JP4739709B2 - 成膜装置のクリーニング方法 - Google Patents
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窒化シリコンの堆積したサンプルと石英サンプルを収容したCVD反応チャンバ内に、フッ素ガスと一酸化窒素ガスを導入し、以下の条件でクリーニングを実施した。
一酸化窒素ガス流量:200sccm
窒素ガス流量:300sccm
CVD反応チャンバ内圧力:50Torr
クリーニング温度:200℃。
窒化シリコンの堆積したサンプルと石英サンプルを収容したCVD反応チャンバ内に、フッ素ガスと一酸化窒素ガスを導入し、CVD反応チャンバ内圧力を50Torrに設定し、フッ素ガス流量と、全ガス流量をそれぞれ、500sccm、1000sccmに設定してクリーニングを行った。その際、クリーニング温度を100℃から600℃の範囲内で変化させた。また、一酸化窒素ガスの流量も、100sccmから200sccmの範囲で変化させた。全ガス流量で1000sccmに足りない分は、窒素ガスで補足した。結果を図4に示す。図4において、線aは、NO/F2流量比が0.2である場合、線bはNO/F2流量比が0.4である場合の結果をそれぞれ示す。
窒化シリコンの堆積したサンプルと石英サンプルを収容したCVD反応チャンバ内に、フッ素ガスと一酸化窒素ガスを導入し、CVD反応チャンバ内圧力を50Torrに設定し、クリーニング温度を200℃に設定し、一酸化窒素ガス流量と全ガス流量をそれぞれ200sccm、1000sccmに設定してクリーニングを行った。その際、フッ素ガス流量を100sccmから500sccmの範囲内で変化させた。全ガス流量で1000sccmに足りない分は、窒素ガスで補足した。結果を図5に示す。図5において、斜線を付した棒グラフは、窒化シリコンのエッチング速度を示し、白抜き棒グラフは石英のエッチング速度を示し、線aは、エッチング選択比(窒化シリコン/石英)を示す。
窒化シリコンの堆積したサンプルと石英サンプルを収容したCVD反応チャンバ内に、フッ素ガスと一酸化窒素ガスを導入し、CVD反応チャンバ内圧力を50Torrに設定し、クリーニング温度を200℃に設定した。その際、フッ素ガス流量を500sccmに設定し、一酸化窒素ガス流量を0sccmから200sccmの範囲で変化させた。全ガス流量を1000sccmに保つため、不足分のガス流量は窒素ガスで補足した。エッチング速度の結果を図6に、窒化シリコンのエッチング速度の、石英に対する選択比の結果を図7に示す。図6において、線aは、石英についての結果を、線bは、窒化シリコンについての結果を示す。
窒化シリコンの堆積したサンプルと、石英サンプルと、炭化シリコンサンプルを収容したCVD反応チャンバ内に、フッ素ガスと第2のガス(一酸化窒素ガス)と窒素ガスを50/1/49の流量比で供給し、反応チャンバ内圧力を50Torrに維持しながら、温度300℃で各サンプルのエッチング速度を測定した。結果を以下に示す。
石英のエッチング速度: 90Å/分
窒化シリコンのエッチング速度: 380Å/分。
石英のエッチング速度: 14Å/分
窒化シリコンのエッチング速度: 0Å/分。
反応チャンバ内で、760Torrの圧力下、ステンレス鋼SS−316L試験片とニッケル試験片を200℃でそれぞれフッ素ガスとフッ化水素ガスの混合物(F2/HF体積比=50/50)またはフッ素ガスと一酸化窒素ガスとの混合物(F2/NO体積比=50/50)に所定時間暴露した。暴露後の試験片表面から、フッ素の浸透深さをオージェ電子分光法により求め、得られた深さと暴露時間から、各試験片の各混合ガスによる反応速度(mm/年)を算出した。結果を下記表1に示す。
Claims (5)
- 薄膜の形成に使用した後の成膜装置の構成部材に堆積したシリコン系堆積物の少なくとも一部を、フッ素ガスからなる第1のガスと、一酸化窒素ガスからなる第2のガスと、不活性希釈ガスとからなるクリーニングガスにより除去するための成膜装置のクリーニング方法であって、前記成膜装置内に、前記第1のガスと前記第2のガスと前記不活性希釈ガスとを導入することによって前記クリーニングガスを前記成膜装置内に導入すること、および前記構成部材を100℃から400℃までの温度に加熱することを包含し、前記構成部材が石英または炭化シリコンで形成され、且つ前記シリコン系堆積物が窒化シリコンを含むものであることと、前記第1のガスに対する第2のガスの流量比が0.01以上で且つ2未満の範囲に設定されることを特徴とする成膜装置のクリーニング方法。
- 前記第1のガスを前記成膜装置に付設されたフッ化水素の電気分解装置から供給することを特徴とする請求項1に記載のクリーニング方法。
- 前記成膜装置が、ステンレス鋼からなる配管を備え、該配管の内面が、ニッケル、アルミニウムまたはアルミナでコートされていることを特徴とする請求項1〜2の何れか1項に記載のクリーニング方法。
- 前記成膜装置が、ニッケルまたはアルミニウムからなる配管を備えることを特徴とする請求項1〜2の何れか1項に記載のクリーニング方法。
- 前記構成部材を400℃を超える温度に加熱して前記シリコン系堆積物を前記構成部材との界面近傍までクリーニング除去した後、温度を低下させ、100℃から400℃間での温度でクリーニングを完成させることによってクリーニングを行うことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のクリーニング方法。
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