JP4722415B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims abstract description 112
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 104
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 60
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 60
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- -1 chlorine ions Chemical class 0.000 claims 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 3
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 3
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 3
- 229910017944 Ag—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020994 Sn-Zn Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910009069 Sn—Zn Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
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Description
本発明に係る半導体装置の実施の形態について、図1〜図13を用いて説明する。
<A−1−1.全体構成>
まず、図1を用いて実施の形態に係る半導体装置100の構成を説明する。
アングル溝15の説明に先だって、基板下ハンダ層に発生するクラックの発生状況について図2および図3を用いて説明する。
次に、アングル溝15の構成諸元(アングル角θ、アングル溝深さhおよびアングル溝幅l)の最適値の根拠について、図6および図7を用いて説明する。
以上説明したように、本実施の形態に係る半導体装置100においては、絶縁基板2を構成するセラミック基材3の端縁部外方のヒートシンク1の主面内に、セラミック基材3の外周にほぼ沿うように、内壁が内側に傾斜したアングル溝15を配設し、第1層モールド樹脂16によって、ボンディングワイヤ以下を覆う構成としたので、アングル溝に入り込んだ第1層モールド樹脂16によって基板下ハンダ層7の端縁部とヒートシンク1との間が開くことを防止して、基板下ハンダ層7にクラックが生じることおよびクラックが進展することを防止できる。
以上説明した実施の形態においては、アングル溝15をセラミック基材3の四方のコーナー部3c外方にそれぞれ独立して設ける構成としたが、セラミック基材3の周囲に連続するループ状のアングル溝を設けるようにしても良い。
以上説明した実施の形態においては、セラミック基材3の四方のコーナー部3c外方に、それぞれ1つずつ配設する構成としたが、同心状に複数列配設しても良い。
図4に示したように、セラミック基材3の四方のコーナー部3c外方にそれぞれ独立してアングル溝15を設けた場合、先に説明したようにアングル溝15を設けた部分では、基板下ハンダ層7が溶融状態にあるときに、ハンダが必要以上に流出して広がることを防止できるが、アングル溝15間においてはハンダの流出を効果的に防止することはできない。
以上説明した実施の形態においては、アングル溝は、アングルカッターを用いて切削加工により形成していたので加工時間が短くて済むという特徴を有していたが、プレス加工により形成しても良い。
Claims (8)
- 半導体素子を搭載する矩形状の絶縁基板と、
主面上に前記絶縁基板が接合されるヒートシンクと、
前記ヒートシンクを底面として有する樹脂ケースと、
前記樹脂ケース内に充填された硬化性樹脂と、を備える半導体装置であって、
前記ヒートシンクの前記主面と前記絶縁基板との接合は、
前記絶縁基板を構成するセラミック基材と前記ヒートシンクの前記主面との間に形成された鉛フリーハンダ層によってなされ、
前記ヒートシンクは、
前記セラミック基材の四方のコーナー部外方に対応する前記主面内に少なくとも配設され、前記コーナー部に沿うとともに、内壁が内側に傾斜したアングル溝を有し、
前記アングル溝は、
その開口部の溝幅方向の一方の端縁が、前記鉛フリーハンダ層のスロープの先端位置と一致するように配設され、
前記硬化性樹脂は、
前記アングル溝に入り込み、更に少なくとも前記鉛フリーハンダ層の前記スロープを覆い、
前記鉛フリーハンダ層の前記スロープ及び前記アングル溝の前記内壁に密着することで、前記鉛フリーハンダ層の前記スロープと前記ヒートシンクとの間が開くことを防止することを特徴とする半導体装置。 - 前記アングル溝は、
前記内壁の水平面に対する傾斜角度が、90°を超える値から110°までの範囲を有し、
溝底面の幅に対する溝深さのアスペクト比が、0.15ないし0.7の範囲を有する、請求項1記載の半導体装置。 - 前記アングル溝は前記四方のコーナー部にそれぞれ沿うように設けられ、平面形状がL字形の独立アングル溝を複数含む、請求項1記載の半導体装置。
- 隣り合う前記独立アングル溝間の前記ヒートシンクの前記主面上を被覆するように配設されたソルダーレジストをさらに備える、請求項3記載の半導体装置。
- 前記独立アングル溝の平面形状は、屈曲部が曲率を有するL字形状であって、
2つの溝端部から前記屈曲部までの長さが、それぞれ前記セラミック基材の一辺の長さの3分の1ないし6分の1である、請求項3記載の半導体装置。 - 前記アングル溝は、
前記セラミック基材を囲むように連続して設けられ、ループ状をなす、請求項1記載の半導体装置。 - 前記硬化性樹脂は、前記樹脂ケース内の前記底面から所定の高さまで充填された第1層樹脂と、
前記第1層樹脂上に充填された第2層樹脂とを含む2層樹脂構造を有し、
前記第1層樹脂は、
前記第2層樹脂よりも、線膨張係数および曲げ弾性率が低いとともに、含有するナトリウムイオンおよび塩素イオンの濃度も低い、請求項1記載の半導体装置。 - 請求項3記載の半導体装置の製造方法であって、
前記独立アングル溝は、
前記独立アングル溝と同じ溝底面の幅、溝深さおよび平面視形状を有し内壁が垂直な溝に対して、該溝の溝幅よりも大きな幅を有し、前記独立アングル溝と同じ平面視形状の突出部を備えたプレス金型を、前記溝の上部に押し当ててプレスすることで、前記溝の内壁上部を前記溝の内側に向けて体積移動させて形成する、半導体装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004175074A JP4722415B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 半導体装置およびその製造方法 |
