JP5470149B2 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびクリーニング方法 - Google Patents
基板処理装置、半導体装置の製造方法およびクリーニング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5470149B2 JP5470149B2 JP2010099984A JP2010099984A JP5470149B2 JP 5470149 B2 JP5470149 B2 JP 5470149B2 JP 2010099984 A JP2010099984 A JP 2010099984A JP 2010099984 A JP2010099984 A JP 2010099984A JP 5470149 B2 JP5470149 B2 JP 5470149B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- processing
- gas supply
- supply system
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 192
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 104
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 87
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 721
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 182
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims description 64
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 63
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 57
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 51
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 22
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 20
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- OMRRUNXAWXNVFW-UHFFFAOYSA-N fluoridochlorine Chemical compound ClF OMRRUNXAWXNVFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 9
- GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N nitrogen trifluoride Chemical compound FN(F)F GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 35
- 239000010408 film Substances 0.000 description 35
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 31
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 22
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 22
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 18
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 11
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 10
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005108 dry cleaning Methods 0.000 description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 2
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011194 food seasoning agent Nutrition 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N trifluorochlorine Chemical compound FCl(F)F JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 231100000053 low toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4405—Cleaning of reactor or parts inside the reactor by using reactive gases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
ング反応を促進させる効果があるものの、単体でエッチングを進行させることはエッチングレートが低いために困難であった。また、FNOは、現時点ではガスとしては商品化されておらず、直ちにクリーニングガスとして利用することは困難であった。なお、これらの課題は、発明者の鋭意研究によって初めて明らかとなった新規課題である。
成する処理を行う工程と、前記処理容器内から処理済基板を取り出す工程と、前記処理容器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、第1のクリーニングガス供給系より予備分解室によりフッ素原子を含むガスを分解させたガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられた第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
場合がある。かかる堆積物は、上述の薄膜形成工程を実施する度に累積的に付着し、一定の厚さ以上になると剥離、落下が生じ、基板100上での異物発生要因となってしまう。そのため堆積物の厚さが一定の厚さに到達する毎に、堆積物を除去する必要があった。
ものである。
以下に、本発明の一実施形態について説明する。
まず、本実施形態にかかる基板処理装置の構成を図面に基づいて説明する。図2は本実施形態で好適に用いられる基板処理装置の処理炉202の概略構成図であり、縦断面図として示されている。
理室201内に供給するのではなく、処理室201内に供給する前に第1クリーニングガス供給管232h内にて事前に混合(プリミックス)するようにしている。これにより、FNOの生成効率を高めることが可能となる。なお、F2ガスとNOガスとを別々に処理室201内に供給すると、F2ガスとNOガスとの反応が不充分となり、FNOの生成効率が低下してしまう。
いる。排気管231のマニホールド209との接続側と反対側である下流側には、圧力検出器としての圧力センサ245、および可変コンダクタンスバルブ、例えばAPC(Auto Pressure Controller)バルブ等の圧力調整装置242を介して、真空ポンプ等の真空排気装置246が接続されている。真空排気装置246は、処理室201内の圧力が所定の圧力(真空度)となるよう真空排気し得るように構成されている。圧力調整装置242および圧力センサ245には、圧力制御部236が電気的に接続されている。圧力制御部236は、処理室201内の圧力が所望の圧力となるように、圧力センサ245により検出された圧力に基づいて圧力調整装置242を所望のタイミングにて制御するように構成されている。主に、排気管231、圧力調整装置242、真空排気装置246、により排気系が構成される。
構成されている。
次に、上記構成に係る処理炉202を用いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、CVD法により処理室201内でウエハ200上に薄膜を形成する工程について説明する。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ240により制御される。
ブ262a、261a、262b、261bが閉じられることで、SiH2Cl2ガス供給源271、NH3ガス供給源272からのSiH2Cl2ガス、NH3ガスの処理室201内への供給が停止される。その後、バルブ262c、261c、262d、261dが開かれ、N2ガス供給源273から処理室201内にN2ガスが供給されつつ排気管231から排気されることで処理室201内がパージされる。そして、処理室201内がN2ガスに置換され、処理室201内の圧力が常圧に復帰される。
処理温度:650〜800℃、
処理圧力:10〜500Pa、
SiH2Cl2ガス供給流量:100〜500sccm、
NH3ガス供給流量:500〜5000sccm
が例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハ200に処理がなされる。
