JP4711859B2 - 部品接合方法及び部品接合装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態1に係る部品接合方法を用いる液晶ドライバ実装機100の外観図を示している。
Xav=1/n*ΣXi
Yav=1/n*ΣYi
σxx=1/n*Σ(XiーXav)2
σxy=1/n*Σ(Xi−Xav)(Yi−Yav)
a=σxy/σxx
b=Yav−a*Xav
X0=−b2/a2
X1=(Y1−b2)/a2
Xb=(X1−X0)/2
Θb=ARC Tan(a2)
ΔX=XaーX1
ΔY=0
ΔΘ=90°−Θb
Y=−(1/a2)X+b22
Y=−(1/a2)X+b21
Y=−(1/a2)X+b22
次に、本発明に係る部品接合方法の第二の実施の形態について図面を参照しながら説明を行う。尚、本実施の形態2に係る部品接合方法は、本圧着工程後にフラットパネルに形成された導電粒子の圧痕の認識位置のデータ群から、接合部品の形状とのマッチングする形状を見つけ、そのマッチングデータから、位置補正量を算出することを特徴とするものである。
次に、本発明に係る部品接合方法の第三の実施の形態について、図面を参照しながら説明を行う。
次に、本発明に係る部品接合方法の第四の実施の形態について図面を参照しながら説明を行う。なお、本実施の形態4に係る部品接合方法においては、接合部品の電極が複数ある場合に、中心付近の電極を1つ選択して位置ズレ量を算出して位置補正を行うことを特徴とする。
(ΔX、ΔY、ΔΘ)=((ΔX1+ΔX2)/2、(ΔY1+ΔY2)/2、(ΔΘ1+ΔΘ2)/2)
以下、本発明に係る部品接合方法の第五の実施の形態について、図面を参照しながら説明を行う。なお、本実施の形態5においては、接合部品の電極がバンプで形成されている場合における位置補正法である。
101 ACF貼付け装置
102 仮圧着装置
103 本圧着装置
201,202 加圧ヘッド部
400 接合認識装置
401 微分干渉顕微鏡
402 照明
403 CCDカメラ
404 制御部
405 移動部
501 接合部品位置決め部
502 制御部
503 位置ズレ量補正部
504 位置ズレ量算出部
Claims (12)
- フラットパネルの側縁部に形成されている電極に、接着膜を介して接合部品を接合する部品接合方法であって、
前記接着膜を介して、前記接合部品を前記フラットパネルに形成された電極の位置に位置合わせして圧着する仮圧着ステップと、
前記接合部品の電極を前記フラットパネルの電極に圧着する本圧着ステップと、
前記本圧着ステップの後に、前記フラットパネル及び前記接合部品の電極の位置を検出するための位置検出ステップと、
前記位置検出ステップでの検出に基づいて、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極との位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出ステップと、
前記位置ズレ量を前記仮圧着ステップの位置合わせの補正量として、前記仮圧着ステップに反映させる位置補正ステップとを含み、
前記接着膜には、前記接合部品の電極と前記フラットパネルの電極とを導通するための導電粒子が含まれ、
前記位置検出ステップにおいては、さらに、前記本圧着ステップの後に前記フラットパネルの電極に形成される複数の前記導電粒子の圧痕の位置データ群を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、前記圧痕の位置データ群を用いて前記位置ズレ量を算出し、
さらに、前記位置ズレ量算出ステップにおいて算出された前記位置ズレ量が所定値以上である場合には、前記接合部品と前記フラットパネルとの電極の接合不良が生じていると判定する不良判定ステップを含む
ことを特徴とする部品接合方法。 - 前記フラットパネル及び前記接合部品に複数の電極が形成されている場合においては、前記位置検出ステップにおいては、いずれか1つの電極の位置を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、前記位置検出ステップにおいて検出された位置に基づいて前記接合部品及び前記フラットパネルの電極の位置ズレ量を算出する
ことを特徴とする請求項1記載の部品接合方法。 - 前記位置検出ステップにおいては、さらに、前記複数の電極の中央付近の電極の位置を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、前記位置検出ステップにおいて検出された位置に基づいて前記接合部品及び前記フラットパネルの位置ズレ量を算出する
ことを特徴とする請求項1記載の部品接合方法。 - 前記位置検出ステップにおいては、さらに、複数の電極の位置を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、複数の電極の前記接合部品及び前記フラットパネルの位置ズレ量の平均値を前記仮圧着ステップにフィードバックする位置ズレ量として算出する
ことを特徴とする請求項1記載の部品接合方法。 - フラットパネルの側縁部に形成されている電極に、接着膜を介して接合部品を接合する部品接合装置であって、
前記接着膜を介して、前記接合部品を前記フラットパネルに形成された電極の位置に位置合わせして圧着する仮圧着手段と、
前記接合部品の電極を前記フラットパネルの電極に圧着する本圧着手段と、
前記本圧着手段の処理の後に、前記フラットパネル及び前記接合部品の電極の位置を検出するための位置検出手段と、
前記位置検出手段での検出に基づいて、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極との位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出手段と、
前記位置ズレ量を前記仮圧着手段の位置合わせの補正量として、前記仮圧着手段に反映させる位置補正手段とを備え、