CNB2005100530390A CN100377336C (zh) | 2004-06-14 | 2005-03-01 | 半导体装置及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004175074A JP4722415B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005353945A JP2005353945A (ja) | 2005-12-22 |
JP2005353945A5 JP2005353945A5 (ja) | 2006-11-02 |
JP4722415B2 true JP4722415B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=35588132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004175074A Expired - Lifetime JP4722415B2 (ja) | 2004-06-14 | 2004-06-14 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4722415B2 (ja) |
CN (1) | CN100377336C (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4985116B2 (ja) * | 2007-03-08 | 2012-07-25 | 富士電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5252819B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2013-07-31 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009188164A (ja) * | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Nippon Inter Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2011253950A (ja) * | 2010-06-02 | 2011-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | 電力半導体装置 |
US9287201B2 (en) * | 2010-12-16 | 2016-03-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device |
JP2014216459A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
CN105408997B (zh) * | 2013-09-04 | 2018-05-08 | 三菱电机株式会社 | 半导体模块以及逆变器装置 |
DE102014214766A1 (de) * | 2014-07-28 | 2015-06-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung eines Leistungsmoduls sowie Leistungsmodul |
JP6500567B2 (ja) * | 2015-04-01 | 2019-04-17 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
JP6771412B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2020-10-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP6898203B2 (ja) * | 2017-10-27 | 2021-07-07 | 株式会社 日立パワーデバイス | パワー半導体モジュール |
US11393733B2 (en) | 2018-03-13 | 2022-07-19 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor device |
JP7489181B2 (ja) * | 2019-11-11 | 2024-05-23 | 株式会社 日立パワーデバイス | 半導体装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4058826B2 (ja) * | 1998-12-21 | 2008-03-12 | 三菱電機株式会社 | メタルコア基板 |
US6661083B2 (en) * | 2001-02-27 | 2003-12-09 | Chippac, Inc | Plastic semiconductor package |
CN1396667A (zh) * | 2001-07-16 | 2003-02-12 | 诠兴开发科技股份有限公司 | 发光二极管的封装 |
US6607942B1 (en) * | 2001-07-26 | 2003-08-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Method of fabricating as grooved heat spreader for stress reduction in an IC package |
-
2004
- 2004-06-14 JP JP2004175074A patent/JP4722415B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-03-01 CN CNB2005100530390A patent/CN100377336C/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005353945A (ja) | 2005-12-22 |
CN1716578A (zh) | 2006-01-04 |
CN100377336C (zh) | 2008-03-26 |
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Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
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|
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
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|
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