JP2007115893A - 熱圧着方法および熱圧着装置 - Google Patents

熱圧着方法および熱圧着装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007115893A
JP2007115893A JP2005305694A JP2005305694A JP2007115893A JP 2007115893 A JP2007115893 A JP 2007115893A JP 2005305694 A JP2005305694 A JP 2005305694A JP 2005305694 A JP2005305694 A JP 2005305694A JP 2007115893 A JP2007115893 A JP 2007115893A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
thermocompression bonding
heater tool
backup member
bonded portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005305694A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Fujii
弘二 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Display Central Inc
Original Assignee
Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd filed Critical Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd
Priority to JP2005305694A priority Critical patent/JP2007115893A/ja
Priority to US11/545,464 priority patent/US20070084566A1/en
Publication of JP2007115893A publication Critical patent/JP2007115893A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/91Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/912Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/9121Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature
    • B29C66/91211Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature with special temperature measurement means or methods
    • B29C66/91212Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature with special temperature measurement means or methods involving measurement means being part of the welding jaws, e.g. integrated in the welding jaws
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/02Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/02Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
    • B29C65/18Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure using heated tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/83General aspects of machine operations or constructions and parts thereof characterised by the movement of the joining or pressing tools
    • B29C66/832Reciprocating joining or pressing tools
    • B29C66/8322Joining or pressing tools reciprocating along one axis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/91Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/912Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/9121Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature
    • B29C66/91231Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature, the heat or the thermal flux by measuring the temperature of the joining tool
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/91Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/914Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature, the heat or the thermal flux
    • B29C66/9141Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature
    • B29C66/91421Measuring or controlling the joining process by measuring or controlling the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature, the heat or the thermal flux by controlling or regulating the temperature of the joining tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/80General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
    • B29C66/82Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps
    • B29C66/824Actuating mechanisms
    • B29C66/8242Pneumatic or hydraulic drives
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/90Measuring or controlling the joining process
    • B29C66/96Measuring or controlling the joining process characterised by the method for implementing the controlling of the joining process
    • B29C66/961Measuring or controlling the joining process characterised by the method for implementing the controlling of the joining process involving a feedback loop mechanism, e.g. comparison with a desired value

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

【課題】部品の位置ずれを防止し高い位置精度で熱圧着することができるとともに、作業性の向上した熱圧着方法および熱圧着装置を提供することにある。
【解決手段】熱圧着方法において、被接合部をヒータツール34とバックアップ部材60との間に配置し、ヒータツールの先端部と被接合部との間に弾性を有する第1シート50を配置し、バックアップ部材と被接合部との間に弾性および保温性を有した第2シート62を配置する。ヒータツールとバックアップ部材との間に第1シート、被接合部および第2シートを挟んだ状態で、ヒータツールにより被接合部を加圧および加熱し、被接合部を熱圧着する。
【選択図】図3

