JP2007214499A - 基板の処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】チャンバに形成された開口部を内カバーによって確実に密閉できるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】内部に搬入された基板を処理するためのチャンバ５と、チャンバの一側面に形成された開口部６を開閉する内カバー１５と、内カバーの内面の周辺部に設けられ内カバーを閉じたときにチャンバの一側面の開口部の周辺部に接触するシール材２４と、チャンバの一側面の開口部の周辺部に周方向に所定間隔で設けられ内カバーを閉じたときに内カバーの周辺部の複数箇所を押圧保持してシール材をチャンバの一側面に圧接させるとともに内カバーを押圧する押圧力の調整が可能な複数のクランパ２７を具備する。
【選択図】図５

Description

この発明は基板を処理するためのチャンバを有する基板の処理装置に関する。

液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。

つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、基板のレジストが除去された部分をエッチングし、エッチング後にレジストを除去するなどの一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。

このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液によって基板を処理する工程、さらにリンス液によって洗浄する工程などがあり、洗浄後には基板に付着残留したリンス液を除去する乾燥工程が必要となる。

基板に対して上述した一連の処理を各種の処理液で行う場合、基板を水平に搬送したのでは、基板に供給される処理液の重量によって基板が撓むため、基板の処理を全面にわたって均一に行なうことができなくなるということがある。

そこで、処理液によって基板を処理する際、上記基板が処理液の重量によって撓むのを防止するため、基板を所定の傾斜角度、たとえば７５度の角度で傾斜させて搬送するということが考えられている。基板を傾斜させて搬送すれば、処理液は基板の板面に溜まらず、上方から下方へ円滑に流れるから、処理液の重量によって基板が撓むのを防止することができる。

ところで、基板に対して薬液処理、リンス液処理及び乾燥処理などの複数の処理を連続して行なう場合、処理装置は基板に対して複数の処理を順次行なう複数の処理ユニットが一列に配置された構造となる。

上記処理ユニットはチャンバを有する。このチャンバは、処理液に対して耐蝕性を有する、たとえばステンレス鋼板などの板材によって形成されていて、その一側面には内部のメンテナンスをできるようにするために点検口が開口形成されている。この点検口は蓋体によって開閉されるようになっていて、この蓋体にはチャンバ内での基板の処理状態を目視できるようにするためにガラスなどの透明板が設けられている。メンテナンスを容易に行なえるようにするため、上記点検口はできるだけ大きい方が好ましい。

上記チャンバ内で基板を処理するとき、上記開口部は上記蓋体によって閉じられる。蓋体の内面の周辺部には上記チャンバの一側面に接触するシール材が設けられている。したがって、上記開口部を上記蓋体によって閉じておけば、上記シール材によって上記開口部が気密に閉塞されるから、チャンバ内で基板に供給された処理液が外部に漏れ出るのを防止することができ、しかも蓋体に設けられた透明部材によって内部の状態を確認することもできる。

ところで、上記チャンバは上述したようにステンレス鋼板などの複数枚の板材を溶接して形成される。複数枚の板材を溶接してチャンバを形成すると、チャンバには溶接時の熱歪が生じ易い。しかも、チャンバの軽量化を図るために、厚さの薄い板材を使用する傾向にあるため、そのことによっても板材に生じる熱歪が大きくなるということある。

チャンバに熱歪が生じると、このチャンバに形成された開口部を蓋体によって閉塞したとき、この蓋体の内周面に設けられたシール材が全長にわたって上記チャンバの一側面に形成された開口部の周辺部に均一に当たらないということがある。

そのような状態にあると、基板を処理するためにチャンバ内に噴射供給された処理液が周囲に飛散したとき、その処理液が上記シール材とチャンバの一側面との隙間を通って外部に漏れ出るという虞がある。処理液には薬液などが用いられる。そのため、処理液が外部に漏れると作業環境が悪化することになり、好ましくない。

この発明は、チャンバが板材で形成されて熱歪によって歪んでいても、蓋体を閉じたときに、この蓋体とチャンバとの間の液密性を確保できるようにした基板の処理装置を提供することにある。

この発明は、基板を処理する処理装置であって、
内部に搬入された上記基板を処理するためのチャンバと、
このチャンバの一側面に形成された開口部を開閉する蓋体と、
この蓋体の内面の周辺部に設けられ蓋体を閉じたときに上記チャンバの一側面の上記開口部の周辺部に接触するシール材と、
上記チャンバの一側面の上記開口部の周辺部に周方向に所定間隔で設けられ上記蓋体を閉じたときにこの蓋体の周辺部の複数箇所を押圧保持して上記シール材を上記一側面に圧接させるとともに上記蓋体を押圧する押圧力の調整が可能な複数のクランパと
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。

