JPH09186191A - 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置 - Google Patents

熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置

Info

Publication number
JPH09186191A
JPH09186191A JP35275795A JP35275795A JPH09186191A JP H09186191 A JPH09186191 A JP H09186191A JP 35275795 A JP35275795 A JP 35275795A JP 35275795 A JP35275795 A JP 35275795A JP H09186191 A JPH09186191 A JP H09186191A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermocompression bonding
substrate
tcp
substrates
liquid crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP35275795A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuyuki Kawasaki
信幸 川▲さき▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP35275795A priority Critical patent/JPH09186191A/ja
Publication of JPH09186191A publication Critical patent/JPH09186191A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3494Heating methods for reflowing of solder
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36Assembling printed circuits with other printed circuits
    • H05K3/361Assembling flexible printed circuits with other printed circuits

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、第2の基板に対する第1の基板の位
置合わせを容易にすると共に、第1の基板におけるフア
インパターン接続をし得る熱圧着実装方法及び熱圧着実
装装置を提案しようとするものである。 【解決手段】第1の基板を第2の基板の一面の所定位置
上に、対応する第1の電極及び第2の電極同士が対向す
るように位置決めして配置し、第1及び第2の基板の接
合部を、第1の基板の他面側及び第2の基板の他面側か
ら挟み込むようにして加圧すると共に、第1及び第2の
基板を当該第1及び第2の基板の各熱膨張条件に応じて
それぞれ別個に温度制御しながら加熱するようにしたこ
とにより、第2の基板に対する第1の基板の位置合わせ
を容易にすると共に、第1の基板におけるフアインパタ
ーン接続をし得る熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置を
実現することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 発明の属する技術分野 従来の技術(図5) 発明が解決しようとする課題(図6及び図7) 課題を解決するための手段 発明の実施の形態(図1〜図4) 発明の効果
【0002】
【発明の属する技術分野】本発明は熱圧着実装方法及び
熱圧着実装装置に関し、例えばTCP実装に適用して好
適なものである。
【0003】
【従来の技術】従来、テレビジヨンやOA機器等の電子
機器の表示素子として液晶パネルが用いられている。液
晶パネルは、異方性導電膜(以下、これをACF(Anis
tropicConductive Film)と呼び)を介して、所定の電
極パターンが配設されたポリイミドフイルム上にICチ
ツプが実装されたもの(以下、これをTCP(Tape Car
rier Package)と呼ぶ)が熱圧着され、これにより外部
回路に接続して液晶表示し得るようになされている。
【0004】図5において1は全体として熱圧着装置を
示し、架台部2上の中央部に透明なガラス材料でなるパ
ネル受け台3が矢印xで示す方向又はこれとは逆方向に
移動自在に設けられ、当該パネル受け台3を介して液晶
パネル4が載置されている。液晶パネル4の一面端部は
パネル受け台3上に直接接触されており、当該一面端部
の裏面側には複数のTCP5が矢印yで示す方向又はこ
れとは逆方向(以下、これをフイルム配列方向と呼ぶ)
に配列されている。このとき液晶パネル4の一面端部の
裏面側には、それぞれ各TCP5の一端部が予め前処理
工程で仮固定された状態にある。