Description

本発明は、例えば、液晶表示装置の電極基板と電子部品を搭載した印刷回路とを加熱、加圧することにより電気的に接続する熱圧着方法および熱圧着装置に関する。
近年、液晶表示装置に代表される平面表示装置は、薄型、軽量、低消費電力といった特徴を生かして、テレビ、コンピュータあるいはカーナビゲーション・システム等の各種表示装置として利用されている。
例えば、液晶表示装置は、互いに対向したアレイ基板と対向基板とを有し、これらの基板間に、配向膜を介して液晶組成物が封入されている。アレイ基板は、ガラス基板上に複数本の信号線と複数本の走査線とをマトリックス状に配置し、信号線と走査線との各交差部近傍に、スイッチング素子としての薄膜トランジスタ(以下TFTと称する)を介して画像電極を配置することによって構成されている。また、ガラス基板上には、走査線とほぼ平行な補助容量線が設けられ、補助容量線と画素電極との間で補助容量が形成されるように、これらの間には絶縁膜が介在されている。
対向基板は、ガラス基板上にTFTおよび画素電極周辺を遮光するためのマトリックス状の遮光膜を設け、この遮光膜上に絶縁膜を介して透明な対向電極を設けることにより構成されている。
アレイ基板の各信号線および各走査線は、フレキシブル基板上に接続配線が形成されてなるフレキシブル印刷回路(以下FPCと称する)、あるいは、キャリアテープ上に駆動素子が配置されてなるTAB(テープオートメーテッドボンディング)部品等を介して、表示装置を駆動するための駆動回路基板に電気的に接続されている。
例えば、TAB部品とアレイ基板との接続は、一般に、これらの間に、接着樹脂中に導電粒子が分散されてなる異方性導電膜(ACF)を挟んだ状態で、熱圧着装置を用いて熱圧着することによってなされる。
熱圧着装置は、加熱された状態でTAB部品等に圧接されるヒータツール、および、FPC、TAB部品およびアレイ基板を挟んでヒータツールと対向配置されたバックアップを備えている(例えば、特許文献1)。そして、ヒータツールとバックアップとの間に、TAB部品、異方性導電膜、およびアレイ基板を挟んだ状態で、ヒータツールによってTAB部品を加熱および加圧することにより、TAB部品をアレイ基板に熱圧着する。
特開平10−163276号公報
近年、液晶表示装置の薄型化に伴い、アレイ基板および対向基板を構成するガラス板として、薄いガラス板、例えば、板厚0.3mmの研磨ガラス板等が用いられるようになってきている。このような薄いガラス板は、研磨のバラツキにより板厚にバラツキが生じ、その研磨面は全体に渡って微細な凹凸が形成された状態となる。
このような薄い研磨ガラス板で構成されたアレイ基板上にTAB部品等を熱圧着する場合、バックアップとヒータツールとの間にアレイ基板を挟持して加圧する際、ガラス面の凹凸に起因して、アレイ基板あるいはTAB部品に位置ずれが生じる。そのため、TAB部品を高い位置精度でアレイ基板に接続することが困難となる。
また、薄いガラス板を用いる場合、熱圧着時にガラス板から熱が逃げ易く、熱圧着部での温度損失が大きくなる。そのため、薄いガラス板を用いる場合、厚いガラス板、例えば、板厚0.7mmのガラス板に熱圧着する場合に比較して、ヒータツールの加熱温度を高く設定変更する必要がある。しかしながら、ヒータツールの加熱温度を変更した場合、熱圧着部に対するヒータツールの平行度等を調整する必要がある。そのため、用いるガラス板の板厚に応じて種々の調整を行う必要があり、作業が面倒となる。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、部品の位置ずれを防止し高い位置精度で熱圧着することができるとともに、作業性の向上した熱圧着方法および熱圧着装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明の態様に係る熱圧着方法は、被接合部をヒータツールとバックアップ部材との間に配置し、前記ヒータツールの先端部と被接合部との間に弾性を有する第1シートを配置し、前記バックアップ部材と被接合部との間に弾性および保温性を有した第2シートを配置し、前記ヒータツールとバックアップ部材との間に前記第1シート、被接合部および第2シートを挟んだ状態で、前記ヒータツールにより前記被接合部を加圧および加熱し、前記被接合部を熱圧着することを特徴としている。
この発明の他の態様に係る熱圧着装置は、被接合部に接触する先端部を有し、被接合部を加圧および加熱するヒータツールと、前記被接合部を挟んで前記ヒータツールと対向して設けられ、前記ヒータツールの加圧に対して前記被接合部を支持するバックアップ部材と、前記ヒータツールの先端部と前記被接合部との間に設けられ弾性を有した第1シートと、前記被接合部と前記バックアップ部材との間に設けられ、弾性および保温性を有した第2シートと、を備えている。
