KR20220002194U - 처리액 공급장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치 - Google Patents

처리액 공급장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 공급장치의 작동과 무관하게 배관 내 처리액이 잔류하거나 정체되지 않도록 하여 박테리아로 인한 처리액의 오염을 막고, 처리액의 회수율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 처리되는 기판의 품질을 높일 수 있는 처리액 공급장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치를 제공한다. 이를 위한 본 고안은 처리액을 분사하기 위한 처리액 분사부; 처리액 저장부에 저장된 처리액을 가압하여 상기 처리액 분사부로 공급하기 위한 처리액 공급부; 및 상기 처리액 공급부와 상기 처리액 분사부를 연결하는 배관모듈을 포함하고, 상기 배관모듈은 상기 처리액 공급부와 연결되는 메인관부와, 상기 메인관부에서 분기되는 복수의 분기관부와, 상기 분기관부에서 분기되며 상기 처리액 분사부와 연결되는 복수의 토출관부를 포함하며, 상기 메인관부와 상기 분기관부 및 상기 토출관부는 융착에 의해 일체로 결합되고, 상기 분기관부는 연직방향으로 연장되는 제1배관과, 연직방향에 대해 경사지며 연장되는 제2배관과, 상기 제1배관 및 상기 제2배관을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 제3배관을 포함하며, 연직방향에 직교하는 수평구간이 형성되지 않는 특징을 개시한다.

Description

처리액 공급장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치{APPARATUS FOR SUPPLYING PROCESSING SOLUTION AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS COMPRISING THE SAME}
본 고안은 처리액 공급장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치에 관한 것으로, 상세하게는 공급장치의 작동과 무관하게 배관 내 처리액이 잔류하거나 정체되지 않도록 하여 박테리아로 인한 처리액의 오염을 막고, 처리액의 회수율을 높일 수 있을뿐만 아니라 처리되는 기판의 품질을 높일 수 있는 처리액 공급장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 디스플레이 등의 기판은 다양한 제조 공정을 거치면서 제조되는데, 이러한 기판 제조 공정 중에는 약액을 기판 측으로 분사하여 기판의 표면을 처리하거나, 세정수를 기판 측으로 분사하여 제조 공정에서 기판 표면에 부착된 불순물을 제거하는 공정이 수행된다.
이처럼 기판 제조 공정 중 기판에 액상의 처리액을 공급하기 위해서는 공정챔버에 위치하는 기판에 인접한 분사노즐 측으로 처리액을 압송하기 위한 공급펌프와, 공급펌프와 분사노즐을 연결하는 배관 설비가 구비되어야 한다.
하지만, 기판 제조 설비에 따라서는 펌프와 분사노즐을 연결하기 위하여 많은 수량과 복잡한 경로의 이송배관이 구비되어야 한다. 더구나 기판 제조 효율을 높이기 위한 인라인(IN LINE) 기판 처리 설비와 같이, 복수의 공정챔버가 연속적으로 설치되는 경우에는 각 공정챔버 측으로 처리액을 이송하기 위한 배관 역시 수량이 더욱 많아지고 복잡한 경로를 가지게 된다.
이처럼 복잡한 경로의 처리액 이송배관이 구비될 경우 공급펌프의 미작동 시에는 다량의 처리액의 이송배관에 그대로 잔류되는 문제가 발생된다. 예를 들어, 배관의 수평한 구간, 유로가 전환되는 구간, 관과 관을 연결하는 피팅 장치의 틈새 구간 등에서 처리액이 정체되거나 잔류되는 현상이 발생된다.
그리고, 오랜 시간 배관 내에서 잔류된 처리액에는 박테리아가 번식하는 등 쉽게 오염될 수 있기 때문에 회수율이 크게 떨어지고, 만일 오염된 처리액이 기판 처리에 사용될 시에는 기판의 품질을 떨어트리는 요인이 된다.
