプ式継ぎ手装置とを具備し、上
記クランプ式継ぎ手装置は請求項１に記載された構成で
あることを特徴とする基板の処理装置にある。

【００１４】上記構成のクランプ式継ぎ手装置によれ
ば、フランジ部材のクランパのクランプ溝に保持される
部分の外周面に帯状ヒータが設けられているから、この
帯状ヒータによってフランジ部材を介して配管の接続部
分が加熱されるから、配管の接続部分の温度が低下する
のを防止することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図１乃至図５を参照して説明する。

【００１６】図５は半導体ウエハやガラス基板などの基
板の処理装置を示し、この処理装置は処理チャンバ１を
備えている。この処理チャンバ１にはＣＤＶ用の原料ガ
スやエッチングガスあるいはエッチング液などの反応流
体を供給する供給源２が供給配管３によって接続されて
いる。上記処理チャンバ１内にはテーブル４が設けら
れ、このテーブル４上には上記基板５が供給される。基
板５はテーブル４に設けられた図示しないヒータによっ
て所定温度、例えば２００℃前後に加熱されるようにな
っている。

【００１７】上記処理チャンバ１には排出配管６の一端
が接続されている。この排出配管６の中途部には排出ポ
ンプ７が設けられ、他端には除害装置８が接続されてい
る。処理チャンバ１内は排出ポンプ７によって所定の圧
力に減圧される。減圧された処理チャンバ１内には、そ
の減圧状態を維持した状態で上記供給源２から反応流体
が供給される。それによって、処理チャンバ１内の基板
５は反応流体と反応し、成膜やエッチングなどの処理が
行われる。

【００１８】処理チャンバ１内に供給されて基板５と反
応した反応流体は、排出ポンプ７によって上記排出配管
６を通じて排出される。排出配管６を流れた反応流体
は、除害装置８で分解或いは反応によって無害な状態に
処理されて排出される。

【００１９】上記排出配管６には、排出ポンプ７の流入
側と排出側、除害装置８の流入側、さらには処理チャン
バ１と排出ポンプ７との間などにクランプ式継ぎ手装置
１１が設けられている。それによって、上記排出配管６
をクランプ式継ぎ手装置１１の個所で分解し、排出配管
６、排出ポンプ７及び除害装置８の清掃や点検などが行
えるようになっている。

【００２０】上記排出配管６のクランプ式継ぎ手装置１
１によって接続された部分を除く外周面には、図３と図
４に示すように配管加熱ヒータ１２が設けられている。
この配管加熱ヒータ１２は、処理チャンバ１から排出配
管６に排出される反応流体を加熱し、その反応流体が排
出配管６内で所定の範囲以下に温度低下して凝固するの
を防止している。

【００２１】上記クランプ式継ぎ手装置１１は図１乃至
図４に示すようにクランパ１５を有する。このクランパ
１５は半リング状の一対のクランプ片１６の一端がリン
ク１７の両端部に支軸１８によって枢着されている。そ
れによって、一対のクランプ片１６は開閉可能となって
いる。

【００２２】各クランプ片１６の他端にはそれぞれ連結
溝１９が形成されている。一方の連結溝１９にはねじ軸
２１の一端部が支軸２０によって枢着されている。この
ねじ軸２１には蝶ナット２２がワッシャ２３を介して螺
合されている。したがって、図１と図３に示すように、
一対のクランプ片１６を閉じた状態でねじ軸２１を他方
のクランプ片１６の連結溝１９に挿入し、蝶ナット２２
を閉め込めば、一対のクランプ片１６を閉じた状態で固
定できるようになっている。

【００２３】一対のクランプ片１６の内周面にはクラン
プ溝２４が形成されている。このクランプ溝２４には一
対のフランジ部材２５が流体密の状態で保持されるよう
になっている。上記フランジ部材２５は、短管部２５ａ
の一端部にフランジ部２５ｂが形成されてなる。

【００２４】一対のフランジ部材２５のフランジ部２５
ｂ間には、これらフランジ部２５ｂを流体密に接合する
ためのパッキングであるＯリング２６が設けられる。こ
のＯリング２６は、図４に示すようにインナリング２７
の外周面とアウタリング２８の内周面との間に保持され
る。

【００２５】つまり、インナリング２７の外周面には外
周溝２７ａが形成され、アウタリング２８の内周面には
内周溝２８ａが形成されていて、これらの溝によって上
記Ｏリング２６が保持されている。

【００２６】上記アウタリング２８の両側面には上記フ
ランジ部材２５のフランジ部２５ｂが入り込む段差部２
８ｂが形成されており、この段差部２８ｂにフランジ部
２５ｂを係合させることで、一対のフランジ部材２５の
フランジ部２５ｂが上記Ｏリング２６に接合することに
なる。

【００２７】Ｏリング２６を介して接合された一対のフ
ランジ部材２５のフランジ部２５ｂの外周、つまりアウ
タリング２８の外周には可撓性を有する帯状の継ぎ手用
ヒータ２９が接合される。

【００２８】そして、接合された一対のフランジ部２５
ｂは、アウタリング２８の外周面に継ぎ手用ヒータ２９
を装着した状態で一対のクランプ片１６のクランプ溝２
４に嵌合される。その状態で一対のクランプ片１６を蝶
ナット２２によって締結固定することで、一対のフラン
ジ部材２５が流体密の状態で接続固定される。

【００２９】なお、図４に示すように、クランプ溝２４
の両側内面及びフランジ部２５ｂのクランプ溝２４の両
側内面に接する外面はそれぞれテーパ面２４ａ、２５ｃ
に形成されている。

【００３０】それによって、一対のクランプ片１６を閉
じることで、テーパ面２４ａがテーパ面２５ｃを押圧す
るから、一対のフランジ部２５ｂの内面がＯリング２６
に圧接し、これらフランジ部２５ｂ間が気体密に保たれ
るようになっている。

【００３１】図４に示すように、各フランジ部材２５の
短管部２５ａには、分断された排出配管６が外嵌接続さ
れる。上記短管部２５ａの外周面をテーパ状に形成して
おけば、排出配管６を外嵌させるだけで、その配管６を
短管部２５ａに流体密に接続することが可能である。

【００３２】このように構成された基板５の処理装置に
よれば、処理チャンバ１から反応流体を排出する排出配
管６は配管加熱ヒータ１２によって所定の温度に加熱さ
れているから、反応流体が排出配管６を流れることで温
度低下して凝固するのを防止できる。

【００３３】排出配管６の中途部には、この排出配管６
を分解可能とするために複数のクランプ式継ぎ手装置１
１が設けられており、この継ぎ手装置１１の個所は配管
加熱ヒータ１２によって加熱されていない。

【００３４】しかしながら、クランプ式継ぎ手装置１１
の排出配管６を接続するフランジ部材２５のフランジ部
２５ｂの外周には、継ぎ手用ヒータ２９が設けられてい
る。

【００３５】そのため、排出配管６のクランプ式継ぎ手
装置１１によって接続された部分も、排出配管６の他の
部分と同様、継ぎ手用ヒータ２９によって所定の温度に
加熱されるから、このクランプ式継ぎ手装置１１の部分
で反応流体が温度低下して凝固するのを防止することが
できる。

【００３６】このように、排出配管６の全体にわたって
反応流体の温度低下による凝固を防止できるため、排出
配管６の清掃や点検を行う期間を従来に比べて長くし、
メンテナンスの容易化を図ることができる。

【００３７】上記継ぎ手用ヒータ２９はクランパ１５の
内部の、アウタリング２８の外周面に設けられている。
そのため、継ぎ手用ヒータ２９を、クランパ１５の外部
に設ける場合に比べて放熱などによる熱のロスが少なく
なるから、排出配管６の接続部分を効率よく確実に加熱
することができる。

【００３８】さらに、継ぎ手用ヒータ２９がクランパ１
５の内部に設けられているため、クランプ式継ぎ手装置
１１の大型化を招くことなく継ぎ手用ヒータ２９を設け
ることができるばかりか、その継ぎ手用ヒータ２９に不
要な外力を加えて損傷させるのを防止することもでき
る。

【００３９】上記一実施の形態では、クランプ式継ぎ手
装置をＣＶＤやエッチングなどの基板の処理装置に適用
した場合について説明したが、他の装置にも適用可能で
あり、要は配管を継ぎ手で接続する場合、配管やその接
続部分において流体が温度低下するのを防止する必要が
ある装置であれば適用することができる。

【００４０】図６と図７はこの発明の他の実施の形態を
示すクランプ式継ぎ手装置である。この実施の形態のク
ランプ式継ぎ手装置のクランパ３０は第１のブロック３
１を有する。この第１のブロック３１の両端にはそれぞ
れ一対の第１のリンク３２の一端が第１の支軸３３によ
って枢着されている。

