JP7265949B2 - 圧痕検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、圧痕検査装置に関する。

液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）等の表示装置は、基板の上に回路及び信号線を形成する工程、基板を貼り合せて表示領域を含むパネルを形成する工程、パネルにおける表示領域の外側に駆動用のドライバＩＣ等を取り付ける工程を経て製造される。

ドライバＩＣの実装方法として、従来から、ＣＯＦ（ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ）等のドライバＩＣを搭載したフレキシブルなフィルム状の電子部品を用いた方法が行われている。これは、パネルの表示領域の周囲から、表示面と平行な水平方向に露出して形成された電極に対して、電子部品の端子を圧着して接続する方法である。

以下、このような基板と電子部品等の圧着対象をワークと呼ぶ。また、ワークの電極、端子等の互いに電気的に接続されるべき導電性を有する部分をリードと呼ぶ。

ワーク同士の接続には、加熱圧着により、それぞれのワークのリード間の導電性を確保する異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）が用いられている。異方性導電フィルムは、基材となる樹脂の中に、小さな導電粒子が多数入ったシート状の部材である。基材の樹脂としては、熱硬化性樹脂が用いられている。

一対のワークのリード間に異方性導電フィルムを挟み、加熱しながら加圧すると、互いのリードの部分がワークの表面よりも出っ張っているので、その部分の導電粒子が押し潰されることによりリード同士が電気的に接続される。他の部分は押し潰されずに厚みが維持されるので、導電性が生じることがなく、絶縁性が確保される。熱硬化性樹脂の基材は、加熱により硬化するので、ワーク同士が機械的に接続される。

特開２００５－２２７２１７号公報

以上のように、一対のワークを異方性導電フィルムを介して加熱圧着して、リード同士の導電性を確保するためには、導電粒子が必要量だけ押し潰されている必要がある。つまり、押し潰された導電粒子の状態によって、通電時の電気抵抗が変化する。

このため、押し潰された導電粒子の状態を観察することによって、リード同士の導電性を検査することができる。このような導電性の検査としては、カメラで撮像した画像に基づいて、導電粒子によるリードの圧痕を観察することが行われている。

このような圧痕の検査は、検査対象であるワークの基板がガラスパネルである場合には、輝度、明度などで表現できる明暗の比であるコントラストが大きい鮮明な画像を得られるため、導電粒子を特定して、正確な検査ができた。

しかしながら、ОＬＥＤのように、検査対象であるワークがフレキシブルな樹脂基板の場合には、コントラストが大きい鮮明な画像を、安定して得ることができないという現象が発生していた。

本発明は、上述のような課題を解決するために提案されたものであり、異方性導電部材を介して圧着された検査対象について、コントラストが大きい画像を安定して得ることができる圧痕検査装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明の圧痕検査装置は、異方性導電部材を介して導電性を有する部分が圧着された一対のワークであって、少なくとも一方のワークが樹脂の基板である検査対象に対して、前記異方性導電部材を介して圧着された圧着領域を撮像する撮像部と、前記検査対象を支持する支持面を有するステージと、前記ステージに設けられ、前記圧着領域の少なくとも一方の樹脂の基板であるワークに接するように、前記支持面から突出した突出部と、を有する。

本発明は、異方性導電部材を介して圧着された検査対象について、コントラストが大きい画像を安定して得ることができる。

検査対象を示す斜視図である。 検査対象のリードを示す平面図である。 検査対象の圧着領域の熱圧着前（Ａ）と熱圧着後（Ｂ）を示す断面図である。 検査対象の圧着領域の圧痕の画像を示す図である。 検査対象の圧着領域の画像の一部を示す図である。 圧着後の検査対象の状態を示す図である。 実施形態の圧着装置及び検査装置を示すブロック図である。 圧着装置を示す構成図である。 検査装置を示す構成図である。 検査装置のステージを示す平面図である。 検査装置の突出部を示す断面図である。 検査装置の検査対象に対する保持部による保持を示す断面図である。 押さえを用いた変形例を示す断面図である。 押さえを用いた変形例を示す平面図である。 第２の突出部を有する変形例を示す断面図である。