대한민국 등록실용신안공보 제0224866호 (2001.11.30. 공고)
본 고안의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 공급장치의 작동과 무관하게 배관 내 처리액이 잔류하거나 정체되는 현상을 억제할 수 있는 처리액 공급장치 및 이를 포함하는 기판 처리장치를 제공함에 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 고안의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치는, 처리액을 분사하기 위한 처리액 분사부; 처리액 저장부에 저장된 처리액을 가압하여 상기 처리액 분사부로 공급하기 위한 처리액 공급부; 및 상기 처리액 공급부와 상기 처리액 분사부를 연결하는 배관모듈;을 포함하고, 상기 배관모듈은, 상기 처리액 공급부와 연결되는 메인관부와, 상기 메인관부에서 분기되는 복수의 분기관부와, 상기 분기관부에서 분기되며 상기 처리액 분사부와 연결되는 복수의 토출관부를 포함하며, 상기 메인관부와 상기 분기관부 및 상기 토출관부는 융착에 의해 일체로 결합되고, 상기 분기관부는, 연직방향으로 연장되는 제1배관과, 연직방향에 대해 경사지며 연장되는 제2배관과, 상기 제1배관 및 상기 제2배관을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 제3배관을 포함하며, 연직방향에 직교하는 수평구간이 형성되지 않는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치에 있어서, 상기 메인관부와 상기 분기관부 및 상기 토출관부의 내벽면은 소수성 처리될 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치에 있어서, 상기 메인관부와 상기 분기관부 및 상기 토출관부는 퍼플루오르알콕시(Perfluoroalkoxy: PFA) 불소수지로 이루어질 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치에 있어서, 상기 분기관부는 상기 토출관부의 내경과 동일한 내경을 가지는 분기구를 구비하고, 상기 배관모듈은, 상기 분기관부와 상기 토출관부를 연결하되, 상기 분기구와 상기 토출관부 사이의 틈새 형성을 억제하는 연결부재를 더 포함할 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치에 있어서, 상기 연결부재는, 상기 분기구가 형성된 상기 분기관부의 일부를 감싸도록 상기 분기관부를 관통시키는 관통홀을 가지는 제1연결부와; 상기 제1연결부에서 돌출 형성되고, 상기 관통홀과 연통되며 상기 토출관부의 단부가 삽입되는 삽입홀과, 상기 삽입홀에 삽입되는 상기 토출관부의 단부의 선단면이 밀착 지지되는 지지턱을 가지는 제2연결부를 포함할 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치에 있어서, 상기 제1연결부는 상기 제2연결부를 기준으로 반대쪽 일부 영역이 절개되면서 이격 배치되는 제1단부 및 제2단부를 가지고, 상기 연결부재는, 상기 제1단부와 상기 제2단부를 연결하되, 상기 제1단부와 상기 제2단부를 근접시키며 상기 제1연결부를 상기 분기관부의 중심방향으로 가압하는 결합부재를 더 포함할 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 기판 처리장치는, 기판의 처리를 위한 처리공간을 가지는 챔버; 및 상기 처리공간에 위치하는 기판에 처리액을 공급하기 위한 제1항에 기재된 처리액 공급장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 기판 처리장치에 있어서, 상기 챔버와 상기 처리액 저장조를 연결하며, 기판 처리에 사용된 처리액을 회수하기 위한 회수용 배관모듈을 가지는 처리액 회수장치를 더 포함하고, 상기 회수용 배관모듈은, 연직방향으로 연장되는 회수용 제1배관과, 연직방향에 대해 경사지며 연장되는 회수용 제2배관과, 상기 회수용 제1배관 및 상기 회수용 제2배관을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 회수용 제3배관을 포함하며, 연직방향에 직교하는 수평구간이 형성되지 않는 것도 특징으로 한다.
본 고안에 따르면, 배관의 수평구간이 형성되지 않도록 연직방향으로 연장되는 제1배관과 연직방향에 대해 경사진 제2배관과 벤딩 형성되는 제3배관을 이용하여, 처리액 공급부의 작동과 무관하게 배관모듈 내부에 틈새가 발생되지 않도록 하여 처리액이 잔류되거나 정체되는 현상을 억제할 수 있고, 이로 인하여 박테리아가 증식하는 등 처리액이 오염될 수 있는 환경 발생을 원천적으로 차단할 수 있다. 이에 따라, 처리액의 회수율을 높일 수 있으며, 처리되는 기판의 품질을 높일 수 있다.