以上のように、本発明によれば、第1および第2シートによって被接合部の厚さのバラツキを吸収し、第2シートによって被接合部を保温することができ、部品の位置ずれを防止し高い位置精度で熱圧着することができるとともに、作業性の向上した熱圧着方法および熱圧着装置を提供することができる。
以下、図面を参照しながら、この発明の実施形態に係る熱圧着装置および熱圧着方法について詳細に説明する。
図1は、熱圧着装置全体を示している。図1に示すように、液晶表示装置の製造に用いられる熱圧着装置は、基台10と基台上に取り付けられた支持フレーム12とを備えている。基台10の上面にはX−Yテーブル14が設けられ、このX−Yテーブル上には後述する被加工物としての液晶表示パネル等が載置されるステージ16が設けられている。
ステージ16の上方には、熱圧着ヘッド18を有するヘッドユニット20が設けられている。ヘッドユニット20は、エアシリンダ22を介して可動台24に取り付けられ、可動台は、支持フレーム12の内、ステージ16の上方を水平に延びる水平フレーム26に設けられている。それにより、ヘッドユニット20は、ステージ16に対して昇降可能に、かつ、水平方向に沿って移動可能に支持されている。
支持フレーム12の前部には、X−Yテーブル14、エアシリンダ22、熱圧着ヘッド18等の動作を制御する操作パネル28が設けられている。
図2および図3は、熱圧着装置の熱圧着ヘッド18を示している。図2および図3に示すように、熱圧着ヘッド18は、支持ロッド23を介してエアシリンダ22に固定された板状のベース部30、ベース部に取り付けられた直方体状の支持ブロック32、および支持ブロックに固定されたヒータツール34を備えている。支持ブロック32は、ヒータツール34の位置調整が可能なように、ベース部30に対して回動可能に取り付けられている。
加熱、加圧手段として機能するヒータツール34は、互いに平行に所定間隔離間して対向した一対の脚部34aと、これら脚部の一端を互いに連結した先端部34bと、を有し、ほぼU字形状に形成されている。先端部34bの底面36は平坦に形成され水平に延びている。ヒータツール34は例えば鉄で形成されているとともに、先端部34bは電気抵抗が最も高くなるように充分に薄く形成されている。
ヒータツール34は、その一対の脚部34aを支持ブロック32の下面に固定されたシャンク38にねじ止めすることによって支持ブロックに脱着可能に固定されている。シャンク38は、導電性物質、例えば、銅の表面に金メッキを施して形成されているとともに、電流供給ライン40を通してパルス電源42および図示しない制御部に接続されている。パルス電源42からパルス電流を供給することにより、シャンク38を介してヒータツール34に通電され、電気抵抗の高いヒータツールの先端部34bは供給された電流に応じたジュール熱を瞬時に発生する。
ヒータツール34の先端部34bには、サーミスタ等の温度センサが取り付けられ、この温度センサは制御部に接続されている。そして、先端部34bの加熱温度は図示しない温度センサによって検出され、制御部は、検出温度に応じてパルス電源42の動作を制御し、先端部34bの加熱温度を所定の温度に設定する。
支持ブロック32の上面には、ブラケットを介して調整レバー44が固定されている。この調整レバー44の先端部を押して支持ブロック32を回動させることにより、ヒータツール34が支持ブロックと共に回動し、被接合部に対するヒータツール先端部34bの平行度を調整することができる。
図2および図3に示すように、熱圧着ヘッド18は、ヒータツール34の先端部34bの底面36を覆うように張架された第1シート50、およびこの第1シートを巻き取り可能に支持した第1シート支持機構52を備えている。第1シート50は、耐熱性および弾性を有した材料、例えば、膜厚0.08mmのテフロン(商標)シートにより形成されているとともに、ヒータツール34の幅よりも大きな幅に形成されている。
第1シート支持機構52は、それぞれ支持ブロック32に回転自在に支持された一対のリール54a、54b、および少なくとも一方のリールを回転させる駆動モータ56を備えている。そして、第1シート50は、ヒータツール34の先端部34bを外側から跨いで配置され、その両端部は、一対のリール54a、54bに巻き付けられている。駆動モータ56によってリール54aを回転させることにより、第1シート50はリール54aに巻き取られ、第1シートの新しい部分がヒータツール34の先端部34bと対向して位置する。
図2および図3に示すように、熱圧着装置は、ステージ16側に設けられ、熱圧着ヘッド18の下方に隙間を置いて対向したバックアップ部材60を備えている。バックアップ部材60は、例えば金属により直方体形状に形成されているとともに、ヒータツール34の底面36に対向した平坦な支持面60aを有している。バックアップ部材60は、ヒータツール34の加圧に対して、被接合部を支える。