本発明の実施の形態（以下、本実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。
［検査対象］
図１～図３を参照して、本実施形態による検査対象Ｔを説明する。検査対象Ｔは、異方性導電部材であるＡＣＦ３を介して、導電性を有する部分が圧着された一対のワークとしての第１のワーク１、第２のワーク２を含む。第１のワーク１は、導電性を有する部分であるリード１１を有する樹脂の基板である。本実施形態の第１のワーク１を構成する基材１ａは、透光性を有する。透光性を有するとは、赤外線、可視光線又は紫外線を透過することをいう。透光性は、光源からの光を透過できればよい。このため、赤外線、可視光線、紫外線の少なくとも一種を透過できればよい。基材１ａは、柔軟性のある樹脂により形成されたフレキシブルなシートである。リード１１は、銅などの金属材料からなる電極である。

本実施形態の第１のワーク１は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置を構成する基板であって、表示領域を有する表示パネルである。このような表示パネルは、その大きさにより、図１（Ａ）に示すように、後述する第２のワーク２が複数圧着される場合と、図１（Ｂ）に示すように、単一の第２のワーク２が圧着される場合がある。

リード１１は、図２に示すように、第１のワーク１の辺の近傍に複数設けられている。各リード１１は、表示領域内の回路に信号線を介して接続されている。リード１１は、所定の間隔を空けて、複数本が並べて配置されている。

第２のワーク２は、図１及び図２に示すように、導電性を有する部分であるリード２１を有する基板である。本実施形態の第２のワーク２は、第１のワーク１と同様に、基材２ａが透光性を有する基板である。基材２ａは、柔軟性のある樹脂により形成されたフレキシブルなシートである。リード２１は、銅などの金属材料からなる電極である。

本実施形態の第２のワーク２は、例えば、ＣＯＦ（ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ）等の電子部品である。ＣＯＦは、フレキシブルなシートに、ドライバＩＣを搭載するとともにプリント配線を形成した部材である。

リード２１は、図２に示すように、第２のワーク２の辺の近傍に設けられている。リード２１は、第１のワーク１のリード１１と、後述するＡＣＦ３を介して電気的に接続するための部分である。各リード２１は、ドライバＩＣに信号線を介して接続されている。リード２１は、所定の間隔を空けて、複数本が並べて配置されている。第１のワーク１のリード１１、第２のワーク２のリード２１は、互いに接続されるべき対応関係が決まっていて、対応するリード１１、２１同士の位置が合うように圧着される必要がある。このため、リード１１、２２の間隔も一致している。この一致は、対応するリード１１、２１同士の導電性が確保できるとともに、他の隣接するリード１１、２１との絶縁性が確保できる程度であればよい。

ＡＣＦ３は、異方性導電部材であり、図３（Ａ）に示すように、基材３１に導電粒子３２を分散させ、膜状としたフィルムである。基材３１としては、加熱により硬化する熱硬化性樹脂であって、透光性のある材料が用いられる。なお、導電粒子３２は、透光性を有しない。つまり、赤外線、可視光線又は紫外線を透過しない。

ＡＣＦ３は、第２のワーク２と第１のワーク１との間に挟まれて、加熱されながら加圧される。すると、図３（Ｂ）に示すように、リード１１とリード２１との間に位置する導電粒子３２がリード１１、２１で挟まれて潰れることにより、リード２１とリード１１との厚み方向の導電性と、面方向の絶縁性を実現する。また、加熱により基材３１の熱硬化性樹脂が硬化して、第２のワーク２を第１のワーク１に接着させる。つまり、加熱圧着により、リード１１とリード２１との電気的接続と、第１のワーク１と第２のワーク２との機械的接続が実現できる。このように、第１のワーク１のリード１１と第２のワーク２のリード２１とがＡＣＦ３を介して加熱圧着されたものが、検査対象Ｔとなる。

また、図３（Ｂ）に示すように、検査対象Ｔにおいて、加熱圧着された領域を圧着領域ＰＡと呼ぶ。圧着領域ＰＡは、少なくともリード１１及びリード２１がＡＣＦ３を介して圧着された領域である。なお、圧着領域ＰＡに、第１のワーク１及び第２のワーク２に設けられたアライメントマークが含まれていてもよい。また、加熱圧着により、樹脂製の第１のワーク１には、凹部１ｂが形成される。つまり、加熱圧着する部材との接触と圧力によって、樹脂が圧縮され熱変形し、加熱圧着されていない部分と比べて薄くなることにより、凹んだ部分が発生する。なお、検査は、第１のワーク１の凹部１ｂを、後述する突出部５１３に載せて、撮像部５２とリード１１、２１との距離を保つため、加熱圧着によって第２のワーク２が凹んでも影響はほとんどない。また、第２のワーク２が、例えば、ポリイミドなどの耐熱性樹脂である場合、例えば、ポリエチレンテレフタラート等の第１のワーク１に比べて、熱変形は少ない。