본 고안에 따르면, 융착에 의해 메인관부와 분기관부 및 토출관부를 일체로 제작함으로써 처리액의 유동을 방해하는 틈새 공간이나 내부 돌출구조물을 없앨 수 있고, 이에 따라 배관모듈 내부의 처리액은 잔류 없이 더욱 안정적인 유동이 보장될 수 있다.
도 1은 본 고안의 실시예에 따른 처리액 공급장치를 나타낸 예시도이다.
도 2는 도 1의 분기관부를 나타낸 예시도이다.
도 3은 도 1의 연결부재를 나타낸 예시도이다.
도 4는 도 1의 분기관부와 토출관부의 연결 부분을 나타낸 단면 예시도이다.
도 5는 본 고안의 실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 예시도이다.
이하 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 고안의 바람직한 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용될 수 있으며 이에 따른 부가적인 설명은 생략될 수 있다.
도 1은 본 고안의 실시예에 따른 처리액 공급장치를 나타낸 예시도로서, (a) 도면은 측면 예시도를, (b) 도면은 평면 예시도를 나타낸 것이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 처리액 공급장치(100)는 처리가 요구되는 대상물(예컨대 기판)을 향하여 액상의 처리액을 공급하는 것으로, 처리액 분사부(110), 처리액 공급부(120) 및 배관모듈(130)을 포함할 수 있다.
처리액 분사부(110)는 처리가 요구되는 대상물을 향하여 처리액을 분사할 수 있다. 처리액 분사부(110)로는 노즐이 사용될 수 있다.
처리액 공급부(120)는 처리액 저장부(121)에 저장된 처리액을 가압하여 처리액 분사부(110)로 공급할 수 있다. 처리액 공급부(120)로는 펌프가 사용될 수 있다.
즉, 처리액 공급부(120)에 의하여 처리액 저장부(121)에 저장된 처리액은 가압되어 처리액 분사부(110)로 압송될 수 있고, 처리액 분사부(110)에서 분사되면서 대상물에 공급될 수 있다. 이에 따라 대상물은 처리액에 의하여 표면 처리될 수 있다.
배관모듈(130)은 처리액 공급부(120)와 처리액 분사부(110)를 연결하며, 처리액 공급부(120)에서 처리액 분사부(110)까지 처리액의 이송을 안내할 수 있다.
실시예에 따른 배관모듈(130)은 메인관부(131)와 분기관부(133) 및 토출관부(135)를 포함할 수 있다.
메인관부(131)는 일단부가 처리액 공급부(120)에 연결될 수 있으며, 처리액 공급부(120)로부터 처리액이 유입될 수 있다.
실시예에 따른 메인관부(131)는 연직방향(D1)에 직교하는 수평구간이 형성되지 않도록 연직방향(D1)에 대해 경사지게 연장될 수 있다. 즉, 처리액 공급부(120)과 연결되는 일단부에서 타단부로 갈수록 상부방향으로 경사지게 배치될 수 있다.
따라서, 처리액 공급부(120)의 미 작동시 메인관부(131)의 내부에 잔류하는 처리액은 중력에 의해 처리액 공급부(120) 방향으로 흘려 내리며 회수될 수 있다.
메인관부(131)는 분기관부(133)를 연결하기 위한 분기구를 가질 수 있다.
메인관부(131)의 분기구는 분기관부(133)의 내경과 동일한 내경을 가지도록 관통 형성될 수 있다.
메인관부(131)의 분기구는 분기관부(133)의 수량과 상응하게 메인관부(131)의 길이방향을 따라 복수 개가 마련될 수 있다.
메인관부(131)의 분기구에는 분기관부(133)의 일단부가 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다. 이에 따라, 메인관부(131)와 분기관부(133)의 연결부에는 틈새 공간이나 돌출 구조물이 형성되지 않는다.
한편, 메인관부(131)는 내벽면이 소수성 처리될 수 있다.
메인관부(131)의 내벽면에 소수성 코팅층을 형성함으로써, 처리액 공급부(120)의 미작동 시 메인관부(131)의 내부에 잔류하는 처리액은 중력에 의해 처리액 공급부(120) 방향으로 보다 효과적으로 흘려 내리며 회수될 수 있다.
또한, 메인관부(131)는 소수성을 가지는 소재로 제작될 수도 있다.
예컨대, 메인관부(131)는 퍼플루오르알콕시(Perfluoroalkoxy: PFA) 불소수지로 제작될 수 있다. PFA 불소수지는 내열성, 내약품성 및 내후성이 우수하고, 고온에서 기계적 강도가 뛰어나기 때문에 튜브나 파이프의 이음새 성형이 용이한 것으로 알려져 있다.
분기관부(133)는 일단부가 메인관부(131)에 연결될 수 있으며, 메인관부(131)의 분기구마다 결합되도록 복수 개가 마련될 수 있다. 따라서 메인관부(131) 내부의 처리액은 복수의 분기관부(133) 측으로 분기되어 유동될 수 있다.
또한, 메인관부(131)와 인접하는 분기관부(133)의 단부에는 유량계측부(137) 및 유량조절부(138)가 구비될 수 있다. 유량계측부(137)는 분기관부(133)에서 유동하는 처리액의 유량을 측정할 수 있고, 유량조절부(138)는 유량계측부(137)에서 측정된 유량을 바탕으로 분기관부(133)의 내부에서 유동하는 유량이 조절될 수 있다.
실시예에 따른 분기관부(133)는 연직방향(D1)으로 연장되는 제1배관(130a)과, 연직방향(D1)에 대해 경사지며 연장되는 제2배관(130b)과, 제1배관(130a) 및 제2배관(130b)을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 제3배관(130c)을 포함할 수 있다. 즉, 분기관부(133) 역시 연직방향(D1)에 직교하는 수평구간이 형성되지 않을 수 있다.
또한, 분기관부(133)는 각 배관이 융착에 의해 연결되고, 방향전환을 위한 별도의 피팅 장치 대신 벤딩 형성된 제3배관(130c)을 사용함으로써, 배관 내부의 틈새 공간이나 돌출 구조물을 없앨 수 있다.
따라서, 처리액 공급부(120)의 미 작동시 분기관부(133)의 내부에 처리액은 중력에 의해 메인관부(131) 방향으로 흘려 내려 잔류 없이 모두 회수될 수 있다.
분기관부(133)는 토출관부(135)를 연결하기 위한 분기구를 가질 수 있다.
분기관부(133)의 분기구는 토출관부(135)의 내경과 동일한 내경을 가지도록 관통 형성될 수 있다.
분기관부(133)의 분기구는 토출관부(135)의 수량과 상응하게 분기관부(135)의 길이방향을 따라 복수 개가 마련될 수 있다.
분기관부(133)의 분기구에는 토출관부(135)의 일단부가 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다. 이에 따라, 분기관부(133)와 토출관부(135)의 연결부에는 틈새 공간이나 돌출 구조물이 형성되지 않는다.
또한, 분기관부(133)에는 유량계측부(137) 및 유량조절부(138)와 같은 부속장치를 결합하기 위한 설치공이 구비될 수 있고, 유량계측부(137) 및 유량조절부(138)는 설치공에 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다.
또한, 메인관부(131)와 마찬가지로 분기관부(133) 역시 내벽면이 소수성 처리될 수 있다. 이에 따라 처리액 공급부(120)의 미작동 시 분기관부(133)의 내부에 잔류하는 처리액은 중력에 의해 메인관부(131) 방향으로 보다 효과적으로 흘려 내리며 회수될 수 있다.
또한, 메인관부(131)와 마찬가지로 분기관부(133) 역시 PFA 불소수지와 같은 소수성을 가지는 소재로 제작될 수 있다.
토출관부(135)는 일단부가 분기관부(133)에 연결될 수 있으며, 타단부는 처리액 분사부(110)와 연결될 수 있다.
또한 토출관부(135)는 분기관부(133)의 분기구마다 결합되도록 복수 개가 마련될 수 있다. 따라서 분기관부(133) 내부의 처리액은 복수의 토출관부(135) 측으로 분기되어 유동될 수 있고, 처리액 분사부(110)를 통하여 대상물 측으로 분사될 수 있다.
처리액 분사부(110)로 분사노즐이 사용될 경우, 분사노즐은 토출관부(135)의 길이방향을 따라 복수 개가 이격하여 배치될 수 있다.
실시예에 따른 토출관부(135)는 연직방향(D1)에 직교하는 수평구간이 형성되지 않도록 연직방향(D1)에 대해 경사지게 연장될 수 있다. 즉, 분기관부(133)와 연결된 일단부에서 처리액 분사부(110)와 연결되는 타단부로 갈수록 상부방향으로 경사지게 배치될 수 있다.
따라서, 처리액 공급부(120)의 미 작동시 토출관부(135)의 내부에 잔류하는 처리액은 중력에 의해 분기관부(133) 방향으로 흘려 내리며 회수될 수 있다.
또한, 분기관부(133)와 마찬가지로 토출관부(135) 역시 내벽면이 소수성 처리될 수 있다. 이에 따라 처리액 공급부(120)의 미작동 시 토출관부(135)의 내부에 잔류하는 처리액은 중력에 의해 분기관부(133) 방향으로 보다 효과적으로 흘려 내리며 회수될 수 있다.
또한, 분기관부(133)와 마찬가지로 토출관부(133) 역시 PFA 불소수지와 같은 소수성을 가지는 소재로 제작될 수도 있다.
도 2는 도 1의 분기관부를 나타낸 예시도이다.
도 2를 추가 참조하면, 본 실시예에 따른 분기관부(133)는 제1배관(130a), 제2배관(130b) 및 제3배관(130c)을 포함할 수 있다.
제1배관(130a)은 연직방향(D1)으로 연장하여 형성될 수 있다.
제1배관(130a)은 복수 개가 마련될 수 있으며, 필요에 따라 복수의 제1배관(130a)을 연장하여 사용할 수 있다.
이때, 복수의 제1배관(130a)은 마주하는 단부를 밀착한 상태에서 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다. 이처럼 불필요한 피팅장치 없이 융착에 의해 제1배관(130a)을 일체화함으로써 처리액의 유동을 방해하는 틈새 공간이나 내부 돌출구조물을 없앨 수 있고, 처리액 공급부(120)의 작동과 무관하게 잔류 없이 안정적인 유동이 보장될 수 있다.
제2배관(130b)은 연직방향(D1)에 대해 경사지게 연장하여 형성될 수 있다.
제2배관(130b)은 복수 개가 마련될 수 있으며, 필요에 따라 복수의 제2배관(130b)을 연장하여 사용할 수 있다.
이때, 복수의 제2배관(130b) 역시 마주하는 단부를 밀착한 상태에서 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다.
제3배관(130c)은 벤딩 형성될 수 있으며, 제1배관(130a) 및 제2배관(130b)을 연결할 수 있다. 제3배관(130c)의 벤딩 정도는 제2배관(130b)의 연직방향(D1)에 대한 경사진 정도에 따라 결정될 수 있다.
이때, 제3배관(130c)의 일단부는 제1배관(130a)의 단부와 밀착된 상태에서 융착에 의해 일체로 결합될 수 있고, 타단부는 제2배관(130b)의 단부와 밀착된 상태에서 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다. 이처럼 각 배관이 융착에 의해 연결되고 방향전환을 위한 별도의 피팅 장치를 대신하여 벤딩 형성된 제3배관(130c)을 사용함으로써, 배관 내부의 틈새 공간이나 돌출 구조물을 완전히 없앨 수 있다.
물론 제3배관(130c)은 연직방향(D1)에 대해 서로 다른 경사각을 가지는 2개의 제2배관(130b)을 연결할 수도 있다.
또한, 제3배관(130c) 역시 복수 개가 마련될 수 있으며, 필요에 따라 복수의 제3배관(130c)을 연장하여 사용할 수 있다.
이상에서와 같이, 분기관부(133)는 연직방향(D1)에 직교하는 수평구간이 형성되지 않도록 하고, 연직방향(D1)으로 연장되는 제1배관(130a)과, 연직방향(D1)에 대해 경사진 제2배관(130b), 및 제1배관(130a)과 제2배관(130b)을 연결하는 제3배관(130c)을 통하여, 처리액 공급부(120)의 작동과 무관하게 분기관부(133) 내부의 처리액이 잔류되는 것을 억제할 수 있고, 이에 따라 박테리아 증식 등 처리액이 오염될 수 있는 환경 발생을 원천적으로 차단할 수 있다.
또한, 불필요한 피팅장치 없이 융착에 의해 제1배관(130a), 제2배관(130b) 및 제3배관(130c)을 일체화함으로써 처리액의 유동을 방해하는 틈새 공간이나 내부 돌출구조물을 없앨 수 있고, 이에 따라 배관모듈(130)의 내부에서 유동하는 처리액은 처리액 공급부(120)의 작동과 무관하게 잔류 없이 안정적인 유동이 보장될 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바로는 메인관부(131) 및 토출관부(135)는 연직방향(D1)에 대해 경사지게 연장되는 단일 배관 구조를 가지는데 반해, 분기관부(133)만이 제1배관(130a)과 제2배관(130b)과 및 제3배관(130c)을 포함하는 복합 배관 구조를 가지는 것으로 설명하고 있다.
물론 도시된 바와 달리, 메인관부(131) 및 토출관부(135) 역시 연직방향(D1)에 직교하는 수평구간이 형성되지 않는 조건에서 연직방향(D1)으로 연장되는 제1배관(130a)과, 연직방향(D1)에 대해 경사지며 연장되는 제2배관(130b)과, 제1배관(130a) 및 제2배관(130b)을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 제3배관(130c)을 포함하여 구성될 수도 있다.
한편, 하나의 배관에 복수의 분기관이 결합되는 매니폴드(Manifold) 배관 구조는 주배관에 형성된 분기구의 형상과 분기관의 단부 간의 형상 차이로 인하여 연결 부분에 틈새가 형성될 수밖에 없는 구조를 가진다. 이를 해소하기 위해서는 배관 연결 부분을 별도로 가공하거나 별도의 분기관용 피팅장치가 필수적으로 요구된다.
즉, 본 고안에서 메인관부(131)의 외주면에 형성된 분기구에 분기관부(133)의 평탄한 단부를 연결하거나, 분기관부(133)의 외주면에 형성된 분기구에 토출관부(135)의 평탄한 단부를 연결할 시, 연결 부분의 기밀을 확보하면서 처리액이 잔류될 수 있는 틈새 형성을 차단할 수 있는 수단이 구비되어야 한다.
이를 위해 본 실시예에 따른 배관모듈(130)은 연결부재(140)를 더 포함할 수 있다.
연결부재(140)는 메인관부(131)에서 분기되는 분기관부(133)를 연결하거나, 분기관부(133)에서 분기되는 토출관부(135)를 연결하여, 연결 부분에서 기밀이 확보되지 못하거나 처리액이 잔류될 수 있는 틈새의 형성을 차단할 수 있다.
도 3은 도 1의 연결부재를 나타낸 예시도이고, 도 4는 도 1의 분기관부와 토출관부의 연결 부분을 나타낸 단면 예시도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 연결부재(140)는 제1연결부(141) 및 제2연결부(143)를 포함할 수 있다.
제1연결부(141)는 분기관부(133)를 관통시키는 관통홀(141a)을 가질 수 있고, 이에 따라 제1연결부(141)는 분기구(133a)가 형성된 분기관부(133)의 일부를 감쌀 수 있다.
제2연결부(143)는 제1연결부(141)에 일체로 결합될 수 있고, 제1연결부(141)에서 돌출 형성될 수 있다. 또한 제2연결부(143)는 관통홀(141a)과 연통되며 토출관부(135)의 단부가 삽입되는 삽입홀(143a)을 가질 수 있다. 또한 제2연결부(143)는 삽입홀(143a)에 삽입되는 토출관부(135)의 단부의 선단면이 밀착 지지되는 지지턱(143b)을 가질 수 있다.
이러한 연결부재(140)를 통하여, 분기관부(133)의 분기구(133a)의 외측면 둘레는 제1연결부(141)의 관통홀(141a)의 내주면에 밀착되고, 토출관부(135)의 선단면은 제2연결부(143)의 지지턱(143b)에 밀착되어, 분기관부(133)와 토출관부(135) 사이의 틈새 형성이 차단될 수 있다.
이때, 서로 맞대어진 관통홀(141a)의 가장자리와 분기관부(133)의 외주면은 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다. 또한 서로 맞대어진 삽입홀(143a)의 가장자리와 토출관부(135)의 외주면 역시 융착에 의해 일체로 결합될 수 있다.
한편, 제1연결부(141)는 제2연결부(143)를 기준으로 반대쪽 일부 영역이 절개되어 이격 배치되는 제1단부(141b) 및 제2단부(141c)를 가질 수 있다. 이러한 제1단부(141b) 및 제2단부(141c)는 외력에 의해 이격되거나 근접할 수 있고, 이에 따라 제1연결부(141)는 제2연결부(143)를 기준으로 분기관부(133)의 중심방향에 대해 벌어지거나 오므려질 수 있다.
따라서, 제1연결부(141)의 관통홀(141a)을 통하여 분기관부(133)의 삽입 및 분리를 보다 용이하게 수행할 수 있다.
또한, 연결부재(140)는 결합부재(145)를 더 포함할 수 있다.
결합부재(145)는 제1단부(141b)와 제2단부(141c)를 관통하여 제1단부(141b)와 제2단부(141c)를 연결할 수 있다. 이러한 결합부재(145)는 제1단부(141b)와 제2단부(141c)를 근접시켜 제1연결부(141)를 분기관부(133)의 중심방향으로 가압하여 고정시킬 수 있다. 결합부재로는 볼트, 너트가 사용될 수 있다.
도 5는 본 고안의 실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 예시도이다.
도 5를 참조하면, 본 고안의 실시예에 따른 기판 처리장치는 챔버(200), 기판 이송장치(300) 및 처리액 공급장치(100: 도 2 참조)를 포함할 수 있다.
챔버(200)는 기판(1)의 처리를 위한 처리공간을 가질 수 있다.
기판 이송장치(300)는 챔버(200)의 처리공간에 배치될 수 있으며, 처리공간의 일측에서 타측으로 기판(1)을 이송시킬 수 있다. 기판 이송장치(300)를 통하여 이송 중인 기판(1)은 처리액 공급장치(100)를 통하여 공급되는 처리액에 의하여 표면 처리될 수 있다.
기판 이송장치(300)는 롤러를 갖는 구동샤프트를 포함할 수 있고, 기판(1)은 롤러에 지지된 상태에서 롤러의 회전력에 의해 이송될 수 있다.
처리액 공급장치(100)는 챔버(200)의 처리공간에 위치하는 기판(1)을 향하여 처리액을 공급할 수 있다. 이러한 처리액 공급장치(100)는 전술한 처리액 공급장치가 사용될 수 있다.
도 2를 참조하여 보충 설명하면, 처리액 공급장치(100)의 토출관부(135)는 기판(1)의 상측에 배치되도록 챔버(200)의 처리공간에서 기판(1)의 이송방향과 직교하는 방향으로 연장하여 배치될 수 있다. 또한 처리액 분사부(110)는 토출관부(135)의 길이방향을 따라 복수 개가 마련될 수 있다. 이에 따라 이송 중인 기판(1)의 전체 면에 대해 처리액이 균일하게 공급될 수 있다.
한편, 기판 처리장치는 처리액 회수장치를 더 포함할 수 있다.
처리액 회수장치는 챔버(200)와 처리액 저장조(121)를 연결하는 회수용 배관모듈(430)을 포함할 수 있다.
즉, 챔버(200) 내에서 기판(1) 처리에 사용된 처리액은 회수용 배관모듈(430)을 통하여 처리액 저장조(121)로 회수될 수 있다.
회수용 배관모듈(430)은 처리액 공급용 배관모듈(130)의 분기관부(133)와 동일한 구성을 가지질 수 있다.
즉, 회수용 배관모듈(430)은 연직방향(D1)으로 연장되는 회수용 제1배관과, 연직방향(D1)에 대해 경사지며 연장되는 회수용 제2배관과, 회수용 제1배관 및 회수용 제2배관을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 회수용 제3배관을 포함할 수 있다.
이와 같이, 처리액 공급용 배관모듈(130)과 마찬가지 회수용 배관모듈(430)은 연직방향(D1)에 직교하는 수평구간이 형성되지 않고, 연직방향(D1)으로 연장되는 회수용 제1배관과, 연직방향(D1)에 대해 경사진 회수용 제2배관, 및 회수용 제1배관과 회수용 제2배관을 연결하는 회수용 제3배관을 구비하여, 챔버(200)에서 기판(1) 처리된 사용된 처리액이 잔류 없이 처리액 저장조(121) 측으로 효과적으로 배출 및 회수될 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 처리액 공급장치 110: 처리액 분사부
120: 처리액 공급부 130: 배관모듈
131: 메인관부 133: 분기관부
135: 토출관부 130a: 제1배관
130b: 제2배관 130c: 제3배관

Claims (8)

  1. 처리액을 분사하기 위한 처리액 분사부;
    처리액 저장부에 저장된 처리액을 가압하여 상기 처리액 분사부로 공급하기 위한 처리액 공급부; 및
    상기 처리액 공급부와 상기 처리액 분사부를 연결하는 배관모듈;을 포함하고,
    상기 배관모듈은,
    상기 처리액 공급부와 연결되는 메인관부와, 상기 메인관부에서 분기되는 복수의 분기관부와, 상기 분기관부에서 분기되며 상기 처리액 분사부와 연결되는 복수의 토출관부를 포함하며,
    상기 메인관부와 상기 분기관부 및 상기 토출관부는 융착에 의해 일체로 결합되고,
    상기 분기관부는,
    연직방향으로 연장되는 제1배관과, 연직방향에 대해 경사지며 연장되는 제2배관과, 상기 제1배관 및 상기 제2배관을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 제3배관을 포함하며, 연직방향에 직교하는 수평구간이 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인관부와 상기 분기관부 및 상기 토출관부의 내벽면은 소수성 처리된 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 메인관부와 상기 분기관부 및 상기 토출관부는 퍼플루오르알콕시(Perfluoroalkoxy: PFA) 불소수지로 이루어진 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 분기관부는 상기 토출관부의 내경과 동일한 내경을 가지는 분기구를 구비하고,
    상기 배관모듈은,
    상기 분기관부와 상기 토출관부를 연결하되, 상기 분기구와 상기 토출관부 사이의 틈새 형성을 억제하는 연결부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 연결부재는,
    상기 분기구가 형성된 상기 분기관부의 일부를 감싸도록 상기 분기관부를 관통시키는 관통홀을 가지는 제1연결부와,
    상기 제1연결부에서 돌출 형성되고, 상기 관통홀과 연통되며 상기 토출관부의 단부가 삽입되는 삽입홀과, 상기 삽입홀에 삽입되는 상기 토출관부의 단부의 선단면이 밀착 지지되는 지지턱을 가지는 제2연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1연결부는 상기 제2연결부를 기준으로 반대쪽 일부 영역이 절개되면서 이격 배치되는 제1단부 및 제2단부를 가지고,
    상기 연결부재는,
    상기 제1단부와 상기 제2단부를 연결하되, 상기 제1단부와 상기 제2단부를 근접시키며 상기 제1연결부를 상기 분기관부의 중심방향으로 가압하는 결합부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  7. 기판의 처리를 위한 처리공간을 가지는 챔버; 및
    상기 처리공간에 위치하는 기판에 처리액을 공급하기 위한 제1항에 기재된 처리액 공급장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 챔버와 상기 처리액 저장조를 연결하며, 기판 처리에 사용된 처리액을 회수하기 위한 회수용 배관모듈을 가지는 처리액 회수장치를 더 포함하고,
    상기 회수용 배관모듈은,
    연직방향으로 연장되는 회수용 제1배관과, 연직방향에 대해 경사지며 연장되는 회수용 제2배관과, 상기 회수용 제1배관 및 상기 회수용 제2배관을 연결하기 위해 벤딩 형성되는 회수용 제3배관을 포함하며, 연직방향에 직교하는 수평구간이 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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