【００４１】各第１のリンク３２の他端には第２のブロ
ック３４の一端が第２の支軸３５によって枢着されてい
る。この第２のブロック３４の他端には第２のリンク３
６の一端が第３の支軸３７によって枢着されている。各
第２のリンク３６の他端には第３のブロック３８が第４
の支軸３９によって枢着されている。

【００４２】一方の第３のブロック３８にはハンドル付
の連結ねじ４１が回転可能に設けられ、このねじ４１は
他方の第３のブロック３８に形成された図示しないねじ
孔に螺合させることができるようになっている。

【００４３】したがって、一方の第３のブロック３８に
設けられた連結ねじ４１を他方の第３のブロック３８の
ねじ孔から外すことで、クランパ３０を開放することが
でき、上記ねじ孔にねじ込むことで閉じることができる
ようになっている。

【００４４】第１乃至第３のブロック３１，３４，３８
にはそれぞれクランプ溝２４Ａが形成されている。そし
て、これらのクランプ溝２４Ａに、上記一実施の形態と
同様、一対のフランジ部材２５のフランジ部２５ｂがイ
ンナリング２７とアウタリング２８との間に保持された
Ｏリング２６及びフランジ部２５ｂの外周面に面に設け
られた継ぎ手用ヒータ２９を介して保持されるようにな
っている。

【００４５】このよな構成のクランプ式継ぎ手装置によ
れば、第１、第２のリンク３２，３６の長さを長くする
ことで、各ブロック３１，３４，３８のクランプ溝２４
に保持できるフランジ部材２５の口径を大きくすること
が可能となるから、大口径の配管の接続用として利用す
ることができる。

【００４６】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、クラン
パのクランプ溝に配管が接続されるフランジ部材を保持
し、このフランジ部材のクランプ溝に保持された部分の
外周面に帯状ヒータを設けるようにした。

【００４７】そのため、帯状ヒータによってフランジ部
材を介して配管の接続部分を加熱できるから、配管の接
続部分の温度が低下するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態を示すクランプ式継ぎ
手装置の分解斜視図。

【図２】接合された一対のフランジ部材と開放状態にあ
るクランパとを示す斜視図。

【図３】クランプ式継ぎ手装置によって配管を接続した
状態の斜視図。

【図４】クランプ式継ぎ手装置によって配管を接続した
状態の断面図。

【図５】処理装置の概略的構成図。

【図６】この発明の他の実施の形態を示すクランプ式継
ぎ手装置の正面図、

【図７】同じく側面図。

【符号の説明】

１…処理チャンバ ６…排出配管（配管） ７…排出ポンプ（減圧手段） １１…フランジ式継ぎ手装置 １５…クランパ ２４…クランプ溝 ２４Ａ…クランプ溝 ２５…フランジ部材 ２５ａ…短管部 ２５ｂ…フランジ部 ２６…Ｏリング（パッキング） ２７…インナリング ２８…アウタリング ２９…継ぎ手用ヒータ（帯状ヒータ） ３０…クランパ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 開閉可能に構成されたクランパを有し、
   このクランパの内周面に形成されたクランプ溝に、それ
   ぞれ配管が接続される一対のフランジ部材が流体密に保
   持されるクランプ式継ぎ手装置において、 上記フランジ部材の上記クランプ溝に保持される部分の
   外周には、このフランジ部材を加熱する帯状ヒータが設
   けられることを特徴とするクランプ式継ぎ手装置。
2. 【請求項２】 上記フランジ部材は、上記クランプ溝に
   保持されるフランジ部及び上記配管が接続される短管部
   を有し、上記クランプ溝に保持される一対のフランジ部
   の間にはインナリングとアウタリングとの間に保持され
   たリング状のパッキングが設けられていて、上記帯状ヒ
   ータは上記アウタリングの外周に設けられることを特徴
   とする請求項１記載のクランプ式継ぎ手装置。
3. 【請求項３】 基板を処理する処理装置において、 上記基板が収容されるとともにこの基板に所定の処理を
   行なう反応流体が供給される処理チャンバと、 この処理チャンバに接続され配管用ヒータによって加熱
   される配管と、 この配管に接続され上記処理チャンバ内を減圧する減圧
   手段と、 上記配管を所定の個所で分解可能に接続したクランプ式
   継ぎ手装置とを具備し、 上記クランプ式継ぎ手装置は請求項１に記載された構成
   であることを特徴とする基板の処理装置。