また、熱圧着装置は、バックアップ部材60の支持面60aを覆うように張架された第2シート62、およびこの第2シートを巻き取り可能に支持した第2シート支持機構64を備えている。第2シート62は、耐熱性、弾性および保温性を有した材料により形成されているとともに、バックアップ部材60の幅よりも大きな幅に形成されている。第2シート62は、第1シート50よりも厚く形成され、例えば、膜厚0.2mmに形成されている。
第2シート支持機構64は、それぞれステージ16側に回転自在に支持された一対のリール66a、66b、および少なくとも一方のリールを回転させる駆動モータ68を備えている。そして、第2シート62は、バックアップ部材60の支持面60aを外側から跨いで配置され、その両端部は、一対のリール66a、66bに巻き付けられている。駆動モータ68によってリール66aを回転させることにより、第2シート62はリール66aに巻き取られ、第2シートの新しい部分がバックアップ部材60の支持面60aと対向して位置する。
次に、以上のように構成された熱圧着装置の熱圧着動作について説明する。例えば、熱圧着装置を用いて熱圧着される液晶表示パネル、TAB部品としてのテープキャリパッケージ(以下TCPと称する)、および駆動回路基板について説明する。図4および図5に示すように、液晶表示パネル70は、所定のギャップをおいて互いに対向配置されたアレイ基板72および対向基板74と、これらの基板間に封入された図示しない液晶と、を備えている。アレイ基板72および対向基板74は、例えば、板厚0.3mmの薄板ガラスにより構成されている。アレイ基板72上には、信号線、走査線等を含む導体パターンが形成され、アレイ基板の周縁部には、導体パターンに導通した多数のリード75(図3および図6参照)が互いに平行にかつ所定の間隔をおいて設けられている。
アレイ基板72に接続される複数のTCP78は、それぞれ矩形状のフレキシブルプリント配線基板76(以下、FPCと称する)と、FPC上に実装された駆動用のICチップ77と、を有している。FPC76は、その一端側に設けられた多数の出力リード80と、他端側に設けられた多数の入力リード81とを有している。出力リード80は、ICチップ77に導通しているとともにアレイ基板72のリード75と同一の間隔をもって平行に並んで設けられている。入力リード81は、ICチップ77に導通しているとともに駆動回路基板71の図示しないリードと同一の間隔をもって平行に並んで設けられている。
次に、熱圧着装置を用いて、液晶表示パネル70のアレイ基板72にTCP78を熱圧着し、更に、TCPに駆動回路基板71を熱圧着する方法について説明する。
図5に示すように、まず、TCP78の一端側に設けられた多数の出力リード80上に細長いシート状の異方性導電膜82を貼付ける。異方性導電膜82は、例えば、熱硬化性樹脂中にニッケル、はんだ等の導電粒子を分散させてシート状に形成されている。
続いて、図4に示すように、アレイ基板72に設けられた所定のリード75とTCP78の出力リード80とを正確に位置合わせしながら、異方性導電膜82を間に挟んでTCP78の一端部をアレイ基板72上に重ね合わせ、仮圧着を行う。この状態で、液晶表示パネル70および複数のTCP78を熱圧着装置のステージ16上に載置する。
続いて、操作パネル28を介してX−Yテーブル14を作動させ、図2および図3に示すように、液晶表示パネル70とTCP78との仮圧着部、つまり、被接合部がヒータツール34の先端部34bとバックアップ部材60との間に整列する位置へステージ16を移動させる。この状態で、第1シート50は、ヒータツール34の先端部34bとTCP78の被接合部との間に介在し、また、第2シート62は、バックアップ部材60の支持面60aとアレイ基板72の裏面との間に介在している。
次いで、図6に示すように、エアシリンダ22を駆動して熱圧着ヘッド18を下降させ、ヒータツール34の先端部34bの底面36をTCP78の被接合部に上方から押し付け、TCPをアレイ基板72に向かって所定の圧力で加圧する。この際、ヒータツール34の底面36は第1シート50を間に挟んでTCP78を押圧する。同時に、アレイ基板72の裏面をバックアップ部材60の支持面60a上に支持し、バックアップ部材60とヒータツール34との間にTCP78、異方性導電膜82、アレイ基板72を挟持する。この際、バックアップ部材60の支持面60aは、第2シート62を挟んでアレイ基板72に接触する。第2シート62は、アレイ基板72の底面に揃って弾性変形し、アレイ基板の裏面に密着する。これにより、ヒータツール34およびバックアップ部材60に対するTCP78およびアレイ基板72の位置ずれを防止する。
この状態で、パルス電源42から所定時間通電し、ヒータツール34を加熱する。このように、ヒータツール34によってTCP78、アレイ基板72、および異方性導電膜82に熱および圧力を加え、異方性導電膜82を挟んで被接合部を機械的および電気的に本圧着する。熱圧着時、第1シート50によってヒータツール34の底面36を覆うことにより、溶融した余剰の異方性導電膜82がはみ出した場合でも、第1シート50によって余剰異方性導電膜を捕獲し、ヒータツールに付着することを防止する。
続いて、ヒータツール34への通電を停止し、ヒータツール34が所定の温度まで低下した後、エアシリンダ22を駆動してヘッドユニット20を上昇させる。
以上の動作により、異方性導電膜82の樹脂が加熱され一旦軟化して押し潰された後に硬化し、TCP78がアレイ基板72に固定される。同時に、異方性導電膜82の樹脂中に分散した導電粒子によりアレイ基板72のリード75とTCP78の出力リード80とが電気的に接続される。
一方、TCP78の他端部に設けられた入力リード81と駆動回路基板71の図示しない電極との接続も、上記と同様の動作によって行なわれる。但し、この場合、異方性導電膜に代わって半田が用いられる。
なお、第1シート50が汚れた場合、あるいは、定期的に、リール54aを駆動して第1シートを巻き取り、第1シートの新しい部分をヒータツール34の先端部と対向する位置へ移動させる。同様に、第2シート62が汚れた場合、あるいは、定期的に、リール66aを駆動して第2シートを巻き取り、第2シートの新しい部分をバックアップ部材60の支持面60aと対向する位置へ移動させる。
以上のように構成された熱圧着装置および熱圧着方法によれば、弾性を有した第1シート50をヒータツール34と被接合部との間に設けることにより、被接合部に多少の凹凸がある場合でも、第1シートを介してヒータツール34の底面を被接合部に密着させることができる。また、余剰の異方性導電膜がはみ出した場合でも、第1シートによりヒータツール34への付着を防止し、ヒータツールの汚れを防止することができる。
弾性を有した第2シート62をバックアップ部材60の支持面60aと被接合部との間を設けることにより、バックアップ部材60の支持面60aは、第2シート62を挟んでアレイ基板72に接触する。そのため、例えば、薄板ガラスのように、板厚にバラツキがあり、その研磨面全体に渡って微細な凹凸が形成されアレイ基板を用いた場合でも、第2シート62は、アレイ基板72の底面に揃って弾性変形し、アレイ基板の裏面に密着する。従って、第2シート62によってアレイ基板の厚さのバラツキを吸収し、この第2シートを介してバックアップ部材60の支持面60aをアレイ基板に密着させることができる。これにより、ヒータツール34およびバックアップ部材60に対するTCP78およびアレイ基板72の位置ずれを防止し、高い位置精度で非接合部を熱圧着することができる。
更に、第2シート62は保温性を有しているため、アレイ基板に接触することによりこのアレイ基板を保温し、被接合部の温度損失を低減することが可能となる。アレイ基板として、板厚0.3mm程度の薄板ガラスを用いる場合でも、ヒータツール34の加熱温度設定を上げる必要がなく、板厚0.3mmないし0.7mmのガラス板に対して、共通の条件で熱圧着を行うことが可能となる。従って、用いるガラス板の板厚に応じて加熱温度、ヒータツールの平行度等を調整する必要が無く、作業性の向上を図ることができる。
以上のことから、部品の位置ずれを防止し高い位置精度で熱圧着することができるとともに、作業性の向上した熱圧着方法および熱圧着装置が得られる。
この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
例えば、この発明に係る熱圧着方法および熱圧着装置はアレイ基板とTCPとの接続、あるいはTCPと駆動回路基板との接続に限らず、FPCとアレイ基板との接続、あるいは、FPCとプリント回路基板との接続等に用いても良い。また、上記実施形態では異方性導電膜を介して接続する方法を示したが、はんだを用いて接続する場合にも適用することができる。更に、上記実施形態においては、ヒータツールは、パルス電源からのパルス電流を受けるパルスヒートツールとして用いたが、電源から一定の電流を受ける常時ヒートツールとして使用してもよい。
第1シートおよび第2シートの材質は、上述した実施形態に限定されることなく、必要に応じて種々選択可能である。
図1は、この発明の実施形態に係る熱圧着装置を示す斜視図。 図2は、上記熱圧着装置の熱圧着ヘッドおよびバックアップ部材を示す正面図。 図3は、上記熱圧着装置の熱圧着ヘッドおよびバックアップ部材を示す側面図。 図4は、上記熱圧着装置によって熱圧着される液晶表示パネル、TCP、および駆動回路を示す斜視図。 図5は、上記TCPを拡大して示す斜視図。 図6は、上記熱圧着装置による熱圧着工程を示す側面図。
符号の説明
16…ステージ、 18…熱圧着ヘッド、 20…ヘッドユニット、
34…ヒータツール、 34a…先端部、 36…底面、 50…第1シート、
54a、54b、66a、66b…リール、 60…バックアップ部材、
60a…支持面、 62…第2シート、 70…液晶表示パネル、
72…アレイ基板、 78…TCP。

Claims (8)

  1. 被接合部を熱圧着する熱圧着方法において、
    被接合部をヒータツールとバックアップ部材との間に配置し、
    前記ヒータツールの先端部と被接合部との間に弾性を有する第1シートを配置し、
    前記バックアップ部材と被接合部との間に弾性および保温性を有した第2シートを配置し、
    前記ヒータツールとバックアップ部材との間に前記第1シート、被接合部および第2シートを挟んだ状態で、前記ヒータツールにより前記被接合部を加圧および加熱し、前記被接合部を熱圧着する熱圧着方法。
  2. 被接合部に接触する先端部を有し、被接合部を加圧および加熱するヒータツールと、
    前記被接合部を挟んで前記ヒータツールと対向して設けられ、前記ヒータツールの加圧に対して前記被接合部を支持するバックアップ部材と、
    前記ヒータツールの先端部と前記被接合部との間に設けられ弾性を有した第1シートと、
    前記被接合部と前記バックアップ部材との間に設けられ、弾性および保温性を有した第2シートと、を備えた熱圧着装置。
  3. 前記被接合部は、板厚0.3mmないし0.7mmのガラス基板を含んでいる請求項2に記載の熱圧着装置。
  4. 前記第2シートの膜厚は、第1シートの膜厚さよりも厚く形成されている請求項2に記載の熱圧着装置。
  5. 前記第1シートの膜厚は0.08mmに形成されている請求項4に記載の熱圧着装置。
  6. 前記第1シートはテフロン(登録商標)シートにより形成されている請求項4又は5に記載の熱圧着装置。
  7. 前記第2シートの膜厚は0.2mmに形成されている請求項4又は5に記載の熱圧着装置。
  8. 前記第2シートはシリコンシートに形成されている請求項7に記載の熱圧着装置。
JP2005305694A 2005-10-12 2005-10-20 熱圧着方法および熱圧着装置 Pending JP2007115893A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005305694A JP2007115893A (ja) 2005-10-20 2005-10-20 熱圧着方法および熱圧着装置
US11/545,464 US20070084566A1 (en) 2005-10-12 2006-10-11 Press-bonding apparatus and press-bonding method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005305694A JP2007115893A (ja) 2005-10-20 2005-10-20 熱圧着方法および熱圧着装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007115893A true JP2007115893A (ja) 2007-05-10