次に、処理室201内をクリーニングする方法について説明する。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ240により制御される。
に制御が行われる。続いて、回転機構254によりボート217が回転される。尚、ボート217は回転させなくてもよい。
ガスを供給し、FNOを含むガス及びNF3ガスを希釈するようにしてもよい。この場合、例えば、バルブ262c、261c、262d、261dが開かれることでN2ガス供給源273から不活性ガス供給管232c、232d内にそれぞれ供給されたN2ガスは、それぞれMFC241c、241dにて所望の流量となるように制御された後、不活性ガス供給管232c、232dを通り、処理ガス供給管232a、232bを経由して、ノズル230a、230bから処理室201内に導入される。N2ガスは、処理ガス供給管232a、232b内でNF3ガス、FNOを含むガスとそれぞれ混合されることとなる。N2ガスの供給流量を制御することで、FNOを含むガス及びNF3ガスの濃度を制御することもできる。なお、FNOを含むガス及びNF3ガスを希釈するガスとしては、N2ガスのほか、アルゴン(Ar)ガス、ヘリウム(He)ガス等の希ガスを用いることも可能である。
処理室内温度:200℃〜600℃、
処理室内圧力:133Pa(1Torr)〜66500Pa(500Torr)、
予備分解室内温度:500℃〜800℃、
予備分解室内圧力:133Pa(1Torr)〜大気圧(760Torr)、
NF3ガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜4000sccm(4slm)、
NOガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜4000sccm(4slm)、
N2ガス供給流量:500sccm(0.5slm)〜20000sccm(20slm)
が例示され、それぞれのエッチング条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することで薄膜のエッチングがなされる。
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
等の処理条件を低温、低圧側の条件とすることが可能となる。例えば、処理室201内の温度を400℃、処理室201内の圧力を100Torrとした場合であっても、クリーニングを充分に進行させることができる。なお、処理室201内においてNF3ガスとFNOガスとが混在した状態ではなく、FNOガスが単体で存在する状態とした場合、FNOガス単体ではエッチングレートが低いためにエッチングを進行させることが困難であることを確認している。すなわち、FNOガスには、クリーニングガスへの添加によりクリーニングガスによるエッチング反応を促進させる効果があるものの、単体ではエッチングを進行させることが困難であることが判明している。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
ーニングガス供給系に予備分解室280fを設けなくてもよい。なお、F2ガスやClF3ガス等を用いる場合であっても、分解源や予備分解室280fを設けてもよく、この場合、フッ素原子を含むガスの分解をさらに促進させることが可能となる。また、予備分解により生成されたF2ガス或いは直接供給されたF2ガスと、NOガスとが合流してから、処理室201内に至るまでの経路を長くすることで、フッ素原子を含むガスとNOガスとの反応性をより高めるようにしてもよい。
処理室内温度:200℃〜500℃、
処理室内圧力:133Pa(1Torr)〜66500Pa(500Torr)、
F2ガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜4000sccm(4slm)、
NOガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜4000sccm(4slm)、
N2ガス供給流量:500sccm(0.5slm)〜20000sccm(20slm)
が例示される。
処理室内温度:200℃〜500℃、
処理室内圧力:133Pa(1Torr)〜66500Pa(500Torr)、
ClF3ガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜2000sccm(2slm)、
NOガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜2000sccm(2slm)、
N2ガス供給流量:500sccm(0.5slm)〜20000sccm(20slm)
が例示される。
で再液化した場合、腐食が起こることも考えられる。
処理室内温度:200℃〜600℃、
処理室内圧力:133Pa(1Torr)〜66500Pa(500Torr)、
CF4ガス+O2ガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜4000sccm(4slm)、
NOガス供給流量:200sccm(0.2slm)〜4000sccm(4slm)、
N2ガス供給流量:500sccm(0.5slm)〜20000sccm(20slm)
が例示される。
以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、第1のクリーニングガス供給系よりフッ素原子を含むガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられた第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
201 処理室
232h 第1クリーニングガス供給管
232e 第2クリーニングガス供給管
240 コントローラ
280f 予備分解室
Claims (9)
- 基板を処理する処理容器と、
前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給系と、
前記処理容器内にフッ素原子を含むガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給する第1のクリーニングガス供給系と、
前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられ、前記処理容器内に前記フッ素原子を含むガスを供給する第2のクリーニングガス供給系と、
前記処理容器内を排気する排気系と、
前記処理容器内に基板を収容した状態で、前記処理容器内に前記処理ガスを供給し排気して基板上に薄膜を形成する処理を行い、前記処理容器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、前記第1のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスと前記一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去するように、前記処理ガス供給系、前記第1のクリーニングガス供給系、前記第2のクリーニングガス供給系、および、前記排気系を制御する制御部と、
を有し、
前記フッ素原子を含むガスがフッ素ガスまたはフッ化塩素ガスであることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理する処理容器と、
前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給系と、
フッ素原子を含むガスを分解させる予備分解室を備え、該予備分解室によりフッ素原子を含むガスを分解させたガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて前記処理容器内に供給する第1のクリーニングガス供給系と、
前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられ、前記処理容器内に前記フッ素原子を含むガスを供給する第2のクリーニングガス供給系と、
前記処理容器内を排気する排気系と、
前記処理容器内に基板を収容した状態で、前記処理容器内に前記処理ガスを供給し排気して基板上に薄膜を形成する処理を行い、前記処理容器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、前記第1のクリーニングガス供給系より前記予備分解室により前記フッ素原子を含むガスを分解させたガスと前記一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去するように、前記処理ガス供給系、前記第1のクリーニングガス供給系、前記第2のクリーニングガス供給系、および、前記排気系を制御する制御部と、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1のクリーニングガス供給系は、前記フッ素原子を含むガスと前記一酸化窒素ガスとを混合させてFNOガスを生成させ、このFNOガスを供給するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記第1のクリーニングガス供給系は、前記予備分解室により前記フッ素原子を含むガスを分解させたガスと前記一酸化窒素ガスとを混合させてFNOガスを生成させ、このFNOガスを供給するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記フッ素原子を含むガスがフッ化窒素ガスまたはフッ化炭素ガスであることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 処理容器内に基板を収容する工程と、