【0005】また架台部2上の側端部には支柱6を介し
て固定用ブラケツト7が固着されており、当該固定用ブ
ラケツト7上に複数の加圧シリンダ8がフイルム配列方
向に沿つて一列に設けられ、当該各加圧シリンダ8の出
力軸8Aにはそれぞれ固定用ブラケツト7の貫通孔(図
示せず)を介して熱圧着ヘツド9が取り付けられてい
る。この場合、熱圧着ヘツド9にはパルスヒータ(図示
せず)が内蔵されている。
【0006】ここで、複数のTCP5はそれぞれ熱圧着
ヘツド9に対応して液晶パネル4上の所定位置に位置合
わせされており、各加圧シリンダ8の駆動制御によつて
それぞれ熱圧着ヘツド9は矢印zで示す方向及びこれと
逆方向に上下動し得、これにより当該各熱圧着ヘツド9
は対応するTCP5とそれぞれ熱圧着し得るようになさ
れている。
【0007】また熱圧着ヘツド9及びパネル受け台3
は、共に平行度調整部(図示せず)の駆動制御に基づい
て、熱圧着ヘツド9のTCP5との当接面がパネル受け
台3の液晶パネル4との当接面に対して常に平行関係を
保つように調整されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ここで、図6(A)〜
(C)において、この熱圧着装置1を用いて液晶パネル
4にTCP5を熱圧着する場合の当該熱圧着工程を示
す。この場合、まず液晶パネル4とTCP5との間に
は、ACF10が接合材料として挟み込まれている(図
6(A))。因みにACF10は、熱圧着ヘツド9を圧
接又は離間する方向(矢印zで示す方向又はこれとは逆
方向)のみ導電性を示し、液晶パネル4及びTCP5の
面に平行な方向には導電性を示さない性質を有する。
【0009】続いて、熱圧着ヘツド9が加圧シリンダ8
の駆動制御によつてTCP5に圧接され、TCP5が液
晶パネル4の所定位置上に熱圧着される(図6
(B))。このとき熱圧着ヘツド9に内蔵されたパルス
ヒータの加熱に基づき、TCP5上の熱圧着ヘツド9の
当接箇所全体が加熱されることから、パネル受け台3及
び液晶パネル4よりも熱膨張率の高いTCP5が熱膨張
によつてフイルム配列方向に伸張する。
【0010】ところが、熱圧着後に冷却したときに、T
CP5と液晶パネル4との熱膨張差がそのまま残ること
があり、この場合TCP5が所定の固定位置から所定距
離d1 及びd2 だけ位置ずれするおそれがあつた(図6
(C))。また熱圧着時における圧着圧力分布が不均一
な場合には、TCP5の熱圧着ヘツド9との当接面のう
ち一端側のみが強く圧着され、この結果、TCP5が熱
圧着された後の液晶パネル4の位置は、一端が位置合わ
せされていても他端が位置ずれするおそれがあつた。
【0011】具体的には、この熱圧着装置1を用いてT
CP5を液晶パネル4に熱圧着する場合、まず一般的に
ACF10は 170〔℃〕程度で硬化することから、熱圧
着ヘツド9を 250〔℃〕程度に予め加熱しておき、この
状態のままTCP5の上に降下させて圧接させる必要が
ある。実際に熱圧着を行つたとき、TCP5は平均で21
0〔℃〕程度、液晶パネル4は 100〔℃〕程度に加熱さ
れている。
【0012】ここでTCP5の長さを20〔mm〕、室温を
25〔℃〕とすると、ACF10の硬化時にTCP5はフ
イルム配列方向に33.3〔μm 〕伸長し、液晶パネル4の
TCP5と接続される部分はフイルム配列方向に13.5
〔μm 〕伸長する。従つて、普通に熱圧着を行えばTC
P5が約10〔μm 〕ずつフイルム配列方向に両側に伸び
て固定される。しかし、圧着圧力分布の不均一などか
ら、片側のみが強く固定される部分があり得る。この場
合、TCP5の圧着後の液晶パネル4の位置は、片方の
端が合つていて、もう片方が20〔μm 〕ずれる。従つ
て、熱圧着装置1を用いた熱圧着方法では熱圧着後のT
CP5と液晶パネル4の相対位置は±10〔μm〕程度ず
れが発生してしまい、また、TCP5搭載時の位置ずれ
も±10〔μm 〕程度あるため、80〔μm 〕程度以下のフ
アインピツチ接続は困難となる問題があつた。
【0013】また特に導体パターンのピツチが微細なフ
レキシブル配線板(FPC)の接続や、微細ピツチのテ
ープキヤリアパツケージのアウタリードボンデイングを
行う場合、予めTCP5及び液晶パネル4のパターンの
ピツチをわずかに変えて対応する必要があつた。またパ
ターンピツチの補正量が必ずしも予想と一致するとは限
らず、圧着後のピツチの不一致が生じていた。このため
TCP5の熱圧着後の液晶パネル4との位置合わせ精度
が低くなり、TCPにおける配線導体幅の微細化(フア
インパターン)による接続が困難となる問題があつた。
【0014】このような問題を解決すべく、図5との対
応部分に同一符号を付して示す図7において、熱圧着装
置20は図5の熱圧着装置1と異なり、パネル受け台2
1の液晶パネル4との当接面の所定位置に加熱ヒータ2
2が埋設されている。この場合、熱圧着ヘツド9及び加
熱ヒータ22間に液晶パネル4及びTCP5を挟み込ん
で、両側から加熱し得るようになされている。
【0015】ところが、加熱ヒータ22を予め高温に加
熱しておいた場合には、熱圧着し得る程度に高温に加熱
すると、液晶パネル4にTCP5を載置したときにAC
F10が直ぐに熱硬化することとなる。このため最適な
圧力を加えた状態で圧着することが困難となる問題があ
つた。
【0016】これに対して加熱ヒータ22を最初からA
CF10の硬化温度よりも十分低い室温ぐらいに設定し
ておいても図5の熱圧着装置1を用いた場合とほとんど
変わらず、ワークの各面の温度上昇はわずかに均一にな
つたにすぎないため未だ不十分な問題があつた。
【0017】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、第2の基板に対する第1の基板の位置合わせを容易
にすると共に、第1の基板におけるフアインパターン接
続をし得る熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置を提案し
ようとするものである。
【0018】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、一面に複数の第1の電極が配設さ
れた第1の基板を、各第1の電極にそれぞれ対応させて
複数の第2の電極が一面に配設された第2の基板に熱圧
着するようにして実装する熱圧着実装方法及び熱圧着実
装装置において、第1の基板を第2の基板の一面の所定
位置上に、対応する第1の電極及び第2の電極同士が対
向するように位置決めして配置し、第1及び第2の基板
の接合部を、第1の基板の他面側及び第2の基板の他面
側から挟み込むようにして加圧すると共に、第1及び第
2の基板を当該第1及び第2の基板の各熱膨張条件に応
じてそれぞれ別個に温度制御しながら加熱するようにす
る。
【0019】また本発明においては、第1及び第2の基
板は、所定の導電手段を介して配置され、当該導電手段
が硬化状態となるまでの間、第1及び第2の基板の各膨
張率が等しくなるように、それぞれ別個に温度制御しな
がら加熱するようにする。
【0020】このようにして第1及び第2の基板が同じ
割合で所定方向に伸張することから、第1及び第2の基
板の相対位置を保つことができ、かくして第2の基板に
対する第1の基板の位置合わせを容易にすると共に、第
1の基板におけるフアインパターン接続をすることがで
きる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。
【0022】図5との対応部分に同一符号を付して示す
図1において、30は全体として熱圧着装置を示し、架
台部31上のパネル受け台32の一端部に相当する所定
位置には、四角柱状空間をもつヘツド室31Aが形成さ
れ、このヘツド室31Aに複数の加圧シリンダ33がフ
イルム配列方向に沿つて一列に配設されると共に、当該
各加圧シリンダの出力軸33Aに熱圧着ヘツド34が取
り付けられている。この場合、熱圧着ヘツド34にはパ
ルスヒータ(図示せず)が内蔵されている。
【0023】ここで、複数の熱圧着ヘツド34はそれぞ
れTCP5に対応して位置合わせされており、各加圧シ
リンダ33の駆動制御によつてそれぞれ熱圧着ヘツド3
4は矢印zで示す方向及びこれと逆方向に上下動し得、
これにより当該各熱圧着ヘツド34は対応するTCP5
とそれぞれ液晶パネル4を介して熱圧着し得るようにな
されている。
【0024】すなわちこの熱圧着装置30の場合、図2
に示すように、熱圧着ヘツド9は液晶パネル4の所定位
置上に仮固定されたTCP5と位置合わせされると共
に、熱圧着ヘツド34は当該熱圧着ヘツド9のTCP5
への位置合わせ箇所と同一箇所に液晶パネル4の裏面側
から位置合わせされている。
【0025】次に、図3において熱圧着装置30のうち
システム制御系ブロツクについて説明する。熱圧着ヘツ
ド9及び34に内蔵されている各パルスヒータ(図示せ
ず)にはそれぞれ例えば熱電対等でなる温度測定用のセ
ンサが設けられている。
【0026】第1の温度制御部40は、熱圧着ヘツド9
に電源供給信号S1を供給して電源を供給することによ
り、当該熱圧着ヘツド9のパルスヒータを加熱させる。
このときパルスヒータのセンサからは温度信号S2が第
1の温度制御部40に送出される。第1の温度制御部4
0は、当該温度信号S2に基づいて電源供給信号S1を
フイードバツク制御すると共に、当該温度信号S2に基
づく温度情報信号S3をシステム制御部42に送出す
る。
【0027】また第2の温度制御部41は、熱圧着ヘツ
ド34に電源供給信号S4を供給して電源を供給するこ
とにより、当該熱圧着ヘツド34のパルスヒータを加熱
させる。このときパルスヒータのセンサからは温度信号
S5が第2の温度制御部41に送出される。第2の温度
制御部41は、当該温度信号S5に基づいて電源供給信
号S4をフイードバツク制御すると共に、当該温度信号
S5に基づく温度情報信号S6をシステム制御部42に
送出する。
【0028】システム制御部42は、内蔵されたコンピ
ユータ(図示せず)に予め所定のヒータ温度がプログラ
ム設定されており、当該プログラムに従つて熱圧着ヘツ
ド9及び34に対応する各パルスヒータの加熱温度をそ
れぞれ別個に調整し得るようになされている。
【0029】システム制御部42は、第1及び第2の温
度制御部40及び41から出力された温度情報信号S3
