JP5753805B2 - 実装装置およびその制御方法 - Google Patents
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Description
γs=γLs+γLcosθ・・・式1
9,17 ヒータ・ステージ(第1の保持機構,第2の保持機構)
30 チップ
31,41 金属ランド
32 半田バンプ
40 回路基板
70 コンピュータ
71 プレス機制御ユニット
90 撮像装置
Claims (7)
- 第1の端子が形成されているチップを保持する第1の保持機構,
上記第1の端子と接続されるように第2の端子が形成されている回路基板を保持する第2の保持機構,
上記第1の保持機構に保持されているチップと上記第2の保持機構に保持されている回路基板とが近づき,上記第1の端子と上記第2の端子とが半田バンプを介して接続されるように,上記第1の保持機構および上記第2の保持機構のうち少なくとも一方を駆動する駆動装置,
上記チップまたは上記回路基板の側面から,上記第1の端子と上記第2の端子とが上記半田バンプを介して接続される様子を撮像し,接続状態を表わす撮像データを出力する撮像装置,
上記撮像装置から出力される撮像データにもとづいて,上記半田バンプと上記第1の端子または上記半田バンプと上記第2の端子との接触角を算出する接触角算出手段,ならびに
上記接触角算出手段によって算出された接触角が所望の接触角となるように上記駆動装置を制御する,あるいは,接触角にもとづいて得られる上記半田バンプの表面張力が所望の値となるように上記駆動装置を制御する駆動制御装置,
を備えた実装装置。 - 上記回路基板は透明基板であり,
上記撮像装置は,
上記回路基板の底面から上記半田バンプと上記第2の端子とが接続される様子を撮像するものであり,
上記撮像装置から出力される撮像データにもとづいて上記半田バンプの上記回路基板への濡れ領域の面積を算出する面積算出手段をさらに備え,
上記駆動制御装置は,
上記算出手段によって算出された濡れ領域の面積が所望の面積となるように上記駆動装置を制御するものである,
請求項1に記載の実装装置。 - 上記半田バンプに熱を加えるヒータ,および
上記撮像装置から出力される撮像データによって表わされる接続形状が所望の接続形状となるように上記ヒータを制御するヒータ制御装置,
をさらに備えた請求項1または2に記載の実装装置。 - 上記ヒータ制御装置は,
上記接触角算出手段によって算出された接触角が所望の接触角となるように上記ヒータを制御する,あるいは,接触角にもとづいて得られる上記半田バンプの表面張力が所望の値となるように上記ヒータを制御するものである,
請求項3に記載の実装装置。 - 上記回路基板は透明基板であり,
上記撮像装置は,
上記回路基板の底面から上記半田バンプと上記第2の端子とが接続される様子を撮像するものであり,
上記撮像装置から出力される撮像データにもとづいて上記半田バンプの上記回路基板への濡れ領域の面積を算出する面積算出手段,
上記半田バンプに熱を加えるヒータ,および
上記面積算出手段によって算出された濡れ領域の面積が所望の面積となるように上記ヒータを制御するヒータ制御装置,
をさらに備えた請求項1に記載の実装装置。 - 上記回路基板の底面からの反射光を上記撮像装置に偏向する第1の偏向器,および
上記チップと上記回路基板との側面からの反射光を上記第1の偏向器に導く第2の偏向器,
をさらに備えた請求項2から5のうち,いずれか一項に記載の実装装置。 - 第1の端子が形成されているチップを保持する第1の保持機構,および上記第1の端子と接続されるように第2の端子が形成されている回路基板を保持する第2の保持機構を備えた実装装置の制御方法において,
駆動装置が,上記第1の保持機構に保持されているチップと上記第2の保持機構に保持されている回路基板とが近づき,上記第1の端子と上記第2の端子とが半田バンプを介して接続されるように,上記第1の保持機構および上記第2の保持機構のうち少なくとも一方を駆動し,
撮像装置が,上記チップまたは上記回路基板の側面から,上記第1の端子と上記第2の端子とが上記半田バンプを介して接続される様子を撮像し,接続状態を表わす撮像データを出力し,
接触角算出手段が,上記撮像装置から出力される撮像データにもとづいて,上記半田バンプと上記第1の端子または上記半田バンプと上記第2の端子との接触角を算出し,
駆動制御装置が, 上記接触角算出手段によって算出された接触角が所望の接触角となるように上記駆動装置を制御する,あるいは,接触角にもとづいて得られる上記半田バンプの表面張力が所望の値となるように上記駆動装置を制御する,
実装装置の制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013172057A JP2013172057A (ja) | 2013-09-02 |
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ID=49265811
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5753805B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017075791A (ja) * | 2015-10-13 | 2017-04-20 | 富士通株式会社 | 方法及び装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2513052B2 (ja) * | 1990-01-17 | 1996-07-03 | 富士電機株式会社 | フリップチップ用実装装置 |
JPH08204327A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-09 | Sony Corp | 実装装置 |
JP2001237271A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-31 | Sony Corp | 半導体チップ実装基板及びその製造方法並びにその製造装置 |
JP2003083866A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Marcom:Kk | はんだペースト特性試験装置およびはんだペースト特性試験方法 |
JP2005069706A (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-17 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | クリーム半田の接触角測定方法及びクリーム半田の接触角測定装置 |
JP2005274206A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Seiko Epson Corp | 半田組成判定装置及びその判定方法 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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