（導電粒子の圧痕が判別し難くなる現象）
ＡＣＦを介して、ワーク１、２を加熱圧着すると、リード１１、２１の導電粒子を押し潰している箇所に、導電粒子がめり込むことにより、反対側の面が出っ張った隆起となる圧痕が生じる。図４に、リード１１又は２１の圧痕を、ＣＣＤカメラにより観察した画像を模式的に示す。この図４に示すように、圧痕に焦点が合うことにより、コントラストが大きい鮮明な圧痕の画像αが得られる。例えば、検査対象であるワークの基板がガラスパネルである場合には、このような画像が得られる。

しかしながら、ワークが、例えばОＬＥＤ（有機ＥＬディスプレイ）に用いられるようなフレキシブルな樹脂製の基板の場合、図５に示すように、撮像された画像の一部又は全部が不鮮明となる場合が生じる。発明者は、鋭意検討した結果、この原因が、図６（Ａ）に示すように、加熱圧着した際に、第１のワーク１の下面、つまり、第２のワーク２が圧着される面とは反対側の面に凹部１ｂが形成されることにあることを見出した。

つまり、第１のワーク１がフレキシブルな樹脂製である場合、加熱圧着時に押圧された部分に凹部１ｂが形成される。すると、第１のワーク１と支持面Ｂとの間に隙間ｄが発生するので、図６（Ｂ）に示すように、フレキシブルな第１のワーク１の縁部が下がり、リード１１、２１に支持面Ｂに対する傾きが生じる。この傾きは、各検査対象Ｔにおいて一定とならないため、リード１１、２１とＣＣＤカメラとの距離が安定せず、焦点が合わない箇所が発生する。このため、鮮明な画像が得られない現象が発生する。そこで、発明者は、本実施形態のような構成の検査装置によって、鮮明な画像が得られるようにした。

本実施形態の検査装置５０は、図７に示すように、圧着装置４０によって、ＡＣＦ３を介して互いのリード１１、２１が加熱圧着された第１のワーク１及び第２のワーク２に対して、導電粒子３２によるリード１１、２１の電気的な接続状態を検査する装置である。まず、圧着装置４０について説明する。

［圧着装置］
圧着装置４０の構成を、図８を参照して説明する。なお、圧着部４１が移動する方向をｚ方向とする。本実施形態においては、ｚ方向は、設置面に直交する方向であり、設置面が水平な場合には鉛直方向となり、設置面側が下、その反対側が上である。また、ｚ方向に直交する平面において、互いに直交する方向をｘ方向、ｙ方向とする。本実施形態においては、ｚ方向に直交する平面は設置面に平行な面であり、設置面が水平な場合には水平面となる。また、本実施形態においては、ｘ方向を「幅方向」、ｙ方向を「奥行方向」とする。ｘｙ平面上のθ方向を「回転方向」とする。これらの方向は、各装置の各構成の位置関係を述べるための表現であり、各装置が設置面に設置された際の位置関係や方向を限定するものではない。

圧着装置４０は、圧着部４１、圧力受部４２、支持部４３を有する。圧着部４１は、ＡＣＦ３を介して、第１のワーク１及び第２のワーク２のリード１１及びリード２１を加熱圧着する構成部である。圧着部４１は、加圧部材４１ａ、加熱部４１ｂ、圧力調整部４１ｃを有する。なお、第２のワーク２は、圧着装置４０の前工程に配置された仮圧着装置によって、第１のワーク１にＡＣＦ３を介して仮圧着された状態で、圧着装置４０に供給されるものとして説明する。

加圧部材４１ａは、第２のワーク２を加圧する部材である。加圧部材４１ａは、幅方向に長尺な略直方体形状であり、第１のワーク１に仮圧着された複数の第２のワーク２を一括して加熱圧着（所謂、本圧着）できる長さを有している。加圧部材４１ａにおける第２のワーク２に対向する面には、帯状に突出した加圧部４１１を有する。この加圧部４１１は、第２のワーク２に平行に対向する平坦な加圧面を有する。

なお、図８では図示を省略しているが、加圧部材４１ａと第２のワーク２との間には、クッションシートが介在する。クッションシートは、加圧時の緩衝用のシートであり、図示しない供給リールに巻装されていて回動により送り出されて、回収リールに巻き取られて回収される。

加熱部４１ｂは、加圧部材４１ａを加熱するヒータ等の部材である。圧力調整部４１ｃは、加熱部４１ｂによって加熱された加圧部材４１ａによって、第２のワーク２を加圧させるとともに、ＡＣＦ３の基材３１を溶融させる。圧力調整部４１ｃは、図示はしないが、加圧源、駆動機構を有する。加圧源は、エアシリンダ等により加圧部材４１ａに圧力を与える装置である。駆動機構は、加圧源とともに、加圧部材４１ａを第２のワーク２に接離する方向に駆動するボールねじ等の機構である。

圧力受部４２は、加圧部材４１ａの加圧部４１１との間で、第２のワーク２及び第１のワーク１を挟持する部材である。圧力受部４２は、不図示の昇降機構により昇降自在の略直方体形状の部材であり、加圧部材４１ａと幅方向に同等の長さを有する。加熱部４２ｂは、圧力受部４２に内蔵され、バックアップ部４２ａを加熱するヒータ等の部材である。

支持部４３は、第１のワーク１を支持する装置である。支持部４３は、ステージ４３ａ、移動装置４３ｂを有する。ステージ４３ａは、第１のワーク１を水平方向に支持する平坦な台である。ステージ４３ａには、図示はしないが、真空源に接続された複数の穴が形成され、第１のワーク１を吸着保持可能に構成されている。移動装置４３ｂは、ステージ４３ａを奥行方向、幅方向及び回転方向に移動自在に支持する装置である。

支持部４３は、仮圧着装置等の前工程から、第２のワーク２がＡＣＦ３を介して仮圧着された第１のワーク１を受け取り、第２のワーク２が加圧部４１１によって、第１のワーク１に圧着される圧着位置に来るように、第１のワーク１を移動させる。また、支持部４３は、圧着作業が完了して第２のワーク２が圧着された第１のワーク１、つまり検査対象Ｔを、検査装置５０等の後工程へと受け渡す。

［検査装置］
本実施形態の検査装置５０は、検査対象Ｔの圧着領域ＰＡを撮像することにより、圧痕を検査できる画像を得ることができる装置である。検査装置５０を圧痕検査装置として捉えることもでき、圧着装置４０及び検査装置５０を含めて圧痕検査装置として捉えることもできる。なお、撮像部５２の光軸方向をｚ方向とする。検査装置５０は、図９に示すように、ステージ５１、撮像部５２、照明部５３を有する。ステージ５１は、板状の部材であり、検査対象Ｔを支持する支持面５１０を有する。支持面５１０は、ｘｙ平面に平行な面である。本実施形態の支持面５１０は、水平方向であり、重力により検査対象Ｔを支えているが、支持面５１０の角度はこれには限定されず、検査対象Ｔを支持できればよい。

ステージ５１は、上記の支持面５１０に加えて、保持部５１１、開口５１２、突出部５１３を有する。保持部５１１は、検査対象Ｔを保持する。保持部５１１は、図１０に示すように、支持面５１０に形成された吸着孔５１１ａを有し、吸着孔５１１ａに接続された図示しない空気圧回路における真空源によって、負圧による吸着を行うことができる。これにより、検査対象Ｔの第１のワーク１及び第２のワーク２は、支持面５１０に吸着保持される。なお、保持部５１１としては、機械的に保持するメカチャック、クーロン力を用いた静電チャック等、他の方式のものを用いることができる。また、第１のワーク１及び第２のワーク２の少なくとも一方を保持できればよい。

開口５１２は、支持面５１０に支持される検査対象Ｔの圧着領域ＰＡに対応する位置に、ステージ５１を貫通するように設けられている。開口５１２は、図１０に示すように、幅方向に伸びた細長い孔である。

突出部５１３は、図１１に示すように、支持面５１０に支持された検査対象Ｔの圧着領域ＰＡに対して、支持面５１０から突出している。突出しているとは、突出部５１３の全部又は一部が支持面５１０よりも外部に出ていることをいう。本実施形態の突出部５１３は、開口５１２に嵌る直方体形状の部材に形成されている。突出部５１３を形成する部材は、透光性を有する。透光性は、照明部５３（図９参照）からの光により、撮像部５２がリード１１を撮像できればよい。このため、赤外線、可視光線、紫外線の少なくとも一種を透過できればよい。例えば、突出部５１３としては、石英、ガラス、石英ガラス、樹脂等を用いることができる。本実施形態では、よりコントラストが鮮明な画像を得るため、石英ガラスを用いている。

突出部５１３の支持面５１０から突出した部分は、圧着領域ＰＡに対応する第１のワーク１の面に接する接触面５１３ａを有している。本実施形態では、突出部５１３の接触面５１３ａは、支持面５１０と平行な平坦面である。突出部５１３の突出量ｐ、つまり支持面５１０に対する接触面５１３ａの高さは、第１のワーク１と支持面Ｂとの間の隙間ｄ（図６（Ａ）参照）以上であることが好ましい。突出量ｐが隙間ｄより大きい方が凹部１ｂは接触面５１３ａに接触しているので好ましいが、接触面５１３ａは、圧着領域ＰＡ全域に亘って接触面５１３ａに接触支持される高さであればよい。なお、例えば、ｐの上限としては０．３ｍｍ、好ましくは０．１５ｍｍであるが、本発明はこの値には限定されない。

突出部５１３には、突出部５１３が接する第１のワーク１の面に向かう縁部が、面取りされている。つまり、突出部５１３には、第１のワーク１が接する接触面５１３ａとこれと交わる側面５１３ｂとがなす角に、接触面５１３ａ及び側面５１３ｂに対して傾斜した傾斜面５１３ｃが形成されている。傾斜面５１３ｃは、第１のワーク１の凹部１ｂに形成される湾曲した隅に対向する。また、傾斜面５１３ｃは、接触面５１３ａ及び側面５１３ｂの少なくとも一方又は双方との間が、角のない連続した曲面であってもよい。さらに、傾斜面５１３ｃが曲面であってもよい。なお、本発明では、面取りがされていることには限定されず、直角の角を維持した態様も、本発明の一態様である。

本実施形態では、突出部５１３をステージ５１に設置するために、開口５１２に突出部５１３を載せる座５１２ａが設けられている。座５１２ａは、開口５１２の内側に突出し、支持面５１０と平行な平面を有する。この座５１２ａの平面に、開口５１２に挿入された突出部５１３が載置されている。開口５１２は、座５１２ａによって一旦狭められてから、下方、つまり撮像部５２に向かって広がっている。突出部５１３の接触面５１３ａと反対側の面が、座５１２ａによって狭められた開口５１２から露出しており、この露出部分の面積が、突出部５１３を透して撮像される撮像視野の最大となる。傾斜面５１３ｃによる面取り部分は、その撮像視野外になるよう設けられている。例えば、傾斜面５１３ｃの下方における座５１２ａの水平方向（ｙ方向）の長さを、傾斜面５１３ｃの水平方向（ｙ方向）の長さ以上とする。撮像されるリード１１、２１は、圧着領域ＰＡの端まで達しているので、面取りを施すことで、凹部１ｂの圧着領域ＰＡから加熱圧着していない部分への立ち上がり部分が突出部５１３に接触して、第１のワーク１が浮き上がること無く、圧着領域ＰＡを撮像視野内に載置できる。

撮像部５２は、検査対象Ｔに照射された光の反射光を撮像する。本実施形態では、撮像部５２は、照明部５３とともにステージ５１の下方に配置されているが、照明部５３とともに上方に配置されていてもよい。撮像部５２は、カメラ５２ａを有する。カメラ５２ａは、レンズ等を含む光学部材、撮像素子であるＣＣＤ、ＣＣＤの受光量に応じて画像データを生成する画像処理回路を有するＣＣＤカメラである。ＣＣＤは、筐体５２ｂに収容され、光学部材は鏡筒５２ｃに収容されている。カメラ５２ａは、少なくとも圧着領域ＰＡが視野に収まるように、図示しない移動機構によって位置決め可能に設けられている。なお、カメラ５２ａは、移動機構によって、開口５１２に沿った幅方向への移動と撮像を繰り返し行い、撮像された画像を合成することにより所望の視野の画像を得るように構成されている。また、検査対象Ｔには、所定の形状のアライメントマークやコーナー等の基準位置が含まれていて、撮像部５２は、この基準位置も撮像する。