前記接着膜には、前記接合部品の電極と前記フラットパネルの電極とを導通するための導電粒子が含まれ、
前記位置検出手段は、さらに、前記本圧着手段の処理の後に前記フラットパネルの電極に形成される複数の前記導電粒子の圧痕の位置データ群を検出し、
前記位置ズレ量算出手段は、前記圧痕の位置データ群を用いて前記位置ズレ量を算出し、
さらに、前記位置ズレ量算出手段において算出された前記位置ズレ量が所定値以上である場合には、前記接合部品と前記フラットパネルとの電極の接合不良が生じていると判定する不良判定手段を備える
ことを特徴とする部品接合装置。 - 前記位置検出手段は、微分干渉顕微鏡である
ことを特徴とする請求項5記載の部品接合装置。 - フラットパネルの側縁部に形成されている電極に、接着膜を介して接合部品を接合する部品接合方法であって、
前記接着膜を介して、前記接合部品を前記フラットパネルに形成された電極の位置に位置合わせして押圧し圧着する仮圧着ステップと、
前記接合部品の電極を前記フラットパネルの電極に押圧し圧着する本圧着ステップと、
前記本圧着ステップの後に、前記フラットパネル及び前記接合部品の電極の位置を検出するための位置検出ステップと、
前記位置検出ステップでの検出に基づいて、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極との位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出ステップと、
前記位置ズレ量を前記仮圧着ステップの位置合わせの補正量として、前記仮圧着ステップに反映させる位置補正ステップとを含み、
前記接着膜には、前記接合部品の電極と前記フラットパネルの電極とを導通するための導電粒子が含まれ、
前記位置検出ステップにおいては、さらに、前記本圧着ステップの後に、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極とが重なった部分の前記フラットパネルの電極に形成される複数の前記導電粒子の圧痕の位置データ群を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、前記圧痕の位置データ群を用いて前記位置ズレ量を算出し、
さらに、押圧し圧着する前記本圧着ステップの後に、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極とが重なった部分の前記フラットパネルの電極に形成される複数の前記導電粒子の圧痕の面積を計測し、前記圧痕の面積が所定値以下である場合には、前記接合部品と前記フラットパネルとの電極の接合不良が生じていると判定する不良判定ステップを含む
ことを特徴とする部品接合方法。 - 前記フラットパネル及び前記接合部品に複数の電極が形成されている場合においては、前記位置検出ステップにおいては、いずれか1つの電極の位置を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、前記位置検出ステップにおいて検出された位置に基づいて前記接合部品及び前記フラットパネルの電極の位置ズレ量を算出する
ことを特徴とする請求項7記載の部品接合方法。 - 前記位置検出ステップにおいては、さらに、前記複数の電極の中央付近の電極の位置を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、前記位置検出ステップにおいて検出された位置に基づいて前記接合部品及び前記フラットパネルの位置ズレ量を算出する
ことを特徴とする請求項7記載の部品接合方法。 - 前記位置検出ステップにおいては、さらに、複数の電極の位置を検出し、
前記位置ズレ量算出ステップにおいては、複数の電極の前記接合部品及び前記フラットパネルの位置ズレ量の平均値を前記仮圧着ステップにフィードバックする位置ズレ量として算出する
ことを特徴とする請求項7記載の部品接合方法。 - フラットパネルの側縁部に形成されている電極に、接着膜を介して接合部品を接合する部品接合装置であって、
前記接着膜を介して、前記接合部品を前記フラットパネルに形成された電極の位置に位置合わせして押圧し圧着する仮圧着手段と、
前記接合部品の電極を前記フラットパネルの電極に押圧し圧着する本圧着手段と、
前記本圧着手段の処理の後に、前記フラットパネル及び前記接合部品の電極の位置を検出するための位置検出手段と、
前記位置検出手段での検出に基づいて、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極との位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出手段と、
前記位置ズレ量を前記仮圧着手段の位置合わせの補正量として、前記仮圧着手段に反映させる位置補正手段とを備え、
前記接着膜には、前記接合部品の電極と前記フラットパネルの電極とを導通するための導電粒子が含まれ、
前記位置検出手段は、さらに、前記本圧着手段の押圧し圧着する処理の後に、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極とが重なった部分の前記フラットパネルの電極に形成される複数の前記導電粒子の圧痕の位置データ群を検出し、
前記位置ズレ量算出手段は、前記圧痕の位置データ群を用いて前記位置ズレ量を算出し、
さらに、前記本圧着手段の押圧し圧着する処理の後に、前記フラットパネルの電極と前記接合部品の電極とが重なった部分の前記フラットパネルの電極に形成される複数の前記導電粒子の圧痕の面積を計測し、前記圧痕の面積が所定値以下である場合には、前記接合部品と前記フラットパネルとの電極の接合不良が生じていると判定する不良判定手段を備える
ことを特徴とする部品接合装置。 - 前記位置検出手段は、微分干渉顕微鏡である
ことを特徴とする請求項11記載の部品接合装置。
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