Family

ID=38097817

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005305694A Pending JP2007115893A (ja) 2005-10-12 2005-10-20 熱圧着方法および熱圧着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007115893A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013183507A1 (ja) * 2012-06-06 2013-12-12 シャープ株式会社 部品圧着装置
WO2019175934A1 (ja) * 2018-03-12 2019-09-19 堺ディスプレイプロダクト株式会社 熱圧着装置
CN110654030A (zh) * 2018-06-28 2020-01-07 松下知识产权经营株式会社 部件压接装置、片材设置单元及片材设置单元的安装方法
KR20200077725A (ko) * 2018-12-21 2020-07-01 김원호 방열시트의 제조방법 및 제조장치

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10313024A (ja) * 1997-05-12 1998-11-24 Hitachi Chem Co Ltd 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置
JP2000269267A (ja) * 1999-03-16 2000-09-29 Nec Corp 電子部品実装方法及び装置
JP2001024032A (ja) * 1999-07-06 2001-01-26 Toppan Printing Co Ltd 非接触icカード用icチップ実装方法及びその実装装置
JP2001110849A (ja) * 1999-10-06 2001-04-20 Nec Corp 熱圧着装置
JP2001332585A (ja) * 2000-05-23 2001-11-30 Toray Eng Co Ltd チップ本圧着方法及びその装置
JP2005268400A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置の接合装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10313024A (ja) * 1997-05-12 1998-11-24 Hitachi Chem Co Ltd 異方導電性接着テープのチップ仮圧着装置
JP2000269267A (ja) * 1999-03-16 2000-09-29 Nec Corp 電子部品実装方法及び装置
JP2001024032A (ja) * 1999-07-06 2001-01-26 Toppan Printing Co Ltd 非接触icカード用icチップ実装方法及びその実装装置
JP2001110849A (ja) * 1999-10-06 2001-04-20 Nec Corp 熱圧着装置
JP2001332585A (ja) * 2000-05-23 2001-11-30 Toray Eng Co Ltd チップ本圧着方法及びその装置
JP2005268400A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置の接合装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013183507A1 (ja) * 2012-06-06 2013-12-12 シャープ株式会社 部品圧着装置
WO2019175934A1 (ja) * 2018-03-12 2019-09-19 堺ディスプレイプロダクト株式会社 熱圧着装置
CN110654030A (zh) * 2018-06-28 2020-01-07 松下知识产权经营株式会社 部件压接装置、片材设置单元及片材设置单元的安装方法
JP2020004834A (ja) * 2018-06-28 2020-01-09 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品圧着装置、シート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法
JP7182036B2 (ja) 2018-06-28 2022-12-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品圧着装置、シート設置ユニットおよびシート設置ユニットの取付け方法
KR20200077725A (ko) * 2018-12-21 2020-07-01 김원호 방열시트의 제조방법 및 제조장치
KR102156653B1 (ko) * 2018-12-21 2020-09-21 김원호 방열시트의 제조방법 및 제조장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070084566A1 (en) Press-bonding apparatus and press-bonding method
JP6675357B2 (ja) 圧着装置
KR100242740B1 (ko) 열압착장치
JP3393562B2 (ja) 熱圧着装置
TWI296234B (en) Bonding apparatus and method using the same
US6623577B2 (en) Electric component compression bonding machine and method
JP2007115893A (ja) 熱圧着方法および熱圧着装置
JP2018029171A (ja) 電子部品実装装置
CN100559239C (zh) 压力接合装置与压力接合方法
JP4500821B2 (ja) ボンディング装置
JP2007123344A (ja) 液晶表示装置
JP2009272457A (ja) 基板実装構造及び液晶表示装置、並びに基板実装構造の製造方法
JP2007123343A (ja) 熱圧着方法および熱圧着装置
KR100782233B1 (ko) 독립형 툴바를 구비하는 압착수단 및 이를 이용한 본딩장치
JP2007115892A (ja) 表示装置の製造方法及び表示装置の製造装置
JP4821551B2 (ja) 電子部品圧着方法及び装置
JP2004029576A (ja) 平面表示装置の製造方法、及びこれに用いる異方性導電膜の貼り付け用熱圧着装置
JP4370337B2 (ja) 電子部品圧着装置及び電子部品圧着方法
JP2005302949A (ja) 圧着装置及び液晶表示装置の製造方法
JPH09186191A (ja) 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置
JPH0997813A (ja) 熱圧着装置
JPH08148254A (ja) 熱圧着装置の熱圧着ヘッド
JP2010225924A (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
JPH10294333A (ja) 電子部品の実装装置および実装方法
US20200411466A1 (en) Thermocompression bonding device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080910

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101104

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101116

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110315