及びS6に基づいて、内部コンピユータの設定プログラ
ムに応じた所定の加熱制御情報を温度制御信号S7及び
S8としてそれぞれ第1及び第2の温度制御部40及び
41に送出する。
【0030】第1の温度制御部40は、システム制御部
42から出力された温度制御信号S7に基づいて熱圧着
ヘツド9のパルスヒータに供給する電力を調整すること
により、現時点におけるパルスヒータを加熱制御し得る
ようになされている。また第2の温度制御部41は、シ
ステム制御部42から出力された温度制御信号S8に基
づいて熱圧着ヘツド34のパルスヒータに供給する電力
を調整することにより、現時点におけるパルスヒータを
加熱制御し得るようになされている。
【0031】以上の構成において、この熱圧着装置30
を用いて液晶パネル4にTCP5を熱圧着する場合の当
該熱圧着工程を図4(A)〜(C)に示す。まず液晶パ
ネル4とTCP5との間に接合材料としてACF10が
挟み込まれ、当該ACF10によりTCP5が液晶パネ
ル4の所定位置上に位置合わせされた状態で仮固定され
ている(図4(A))。続いて熱圧着ヘツド9及び34
は、それぞれ加圧シリンダ8及び33の駆動制御によつ
て、TCP5及び液晶パネル4の接合部を、TCP5の
熱圧着ヘツド9との対向面側及び液晶パネル4の熱圧着
ヘツド34の対向面側から挟み込むように加圧する(図
4(B))。
【0032】この状態において、熱圧着ヘツド9及び3
4に内蔵された各パルスヒータは、システム制御系の制
御の下、TCP5及び液晶パネル4の各熱膨張条件(熱
伝導率、熱容量及び線膨張率等)に応じてそれぞれ別個
に温度制御されながら加熱される。これにより熱圧着ヘ
ツド9が圧接されたTCP5と、熱圧着ヘツド34が圧
接された液晶パネル4とでは、ACF10が硬化状態と
なるまでの間、共に膨張率が等しくなり、この結果TC
P5とACF10が同じ割合でフイルム配列方向に伸張
する。これによりTCP5と液晶パネル4との相対位置
を保つことができる(図4(C))。
【0033】以上の構成によれば、TCP5が液晶パネ
ル4の所定位置上に位置合わせされた状態で仮固定され
た状態でTCP5と液晶パネル4との接合部をTCP5
の熱圧着ヘツド9との対向面側及び液晶パネル4の熱圧
着ヘツド34の対向面側から挟み込むように加圧すると
共に、TCP5と液晶パネル4とを各熱膨張条件に応じ
てそれぞれ別個に温度制御しながら加熱するようにした
ことにより、液晶パネル4に対するTCP5の位置合わ
せを容易にすると共に、TCP5におけるフアインパタ
ーン接続をすることができる。
【0034】なお上述の実施例においては、熱圧着ヘツ
ド21に内蔵される加熱手段としてパルスヒータを用い
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、温度
制御することができるヒータであれば種々のヒータを適
用しても良い。
【0035】また上述の実施例においては、液晶パネル
5及びTCP6間に介挿する導電手段として異方性導電
膜24を用いた場合について述べたが、本発明はこれに
限らず、熱圧着ヘツド21を圧接又は離間する方向のみ
に導電性を示すものであれば、例えば樹脂等を用いるよ
うにしても良い。
【0036】さらに上述の実施例においては、第1の基
板でなるTCP6の伸張の度合いを熱圧着ヘツド21の
加熱制御により調整する場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、加熱制御に加えて圧力制御により調整
するようにしても良い。
【0037】さらに上述の実施例においては、第2の基
板として液晶パネル5を用いた場合について述べたが、
本発明はこれに限らず、プラズマデイスプレイパネル
(PDP)やエレクトロルミネセンス(EL)等の種々
の透過性パネルを適用するようにしても良い。
【0038】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、一面に複
数の第1の電極が配設された第1の基板を、各第1の電
極にそれぞれ対応させて複数の第2の電極が一面に配設
された第2の基板に熱圧着するようにして実装する熱圧
着実装方法及び熱圧着実装装置において、第1の基板を
第2の基板の一面の所定位置上に、対応する第1の電極
及び第2の電極同士が対向するように位置決めして配置
し、第1及び第2の基板の接合部を、第1の基板の他面
側及び第2の基板の他面側から挟み込むようにして加圧
すると共に、第1及び第2の基板を当該第1及び第2の
基板の各熱膨張条件に応じてそれぞれ別個に温度制御し
ながら加熱するようにしたことにより、第2の基板に対
する第1の基板の位置合わせを容易にすると共に、第1
の基板におけるフアインパターン接続をし得る熱圧着実
装方法及び熱圧着実装装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例による熱圧着装置の全体構成を示す略線
図である。
【図2】実施例における熱圧着ヘツドによる液晶パネル
及びTCPの熱圧着工程の説明に供する略線図である。
【図3】実施例による熱圧着装置のシステム制御系の構
成の一実施例を示すブロツク図である。
【図4】実施例における熱圧着ヘツドによる液晶パネル
及びTCPの熱圧着工程の説明に供する部分的断面図で
ある。
【図5】従来の熱圧着装置の全体装置を示す略線図であ
る。
【図6】従来の熱圧着ヘツドによる液晶パネル及びTC
Pの熱圧着工程の説明に供する部分的断面図である。
【図7】従来の熱圧着装置の全体装置を示す略線図であ
る。
【符号の説明】
1、20、30……熱圧着装置、3……パネル受け台、
4……液晶パネル、5TCP、9、34……熱圧着ヘツ
ド、10……異方性導電膜、40……第1の温度制御
部、41……第2の温度制御部、42……システム制御
部。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一面に複数の第1の電極が配設された第1
    の基板を、上記各第1の電極にそれぞれ対応させて複数
    の第2の電極が一面に配設された第2の基板に熱圧着す
    るようにして実装する熱圧着実装方法において、 上記第1の基板を上記第2の基板の上記一面の所定位置
    上に、対応する上記第1の電極及び上記第2の電極同士
    が対向するように位置決めして配置し、 上記第1及び第2の基板の接合部を、上記第1の基板の
    上記他面側及び上記第2の基板の上記他面側から挟み込
    むようにして加圧すると共に、上記第1及び第2の基板
    を当該第1及び第2の基板の各熱膨張条件に応じてそれ
    ぞれ別個に温度制御しながら加熱することを特徴とする
    熱圧着実装方法。
  2. 【請求項2】上記第1及び第2の基板は、所定の導電手
    段を介して配置され、当該導電手段が硬化状態となるま
    での間、上記第1及び第2の基板の各膨張率が等しくな
    るように、それぞれ別個に温度制御しながら加熱するこ
    とを特徴とする請求項1に記載の熱圧着実装方法。
  3. 【請求項3】一面に複数の第1の電極が配設された第1
    の基板を、上記各第1の電極にそれぞれ対応させて複数
    の第2の電極が一面に配設された第2の基板の当該一面
    の所定位置上に、対応する上記第1の電極及び上記第2
    の電極同士が対向するように位置決めして配置した後、
    上記所定位置に熱圧着するようにして実装する熱圧着実
    装装置において、 上記第1及び第2の基板の接合部を、上記第1の基板の
    上記他面側及び上記第2の基板の上記他面側から挟み込
    むようにして圧接し、加熱する第1及び第2の圧接加熱
    手段と、 上記第1及び第2の圧接加熱手段を、上記第1及び第2
    の基板を当該第1及び第2の基板の各熱膨張条件に応じ
    てそれぞれ別個に温度制御しながら加熱させる制御手段
    とを具えることを特徴とする熱圧着実装装置。
  4. 【請求項4】上記第1及び第2の基板は、所定の導電手
    段を介して配置され、 上記加熱及び制御手段は、上記導電手段が硬化状態とな
    るまでの間、上記第1及び第2の基板の各膨張率とが等
    しくなるように、それぞれ別個に温度制御しながら加熱
    することを特徴とする請求項3に記載の熱圧着実装装
    置。
JP35275795A 1995-12-29 1995-12-29 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置 Pending JPH09186191A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35275795A JPH09186191A (ja) 1995-12-29 1995-12-29 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35275795A JPH09186191A (ja) 1995-12-29 1995-12-29 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09186191A true JPH09186191A (ja) 1997-07-15

Family

ID=18426238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35275795A Pending JPH09186191A (ja) 1995-12-29 1995-12-29 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09186191A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002101815A1 (fr) * 2001-06-08 2002-12-19 Shibaura Mechatronics Corporation Appareil de collage par compression d'une partie electronique et son procede
JP2009186707A (ja) * 2008-02-06 2009-08-20 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、電気光学装置