前記処理容器内に基板を収容した状態で、前記処理容器内に処理ガスを供給し排気して基板上に薄膜を形成する処理を行う工程と、
前記処理容器内から処理済基板を取り出す工程と、
前記処理容器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、第1のクリーニングガス供給系よりフッ素原子を含むガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられた第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程と、
を有し、
前記フッ素原子を含むガスがフッ素ガスまたはフッ化塩素ガスであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 処理容器内に基板を収容する工程と、
前記処理容器内に基板を収容した状態で、前記処理容器内に処理ガスを供給し排気して基板上に薄膜を形成する処理を行う工程と、
前記処理容器内から処理済基板を取り出す工程と、
前記処理容器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、第1のクリーニングガス供給系より予備分解室によりフッ素原子を含むガスを分解させたガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられた第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 処理容器内に基板を収容した状態で、前記処理容器内に処理ガスを供給し排気して基板上に薄膜を形成する処理を行った後の前記処理容器を提供する工程と、
前記処理容器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、第1のクリーニングガス供給系よりフッ素原子を含むガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられた第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程と、
を有し、
前記フッ素原子を含むガスがフッ素ガスまたはフッ化塩素ガスであることを特徴とするクリーニング方法。 - 処理容器内に基板を収容した状態で、前記処理容器内に処理ガスを供給し排気して基板上に薄膜を形成する処理を行った後の前記処理容器を提供する工程と、
前記処理容器内から処理済基板を取り出した状態で、前記処理容器内に、第1のクリーニングガス供給系より予備分解室によりフッ素原子を含むガスを分解させたガスと一酸化窒素ガスとを事前に混合させて供給し排気すると共に、前記第1のクリーニングガス供給系とは別に設けられた第2のクリーニングガス供給系より前記フッ素原子を含むガスを供給し排気して、前記処理容器内に付着した堆積物を除去する工程と、
を有することを特徴とするクリーニング方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010099984A JP5470149B2 (ja) | 2010-04-23 | 2010-04-23 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびクリーニング方法 |
KR1020110035483A KR101547808B1 (ko) | 2010-04-23 | 2011-04-18 | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US13/089,988 US8679259B2 (en) | 2010-04-23 | 2011-04-19 | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and method of cleaning processing vessel |
TW100114018A TWI575629B (zh) | 2010-04-23 | 2011-04-22 | 基板處理裝置、半導體裝置的製造方法及淨化方法 |
US14/184,051 US9683288B2 (en) | 2010-04-23 | 2014-02-19 | Method of manufacturing semiconductor device and method of cleaning processing vessel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010099984A JP5470149B2 (ja) | 2010-04-23 | 2010-04-23 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびクリーニング方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014018193A Division JP5715717B2 (ja) | 2014-02-03 | 2014-02-03 | 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011233570A JP2011233570A (ja) | 2011-11-17 |
JP5470149B2 true JP5470149B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=44814727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010099984A Active JP5470149B2 (ja) | 2010-04-23 | 2010-04-23 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびクリーニング方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8679259B2 (ja) |
JP (1) | JP5470149B2 (ja) |
KR (1) | KR101547808B1 (ja) |
TW (1) | TWI575629B (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050082002A1 (en) * | 2003-08-29 | 2005-04-21 | Yuusuke Sato | Method of cleaning a film-forming apparatus and film-forming apparatus |
JP5888674B2 (ja) * | 2012-02-28 | 2016-03-22 | 国立大学法人名古屋大学 | エッチング装置およびエッチング方法およびクリーニング装置 |
JP6061545B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2017-01-18 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法および基板処理装置 |
JP2014127627A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Tokyo Electron Ltd | 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法、薄膜形成装置、及び、プログラム |
JP2014170786A (ja) | 2013-03-01 | 2014-09-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP2014185363A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、処理容器および半導体装置の製造方法 |
JP6139986B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2017-05-31 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
JP5971870B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2016-08-17 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び記録媒体 |
KR20180009853A (ko) * | 2016-07-19 | 2018-01-30 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 |
WO2018181104A1 (ja) | 2017-03-27 | 2018-10-04 | 関東電化工業株式会社 | ドライエッチング方法またはドライクリーニング方法 |
US10529581B2 (en) | 2017-12-29 | 2020-01-07 | L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | SiN selective etch to SiO2 with non-plasma dry process for 3D NAND device applications |
JP6826558B2 (ja) * | 2018-06-04 | 2021-02-03 | 株式会社Kokusai Electric | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP7190915B2 (ja) * | 2019-01-18 | 2022-12-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置の洗浄方法、および基板処理装置 |
JP7026086B2 (ja) | 2019-09-25 | 2022-02-25 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び基板処理装置の洗浄方法 |
JPWO2022190809A1 (ja) * | 2021-03-09 | 2022-09-15 | ||
US12065359B2 (en) * | 2021-04-14 | 2024-08-20 | Applied Materials, Inc. | Portable fluorine generator for on-site calibration |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07169743A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-07-04 | Hitachi Ltd | 表面処理方法 |
US5861065A (en) | 1997-01-21 | 1999-01-19 | Air Products And Chemicals, Inc. | Nitrogen trifluoride-oxygen thermal cleaning process |
JP4519280B2 (ja) | 1999-06-11 | 2010-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理室をドライクリーニングするための装置及び方法 |
CN1374890A (zh) * | 1999-07-12 | 2002-10-16 | Asml美国公司 | 使用组合化学品原位清洗半导体制造装置的方法和系统 |
US20030143846A1 (en) | 2000-09-25 | 2003-07-31 | Akira Sekiya | Gas compositions for cleaning the interiors of reactors as well as for etching films of silicon- containing compounds |
JP2003144905A (ja) | 2001-11-16 | 2003-05-20 | Central Glass Co Ltd | ガスクリーニング方法 |
JP2003347288A (ja) | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置用インジェクタ、半導体製造装置及び半導体製造装置の洗浄方法 |
US20050082002A1 (en) * | 2003-08-29 | 2005-04-21 | Yuusuke Sato | Method of cleaning a film-forming apparatus and film-forming apparatus |
JP4739709B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2011-08-03 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 成膜装置のクリーニング方法 |
JP2005085956A (ja) | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | クリーニング方法、及びcvd装置 |
JP2008031510A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | L'air Liquide-Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procedes Georges Claude | 成膜装置のクリーニング方法および成膜装置 |
JP4531833B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2010-08-25 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びクリーニング方法 |
-
2010
- 2010-04-23 JP JP2010099984A patent/JP5470149B2/ja active Active
-
2011
- 2011-04-18 KR KR1020110035483A patent/KR101547808B1/ko active IP Right Grant
- 2011-04-19 US US13/089,988 patent/US8679259B2/en active Active
- 2011-04-22 TW TW100114018A patent/TWI575629B/zh active
-
2014
- 2014-02-19 US US14/184,051 patent/US9683288B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8679259B2 (en) | 2014-03-25 |
TWI575629B (zh) | 2017-03-21 |
KR20110118564A (ko) | 2011-10-31 |
JP2011233570A (ja) | 2011-11-17 |
US20110259370A1 (en) | 2011-10-27 |
US9683288B2 (en) | 2017-06-20 |
TW201203426A (en) | 2012-01-16 |
KR101547808B1 (ko) | 2015-08-27 |
US20140235066A1 (en) | 2014-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5470149B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびクリーニング方法 | |
JP5571770B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
JP4531833B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びクリーニング方法 | |
TWI469242B (zh) | 清洗方法、半導體裝置之製造方法、基板處理裝置及記錄媒體 | |
JP5202372B2 (ja) | 成膜装置のメタル汚染低減方法、半導体装置の製造方法、記憶媒体及び成膜装置 | |
KR102264076B1 (ko) | 클리닝 방법, 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 기록 매체 | |
JP2017069230A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6778166B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2014209572A (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | |
JP6368850B2 (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP2016012701A (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP2015153956A (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | |
KR102264071B1 (ko) | 클리닝 방법, 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 프로그램 | |
JP6453637B2 (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP5148536B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置の運用方法及び基板処理装置 | |
JP2021027227A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6761031B2 (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP6785809B2 (ja) | 処理容器内の部材をクリーニングする方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP7101283B2 (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP5715717B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置 | |
KR102224294B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법, 표면 처리 방법, 기판 처리 장치, 및 프로그램 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5470149 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |