JP4701086B2 - 半導体レーザ装置およびレーザ投射装置 - Google Patents
半導体レーザ装置およびレーザ投射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4701086B2 JP4701086B2 JP2005516497A JP2005516497A JP4701086B2 JP 4701086 B2 JP4701086 B2 JP 4701086B2 JP 2005516497 A JP2005516497 A JP 2005516497A JP 2005516497 A JP2005516497 A JP 2005516497A JP 4701086 B2 JP4701086 B2 JP 4701086B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- laser device
- face
- light
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/062—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
- H01S5/0625—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes in multi-section lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/028—Coatings ; Treatment of the laser facets, e.g. etching, passivation layers or reflecting layers
- H01S5/0287—Facet reflectivity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/04—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
- H01S5/042—Electrical excitation ; Circuits therefor
- H01S5/0425—Electrodes, e.g. characterised by the structure
- H01S5/04256—Electrodes, e.g. characterised by the structure characterised by the configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/062—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
- H01S5/06233—Controlling other output parameters than intensity or frequency
- H01S5/0624—Controlling other output parameters than intensity or frequency controlling the near- or far field
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1053—Comprising an active region having a varying composition or cross-section in a specific direction
- H01S5/1064—Comprising an active region having a varying composition or cross-section in a specific direction varying width along the optical axis
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
図10に示す半導体レーザ100は、n型GaN基板101の上面に、n型AlGaNクラッド層102、n型GaN光ガイド層103、InGaNを含む多重量子井戸構造を有する活性層104、アンドープGaNキャップ層105、p型GaN光ガイド層106、及びp型AlGaNクラッド層107を順次積層してなる半導体層積層体110を有している。
これにより、キンクの発生を防ぐことができる。
本発明の実施の形態1による半導体レーザ装置は、電流狭窄を行うストライプ構造を有し、光を出射する前方端面の光反射率と、その反対側の後方端面の光反射率とが異なる端面発光型レーザ装置であって、上記ストライプ構造上に配置される電極を、複数に分割した構造とし、分割されている複数の電極部に、活性層に注入される電流密度が前方端面側で大きく、後方端面側で小さくなるよう、レーザ駆動電流を印加するものである。
以下、本実施の形態1について詳述する。
図1は、本発明の実施の形態1による半導体レーザ装置の基本的な素子構造を説明する断面図であり、共振器長方向に対して垂直な断面の具体的な構造を示している。
まず、有機金属化学気相成長法(MOCVD法)を用いて、n型GaN基板101上に、n型AlGaNクラッド層102,n型GaN光ガイド層103,InGaNを含む多重量子井戸構造からなる活性層104,アンドープGaNキャップ層105,p型GaN光ガイド層106,p型AlGaNクラッド層107,およびp型GaNコンタクト層108を連続成長させる。
図2(a)は、実施の形態1の半導体レーザ装置の電極構造を模式的に示す斜視図であり、上記レーザ素子の上面上に配置された、4分割されたp電極を示している。
このような半導体レーザ10では、上記p電極115aとn電極116との間に駆動電圧を印加すると、これらの電極から電流が活性層104に注入される。このとき、活性層への注入電流は、活性層104の、リッジ部107aに対向する部分に集中し、この部分で光が発生する。そして、注入電流が一定の閾値を超えると、この発光領域を光導波路とする共振器でレーザ発振が生じ、レーザ光LBが上記共振器端面から外部に出力される。このとき、p電極115aを構成する4つの電極部1〜4には、レーザ光LBの出射端面に近いものほど、注入電流が大きくなるよう駆動電圧が印加される。
以下に、本実施の形態1の半導体レーザ装置の特性を、従来のものと比較して説明する。
例えば、図2(c)は、図2(b)に示す半導体レーザ装置10aの一部の電極部と電源との間に変調器を挿入した半導体レーザ装置10bの例を示している。
図4は、本発明の実施の形態2による半導体レーザ装置を説明する図である。
レーザディスプレイは、RGBレーザ光を用いたディスプレイ装置であり、レーザ出力としては数100mWから数W以上の大出力が必要とされるが、レーザディスプレイでは、光の回折限界の集光特性は要求されないため、半導体レーザの横モードは単一モードである必要はない。
第1に、波長の安定性が要求される。特に、赤色レーザにおいては視感度の波長変化が大きいので、±1nm以下に波長変化を抑える必要がある。
まず、波長の安定化について述べる。
レーザディスプレイ光源としては、高出力特性を必要とするため、平均出力を100mW以上に保った状態での高周波重畳が必要となる。
コヒーレンスの低下は、スペクトル幅の拡大に比例する。つまり、スペクトル幅を大きく広げることで、よりスペックルノイズを低減可能である。このため、半導体レーザの駆動電流に加える高周波重畳のパワーを増大することが有効であるが、パワー増大によるスペクトル拡大は、波長で数nm程度に限られる。
図5は、本発明の実施の形態3による半導体レーザ装置を説明するための図であり、半導体レーザ装置のストライプ状リッジ部の平面形状を示している。