CN102130028A (zh) * 2010-12-27 2011-07-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Rfid倒扣封装设备上的下热压装置
JP2012151209A (ja) * 2011-01-18 2012-08-09 Nippon Avionics Co Ltd 太陽電池セルの集電用配線材のハンダ付け方法、ハンダ付け装置およびヒーターツール
JP2018041846A (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品搭載装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002101815A1 (fr) * 2001-06-08 2002-12-19 Shibaura Mechatronics Corporation Appareil de collage par compression d'une partie electronique et son procede
US7075036B2 (en) 2001-06-08 2006-07-11 Shibaura Mechatronics Corporation Electronic part compression bonding apparatus and method
JP2009186707A (ja) * 2008-02-06 2009-08-20 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法、電気光学装置
CN102130028A (zh) * 2010-12-27 2011-07-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Rfid倒扣封装设备上的下热压装置
JP2012151209A (ja) * 2011-01-18 2012-08-09 Nippon Avionics Co Ltd 太陽電池セルの集電用配線材のハンダ付け方法、ハンダ付け装置およびヒーターツール
JP2018041846A (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品搭載装置
CN107809899A (zh) * 2016-09-08 2018-03-16 松下知识产权经营株式会社 部件搭载装置以及部件搭载方法
CN107809899B (zh) * 2016-09-08 2021-01-26 松下知识产权经营株式会社 部件搭载装置以及部件搭载方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070084566A1 (en) Press-bonding apparatus and press-bonding method
JP2002249751A (ja) 接合方法および接合装置
KR100470133B1 (ko) 전기부품 압착장치 및 압착방법
TWI296234B (en) Bonding apparatus and method using the same
JPH09186191A (ja) 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置
KR100962225B1 (ko) 다(多) 칩 본딩에 적용되는 칩 본딩방법
KR101139252B1 (ko) 본딩장치
JP2007115893A (ja) 熱圧着方法および熱圧着装置
KR20080040151A (ko) 레이저 본딩장치 및 레이저 본딩방법
KR200210465Y1 (ko) Pdp에서의 플렉시블 기판용 이방성 도전필름의 자동 열압착 장치
KR100760540B1 (ko) 자외선을 이용한 패턴 전극 본딩 장치
JPH07130795A (ja) 半導体素子接続方法および半導体素子接続装置
JP2004029576A (ja) 平面表示装置の製造方法、及びこれに用いる異方性導電膜の貼り付け用熱圧着装置
JPH08114810A (ja) 液晶パネル製造装置および圧着装置
JP2007123343A (ja) 熱圧着方法および熱圧着装置
KR20090062062A (ko) 압착헤드와 대응되는 백업플레이트를 구비한 본딩장치
JP2827650B2 (ja) 熱圧着方法および圧着用部材
JP2003140179A (ja) 液晶表示パネルへの回路部品接続装置
JPH08204329A (ja) 熱圧着実装方法及び熱圧着実装装置
JPH117040A (ja) 液晶表示装置の製造方法及びその製造装置
JP3356195B2 (ja) ヒ−タツ−ルの構造と熱圧着方法および熱圧着装置
WO2019234888A1 (ja) 表示パネルの製造方法および表示パネル
JPH10294333A (ja) 電子部品の実装装置および実装方法
JPH06118431A (ja) 熱圧着装置
JP2000250063A (ja) 電子部品圧着装置