照明部５３は、検査対象Ｔの圧着領域ＰＡに、光を照射する装置である。本実施形態の照明部５３は、カメラ５２ａの光軸と平行な方向で、白色光を照射する同軸落射照明装置である。照明部５３は、カメラ５２ａのレンズを内蔵した鏡筒５２ｃの側面から、鏡筒５２ｃ内に光を照射するＬＥＤ等の光源と、光源からの光の方向を変換して検査対象Ｔに照射させるハーフミラーを有する。

圧着領域ＰＡの位置は、ステージ５１の開口５１２に対応する。本実施形態においては、照明部５３は、ＡＣＦ３に対して下方から光を照射可能となるように、撮像部５２とともに、ステージ５１の検査対象Ｔの下方に配置されている。照明部５３からの光は、第１のワーク１の基材１ａを透過して、リード１１は透過しない。このため、撮像された画像は、図４に示すように、リード１１の圧痕の画像αは、コントラストが大きい鮮明な画像となる。つまり、本実施形態では、導電粒子３２の圧着状態を明確に識別できる。

［制御装置］
制御装置６０は、図７、図８に示すように、圧着装置４０、検査装置５０を制御する装置である。制御装置６０は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成される。制御装置６０は、各部の制御内容がプログラムされており、ＰＬＣやＣＰＵなどの処理装置によりそのプログラムが実行される。

制御装置６０は、撮像部５２から入力された画像データに基づいて、圧痕の数、形状等から、圧着の良否を判定する。つまり、撮像された画像から、輝度分布と面積に基づいて圧痕の画像αを抽出し、その数、形状を求めて、圧痕の状態の良否を判定する。例えば、所定の領域内の圧痕の画像αの数が、あらかじめ設定されたしきい値以上である場合に良好と判定し、しきい値未満である場合に不良と判定する。また、例えば、画像αの形状が、あらかじめ設定された基準となる形状との照合により、正常な圧痕の形状に近似する場合に良好と判定でき、相違する場合に不良と判定できる。

制御装置６０には、入力装置６１、表示装置６２が接続されている。入力装置６１は、オペレータが、制御装置６０を介して圧着装置４０、検査装置５０を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力手段である。表示装置６２は、撮像部５２により撮像された画像、装置の状態を確認するための情報を、オペレータが視認可能な状態とする出力手段である。つまり、本実施形態の検査装置５０は、圧着領域ＰＡを撮像した画像を表示する表示装置６２を有している。

［動作］
次に、本実施形態の動作例を、図１～図１２を参照して説明する。
（圧着動作）
まず、図８に示すように、第２のワーク２がＡＣＦ３を介して仮圧着された第１のワーク１が、支持部４３のステージ４３ａに載置され、移動装置４３ｂによって、第１のワーク１、第２のワーク２が圧着位置に来る。そして、圧力受部４２が上昇して、バックアップ部４２ａの受け面が、第１のワーク１の下面に接する位置に来る。加圧部材４１ａ、バックアップ部４２ａは、それぞれ加熱部４１ｂ、４２ｂによって加熱されている。

この状態で、加圧部材４１ａが下降して、加圧部４１１の加圧面が、クッションシートを介して第２のワーク２に当接する。ＡＣＦ３の基材３１はバックアップ部４２ａの加熱部４２ｂによる加熱と加圧部４１１からの輻射熱によって加熱されて温度上昇を開始し、加圧面が第２のワーク２に当接すると、導電粒子３２が潰れて、リード２１とリード１１との導電性が確保され、電気的な接続が確立される。その後、基材３１の硬化が進行して、第２のワーク２と第１のワーク１とが接合され、機械的な接続が確立される。

（撮像動作）
以上のように第２のワーク２が加熱圧着された第１のワーク１、つまり検査対象Ｔは、図９に示すように、突出部５１３の上に、検査対象Ｔの圧着領域ＰＡが来る位置において、第１のワーク１及び第２のワーク２がステージ５１の支持面５１０に支持される。このとき、図１２に示すように、突出部５１３の接触面５１３ａに、第１のワーク１の凹部１ｂが接触する。また、第１のワーク１及び第２のワーク２は、保持部５１１により吸着保持される。

次に、照明部５３を発光させて、反射光を撮像部５２が撮像する。このとき、第１のワーク１の凹部１ｂは、突出部５１３の接触面５１３ａによって支持されているので、リード１１及びリード２１が、一定の位置に来る。この位置は、カメラ５２ａに対向する位置である。接触面５１３ａは、カメラ５２ａの光軸に直交する面であり、本実施形態では水平である。このため、リード１１及びリード２１と撮像部５２のカメラ５２ａとの距離が一定とならず、焦点が合わなくなることが防止される。つまり、接触面５１３ａに支持されることで圧着領域ＰＡのｙ方向全域（リード１１、２１の全長）に亘ってカメラ５２ａと対向する距離が一定になり、鮮明な画像が得られる。撮像部５２は、撮像した画像データを生成して、制御装置６０に出力する。制御装置６０は、撮像部５２から入力された画像データに基づいて、圧痕の数、形状等から、圧着の良否を判定する。また、制御装置６０は、入力された画像データに基づいて、表示画面データを生成し、表示装置６２に画面表示させる。さらに、表示装置６２は、圧着の良否に関する情報を表示してもよい。

［作用効果］
（１）以上のような実施形態の検査装置５０は、異方性導電部材であるＡＣＦ３を介して、導電性を有する部分であるリード１１、２１が互いに圧着された一対の第１のワーク１、第２のワーク２であって、少なくとも一方の第１のワーク１が樹脂の基板である検査対象Ｔに対して、ＡＣＦ３を介して圧着された圧着領域ＰＡを撮像する撮像部５２と、検査対象Ｔを支持する支持面５１０を有するステージ５１と、ステージ５１に設けられ、圧着領域ＰＡの一方のワークである第１のワーク１に接するように、支持面５１０から突出した突出部５１３を有する。

このため、検査対象Ｔの一方のワークである第１のワーク１に、圧着による凹部１ｂが形成されていても、支持面５１０から突出した突出部５１３によって支持されるので、リード１１及びリード２１の位置が安定する。従って、リード１１及び２１の位置が変動して焦点が合わなくなることが防止され、コントラストが大きい鮮明な画像を、安定して得ることができる。そして、この画像を用いることにより、正確な検査を行うことができる。つまり、圧痕の数、形状を正確に認識して、圧着の良否を判定することができる。

（２）突出部５１３は、透光性を有する部材に形成されている。このため、突出部５１３の突出により検査対象Ｔを支持する部分において、光を透過させて撮像することができる。

（３）突出部５１３には、突出部５１３が接する第１のワーク１の面に向かう縁部が、面取りされている。このため、第１のワーク１に角が当たることにより第１のワーク１が傷つけられることが防止される。

（４）ステージ５１は、検査対象Ｔを保持する保持部５１１を有する。このため、第１のワーク１及び第２のワーク２が保持部５１１によって保持されるので、突出部５１３による支持とともに、検査対象Ｔの位置がより安定する。

［変形例］
図１３、図１４に示すように、突出部５１３との間に圧着領域ＰＡを挟む押さえ５１４を有していてもよい。この押さえ５１４は、突出部５１３と対向するとともに、突出部５１３と平行に延びた角柱形状である。押さえ５１４は、ステージ５１に立設された一対の支柱５１５に支持されている。押さえ５１４の両端には軸５１４ａが突出して設けられ、この軸５１４ａは、支柱５１５の長手方向に沿って設けられたガイド溝５１５ａに、スライド移動可能に挿入されている。

このため、押さえ５１４は、検査対象Ｔをセットする際には、制御装置６０からの信号で図示しない駆動装置により、圧着領域ＰＡの上方に退避させ、撮像時には下降させて圧着領域ＰＡの上部に載せることにより、圧着領域ＰＡを押さえることができる。これにより、圧着領域ＰＡに対応する第１のワーク１及び第２のワーク２の浮き上がりを防止して、撮像部５２に対する圧着領域ＰＡの位置をより一層安定させることができる。

図１５に示すように、支持面５１０は、突出部５１３よりも突出し、第２のワーク２を支持する第２の突出部５１６を有していてもよい。第２の突出部５１６は、支持面５１０と連続して一部材として設けられていても、支持面５１０と別部材により設けられていてもよい。但し、保持部５１１による保持が可能となるように、吸着孔５１１ａが第２の突出部５１６に連続して形成されていることが好ましい。また、第２の突出部５１６における第２のワーク２との接触面は、支持面５１０と平行な平坦面である。これにより、第２のワーク２が支持面５１０に向かって垂れ下がり、湾曲することによる圧着領域ＰＡの変形を防止して、撮像部５２に対する圧着領域ＰＡの位置を安定させることができる。

なお、第２の突出部５１６の接触面の支持面５１０からの突出量ｐｍは、突出部５１３の突出量ｐよりも長い。但し、突出量ｐｍは、検査対象Ｔにおける第２のワーク２以外の部分、つまり圧着領域ＰＡにおける第１のワーク１、リード１１、リード２１及びＡＣＦ３を重ねて圧着した部分の厚さｐｎと、突出量ｐを合わせた長さ以下とすることが好ましい。これにより、第２のワーク２が持ち上げられて過大に傾くことが防止される。

図６（Ｂ）に示した第１のワーク１の縁部が下がる場合とは逆に、加熱圧着の態様によっては、縁部が反り上がる場合もある。この場合、図１２に示した構成の吸着孔５１１ａによる負圧では吸着しきれず、圧着領域ＰＡを突出部５１３に接触させることができない可能性があるので、第２の突出部５１６を設けることが好ましい。また、第２のワーク２がコシが強い、つまり弾性があって塑性変形し難い素材の場合も、吸着孔５１１ａによる負圧だけでは吸着しきれず、突出部５１３に接触させることができないので、第２の突出部５１６を設けることが好ましい。

本発明は、リード１１、２１のいずれか一方から撮像して圧痕を視認できればよい。このため、第１のワーク１及び第２のワーク２のいずれの側から撮像してもよいが、撮像する側が透光性を有している必要がある。つまり、第１のワーク１の基材１ａ及び第２のワーク２の基材２ａの少なくとも一方が透光性を有する材質であればよい。また、本発明は、第１のワーク１の基材１ａ及び第２のワーク２の少なくとも一方に凹部が形成される場合の問題を解決するものであるため、基材１ａ、基材２ａの少なくとも一方が樹脂製であればよい。基材１ａ、２ａの樹脂としては、ポリイミドやポリエチレンテレフタラート等、現在又は将来において、透光性を有する基板材料として適用可能な種々のものを用いることができる。なお、リード１１、２１についても、透光性を有しない金属であってもよいし、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化チタン、ポリアニリン、グラフェン等、透光性を有する電極材料を用いてもよい。

［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

１ 第１のワーク
１ａ 基材
１ｂ 凹部
２ 第２のワーク
２ａ 基材
３ ＡＣＦ
１１、２１ リード
３１ 基材
３２ 導電粒子
４０ 圧着装置
４１ 圧着部
４１ａ 加圧部材
４１ｂ 加熱部
４１ｃ 圧力調整部
４２ 圧力受部
４２ａ バックアップ部
４２ｂ 加熱部
４３ 支持部
４３ａ ステージ
４３ｂ 移動装置
５０ 検査装置
５１ ステージ
５２ 撮像部
５２ａ カメラ
５２ｂ 筐体
５２ｃ 鏡筒
５３ 照明部
６０ 制御装置
６１ 入力装置
６２ 表示装置
４１１ 加圧部
５１０、Ｂ 支持面
５１１ 保持部
５１１ａ 吸着孔
５１２ 開口
５１２ａ 座
５１３ 突出部
５１３ａ 接触面
５１３ｂ 側面
５１３ｃ 傾斜面
５１４ 押さえ
５１４ａ 軸
５１５ 支柱
５１５ａ ガイド溝
５１６ 第２の突出部

Claims (6)

1. 異方性導電部材を介して導電性を有する部分が圧着された一対のワークであって、少なくとも一方のワークが樹脂の基板である検査対象に対して、前記異方性導電部材を介して圧着された圧着領域を撮像する撮像部と、
   前記検査対象を支持する支持面を有するステージと、
   前記ステージに設けられ、前記圧着領域の少なくとも一方の樹脂の基板であるワークに接するように、前記支持面から突出した突出部と、
   を有することを特徴とする圧痕検査装置。
2. 前記突出部は、透光性を有する部材に形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧痕検査装置。
3. 前記突出部は、前記突出部が接する前記ワークの面に向かう縁部が、面取りされていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧痕検査装置。
4. 前記ステージは、前記検査対象を保持する保持部を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の圧痕検査装置。
5. 前記突出部との間で前記圧着領域を挟む押さえを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の圧痕検査装置。
6. 前記一対のワークのうち、前記突出部に接する方が第１のワーク、他方が第２のワークであって、
   前記支持面は、前記突出部よりも突出し、前記第２のワークを支持する第２の突出部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の圧痕検査装置。

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