次に作用効果について説明する。
図7は、本発明の実施の形態4による半導体レーザ装置を説明する図である。
100インチクラスの大画面をレーザの照射により実現するには、光源特性として数Wの出力が必要となる。また、フルカラー出力を得るためには、赤、青、緑の波長領域のレーザのそれぞれについて数Wクラスのものをそろえる必要がある。しかしながら、単一ストライプ構造の半導体レーザでは、Wクラスの出力を得るのは難しい。
この実施の形態5では、上記実施の形態1ないし4のいずれかによる半導体レーザ装置を用いたレーザ投射装置の一種であるレーザディスプレイについて述べる。
まず、レーザディスプレイ50の動作について説明する。
次に、本実施の形態5のレーザディスプレイの特長について説明する。
5 後方端面側反射膜
6 前方端面側反射膜
7 分離抵抗部
10,10a,10b,20,30,30a,30b,40,100 半導体レーザ装置
11〜14 電源
23,24 高周波電源
33,34 変調器
50 レーザ投射装置
101 n型GaN基板
102 n型AlGaNクラッド層
103 n型GaN光ガイド層
104,104d InGaNを含む多重量子井戸構造からなる活性層
105 アンドープGaNキャップ層
106 p型GaN光ガイド層
107 p型AlGaNクラッド層
107a,107b,107c,107a1〜107an リッジ部
108 p型GaNコンタクト層
109 pメタル層
110,110d 半導体層積層体
111,111a 絶縁層
115,115a〜115c p電極
116 n電極
201a 赤色半導体レーザ光源
201b 緑色レーザ光源
201c 青色半導体レーザ光源
202a〜202c ビームエキスパンダ
203a〜203c 光インテグレータ
204a〜204c 集光レンズ
205a〜205c フィールドレンズ
206a〜206c 拡散板
207a〜207c 空間光変調素子
208a〜208c 拡散揺動手段
209 ダイクロイックプリズム
210 投写レンズ
211 スクリーン
212a,212c ミラー
225a,225c 高周波電源
LB−1〜LB−n レーザ光
LD−1〜LD−n 半導体レーザ素子
Claims (15)
- 半導体基板上に、リッジ型クラッド層を有する半導体レーザ素子を備えた半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子は、
キャリアの注入によりレーザ発振を行う、前方端面と後方端面とで反射率が異なる共振器と、
該共振器の共振器軸方向に延びる、該共振器にキャリアを注入するためのストライプ構造と、
上記ストライプ構造の上面に形成された抵抗層と、
該ストライプ構造の上面に形成された抵抗層の上部に配置された電極とを備えたものであり、
上記ストライプ構造上の電極は、共振器軸方向に沿って複数の電極部が並ぶよう2以上に分割されており、
該抵抗層は、レーザ光が出射される上記共振器の前方端面から後方端面にかけて、抵抗値が変化しており、上記複数の電極部のうち、レーザ光が出射される共振器の前方端面近傍に位置する電極部には、上記共振器の後方端面近傍に位置する電極部に比べて活性層内で大きな電流密度となるよう電流が注入される、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子の横モードスペクトルは、マルチモードである、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子は、上記共振器の端面近傍に位置する窓領域を有する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記複数の電極部の少なくとも一つに、高周波重畳された電圧を印加する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項4に記載の半導体レーザ装置において、
上記共振器の後方端面近傍に位置する電極部に、上記高周波重畳された電圧を印加する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項4に記載の半導体レーザ装置において、
上記共振器の前方端面近傍に位置する電極部に、上記高周波重畳された電圧を印加する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記複数の電極部の少なくとも一つに、変調された電流を印加する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子が上記半導体基板上に複数集積化されており、
該半導体基板上には、隣接する半導体レーザ素子を分離する分離抵抗部が形成されている、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項8記載の半導体レーザ装置において、
上記複数の半導体レーザ素子のうちの少なくとも1つは、他の半導体レーザ素子とは異なる波長でレーザ光を発振する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項8記載の半導体レーザ装置において、
上記複数の半導体レーザ素子のうちの少なくとも1つは、他の半導体レーザ素子とは異なる注入電流で駆動する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項8記載の半導体レーザ装置において、
上記複数の半導体レーザ素子のうちの少なくとも1つは、そのストライプ構造の幅が他の半導体レーザ素子のストライプ構造の幅と異なっている、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子から出射されるレーザ光の発振波長は、430〜455nmである、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子は、縦モードスペクトルがマルチモードであるレーザ光を出射する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1に記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体レーザ素子は、縦モードスペクトルの幅が1nm以上広がっているレーザ光を出射する、
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - レーザ光を出射する半導体レーザ装置と、該半導体レーザ装置から出射されたレーザ光を投射する光学系とを備えたレーザ投射装置であって、
上記半導体レーザ装置は、請求項1に記載の半導体レーザ装置である、
ことを特徴とするレーザ投射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005516497A JP4701086B2 (ja) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | 半導体レーザ装置およびレーザ投射装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003425600 | 2003-12-22 | ||
JP2003425600 | 2003-12-22 | ||
JP2005516497A JP4701086B2 (ja) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | 半導体レーザ装置およびレーザ投射装置 |
PCT/JP2004/019123 WO2005062433A1 (ja) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | 半導体レーザ装置およびレーザ投射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2005062433A1 JPWO2005062433A1 (ja) | 2007-12-13 |