上記蓋体は、その一側辺が上記チャンバの一側面にヒンジによって回動可能に連結されていて、
上記クランパは上記蓋体の上記ヒンジが設けられた上記一側辺を含む４つの辺にそれぞれ設けられていることが好ましい。

上記蓋体の内面には、上記シール材を保持する保持溝を形成する保持部材が設けられていることが好ましい。

上記シール材は断面形状が三角形状であることが好ましい。

この発明によれば、蓋体を閉じたときにこの蓋体をクランプするクランパを開口部の周方向に所定間隔で複数設け、しかもクランパが蓋体を押圧する押圧力の調整可能な構成としたから、チャンバに歪があって、複数のクランパによって蓋体に設けられたシール材がチャンバに均一に当たるよう調整することができる。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。

図１は基板の処理装置を示す正面図であって、この処理装置は並設された複数の処理部を有する。この実施の形態では第１乃至第５の５つの処理部１Ａ〜１Ｅが並設されている。これら処理部１Ａ〜１Ｅの上部には搬送装置２が設けられている。この搬送装置２は未処理の基板を矢印Ａで示すように第５の処理部１Ｅ側から第１の処理部１Ａ側へと搬送するようになっている。

第１の処理部１Ａの側方には上記搬送装置２によって水平搬送された基板を所定の角度、例えば７５度の角度に傾斜させて上記第１の処理部１Ａに送り込む傾斜受け渡しユニット３が設けられている。

それによって、第５の処理部１Ｅ側から搬送装置２に供給された基板は、第１乃至第５の処理部１Ａ〜１Ｅによって順次処理されて矢印Ｂで示すように第５の処理部１Ｅから送り出されるようになっている。つまり、処理装置に対する基板の供給及び処理された基板の搬出を第５の処理部１Ｅ側、つまり同じ位置で行なうことができるなっている。

図２と図３に示すように、各処理１Ａ〜１Ｅはチャンバ５を有する。チャンバ５は、たとえばステンレス鋼板などの耐蝕性を備えた金属製の板材を溶接することで、箱型状に形成されている。このチャンバ５の一側面である、前面板５ａには開口部６が上下方向に沿って細長く形成されている。この開口部６の周縁にはチャンバ５の内面側に向かってフランジ７が折曲形成され、このフランジ７により上記チャンバ５の前面板５ａの開口部６の周縁部を補強している。

上記前面板５ａの外面の上記開口部６の周縁部には取付け枠１２が全長にわたって設けられている。この取付け枠１２は、図５に示すように第１のアングル材１３と第２のアングル材１４との一辺を固着した材料によって矩形枠状に形成されている。

上記開口部６は蓋体としての内カバー１５によって開閉される。この内カバー１５は幅方向の一側の上下端部と中途部とがそれぞれ上記前面板５ａにヒンジ１６，１７によって回動可能に連結されている。内カバー１５の上下方向中途部を連結したヒンジ１７は上下端部を連結したヒンジ１６に比べて長尺に形成されている。

上記内カバー１５の上部と下部には矩形状の取付け部１８が開口形成され、各取付け部１８にはそれぞれガラス板などの透明部材１９が図５に示す保持具２０によって液密かつ着脱可能に保持されている。つまり、前面板５ａの開口部６が内カバー１５によって閉じられても、作業者は透明部材１８を介してチャンバ５の内部を目視できるようになっている。

上記内カバー１５の内面の周辺部には、この内カバー１５を閉じたときに、上記取付け枠１２内に入り込む内枠２１が設けられている。この内枠２１は内カバー１５を補強している。

さらに、内カバー１５の内面には、図５に示すように上記内枠２１よりも外側の周辺部に断面形状がくの字状の２つの保持部材２２が全長にわたって設けられている。内カバー１５の径方内方に位置する一方の保持部材２２は一辺を上記内カバー１５の内面に固着して設けられ、外方に位置する他方の保持部材２２は一辺を上記内カバー１５にねじ２３によって着脱可能に取り付けられている。

一対の保持部材２２の他辺は所定の間隔で対向していて、これらの間にシール材２４を保持する保持溝２５を形成している。この保持溝２５は、一対の保持部材２２の他辺と、前面板５ａの板面とで断面形状がほぼ三角形状となっている。
なお、保持部材２２は内カバー１５の内面でなく、チャンバ５の上記内カバー１５の内面が対向する部位に設けるようにしてもよい。

上記シール材２４は一対の保持部材２２の他辺によって保持され易く、しかも保持溝２５から脱落し難い形状、たとえば保持溝２５とほぼ同じ断面三角形状をなしていて、その先端部、つまり頂部を上記保持溝２５から外方へ突出させている。

上記シール材２４が損傷したときには、上記ねじ２３によって上記内カバー１５に取り付けられた外側に位置する他方の保持部材２２を取り外せば、上記シール材２４を交換することができる。

上記内カバー１５を閉じて上記開口部６を閉塞すれば、この内カバー１５の内面に設けられたシール材２４が前面板５ａに当接する。さらに、内カバー１５を閉じたときに、この内カバー１５は複数のクランパ２７によって上記前面板５ａに押圧保持されるようになっている。

複数の上記クランパ２７は上記取付け枠１２のヒンジ１６，１７が連結された辺を含む四つの辺に設けられている。つまり、各辺にはそれぞれ複数のクランパ２７が所定間隔で設けられている。

上記クランパ２７はトグル式であって、図５に示すように上記取付け枠１２に固着された取付け片２８に一端部が枢着されたトグル部材２９を有する。このトグル部材２９には操作部材３１の一端部が枢着されている。

上記トグル部材２９の先端部には押圧体３２が設けられている。この押圧体３２は、上記トグル部材２９の先端部に形成された通孔（図示せず）に移動可能に挿通されたねじ軸３３の先端に設けられている。

上記ねじ軸３３には一対のナット３４が上記トグル部材２９を挟んで螺合されている。一対のナット３４を緩めてねじ軸３３を移動させ、所定の位置でナット３４を締め込めば、上記ねじ軸３３の上記トグル部材２９に対する固定位置を設定することができる。つまり、上記押圧体３２の突出位置を調整できるようになっている。

図３に示すように、上記内カバー１５によってチャンバ５の開口部６を閉じたときに、上記操作部材３１を回動操作すれば、上記押圧体３２が上記内カバー１５の外面の周辺部に設けられた帯状部材３７（図５に示す）を介してこの内カバー１５の周辺部をチャンバ５の前面板５ａに押圧保持することができる。それによって、内カバー１５の内面に設けられたシール材２４がチャンバ５の前面板５ａに圧接するから、内カバー１５が前面板５ａの開口部６を気密に閉塞することが可能となっている。

このとき、各クランパ２７が上記内カバー１５の周辺部を押圧する押圧力は、上記ねじ軸３３によって上記押圧体３４の上記トグル部材２９から突出する長さを変えることで調整できる。

上記内カバー１５の周辺部には複数のクランパ２７が所定間隔で設けられている。そのため、内カバー１５の内面に設けられたシール材２４が全長にわたってチャンバ５の前面板５ａに均等な圧力で当たるよう、各クランパ２７による内カバー１５の押圧力を調整することができる。

つまり、チャンバ５の前面板５ａが溶接時の熱影響で歪んでいても、その歪み応じて各クランパ２７による内カバー１５の押圧保持力を調整すれば、内カバー１５の内面の周辺部に設けられたシール材２４を、全長にわたって上記前面板５ａに均一に圧接させることができる。

上記チャンバ５の前面板５ａには、上記内カバー１５を覆う高さを有する外カバー４１が開閉可能に設けられている。この外カバー４１の幅方向一側の上部と下部とは図２に鎖線で示すように、上記前面板５ａにヒンジ４２によって開閉可能に取付けられている。

図５に示すように、上記外カバー４１の幅方向の他側には操作ハンドル４３に回動可能に連結されたフック４４が設けられている。このフック４４は上記外カバー４１を閉じたときに、上記チャンバ５の前面板５ａに設けられた係止部材４５に係合させることができる。フック４４を係止部材４５に係合させて上記操作ハンドル４３を回動させれば、上記フック４４が回動不能になる。つまり、外カバー４１を閉じた状態で上記前面板５ａに保持できる。

図５に示すように、上記外カバー４１には、上記内カバー１５の透明部材１９と対応する位置に開口４６が形成され、この開口４６には透明部材４７がパッキング４８によって気密に保持されている。それによって、外カバー４１を閉じた状態で、この外カバー４１及び内カバー１５の透明部材４６，１９を介してチャンバ５の内部を目視することができる。

このような構成の処理装置によれば、図３に示すようにチャンバ５の前面板５ａに形成された開口部６を内カバー１５によって閉じたとき、上記内カバー１５の４つの辺はそれぞれ複数のクランパ２７によってクランプされる。各クランパ２７は押圧体３５による内カバー１５を押圧保持する際の押圧力を調整することができるようになっている。

つまり、押圧体３２はねじ軸３３に設けられ、このねじ軸３３はトグル部材２９に一対のナット３４によって突出長さの調整可能に設けられている。そのため、上記ねじ軸３３の上記トグル部材２９からの突出長さを調整すれば、各押圧体３５が内カバー１５の周辺部を押圧する力を変えることができる。

したがって、内カバー１５を閉じてクランパ２７により、この内カバー１５をチャンバ５の前面板５ａにクランプする際、これらクランパ２７による上記内カバー１５の周辺部を押圧する押圧力を調整することができる。

つまり、チャンバ５を形成する際、その前面板５ａに溶接時の熱によって歪みが生じていても、その歪みに応じて各クランパ２７の押圧体３２による押圧力を調整すれば、内カバー１５の内面の周辺部に設けられたシール材２４を、チャンバ５の前面５ａにほぼ均一に圧接させることができる。それによって、前面板５ａに熱歪み生じていても、チャンバ５の開口部６を上記内カバー１５によって気密に閉塞することができる。

上記クランパ２７は、内カバー１５が前面カバー５ａにヒンジ１６，１７によって連結された辺に対応する部位にも設けられている。つまり、クランパ２７は内カバー１５の４つの辺をクランプできるように設けられている。そのため、内カバー１５のヒンジ１６，１７が設けられた辺に対応する部分のシール材２４も、他の辺に対応する部分のシール材２４と同様、上記前面板５ａに確実に押圧することができる。

上記内カバー１５の内面には一対の保持部材２２によって保持溝２５を形成し、この保持溝２５にシール材２４を保持するようにした。そのため、内カバー１５の厚さを厚くすることなく、その内カバー１５の内面にシール材２４を設けることができる。

すなわち、従来は内カバー１５の内面の周辺部に溝を形成し、その溝にシール材を設けるようにしていた。そのため、内カバー１５は溝を形成することができる厚さにしなければならないから、内カバー１５が厚くなって高重量化を招くということがあった。しかも、シール材を単に溝に圧入するだけであったから、シール材がその溝から脱落しやすいということもあった。

しかしながら、上述したように一対の保持部材２２によって保持溝２５を形成すれば、シール材２４を保持するために内カバー１５の厚さを厚くせずにすむ。しかも、保持溝２５の断面形状をほぼ三角形状とし、この保持溝２５に保持溝２５の断面形状に対応する断面三角形状のシール材２４を保持するようにしたから、シール材２４が保持溝２５から脱落することがない。しかも、ねじ２３によって取付けられた保持部材２２を取り外せば、シール材２４の交換も容易に行なうことができる。

さらに、シール材２４は三角形状の１つの頂部を保持溝２５から突出させて保持されている。そのため、内カバー１５をクランプしたとき、シール材２４は保持溝２５から突出した頂部がチャンバ５の前面板５ａに押圧されて弾性変形するため、弾性変形し易い。

つまり、シール材２４の三角形の頂部が圧縮されて弾性変形する場合、圧縮代に比べて体積変化が少ないから、保持溝２５に保持されたシール材２４の変形が容易に行なわれる。そのため、内カバー１５をクランプしたとき、シール材２４が前面板５ａに密着し易いから、そのことによっても内カバー１５により開口部６を液密に閉塞し易くなる。

この発明の一実施の形態の処理装置の概略的構成を示す正面図。 １つのチャンバを拡大し、外カバーを鎖線にして内カバーを示した正面図。 内カバーと外カバーを閉じたときのチャンバの横断面図。 内カバーと外カバーを開いたときのチャンバの横断面図。 シール材が設けられた内カバーの一部分の拡大断面図。

符号の説明

５…チャンバ、６…開口部、１５…内カバー（蓋体）、１６，１７…ヒンジ、２２…保持部材、２４…シール材、２７…クランパ。

Claims (4)

1. 基板を処理する処理装置であって、
   内部に搬入された上記基板を処理するためのチャンバと、
   このチャンバの一側面に形成された開口部を開閉する蓋体と、
   この蓋体の内面の周辺部に設けられ蓋体を閉じたときに上記チャンバの一側面の上記開口部の周辺部に接触するシール材と、
   上記チャンバの一側面の上記開口部の周辺部に周方向に所定間隔で設けられ上記蓋体を閉じたときにこの蓋体の周辺部の複数箇所を押圧保持して上記シール材を上記一側面に圧接させるとともに上記蓋体を押圧する押圧力の調整が可能な複数のクランパと
   を具備したことを特徴とする基板の処理装置。
2. 上記蓋体は、その一側辺が上記チャンバの一側面にヒンジによって回動可能に連結されていて、
   上記クランパは上記蓋体の上記ヒンジが設けられた上記一側辺を含む４つの辺にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
3. 上記蓋体の内面または上記チャンバの一側面には、上記シール材を保持する保持溝を形成する保持部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
4. 上記シール材は断面形状が三角形状であることを特徴とする請求項３記載の基板の処理装置。

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