JP4701086B2 true JP4701086B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=34708821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005516497A Expired - Fee Related JP4701086B2 (ja) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | 半導体レーザ装置およびレーザ投射装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7474682B2 (ja) |
EP (1) | EP1710876B1 (ja) |
JP (1) | JP4701086B2 (ja) |
CN (3) | CN101431215A (ja) |
DE (1) | DE602004024451D1 (ja) |
WO (1) | WO2005062433A1 (ja) |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7860141B2 (en) * | 2005-04-28 | 2010-12-28 | Kyoto University | Photonic crystal laser |
JP2007243072A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体光増幅器複合半導体レーザー装置 |
US7586960B2 (en) * | 2007-01-23 | 2009-09-08 | Corning Incorporated | Forced wavelength chirping in semiconductor lasers |
KR20080114391A (ko) * | 2007-06-27 | 2008-12-31 | 삼성전기주식회사 | 레이저 광원을 이용한 디스플레이 장치, 디스플레이 방법및 디스플레이 방법을 구현하기 위한 프로그램이 기록된기록매체 |
DE102008014092A1 (de) * | 2007-12-27 | 2009-07-02 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Kantenemittierender Halbleiterlaserchip mit einem strukturierten Kontaktstreifen |
DE102008014093B4 (de) | 2007-12-27 | 2020-02-06 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Kantenemittierender Halbleiterlaserchip mit zumindest einer Strombarriere |
JP5307466B2 (ja) * | 2008-07-29 | 2013-10-02 | ソニー株式会社 | 半導体レーザ及びその駆動方法、並びに、半導体レーザ装置 |
US8391330B2 (en) * | 2009-04-20 | 2013-03-05 | Corning Incorporated | Fracture resistant metallization pattern for semiconductor lasers |
US20120044279A1 (en) * | 2009-04-27 | 2012-02-23 | Hiroshi Uchino | Image Projection Apparatus and Laser Beam Projection Apparatus |
JP5447799B2 (ja) * | 2009-06-18 | 2014-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置およびその駆動方法、並びに、プロジェクター |
JP2011009610A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Sharp Corp | 窒化物半導体レーザ素子及びウェハ |
DE102009035639B4 (de) * | 2009-07-31 | 2019-10-24 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Breitstreifenlaser mit einem epitaktischen Schichtenstapel und Verfahren zu dessen Herstellung |
GB201005696D0 (en) * | 2010-04-06 | 2010-05-19 | Oclaro Technology Plc | Semiconductor laser diodes |
DE102010020625B4 (de) | 2010-05-14 | 2024-02-22 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur Herstellung eines kantenemittierenden Halbleiterlasers |
US9912118B2 (en) * | 2010-06-28 | 2018-03-06 | Iulian Basarab Petrescu-Prahova | Diode laser type device |
US9755402B2 (en) | 2010-06-28 | 2017-09-05 | Iulian Basarab Petrescu-Prahova | Edge emitter semiconductor laser type of device with end segments for mirrors protection |
JP5743624B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2015-07-01 | ソニー株式会社 | 半導体レーザ素子組立体及びその駆動方法 |
KR101754280B1 (ko) * | 2011-05-04 | 2017-07-07 | 한국전자통신연구원 | 반도체 광 소자 및 그 제조 방법 |
US8971370B1 (en) * | 2011-10-13 | 2015-03-03 | Soraa Laser Diode, Inc. | Laser devices using a semipolar plane |
DE102011055891B9 (de) * | 2011-11-30 | 2017-09-14 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaserdiode |
EP2605346B1 (en) * | 2011-12-14 | 2017-08-23 | Iulian Basarab Petrescu-Prahova | Diode type laser device |
CN104247176B (zh) * | 2012-05-16 | 2017-03-08 | 松下知识产权经营株式会社 | 半导体发光元件 |
JP6103202B2 (ja) * | 2013-02-27 | 2017-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体発光装置、スーパールミネッセントダイオード、およびプロジェクター |
US9559492B2 (en) * | 2014-01-21 | 2017-01-31 | Lasermax, Inc. | Laser system with reduced apparent speckle |
EP2924742A1 (en) * | 2014-03-27 | 2015-09-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Light source system and optical coherence tomography apparatus using the light source system |
JP6421928B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2018-11-14 | セイコーエプソン株式会社 | 発光装置およびプロジェクター |
DE102015203113B4 (de) * | 2015-02-20 | 2023-12-28 | Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz- Institut für Höchstfrequenztechnik | Laserdiode mit verbesserten elektrischen Leiteigenschaften |
WO2017039767A1 (en) * | 2015-06-05 | 2017-03-09 | Teh Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Interband cascade lasers with low-fill factor top contact for reduced loss |
WO2017122782A1 (ja) * | 2016-01-13 | 2017-07-20 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザ素子、チップオンサブマウント、および半導体レーザモジュール |
DE112017000841T5 (de) * | 2016-02-15 | 2018-11-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleiterlaser-lichtquelleneinrichtung |
DE102017113389B4 (de) * | 2017-06-19 | 2021-07-29 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Halbleiterlaserdiode |
CN111357158B (zh) * | 2017-11-17 | 2022-08-30 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置及半导体装置的制造方法 |
CN107946901A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-04-20 | 苏州长光华芯光电技术有限公司 | 一种半导体激光器图形化电极注入方法 |
WO2019160039A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 古河電気工業株式会社 | 光半導体装置 |
JP7402222B2 (ja) * | 2019-03-22 | 2023-12-20 | パナソニックホールディングス株式会社 | 半導体発光装置 |
US20210281047A1 (en) | 2020-03-09 | 2021-09-09 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Broadened spectrum laser diode for display device |
DE102020114365B4 (de) | 2020-05-28 | 2022-11-24 | Schott Ag | Abbildungssystem umfassend Strahlführungselement mit hoher Solarisationsbeständigkeit im sichtbaren Spektralbereich |
CN112072466A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 因林光电科技(苏州)有限公司 | 一种半导体激光器及其制备方法 |
DE102020125719A1 (de) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Bauteil mit strukturierter anschlussfläche und verfahren zum betreiben eines bauteils |
US20220368105A1 (en) * | 2021-05-14 | 2022-11-17 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Laser having reduced coherence via phaser shifter |
US20230088485A1 (en) * | 2021-09-23 | 2023-03-23 | Freedom Photonics Llc | Segmented contact for current control in semiconductor lasers and optical amplifiers |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03174791A (ja) * | 1989-07-15 | 1991-07-29 | Fujitsu Ltd | 波長可変コヒーレント光源およびその製造方法 |
US5347526A (en) * | 1992-03-31 | 1994-09-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wavelength-tunable semiconductor laser |
US5561682A (en) * | 1994-02-14 | 1996-10-01 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor optical device and method for fabricating the same |
JPH10173286A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Canon Inc | 多電極型の半導体レーザアレイ装置 |
US5781222A (en) * | 1994-06-21 | 1998-07-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical information recording/reproducing apparatus supplying a smaller high-frequency current to a first semiconductor laser for generating a light beam to record information than to a second semiconductor laser for reproducing recorded information |
JP2000049417A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-18 | Hitachi Ltd | 半導体発光素子およびその素子を組み込んだ半導体発光装置ならびにそれらの製造方法 |
US6175440B1 (en) * | 1994-02-02 | 2001-01-16 | Advanced Laser Technologies, Inc. | Laser beam display |
US20020141467A1 (en) * | 2001-04-02 | 2002-10-03 | The Furukawa Electric Co., Ltd | Semiconductor laser device |
US20020154393A1 (en) * | 2001-04-24 | 2002-10-24 | Nec Corporation | Semiconductor optical amplifier and semiconductor laser |
US20030007524A1 (en) * | 2001-07-04 | 2003-01-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Variable wavelength semiconductor laser and optical module |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5850790A (ja) | 1981-09-19 | 1983-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | 光半導体デバイス |
EP0205139B1 (en) | 1985-06-10 | 1992-09-23 | Nec Corporation | Distributed feedback semiconductor laser device |
JPS61283190A (ja) | 1985-06-10 | 1986-12-13 | Nec Corp | 半導体レ−ザ装置 |
JPS6435977A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-07 | Hitachi Ltd | Semiconductor laser device |
JP2572082B2 (ja) * | 1987-10-28 | 1997-01-16 | 富士写真フイルム株式会社 | 光半導体デバイス |
JP2533355B2 (ja) * | 1988-03-11 | 1996-09-11 | 国際電信電話株式会社 | 分布帰還形半導体レ―ザ装置およびその電流注入方法 |
DE69009561T2 (de) * | 1989-03-31 | 1994-10-13 | Canon Kk | Halbleiterlaser zur selektiven Ausstrahlung von Licht mit verschiedenen Wellenlängen. |
US5358898A (en) * | 1989-07-15 | 1994-10-25 | Fujitsu Limited | Method of making a tunable laser diode having a distributed feedback structure |
JP3089056B2 (ja) | 1991-09-19 | 2000-09-18 | 津田駒工業株式会社 | 多色緯入れ織機における運転回転数制御装置 |
JPH06302906A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ及びその製造方法 |
RU2134007C1 (ru) * | 1998-03-12 | 1999-07-27 | Государственное предприятие Научно-исследовательский институт "Полюс" | Полупроводниковый оптический усилитель |
JP2000357842A (ja) | 1999-06-16 | 2000-12-26 | Sony Corp | 半導体レーザ |
US6600764B1 (en) * | 2000-01-20 | 2003-07-29 | Trump Photonics Inc. | High power single mode semiconductor laser |
US6653662B2 (en) * | 2000-11-01 | 2003-11-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor light-emitting device, method for fabricating the same, and method for driving the same |
JP2003324246A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-11-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ装置、半導体レーザモジュール、光ファイバ増幅器および半導体レーザ装置の選別方法 |
US7082152B2 (en) | 2002-03-01 | 2006-07-25 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductor laser apparatus, semiconductor laser module, optical fiber amplifier and semiconductor laser usage determining method |
-
2004
- 2004-12-21 JP JP2005516497A patent/JP4701086B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-21 EP EP04807480A patent/EP1710876B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-21 US US10/584,091 patent/US7474682B2/en active Active
- 2004-12-21 CN CNA2008101846619A patent/CN101431215A/zh active Pending
- 2004-12-21 CN CNB2004800352753A patent/CN100454696C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-21 CN CN2008101846623A patent/CN101431216B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-12-21 DE DE602004024451T patent/DE602004024451D1/de active Active
- 2004-12-21 WO PCT/JP2004/019123 patent/WO2005062433A1/ja active Application Filing
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03174791A (ja) * | 1989-07-15 | 1991-07-29 | Fujitsu Ltd | 波長可変コヒーレント光源およびその製造方法 |
US5347526A (en) * | 1992-03-31 | 1994-09-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Wavelength-tunable semiconductor laser |
US6175440B1 (en) * | 1994-02-02 | 2001-01-16 | Advanced Laser Technologies, Inc. | Laser beam display |
US5561682A (en) * | 1994-02-14 | 1996-10-01 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor optical device and method for fabricating the same |
US5781222A (en) * | 1994-06-21 | 1998-07-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical information recording/reproducing apparatus supplying a smaller high-frequency current to a first semiconductor laser for generating a light beam to record information than to a second semiconductor laser for reproducing recorded information |
JPH10173286A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Canon Inc | 多電極型の半導体レーザアレイ装置 |
JP2000049417A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-18 | Hitachi Ltd | 半導体発光素子およびその素子を組み込んだ半導体発光装置ならびにそれらの製造方法 |
US20020141467A1 (en) * | 2001-04-02 | 2002-10-03 | The Furukawa Electric Co., Ltd | Semiconductor laser device |
US20020154393A1 (en) * | 2001-04-24 | 2002-10-24 | Nec Corporation | Semiconductor optical amplifier and semiconductor laser |
US20030007524A1 (en) * | 2001-07-04 | 2003-01-09 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Variable wavelength semiconductor laser and optical module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101431215A (zh) | 2009-05-13 |
CN101431216B (zh) | 2010-11-03 |
CN101431216A (zh) | 2009-05-13 |
DE602004024451D1 (de) | 2010-01-14 |
US20070165685A1 (en) | 2007-07-19 |
US7474682B2 (en) | 2009-01-06 |
CN1886875A (zh) | 2006-12-27 |
EP1710876A4 (en) | 2007-10-03 |
EP1710876A1 (en) | 2006-10-11 |
JPWO2005062433A1 (ja) | 2007-12-13 |
CN100454696C (zh) | 2009-01-21 |
EP1710876B1 (en) | 2009-12-02 |
WO2005062433A1 (ja) | 2005-07-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4701086B2 (ja) | 半導体レーザ装置およびレーザ投射装置 | |
JP4680065B2 (ja) | 面発光レーザおよびレーザ投射装置 | |
US7772606B2 (en) | Light-emitting photonic device | |
US7005680B2 (en) | Semiconductor light-emitting device including a divided electrode having a plurality of spaced apart conductive members | |
US6798804B2 (en) | Laser apparatus including surface-emitting semiconductor excited with semiconductor laser element, and directly modulated | |
JPH1075011A (ja) | 半導体レーザ | |
US7301979B2 (en) | Semiconductor laser | |
JP2010123630A (ja) | 半導体レーザ及びその製造方法 | |
US7092422B2 (en) | Self-pulsation type semiconductor laser | |
JP2005012178A (ja) | 半導体レーザ | |
JP2007157838A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
US7095769B2 (en) | Semiconductor laser diode with higher-order mode absorption layers | |
JPH10144991A (ja) | 半導体レーザー | |
JPH09307190A (ja) | AlInGaN系半導体発光素子および半導体発光装置 | |
JP2005302843A (ja) | 半導体レーザ | |
JP7147560B2 (ja) | スーパールミネッセンスダイオード及び表示装置 | |
JP2004087980A (ja) | 端面発光型半導体レーザ、電子機器、端面発光型半導体レーザの制御方法及び端面発光型半導体レーザの製造方法 | |
JPH02254784A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2001077456A (ja) | 半導体レーザおよび光学部品用コート膜 | |
JP2002223038A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JPH10144993A (ja) | 半導体レーザー | |
JP2005317954A (ja) | 半導体発光装置 | |
JP2011181974A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JPH04105381A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JPH09298340A (ja) | 半導体レーザを用いたレーザ発光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110307 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4701086 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |